JPH0439714A - 流量計弁装置 - Google Patents
流量計弁装置Info
- Publication number
- JPH0439714A JPH0439714A JP40318290A JP40318290A JPH0439714A JP H0439714 A JPH0439714 A JP H0439714A JP 40318290 A JP40318290 A JP 40318290A JP 40318290 A JP40318290 A JP 40318290A JP H0439714 A JPH0439714 A JP H0439714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- motor
- control
- signal
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 19
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 19
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/22—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters
- G01F1/26—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters of the valve type
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[0001]
本発明は、流体流れを制御する自動流量計弁制御に係る
。 [0002]
。 [0002]
種々の応用における流体装置は、迅速な応答時間で厳密
で正確な制御を必要とする。金属硬化炉用のガス燃焼装
置は窒素やメタノールのような混合ガスを用いて適切な
硬化気圧を生成する。窒素のガス流は種々の環境条件に
より異なる。制御装置はそれぞれのガス流等をリセット
するため迅速な応答を与えなければならない。硬化炉に
用いられる典型的な流量計を開示した出願人の米国特許
は、1988年9月27日米国特許第4.114.67
6号及び1989年9月12日米国特許第4、864.
870号である。他の流量計装置も上記特許において従
来技術として開示されている。 [0003]
で正確な制御を必要とする。金属硬化炉用のガス燃焼装
置は窒素やメタノールのような混合ガスを用いて適切な
硬化気圧を生成する。窒素のガス流は種々の環境条件に
より異なる。制御装置はそれぞれのガス流等をリセット
するため迅速な応答を与えなければならない。硬化炉に
用いられる典型的な流量計を開示した出願人の米国特許
は、1988年9月27日米国特許第4.114.67
6号及び1989年9月12日米国特許第4、864.
870号である。他の流量計装置も上記特許において従
来技術として開示されている。 [0003]
近似変数中にフローを正確に維持するため測定さるべき
フローシステムに接続されたフロー制御弁の正確で迅速
な再調整ができ、測定装置内で異常フローや不良動作や
故障を示す限られた位置では作動停止となるような改良
装置が必要とされている。
フローシステムに接続されたフロー制御弁の正確で迅速
な再調整ができ、測定装置内で異常フローや不良動作や
故障を示す限られた位置では作動停止となるような改良
装置が必要とされている。
【O○04】
本発明は厳格なセットポイント精度を提供する弁装量及
び流量計用制御器を特にその対象としている。弁本体は
円筒径のフローオリフィスを有するオリフィス板を有す
る。テーパをつけられた弁ステムは、オリフィス、特に
フローエツジ中のステムの軸方向の位置に関する設定調
節された流量で動く。ステッパモータはステムを位置決
めする。各モータステップは、パルスにつき0.001
のオーダの動作を概ね与えるように、弁ステムに若干増
加した線形動作を与える。手動調整もまた可能である。 インターロックは、モータシャフトの線形動作を許容し
つつ、モータ用の支持とモータシャフトを回転に対しロ
ックする調整部材との間に設けられる。ハウジング中に
配置された電子制御器はモータにプログラムされた入力
を供給する。 [0005] テーパのつげられた弁構造は、特に圧力の高い流体の流
れを制御するのに用υ)られる。テーパは弁装置に非線
形性を導入し、これは制御器が補償可能なフローを増大
させる。テーパのつけられた弁部材はオリフィスの長さ
よりも実質的に大きい長さで形成される。テーパ付弁装
置は詰まりを防止し、比較的一定の力で作動する。特徴
を1つあげると、弁本体部分は摩擦シールで弁本体にシ
ールされる。これはテーパ付ステムの動作に最大の力関
係を与え、弁ステムのあらゆる設定につき迅速な応答を
与える。弁ステムの線形動作で、弁は小さな着座力で完
全に閉じた位置に移動されえ、それにより弁装置の通常
の高い着座力なしに流れの完全なシールを可能にする。 その結果、弁構造に損傷を与えることなく、比較的低い
切断力で弁を開けることができる。 [0006] 実用的な構成を示す流量計では、モータ付の弁制御器は
上記特許においては、制御入力として低電流フロー信号
で接続されている。弁装置は軸方向の流路とメータに接
続された横方向の流路とを有する。弁プレートは所望の
フローレンジに関連するオリフィスを有する。異なった
フローレンジの既成の設計では、弁プレートは交換可能
である。ステム本体部材は周環する摩擦シール、好まし
くは漏れがシールを一定の摩擦力で維持するようなU字
形にカットされたシールを有するボア中を摺動可能であ
る。ステッパモータはベースプレートに取付けられ、そ
れに弁本体が固定され、弁本体及び弁ステムと正確に整
合する。回転−線形動作はモータ出力を、弁本体に固定
された滑らかなシャフト部材として形成された内端を有
する駆動シャフトに接続する。モータ駆動シャフトの外
端にある調節ホイールは手動弁調節を可能にする。モー
タは好ましくは、回転−線形装置の回転を防止するため
に発電制動又ははその他の制動を有し、ホイール及び取
り付はシャフトを回すと弁の線形の位置決めが必ずなさ
れるようにする。モータへのカバアクセス用口及び調節
ホイールはホイールへのインターロックを含み、予め設
定された位置にシャフトの回転的位置決めを行う。イン
ターロックはシャフトの線形シャフト動作を可能にする
が、ホイール及びシャフトの回転を防止する。 [0007] ハウジングはモータ及び制御の相互接続のためハウジン
グの上端中に回路基板装置と制御装置を含む。種々の外
部制御及び信号装置も設けられる。 手動制御はモータの手動制御を可能にし、流量を増大さ
せたり減少させたりしこれは測定装置で容易に読み取ら
れる。好ましい装置では、流量は低又は高リミットを有
し、重大な故障を示す低リミットを下回る相当の低下は
高及び低リミットインジケータの両方の同時作動として
特別に表示される。他の制御も勿論、望まれるならば装
置に簡単に設けることができる。 [0008]
び流量計用制御器を特にその対象としている。弁本体は
円筒径のフローオリフィスを有するオリフィス板を有す
る。テーパをつけられた弁ステムは、オリフィス、特に
フローエツジ中のステムの軸方向の位置に関する設定調
節された流量で動く。ステッパモータはステムを位置決
めする。各モータステップは、パルスにつき0.001
のオーダの動作を概ね与えるように、弁ステムに若干増
加した線形動作を与える。手動調整もまた可能である。 インターロックは、モータシャフトの線形動作を許容し
つつ、モータ用の支持とモータシャフトを回転に対しロ
ックする調整部材との間に設けられる。ハウジング中に
配置された電子制御器はモータにプログラムされた入力
を供給する。 [0005] テーパのつげられた弁構造は、特に圧力の高い流体の流
れを制御するのに用υ)られる。テーパは弁装置に非線
形性を導入し、これは制御器が補償可能なフローを増大
させる。テーパのつけられた弁部材はオリフィスの長さ
よりも実質的に大きい長さで形成される。テーパ付弁装
置は詰まりを防止し、比較的一定の力で作動する。特徴
を1つあげると、弁本体部分は摩擦シールで弁本体にシ
ールされる。これはテーパ付ステムの動作に最大の力関
係を与え、弁ステムのあらゆる設定につき迅速な応答を
与える。弁ステムの線形動作で、弁は小さな着座力で完
全に閉じた位置に移動されえ、それにより弁装置の通常
の高い着座力なしに流れの完全なシールを可能にする。 その結果、弁構造に損傷を与えることなく、比較的低い
切断力で弁を開けることができる。 [0006] 実用的な構成を示す流量計では、モータ付の弁制御器は
上記特許においては、制御入力として低電流フロー信号
で接続されている。弁装置は軸方向の流路とメータに接
続された横方向の流路とを有する。弁プレートは所望の
フローレンジに関連するオリフィスを有する。異なった
フローレンジの既成の設計では、弁プレートは交換可能
である。ステム本体部材は周環する摩擦シール、好まし
くは漏れがシールを一定の摩擦力で維持するようなU字
形にカットされたシールを有するボア中を摺動可能であ
る。ステッパモータはベースプレートに取付けられ、そ
れに弁本体が固定され、弁本体及び弁ステムと正確に整
合する。回転−線形動作はモータ出力を、弁本体に固定
された滑らかなシャフト部材として形成された内端を有
する駆動シャフトに接続する。モータ駆動シャフトの外
端にある調節ホイールは手動弁調節を可能にする。モー
タは好ましくは、回転−線形装置の回転を防止するため
に発電制動又ははその他の制動を有し、ホイール及び取
り付はシャフトを回すと弁の線形の位置決めが必ずなさ
れるようにする。モータへのカバアクセス用口及び調節
ホイールはホイールへのインターロックを含み、予め設
定された位置にシャフトの回転的位置決めを行う。イン
ターロックはシャフトの線形シャフト動作を可能にする
が、ホイール及びシャフトの回転を防止する。 [0007] ハウジングはモータ及び制御の相互接続のためハウジン
グの上端中に回路基板装置と制御装置を含む。種々の外
部制御及び信号装置も設けられる。 手動制御はモータの手動制御を可能にし、流量を増大さ
せたり減少させたりしこれは測定装置で容易に読み取ら
れる。好ましい装置では、流量は低又は高リミットを有
し、重大な故障を示す低リミットを下回る相当の低下は
高及び低リミットインジケータの両方の同時作動として
特別に表示される。他の制御も勿論、望まれるならば装
置に簡単に設けることができる。 [0008]
図面、特に図1を参照するに、流量計1はフローライン
中を流れるガスや他の流体の流量を測定するためにフロ
ーライン2に接続された状態で示されている。 典型的には、本発明は硬化炉等に用いるガス流を測定す
るのに応用されてきた。 図示のような別個の流量計は、例えば、混合チャンバへ
の、及びそれから炉への窒素及びメタノールの所定の流
量を決定するために接続され、炉内での硬化用の気体を
適当なものとする。しかし、流量計1はガス媒体だけで
なく液体の監視にも容易に応用されうる。一般的に、流
量計1は流量計の下端に取り付けられた関連センサ装置
を内蔵している。センサ装置3は好ましくは、米国特許
第4.864.870号の教示及びその開示に従って構
成される。一般的に、センサ装置3はセンサ装置3の正
面に取り付けられたスケール装置5で直接視覚読み取り
を可能にするだけでなく、連結ケーブル4にアナログ信
号を生成する。ケーブル4にはまた、センサ装置3中に
取り付けられた光学感知システムの動作のための直流供
給が設けられている。出力信号は電気アナログ信号であ
り、これはプログラムされたフローを生じさせるための
プログラマ−のような、より詳細には後述する如く、流
量計1の反対側端に取付けられたモータ躯動制御器の制
御の如き制御装置6がらのコマンド信号と比較される。 かくて、先に挙げた出願に詳細に示されるようにケーブ
ル4はプログラマ−すなわち制御装置6、データロガ−
(図示せず)フローライン2中の流れの制御用に流量計
1の上端に固定された制御装置9に適当な方法で接続さ
れた信号線7及び7aを含む。 流量計1の基本構成は
ラルフ・ダブリュー・フローに対して1984年4月3
日に発行された米国特許第4,440.028号に詳細
に示され、本発明の譲受人に譲渡された。一般的に、図
1から図3に示すように、流量計1は流路10の反対側
に接続されたフローライン2を含む。制御装置9は流路
10の上部接続内のモータ付弁装置11を含み、そこを
流れるフロー及びそれによる流量を制御する。 [0009] 図示すれたセンサ装置3は外部ハウジング12を有し、
その管13は流量計1に整合し連結される。フロートロ
ッド14は管13を満たす適当なオイル中に配置され、
その上端は流路10中にあり、それにより流量計1中で
測定されるフローガスに連結される。ロッド14のの下
端に固定されたディスクインジケータ15は、センサ装
置3の正面に設けられた読出スケール5について視覚読
出ができるようにする。上記の題の出願中で詳細に展開
されたように、LEDライトパー18がセンサハウジン
グ12の一方に固定され、フォトトランジスタパー19
がハウジング12の他方に固定される。LEDライトパ
ー18は管12を通って伝達される光のバー又はビーム
が連続するようにする。フロートロッド14は光を干渉
し、フォトトランジスタパー19の通電を制御する。出
力は正確なアナログ電流信号として、管中の指示ディス
クとフロートロッド14の位置に直接均衡して、すなわ
ち流量計中の現実の流量に従って設けられる。典型的に
、出力電流はセンサディスク15の全移動につき4〜2
0ミリアンペアだけ異なる。信号は遮断信号として信号
線7及び7aを介して伝送される。 [0010] 本発明は勿論、モータ付弁装置11の駆動制御に接続さ
れる電気信号に適当な電気又は信号変換を行ういかなる
流量計にも組み込むことが可能であり、それは特に本発
明の教示に従って構成される。 [0011] 特に図1〜図3を参照するに、図示のモータ付弁装置1
1は流量計の上端中に設けられた流量制御弁21を含む
。弁21は流量計を通る軸方向の流路10と流量計のフ
ローラインコネクタ22との間に位置する。 [0012] とりわけ、流量計はその中を通る軸方向の流路10を有
する伸長形のハウジング又は本体23を含む。入口ガス
ライン2がハウジング23の一端で接続され、図1から
図3に示されるように、出口ガスライン2はハウジング
23の他端及び上端で接続される。流量計ハウジング2
3の上端はその中に螺合開口部24を有する平坦な壁の
構造で形成される。この構造はこの様式及び構成で永年
製造されてきており、外部制御ノブを有する手動調整弁
を備えている。弁は従来型のフラット弁シート装置であ
る。もしくはこれに代えて、制御されない装置ではキャ
ップ及びガスケットが開口部を閉じる。一般的に、弁構
造及び協働流量計がメタノール等の危険な物質に用いら
れる場合には、種々の部品はそのような物質の漏れを防
止するために適当なガスケットを含む流体密接合で固定
される。 図示された実施例によると、流量制御装置9は上部壁構
造に直接に取付けられ弁装置11及び特にハウジング中
に配置された弁21を含む。弁21は開口部24に螺合
し、内部流路をシールし、ライン2への出力接続と整合
する出口が設けられる。弁装置11は流量計から上方に
制御ハウジング25へ突出する。ステッパモータ26は
ハウジング25の下端中に取付けられ、弁装置11を位
置するために直接連結される。小さなホイールとして示
された手動モータ操作部27は弁装置11の選択的な手
動位置決め用モータ26に連結される。電子制御モジュ
ール28は概して、モータ26及び調整ホイール27の
直上のハウジング25中に取外し可能に固定された適当
な回路基板を含む。制御モジュール28はモータを適当
に駆動すために図5及び図6に示されるようなモータ回
路に相互接続される。パワー及び信号ケーブル29はハ
ウジング25の側面に連結され、プログラム制御器6及
び流量計センサ装置3の出カケープル4がモータ制御の
ためにモータ26を有する回路と相互接続されるように
する。選択制御装置30は回路基板構造に接続され、適
当な動作装置と指示装置が正面ハウジング壁の最上端の
パネルに設けられる。図示された実施例では、枢支され
たレバー又はアームとして示された自動/手動選択アク
チュエータ入力装置31が壁に取付けられ、以下により
詳細に示すように、手動モードでの、もしくはセンサ装
置3の出力に応答した自動モードでの操作のためにモー
タ26を設定するのに適当なスイッチ装置を起動する。 手動モードでは、レバー又はアームとして示された駆動
制御アクチュエ−タ32が、自動制御を可能にする中間
位置33と、弁21を開けるためモータ26を通電する
上部位置34と、弁21を閉じるためにモータ26を通
電する下方位置35との間で動作可能なようにハウジン
グ25の正面に取り付けられる。 さらに、ハイリミットランプ36とローリミツトランプ
36aがパネルに取付けられ、それぞれのリミットに流
量が達すると直接出力できるようにする。ランプ37及
び37aは部材31の手動及び自動設定を識別するため
にアクチュエータ31に隣接して設けられる。これら同
じランプ36.36a、37.37aは以下に詳細に示
す通り、他の状態を示すのにも用いられる。 ハウジング25は制御装置30のパネルの直下の正面壁
に開口部38を有する。カバー39は開口部38を取外
し可能に閉じるためにハウジングに取外し可能に固定さ
れ、ホイール27、モジュール28及び以下に示すよう
な他の構成要素を含む内蔵部品にアクセスできるように
なっている。 [0013] 本発明は特に、モータ付制御弁21の構成とモータ26
用の制御駆動装置に係る。他の構成要素は上述の譲受人
の先願の流量計に従って構成されるのが好ましい。弁及
びその制御は、本発明の図示された実施例の構造及び機
能を完全かつ明確に理解するのに必要な参照とともに、
他の構成要素とともに詳細に説明する。 特に図2及び図3を参照するに、モータ付弁装置11及
び特に弁21は、流量計本体即ちハウジング23の上端
中に固定されたオフセット部分を有する弁本体40を含
む。本発明の図示された実施例では、弁本体40は流量
計本体23中螺刻開口部24に螺合し、ガスケット41
がその間に固定される。弁本体は流量計流路10中への
中央開口部42を有する。弁オリフイス板43は何らか
の適当な方法で底部開口部に固定される。本発明の示さ
れた実施例では、接着剤44が弁本体40の内端とオリ
フィス板43のオフセット噛合部分の間に挟まれ、弁本
体にプレートを堅固に固定する。オリフィス板43は弁
本体へ向かって、特に弁本体の外部、即ち出口ラインコ
ネクタ22及びライン2への流体の放出のために円周上
に等間隔で離間した開口部46を有する拡大チャンバ4
5へ向かって内方に突出する。オリフィス板43は中央
オリフィス47を含む。オリフィス板の最内端面は、凹
部48を有する実質的に平らなプレート部材として形成
され、0リングシール49が凹部中に配置されそこから
取外し状態で外方に突出する。○リングシール49は流
量計の端壁構造の端面に対して密着し、流体の流路への
密接合をもたらし、それにより流量計を通るガス流はす
べてオリフィス板43を通るようにされ、特にオリフィ
ス47を通ってラインコネクタ22へ流れるようにされ
る。 [0014] 本発明の示された実施例によると、弁ステム装置50は
弁本体開口部42の外部ボア51a中に摺動可能に取付
けられた拡大ピストン51を有し、オリフィス47を通
って下方へ突出する特別に整形された弁ステム52を含
む。弁ステム装置50はオリフィス47中での正確な軸
方向の位置決めのために摺動可能に取付けられている。 [0015] オリフィス47はその最外面で円形のエツジ53で形成
されている。オリフィス47は図4の拡大図に最も明瞭
に示されるように、鋭い円形のエツジ53を有する丸い
定直径間口部壁で形成される。オリフィス47はがくて
弁ステム52に対して必然的にエツジフロー制御を画成
する。 [0016] 弁ステム52はオリフィス47を通って突出する固い部
材として示される。ステム52の表面はオリフィス47
のそれに対して反対のテーパがつけられている。かくて
、その直径には外端から内端にかけて漸進的な減少があ
り、ステム52がオリフィス中に移動すると、ステムは
エツジ53に対して閉じるようになり、ステム52がオ
リフィスから外方へ移動すると、逆にステムとオリフィ
スのエツジの間のフロー開口部は増大する。 [0017] 図2に示される如く、図示された閉じた弁の位置ではス
テム52はオリフィス板43を越えて相当に突出する延
長端を有する。オリフィス板43の内端は円形の凹部5
3aを含み、流量計流路10からオリフィス47までの
流路が遮断されないようにする。かくて、示された弁ス
テム52はオリフィス47の内方へ何倍も延びる。同じ
基本的ステム装置50は、やや異なったテーパ角を有す
るステムで形成され、同じオリフィス中に配置され、各
ステム装置はオリフィスを通る特定のSAEフローレン
ジを制御する。弁構造はかくて弁本体に別々に固定され
た弁フレートとモータ駆動シャフト57の延長に取外し
可能に接続された弁ステム装置で形成されるのが好まし
く、これにより、多くの産業上の応用等により要請され
る広範なフローに対して、基本的な流量計を提供するも
のである。 [0018] 一定直径オリフイス47が示されたが、オリフィスは図
4で想像線で示すように鋭いエツジ55から広がるテー
パで形成されてもよい。上述の如く、示された丸いオリ
フィスは低フローでのフローと弁ステム52の位置との
関係が大きいことを示したカミフローレンジ内でフロー
が大きくなると線形性は減少する。弁ステム52のそれ
と逆のテーパを有するテーパ付オリフィスを与えること
により、非線形性は最小にすることができる。非線形効
果を除去するための好ましい装置においては、プログラ
マブルな制御器が、弁ステムの位置を適当に変化させる
ことにより、かかる非線形性を補償するのに用いられる
。適当な制御装置は図5及び図6に示され、以下に詳細
に示す。 [0019] オリフィス板43及び弁ステム装置50は、異なったフ
ローについて弁21のフロー開口を変えられるように、
取外し可能に別々に設けられている。オリフィス板43
及びステム52はかくて以下に詳細に示すように、選択
されたフローレンジにおけるフローにつき結合的に設計
されている。 [0020] 弁ステム装置50は、オリフィス47中でのステム52
の軸方向及び線形の位置決めのためにステッパモータ2
6に連結される。モータ26は弁本体の上端に取付けら
れ、制御エンクロージャすなわちハウジング25中に配
置される。 [0021] ステム本体51は拡大図が示され、弁本体40のボア5
1aに概ね対応する直径を有し、ボア中で密接なすべり
ばめを有する。本体51は弁ステムと一体的に形成され
るように示され、その長さの中間に環状シーリング凹部
54を有する。 環状シール55は凹部中に配置され、開口部をシールす
るためにボア面と摺動可能に係合する。環状シール55
は好ましい構成では、流量計の内部に向かって開口する
凹部を画成するサイドリップ56を有するカップ状部材
として示される。 弁ステム本体51とボアとの間のインターフェイスを通
るガス漏れは凹部に入り予め圧力が加えられたリップ5
6を維持し、ステムの摩擦力負荷を比較的低くしつつ、
ボアとステム本体との間のシールを堅固に保つ。この構
造は測定さるべき流体等に応じて、自動注油式の材料で
形成される。 [0022] モータ26のモータ駆動シャフト57はボア51aを通
って弁ステム本体51の外端の適当な開口部へ下方に延
在する。セットスクリュー57a又は他の適当なコネク
タが、組立体の同時の軸方向の位置決めのために、弁本
体をシャフト57に堅固に固定する。 [0023] 周環するモータのカラー58は弁本体40の最上端に螺
合され、平坦な面を画成する。ボアのそれよりも若干大
きく弁本体の他の径より小さい中央開口部を有するベー
スプレート59がボルトで締められるか、そうでなけれ
ば円形カラー58に固定されてモータ取付プレート61
を載置する。位置決めリング62はプレート61の下側
から下方へ弁本体40に同軸的に突出する。小さな本体
ハブ63は位置決めカラー58と噛合するように精密に
機械製造される。リング62はシャフト57に対してリ
ング62を正確に配置するために軸受はハウジング62
aに圧入されるか、もしくは堅固に固定され、それによ
り弁ボア51a及び弁ステム装置50に対し正確に配置
される。これは軸64をシャフト57、弁ステム52及
びオリフィスエツジ53と一致させる。 [0024] モータ26は所望の精度を提供する適当又は所望の構成
のステッパモータである。モータ26はモータ駆動シャ
フト57において回転−線形動作で示される。 バースト・マニュファクチュアリングは、S、A、E、
レンジ10〜2400のガス流をモニターしたモデル
ハース)No、 4104.003のモータを有する
。回転−線形動作装置は回転ギアに連結された螺合シャ
フト部分を有し、これによりシャフトが回転に対して固
定されたままで線形のシャフト動作が生まれる。ハンド
ホイール27はセットスクリュー58によりシャフト5
7に固定された状態で示されており、エツジスロット5
8を有する。カバー39上の垂直プレート59スロツト
58と噛合し、それによりシャフトの回転を防止する。 モータの回転はシャフトをシャフト軸の線形方向に動か
す。モータ26が遮断され回転出力が固定されると、ホ
イール27とシャフト57の物理的回転はシャフトをそ
の軸上に動かす。モータ26は図7に示される如くモー
タがオフになると、発電制動される。 [0025] モータ26は制御ハウジング25中に包まれている。制
御回路基板65及びメインパワー回路基板66はハウジ
ングにおいてホイール27の上に取外し可能に固定され
ている。ハウジング25はアクセス口38を有する。回
路基板は、マルチピンコネクタ67がモータケーブル6
8と基板66を取外し可能に接続した状態で制御箱の中
に納められる。主人力/出カケ−プル29は回路基板6
5の上のハウジングの側に固定され、モータ26、手動
制御、センサー装置3、処理制御器、データロガ−その
他を接続するコネクタ68(図5及び図6)により、回
路基板及び制御素子に相互接続される。センサ及び制御
箱からのケーブルは好ましくは端子基板70に接続され
、パワーは115ボルトからの主オン/オフソレノイド
への供給であり、ステッパモータ26及び制御装置(図
5及び図6)への低電圧DC供給(24ボルト)にパワ
ーを与える。 [0026] ハウジング25の上端はLEDやその他の装置に直接ア
クセスできるようにアクセス壁71を有し、組立体は2
つの別々のケーブル接続のみを必要とする一体化された
パッケージである。 [0027] 非保持器及びオリフィス構造の組合せ、及びテーパーの
付けられた弁ステム装置は4つの基本的な保持器の構造
で設計されており、それぞれは各フローレンジにつき適
当なオリフィス板を有する。各レンジ中に、弁ステム装
置が幾分具なった角度で形成される。第1のレンジはS
、 A、 E、フロー10〜18でオリフィス径は0.
375インチであり、弁ステムテーパ角はO’40’
〜4° 30′ の間にある。第4のレンジは、570
〜3400の間にある6つのS、A、E、フローを含み
、オリフィス径は1.43フインチであり、弁ステム本
体はフロー関連径1.500インチであり、弁ステムテ
ーパ角は7° 45′ から32° 30′の間にある
。弁ステムは、最小の背圧で完全なフローを実現するた
め、延長位置からオリフィスを通ってオリフィスから上
方に動く。全延長移動は弁中の背圧効果を補償する。弁
ステムはオリフィス深度約8分の3インチで1インチと
いったような完全に選択された移動を有する。 [0028] 図5及び図6はケーブル68を解してモータに連結され
たモータ回路基板66を含む制御実施例の回路図である
。モータ回路基板66は、基板65及び66上に噛合部
分71a及び71bを有する第1端子接続71により制
御回路基板に接続される。第2の端子接続72は駆動出
力及びインターロック回路をモータ基板66に接続し、
噛合端子部分72aと基板65及び66を有する。コネ
クタの補助ピン及びソケットは対応する番号を与えられ
、1つは文字により区別される。 ヘッド及び制御器からの24ボルト供給及び信号は端子
基板74を有する入力供給回路基板73に接続される。 基板73上のインターロック継電器75は24ボルトの
制御パワーの印加と、関連する大地インターロックに応
答して接点76を制御する。接点76は測定ガスにつき
フローライン中での主ソレノイド77を制御する。 [0029] メータヘッド3と制御器6からの信号はケーブル29に
より基板73に、ケーブル78により制御基板65に接
続される。24ボルト供給は基板73がら別のケーブル
79及び79aにより基板65及び基板66に接続され
る。各ケーブル79及び79aは2つの回路間でのフィ
ードバックを避けるために、コンデンサ79b及び79
cによりそれぞれ別々に大地まで分流される。24ボル
ト供給に接続された数個の継電器及びその他の素子は説
明を明瞭とするために記号により表される。ケーブル7
8における継電器インターロック線80はインターロッ
ク継電器75を基板65を介して大地に接続する。手動
制御装置用のインターロッキングとパネル30−の相関
デイスプレィは相互接続されている。端子装置82と基
板65の間のケーブル81は、数個のインジケーターを
生かすためのパワーとインターロック信号を受信し、以
下に示すように、操作の自動状態又はモードと手動状態
又はモードの間に一定の相間自動スイッチングをもたら
す。 [0030] ユニ文駆動 モータ基板66はモータ26にパルスを与える供給ソー
ス83を含む。ソース83回路は、モータを時計回り又
は反時計回りに駆動するためにモータ26にパルス信号
出力を与えるようにされた内部パルス発生器(図示せず
)を含む。ソース83は大地を入力制御ピンから引き離
すことにより起動される。ピン接地は、コネクタ72b
でピン85に、ソケットコネクタ72aでソケット85
aに共通相互接続を有する相互接続リード線により行わ
れる。方向制御はソース83のピン86での接地信号を
生じさせることにより確立される。ピン86はピンコネ
クタ72bでピン87、コネクタ72aでソケット87
aを有するリード線を介してモータ基板65及び回路制
御基板65上でそれぞれ接続される。モータ26は高速
及び低速で表される2つの異なったステップ速度で操作
されるようになっている。R−C回路網88及び89は
継電器90の接点を介してソース83の入力に接続され
る。レジスタ及びコンデンサ回路網88はモータ26に
比較的遅い速度のパルス列を与える。継電器90の通電
により交番抵抗及びコンデンサ回路網89へ入力が切り
換えられ、これにより集積回路源83により生成された
パルス列速度が増大し、ステッパモータ26のステップ
速度を増大させる。 [0031] 自 手 モード選択 図6のデイスプレィパネル基板30に示される如く、手
動/自動選択スイッチ91は、自動位置を有し自動操作
の状態で基板65を配置する二極双投装置である。LE
Dとして示されるランプ37aは自動スイッチ接点91
aを通じて回路中で接続され、自動状態を示す緑色のよ
うな特定の色でオンされる。手動スイッチ位置(想像線
で示される)では、接点92a及び92bは可動接点9
3により接地され、相互接続ケーブルS1のリード線を
通じて基板65に相互接続され、自動応答をディスエー
ブルし、単極三役位置スイッチで示された手動方向スイ
ッチ95を回路に接続する。スイッチ85の可動接地接
点96はバネ97aによりバネでロードされて接点97
と係合し、自動制御装置にインターロックされるリード
線に接続される。接点96は反対側に移動可能で、「ア
ップ」又は「ダウン」接点98又は99と係合する。 [0032] 弁え上0皇動赳囃 モータ26は次にセンサヘッド3及び制御器6から受信
した相対信号に従って駆動される。信号は所望の流速に
比例した最小信号及び最大信号を供給する;これは4〜
20ミリアンペアの間にある実際の環境から選択される
。20ミリアンペア信号は要求に応じて又は実際のフロ
ーに従って、最大の流速信号を生成し、4ミリアンペア
信号が最小流速の指標である。信号は分離され、図示の
如く1対のリード線100及び101を介して基板73
から印加される。 [0033] 基板65の比較器装置102はヘッドのリード線100
及び制御器のリード線101からの相対的レベルの信号
を比較する。比較器装置102は第1の増幅器103と
第2の増幅器104で示される。増幅器103及び10
4の出力は1対の同様の増幅器105及び106に接続
されて比較回路を画成する。ヘッド増幅器103の出力
は1つの増幅器105の反転入力に、及び反対の増幅器
106の非反転入力に接続される。同様に、制御増幅器
104はその出力を第1比較増幅器105の非反転入力
と第2比較増幅器106の反転入力に接続される。増幅
器105又は106の正の入力でのより高い信号は、対
応する増幅器をオンにし、比較回路の反対増幅器をオフ
にする。増幅器106及び105はそれぞれフィードバ
ックレジスタ105a及び106aを有し、これらは比
較器の動作を「オフ」から「オン」への瞬時の遷移から
増幅器の入力の異なった信号に応じて出力電圧の漸次の
生成へと変化させる。従って、増幅器105と106の
うち1つのみがヘッド3及び制御器6からの相対信号レ
ベルに従って除々にオンされる。ヘッドに関連する比較
増幅器105は「オン」の時にモータ26を駆動して弁
21を開ける。逆に、制御器関連の増幅器106はモー
タ26を駆動して弁21を閉じる。 [0034] 増幅器106からの出力は増幅器110への電圧を除々
に生成し、増幅器106からの非反転入力での電圧が増
幅器110の反転入力での基準電圧よりも僅かに高くな
る時に後者を作動させる。(図では可調整電位差計11
1を含む)低窓基準はセットポイント付近での信号レベ
ルを変えてモータ動作のセットポイント及び不感帯の精
度を決定する。高窓増幅器112及び113は同様であ
り基準回路114の調整は低速から高速モータ作動への
高速変換の操作の窓の幅を決定する。 [0035] 同様の動作が、増幅器103からのヘッド信号のレベル
が制御器からの制御信号よりも太きいか高い場合に生じ
る。 [0036] 増幅器105及び106は低窓回路107及び高窓回路
108に接続される。 回路107は増幅器105及び106に接続されその入
力が共通に接続され、レンジ制御バイアス回路111と
しての可調整電位差計回路に接続された出力増幅器10
9及び110を含む。 窓107の回路は全レンジの5%以内異なる2つの信号
間での作動で動作する。窓回路108は動作可能で増幅
器112及び113を含み、1つの入力は増幅器105
及び106に接続され、第2の共通入力は基準ソース1
14に接続される。出力は高速でモータを作動させる。 信号差動が信号レベルにおける全最大作動の5%又はそ
れ以上である場合には増幅器112又は113は共通接
続での出力信号を生じさせる。分離ダイオード115は
2つの増幅器出力を分離する。出力はトランジスタ11
6を「オン」に駆動するように接続され、それはソケッ
トコネクタ72aの接地ソケット117を接地し、それ
によりモータ基板66でのビンコネクタ7272bのピ
ン117aに接続される。ビンコネクタ117aは継電
器90を接地して附勢し、接点118は低速回路網88
を切断し、接点119は高速回路網99を接続する。 [0037] 制御信号がメータのヘッド信号よりも小さいと、増幅器
110は「オン」となり、トランジスタ120の入力に
直接接続され、トランジスタは「オン」となってイネー
ブルトランジスタ121を接地するために近似信号を供
給する。トランジスタ121はレジスタ122を介して
24ボルトバスに接続されたベースを有し、通常は導電
性であり、接地されると阻止され、それによりその出力
から大地を引き離す。トランジスタ121の出力は手動
/自動継電器134の接点134bを介して端子コネク
タ72aのソケット85a及びモータ回路基板コネクタ
72bのピン85に接続され、イネーブルピン84を介
してソース83を選択的に接地し解放する。イネーブル
トランジスタ121のターンオフはピン84から大地を
引き離し、ソース83は起動され通常の低速でパルスモ
ータ26へ1列のパルス信号を伝送する。 [0038] モータ26は、ヘッドと制御信号の差動が全ての可能な
差の5%より大きくならない限り、ゆっくりと弁21を
閉じる。後者の場合には、継電器90は通電され、モー
タ26を駆動して弁21を閉じる。弁21が閉まると、
信号の差動は減少し、それが5%より下がると、トラン
ジスタ116は導電性の増幅器112又は113のター
ン「オフ」の結果ターンオフとなり、継電器90は遮断
されその接点をリセットし接点118を閉じ、さらに低
速回路網88を挿入し、それにより、弁が所望の設定に
接近移動するにつれ、低いモータ速度に自動的に回帰す
る制御信号がヘッド信号よりも大きい場合には、弁21
は開く。 [0039] 弁開口部増幅器109は、トランジスタ126を1オン
」に駆動すると同時に方向性トランジスタ127を「オ
ン」にするように接続され、以下のようにモータ26を
動作させて弁を開ける。増幅器109とトランジスタ1
26及び127間の回路接続用の回路は基板66上にイ
ンターロック継電器128を含む。継電器128は、制
御器6からの信号が最小レベルを下回る場合、及び概ね
最小レベルより僅かに高いレベルを下回る場合には、弁
が開かないようにする。通常、開放接点128aは増幅
器109の出力接続に直列に接続される。制御基板65
を参照するに、増幅器109の出力はストリップコネク
タ72aのソケ・ノド129に接続され、またコネクタ
72bの補助ピン129aを介して継電器接点128a
の可動接点に接続される。継電器接点128aの反対側
はコネクタ72bのピン130及びコネクタ72aのソ
ケット130aに接続される。ソケット130aは、二
極双投スイッチ131の常閉接点132aに接続される
。常閉接点132aは係合された可動接点132bによ
りトランジスタ126及び127に直接接続され、適当
な回転でモータ26を通電した状態にする。二極双投継
電器131の第2の接点132cは、以下に示す手動制
御用の「アップ」駆動リード線に直接接続される。反対
の接点132bはトランジスタ126及び127のベー
スに共同して接続される。継電器131が通常の図示さ
れた位置にあると、両トランジスタ126及び127は
通電される。トランジスタ126の出力はイネーブルト
ランジスタ121を「オフ」にするように接続され、そ
れにより信号をコネクタ72a及び72のソケット85
a及びピン85を介して、上述のように「ダウン」又は
閉じた制御トランジスタ120によりトランジスタ12
1をターンオンしたのと同じ方法で、ソース83の駆動
入力ピン84に供給する。同時に、トランジスタ127
は通電され、コネクタ72a及び72bの端子ソケット
87a及びピン87aを介して接地信号を、パルス列を
反転しモータの方向を反転させる基板66上のパルス源
83の方向性制御ピン又は入力86に供給する。 [0040] トランジスタ121及び127はまた、実線の自動位置
と交互の想像線の手動位置を有する手動/自動継電器1
34を通って回路に接続される。継電器134はトラン
ジスタ127及び121の出力にそれぞれ接続された固
定接点134a及び134bを有する二極双投装置であ
る。継電器接点134C及び134dは手動モードにお
けるモータのアップ・ダウン通電用の入力となる。 [0041] インターロック継電器128は、設定低次限界より低い
制御器を開放接点128aを有し、モータをアップ駆動
して弁を開くように通電されなければならず、制御器が
限界より上に設定されたときにのみそれを行う。継電器
128は基板66上の基準増幅器135を介して制御器
6からの信号を感知することにより制御され、それは4
ミリアンペアの最小要求レベルより上、好ましくは僅か
に上回って4.17ミリアンペアなどがよい。比較基準
増幅器135は基板64上の基準電圧回路136に、特
にコネクタ71a及び71bのピン137及びソケット
137aを通じて接続された第1の負の入力を有する。 増幅器135への第2の正の入力はコネクタ71a及び
71bのピン138及びソケット138aを介して基板
65上の制御増幅器の出力に接続される。IC増幅器1
35の出力は4゜17ミリアンペア及びそれ以上で駆動
された4、17ミリアンペア以下の制御信号で駆動「オ
フ」される。IC増幅器135の出力はトランジスタ1
39を駆動するように接続され、その出力は継電器12
8の接地側に接続される。信号が417ミリアンペア又
はそれ以上である場合には、増幅器はオン駆動され、ト
ランジスタ139は導通し、継電器128は通電され、
接点128aは閉じ、自動制御回路をイネーブルする。 制御器6からの信号が4.17ミリアンペアを下回る場
合には、増幅器135は制御回路の完成を防止しつつ駆
動オフされ、弁21を開ける。増幅器135の出力はま
た基板65及び66にあるコネクタ71a及び71bの
端子ピン141及びソケッ)141aにそれぞれ接続さ
れた線を接地するように接続された基板66上のトラン
ジスタ140を制御するように接続される。同じ線がま
た、通常閉じた接点を有しローリミツトランプをターン
オンする基板66又は継電器142の継電器接点142
aに接続される。 [0042] ソケット141aは、ソレノイド継電器75用の入力基
板73からの接地リード線80に接続され、継電器への
パワーを維持し、それによりソレノイド76を普通の作
動状態に維持する。増幅器135が出力を生じさせ4.
17アンペア以上の制御要求信号を示すと、継電器75
の接地側は接地され主ソレノイド77は開放状態になる
。 [0043] ソレノイド継電器75はまた、コネクタ71aのピン1
41への接続で通電され、通常閉じた接点アーム142
a及び継電器142の接点142bを介してトランジス
タ140のそれからの交互の接地路を確立する。接点1
42bは接地線80へのピン141及び141aを介し
てソレノイド継電器75に接続される。 継電器142は以下のようにローリミツトヘッド信号の
発生に応答してその接点を制御するように操作される。 [0044] IC基準増幅器143はIC基準増幅器135と共同し
て同じ基準信号源に接続された正の入力を有する。増幅
器143の付の入力は基板66及び65上のコネクタ7
1a及び71bのピン及びソケット144及び144b
に接続される。 基板65上のソケッ)144aはへラドセンサ増幅器1
03の出力に接続される。増幅器143はヘッド制御信
号を基準信号と比較する。ヘッド信号が4.17ミリア
ンペアを上回る場合には、増幅器143はオフに保たれ
る。ヘッドからの4.17以下の信号では、増幅器14
3は「オン」となり信号を信号時間遅延回路網145に
印加する。少しおいて、例えば2秒の後、時間遅延回路
網145は信号を発生し、それはIC増幅器146の正
の入力に印加され、増幅器を「オン」にする。増幅器1
46の出力信号はトランジスタ147をオンにし継電器
142を通電するように接続される。継電器142は接
地された第1の可動接点142aを有する二極継電器で
あり、接点142bは上述の通りである。第2の可動接
点1420又は継電器142は、通常、回路において低
リミット基準増幅器143の出力に直接接続されて制御
基板65上の閉じたトランジスタを附勢する接点142
dと係合する。このように、接点142dはレジスタ1
48と、高リミット継電器149の継電器接点149a
及び149bと直列になって、リミット基準増幅器14
3の出力に接続れ、これはダウントランジスタ120に
係合接点142c及び142d、及びソケット71a及
び71bのピン150及びソケッ)150aを介してフ
ィードバック信号を供給する。 [0045] タイミング回路網145の時間遅延期間の間、モータ2
6は下方で通電され、制御弁をしっかりと閉め、その後
、継電器142のスイッチ動作の結果ソレノイド弁への
接地回路を開放する役割を果たす。 [0046] 継電器142の交互の接点位置は継電器142の通電と
同時に第2の可動接点アーム142bにより係合された
接点を含む。第1の可動接点アーム142aはストリッ
プコネクタ71のピン及びソケット151及び151a
を接地するように接続された接点142eを係合するよ
うに通電される。制御基板65のソケット151aは、
ピン上のピン152及び基板65上のソケットコネクタ
153へのリード線を書いて接続される。ピン152は
ケーブル81、特に低リミットランプ36aの復帰側へ
接続された端子ピン152aを介して制御パネルに接続
され、これは好ましくは関連カラーデイスプレィを表示
し、好ましくは赤い光が低リミットを示すのが良い。パ
ネルでの24ボルト供給はLEDランプに接続される。 [0047] 継電器142は、継電器142が係合されると可動接点
142Cにより係合される通常開いた接点142fを有
する。接点142fは可動接点142aと共同してリー
ド線153aを介して接地され、従って附勢された状態
ではダウントランジスタ120をピン及びソケット15
0及び150aを介して接地する。これは調整が完全で
ない場合にも遮断での閉じ動作を制限する。 [0048] 基板66上の高リミット継電器149は接地された常開
リミットトップスイッチ154を含む制御線に接続され
る。スイッチ154は手動位置決めホイール27の通路
に配置された小さなマイクロスイッチである。スイッチ
154が閉じると、継電器149は24ボルト供給を通
じて通電され、継電器接点149aを開放し、それによ
り低リミット基準増幅器143の出力を接点142bか
ら除去し「ダウン」 トランジスタ120への上述の回
路を開放する。 [0049] 継電器149はまたリード線を介して窒素制御パネル(
図示せず)上のトップリミットランプ154aに接続さ
れた1組の常開接点149bを有する。かくて最大のメ
タノール流を示すスイッチ154の起動は両ガスパネル
に示される。 [00501 トップリミットスイッチ154はまた、コネクタ72b
及び72a上のピン155とソケット155aを直接接
地する。ソケッ)155aは基板65上の継電器131
の接地側に接続され、これはそれにより継電器のパワー
側への24ボルト接続の結果通電される。これは接点1
32aを反転させて「アップ」信号駆動線とトランジス
タ126及び127との間に接続された接点132bへ
の接続を開放して弁21を開ける。同時に、継電器13
1は制御基板65上のパワーストリップコネクタ164
のピン156に接続された接点132Cへの接続を完成
する。継電器131の可動接点132はダイオード15
7と直列にソレノイド継電器75の接地線80に接続さ
れる。接地接続が増幅器135を介して除去されると、
正のパワーが継電器線からダイオード157を通じて、
及び回路を通じて制御基板、特に「アップ」接点97ま
で生じる。ダイオード157及び接点132Cはリード
線を介して端子ピン156及び高リミットランプ36の
復帰側に接続された制御パネル30上の端子156aに
接続され、ランプ36はトップリミットスイッチ154
がピン及びソケット155及び155aでの接続を接地
すると「オン」となる。同時に、継電器131の復帰側
は接地され、これはパネル上の高リミットランプのター
ンオンで通電され、手動信号を含むその他の信号を開放
から効果的に制限し弁21の手動で閉めることのみ許容
する。 回路は継続要求信号検出装置を形成する基板66上の基
準増幅器160を含む。増幅器160の負の入力は基準
増幅器35の正の入力と共同して制御器入力に接続され
る。増幅器160の正の入力は低レベル入力信号に接続
される。増幅器160は、制御信号が分しベル0.15
0ボルト以上の場合はいつでもオンであり、それより低
い電圧ではオフである。トランジスタ161は増幅器1
60に接続され、増幅器からの信号の結果通常のあらゆ
る動作の下で導通している。トランジスタ161の出力
はコネクタ72のピン162及びソケット162aに接
続される。かくて、要求信号が喪失するかリード線が切
断されたなら、要求は必然的に消失し、増幅器160は
ローとなる。ソケッ)162aは、制御信号が信号の実
際の喪失を示すレベルまでなくなったことを示す。端子
162aは継電器134の接地側に接続されて継電器1
34をターンオンし、手動制御モードにする。端子16
2aはまた、ストリッツコネクタ164のピン163に
接続され、これはリード線によりパネルコネクタ81上
のピン163aに接続される。ピン163aは手動ラン
プ37の片側を接地し、その他方の側はコネクタ81の
ピン165に接続され、基板65のパルス源装置169
に接続される。パルス源又は回路169は容量逓降回路
網及びフィードバック回路を含み、パルス化された出力
とランプの通電を与える。「自動」の緑色のランプ37
aはまだオンになる。同時に通電される手動ランプ37
と緑色のランプ37aの組合せは操作者に対し、信号の
喪失があったこと、及び弁制御が必要な場合にアップ/
ダウン制御レバーの起動が必要であることを明瞭に知ら
せる。ランプ37は黄色のような特殊な色を有し、パル
ス化された通電はその状態での操作者に対し閃光色信号
を供給する。かくて、制御ループの開口部は弁を最後の
フロー位置に維持し、動作に適当な信号を与えつつ手動
制御を挿入する。 [0051] 基板65上のケーブルヘッド連続感知装置170は、ヘ
ッドリード線80の正の側又はリード線に共同して接続
された反対の極の入力を有する1対の増幅器171及び
172を有する。増幅器171及び172への反対の組
の入力はそれぞれ別々の基準信号回路173及び174
に接続される。ヘッドケーブル4のいずれの線を遮断し
ても、それぞれの正及び負の入力での信号損失となり、
それにより増幅器171及び172のいずれかを完全に
オンに駆動し、それによりトランジスタ168を駆動し
、このトランジスタは共同して手動制御リード線に接続
されてヘッドケーブルからの信号の損失の際に継電器1
34を附勢し、さらに装置を自動状態から手動状態に設
定する。トランジスタ168はまた端子ピン163に接
続され、ランプ37の対応する閃光通電を生じさせる。 [0052] 二極双投スイッチ91は、制御パネルからの線を介して
制御回路基板66に接続された第1及び第2の手動接点
92を含む。第1の「手動」接点92aはコネクタ83
のストリップコネクタピン177及び基板65上のコネ
クタ153のピン177aを介してトランジスタ116
のベースに接続され、このトランジスタは高速窓駆動を
制御する。トランジスタ116のベースを正に接地する
ことにより、トランジスタ116のターンオンが防止さ
れ、かくて装置は低速モータモードに固定される。 [0053] 第2の「手動」接点92bは接続ストリップ82及び1
64の信号パネル端子ピン163及び163aを接地す
る。端子ピン163は継電器24ボルト供給から通電し
、その二極接点を示された実線自動位置から交互の手動
位置に移す。 [0054] 手動スイッチ91を介した、もしくはヘッド信号モニタ
ー装置170間は制御信号モニター160からの継電器
134の起動は、自動制御を遮断し、アップ/ダウン方
向性制御レバー33及び制御パネル30上のスイッチ装
置95からの信号を必要とする。 [0055] スイッチ95の接点97はコネクタ82及び164端子
178及び178aを介して継電器装置134の接点に
接続され、詩に接点132cに接続される。手動モード
位置で起動された常閉接点132Cはスイッチ134の
接点134dに接続される。接点134dはそれにより
コネクタ72a及び72bのソケット87a及びピン8
7に接続される。方向スイッチ95の接地信号はそれに
よりパルス源83のピン84に印加され、源をオフに保
つ。モータ26は遮断される。 [0056] アップ/ダウンスイッチ95を下方位置に置き、接地可
動接点96を空き接点に置き、接地接続を接点132C
から引き離し、ソースピン84はそれによりモータの通
電を弁21を閉じるようにする。 [0057] 弁21を開けるには、レバー33は接点98を接地する
よう動かされ、接地を接点97から、それによりソース
83のピン84から除去し、モータ26を通電する。「
アップ」の位置では、「アップ」接点98が制御基板3
0から端子ストリップ82及び153のピン179及び
179aを介して継電器131の接点132aに直接接
地をし、継電器134の起動された位置では、継電器1
34の通常開いた継電器接点134Cである。継電器の
起動された位置では、コネクタ72aのソケット85a
及びコネクタ72bのピン87は接地され、パルス源8
3のピン86を接地しパルス列、それによりモータ26
の回転を逆にする。モータはここでモータ26が弁21
を開くように動作する。 [0058] ホイール27による弁装置の正確な位置決めはモータ連
結素子の非回転動作に依存する。モータ26は複数の巻
線を同時に通電することにより発電制動される。常開ス
イッチ180(図5及び図6)はソース83の1対のピ
ン181及び181aと1つの端子ピン181への負の
供給の選択的印加及び除去のための負の供給接続ケーブ
ル79aとの間に接続される。スイッチ180はカバー
39を起動するためにハウジング25中に取りつけられ
た小さなマイクロスイッチである。カバー39でスイッ
チ180は開かれ、端子ピンにパルスを発生させるよう
に起動され、モータは動態的に位置決めされる。カバー
39が所定位置にあると、スイッチ180は閉じられ、
ソース83はモータ26を逆に駆動する状態にされる。 手動では、モータの自動信号が防止される。第2スイッ
チ182はカバー39に連結され、同じカバー操作スイ
ッチ108(図39図51図6)により起動されること
が示される。スイッチ182は通常は開放スイッチであ
り、ピン84と基板66上のコネクタ72bの入力信号
ピン84との間に直列接続される。カバー39が所定位
置にあるとスイッチ182は閉じられ、自動プログラム
制御又はその代わりにレバー33により与えられる手動
制御を許容する。 [0059] セットポイントモニターは弁位置決め親装置に組み込ま
れ、選択されたセットポイント弁位置における弁装置の
位置決めを連続表示する。図2から図6では、セットポ
イントランプ184はパネル30に取り付けられる。 [00601 ランプ184は、好ましくは2色フィラメントランプで
あり、並列に直流電源に反対の極で接続された1対のL
EDデイスプレィダイオード185及び185aを含む
。ダイオード185は第1の有極供給に応答して緑色の
デイスプレィを生じさせ、ダイオード185aは交互の
反対の有極供給に応答して赤いデイスプレィを生じさせ
る。二極双投継電器186は低電圧供給及び大地にそれ
ぞれ接続された可動の接点186aを有する。接点は第
1の有極パワー並列ダイオード185に供給するように
接続された第1の固定接点186b、及び有極パワーを
逆にする第2固定接点186Cと選択的に係合する。 [0061] ランプ継電器巻線187は回路中で比較器増幅器109
及び110の出力に接続かれ、この増幅器はそれぞれ開
放弁信号及び閉じる弁信号を生成する。弁及びセットポ
イントでのフローで増幅器109及び110の出力は低
いか、もしくは効果的にオフとなる。実際の適用では、
装置は信号差動がセットポイントの2パーセントかそれ
以下の場合には零出力を与えるようになっている。 [0062] 増幅器109及び110の出力は分離ダイオード188
及び188aを通じてセットポイント状態線189に接
続される。いずれかの増幅器が駆動出力信号を生成する
と、関連信号が関連するダイオードを通じて状態信号線
189に生成される。継電器装置190は状態線に接点
190aを含み、手動制御下で回路をディスエーブルす
る。かくて、装置190の継電器の巻線190bは入力
車子163aへの接続を介して手動継電器134に接地
される。これは、手動制御下ではセットポイントが操作
者により直接設定されるため、必要である。 [0063] 適当な電子タイマーのような時間遅延装置191は継電
器接点190aの状態線下流に接続される。装置189
は状態信号の伝送を選択された期間だけ遅延しその間弁
装置はプログラム要求信号と流量信号の間のいずれかの
偏移に応答して要求セットポイントまで駆動さるべきで
ある。典型的には、5秒の期間が選択された。 [0064] セットポイントが到達されない場合には、時間遅延装置
は時間切れとなり、状態信号を状態線189を介して移
送し、ランプ184をセットポイントデイスプレィ色か
ら警告色へ切換える。 [0065] 装置191は低電圧供給に接続された抵抗コンデンサタ
イミング回路網192を含む。トランジスタ193は回
路網192の入力に接続され、通常検回路網をスタンド
バイの状態に保つために導電性である。トランジスタ1
94はその入力を状態信号線189に接続させ、その出
力を状態線189からの信号に応答してトランジスタ1
93をオフにするように接続されており、これによりタ
イミング周期が開始される。 [0066] タイミング回路網191の出力はトランジスタ付駆動回
路195を通ってトランジスタ196をオンにするよう
に接続され、このトランジスタは継電器巻線187の接
地側に接続され、それによりセットポイント継電器18
6を通電する。 かくて、タイミング回路網191が時間切れになった場
合は常に、継電器接点186aが「緑色」ダイオード1
85を遮断し「赤色」ダイオード185aを通電する作
動する。ランプ184がセットポイントのミスを表示す
る赤の場合は、操作者は弁装置が感知又は制御回路中の
何らかの故障により適切に調節されなかったということ
を即座に了解する。操作者は必要な補正をするために装
置に必要な注意を直ちに向けることができる。例えば、
開示されたようなフロート動作の流量計では、フロート
構造中に入った泥やその他の異物はフロート14に固着
する。フロート14は所与の位置で詰まり、制御装置に
誤った出力信号を送ることになる。制御はかくて、差動
に応じて弁を駆動して開けたり閉じたりするように信号
を受け、モータ26は読出を重大に変化させずに弁装置
を駆動し続ける。ここで示したモニターで、割当て時間
内にセットポイントに到達しないモータ26の連続駆動
は、操作者に対し直ちに、装置の異常動作を警告する。 操作者はそこで装置を手動位置にし、装置を適切にセッ
トし、そうすることで異常を突き止めることができる。 [0067] モータ付プログラム制御装置は、モータ及びその連結シ
ャフトの代わりに簡単な手動制御弁アクチュエータ19
7で置き換えることもできる。図7に示した好ましい構
成では、手動制御アクチュエータ197は手動位置決め
された螺合車夫と198で形成され、これはモータ駆動
制御を手動回転制御で直接代替するようにモータシャフ
ト57の径に対応するように機械製造された結合端19
9を有する。同じ弁棒装置50は手動又はモータ制御で
直接用いられる。 [0068] とりわけ、手動制御アクチュエータ197は、モータ付
弁装置及びそのハウジングの直接置換として、弁本体又
は保持箱40の上端に固定されるようにされた取付はキ
ャップ200を含む。螺合シャフト部材198は、カッ
プ200の螺刻本体201を介して螺合され、シャフト
の回転はシャフトの線形動作をもたらす。シャフト19
8は、シャフトに固定された刻みのついた制御ノブ20
2を有する本体から上方に突出する。シャフト198の
延長は、前述の通り、図3に示される如く、モータシャ
フトの弁ステムへの相互接続に対応する離脱可能なセッ
トスクリュー57aを通じてステム本体51に直接連結
するように機械製造された端部である。202のノブを
回転することにより、シャフト198と弁ステム52の
線形位置が決定される。 [0069]
中を流れるガスや他の流体の流量を測定するためにフロ
ーライン2に接続された状態で示されている。 典型的には、本発明は硬化炉等に用いるガス流を測定す
るのに応用されてきた。 図示のような別個の流量計は、例えば、混合チャンバへ
の、及びそれから炉への窒素及びメタノールの所定の流
量を決定するために接続され、炉内での硬化用の気体を
適当なものとする。しかし、流量計1はガス媒体だけで
なく液体の監視にも容易に応用されうる。一般的に、流
量計1は流量計の下端に取り付けられた関連センサ装置
を内蔵している。センサ装置3は好ましくは、米国特許
第4.864.870号の教示及びその開示に従って構
成される。一般的に、センサ装置3はセンサ装置3の正
面に取り付けられたスケール装置5で直接視覚読み取り
を可能にするだけでなく、連結ケーブル4にアナログ信
号を生成する。ケーブル4にはまた、センサ装置3中に
取り付けられた光学感知システムの動作のための直流供
給が設けられている。出力信号は電気アナログ信号であ
り、これはプログラムされたフローを生じさせるための
プログラマ−のような、より詳細には後述する如く、流
量計1の反対側端に取付けられたモータ躯動制御器の制
御の如き制御装置6がらのコマンド信号と比較される。 かくて、先に挙げた出願に詳細に示されるようにケーブ
ル4はプログラマ−すなわち制御装置6、データロガ−
(図示せず)フローライン2中の流れの制御用に流量計
1の上端に固定された制御装置9に適当な方法で接続さ
れた信号線7及び7aを含む。 流量計1の基本構成は
ラルフ・ダブリュー・フローに対して1984年4月3
日に発行された米国特許第4,440.028号に詳細
に示され、本発明の譲受人に譲渡された。一般的に、図
1から図3に示すように、流量計1は流路10の反対側
に接続されたフローライン2を含む。制御装置9は流路
10の上部接続内のモータ付弁装置11を含み、そこを
流れるフロー及びそれによる流量を制御する。 [0009] 図示すれたセンサ装置3は外部ハウジング12を有し、
その管13は流量計1に整合し連結される。フロートロ
ッド14は管13を満たす適当なオイル中に配置され、
その上端は流路10中にあり、それにより流量計1中で
測定されるフローガスに連結される。ロッド14のの下
端に固定されたディスクインジケータ15は、センサ装
置3の正面に設けられた読出スケール5について視覚読
出ができるようにする。上記の題の出願中で詳細に展開
されたように、LEDライトパー18がセンサハウジン
グ12の一方に固定され、フォトトランジスタパー19
がハウジング12の他方に固定される。LEDライトパ
ー18は管12を通って伝達される光のバー又はビーム
が連続するようにする。フロートロッド14は光を干渉
し、フォトトランジスタパー19の通電を制御する。出
力は正確なアナログ電流信号として、管中の指示ディス
クとフロートロッド14の位置に直接均衡して、すなわ
ち流量計中の現実の流量に従って設けられる。典型的に
、出力電流はセンサディスク15の全移動につき4〜2
0ミリアンペアだけ異なる。信号は遮断信号として信号
線7及び7aを介して伝送される。 [0010] 本発明は勿論、モータ付弁装置11の駆動制御に接続さ
れる電気信号に適当な電気又は信号変換を行ういかなる
流量計にも組み込むことが可能であり、それは特に本発
明の教示に従って構成される。 [0011] 特に図1〜図3を参照するに、図示のモータ付弁装置1
1は流量計の上端中に設けられた流量制御弁21を含む
。弁21は流量計を通る軸方向の流路10と流量計のフ
ローラインコネクタ22との間に位置する。 [0012] とりわけ、流量計はその中を通る軸方向の流路10を有
する伸長形のハウジング又は本体23を含む。入口ガス
ライン2がハウジング23の一端で接続され、図1から
図3に示されるように、出口ガスライン2はハウジング
23の他端及び上端で接続される。流量計ハウジング2
3の上端はその中に螺合開口部24を有する平坦な壁の
構造で形成される。この構造はこの様式及び構成で永年
製造されてきており、外部制御ノブを有する手動調整弁
を備えている。弁は従来型のフラット弁シート装置であ
る。もしくはこれに代えて、制御されない装置ではキャ
ップ及びガスケットが開口部を閉じる。一般的に、弁構
造及び協働流量計がメタノール等の危険な物質に用いら
れる場合には、種々の部品はそのような物質の漏れを防
止するために適当なガスケットを含む流体密接合で固定
される。 図示された実施例によると、流量制御装置9は上部壁構
造に直接に取付けられ弁装置11及び特にハウジング中
に配置された弁21を含む。弁21は開口部24に螺合
し、内部流路をシールし、ライン2への出力接続と整合
する出口が設けられる。弁装置11は流量計から上方に
制御ハウジング25へ突出する。ステッパモータ26は
ハウジング25の下端中に取付けられ、弁装置11を位
置するために直接連結される。小さなホイールとして示
された手動モータ操作部27は弁装置11の選択的な手
動位置決め用モータ26に連結される。電子制御モジュ
ール28は概して、モータ26及び調整ホイール27の
直上のハウジング25中に取外し可能に固定された適当
な回路基板を含む。制御モジュール28はモータを適当
に駆動すために図5及び図6に示されるようなモータ回
路に相互接続される。パワー及び信号ケーブル29はハ
ウジング25の側面に連結され、プログラム制御器6及
び流量計センサ装置3の出カケープル4がモータ制御の
ためにモータ26を有する回路と相互接続されるように
する。選択制御装置30は回路基板構造に接続され、適
当な動作装置と指示装置が正面ハウジング壁の最上端の
パネルに設けられる。図示された実施例では、枢支され
たレバー又はアームとして示された自動/手動選択アク
チュエータ入力装置31が壁に取付けられ、以下により
詳細に示すように、手動モードでの、もしくはセンサ装
置3の出力に応答した自動モードでの操作のためにモー
タ26を設定するのに適当なスイッチ装置を起動する。 手動モードでは、レバー又はアームとして示された駆動
制御アクチュエ−タ32が、自動制御を可能にする中間
位置33と、弁21を開けるためモータ26を通電する
上部位置34と、弁21を閉じるためにモータ26を通
電する下方位置35との間で動作可能なようにハウジン
グ25の正面に取り付けられる。 さらに、ハイリミットランプ36とローリミツトランプ
36aがパネルに取付けられ、それぞれのリミットに流
量が達すると直接出力できるようにする。ランプ37及
び37aは部材31の手動及び自動設定を識別するため
にアクチュエータ31に隣接して設けられる。これら同
じランプ36.36a、37.37aは以下に詳細に示
す通り、他の状態を示すのにも用いられる。 ハウジング25は制御装置30のパネルの直下の正面壁
に開口部38を有する。カバー39は開口部38を取外
し可能に閉じるためにハウジングに取外し可能に固定さ
れ、ホイール27、モジュール28及び以下に示すよう
な他の構成要素を含む内蔵部品にアクセスできるように
なっている。 [0013] 本発明は特に、モータ付制御弁21の構成とモータ26
用の制御駆動装置に係る。他の構成要素は上述の譲受人
の先願の流量計に従って構成されるのが好ましい。弁及
びその制御は、本発明の図示された実施例の構造及び機
能を完全かつ明確に理解するのに必要な参照とともに、
他の構成要素とともに詳細に説明する。 特に図2及び図3を参照するに、モータ付弁装置11及
び特に弁21は、流量計本体即ちハウジング23の上端
中に固定されたオフセット部分を有する弁本体40を含
む。本発明の図示された実施例では、弁本体40は流量
計本体23中螺刻開口部24に螺合し、ガスケット41
がその間に固定される。弁本体は流量計流路10中への
中央開口部42を有する。弁オリフイス板43は何らか
の適当な方法で底部開口部に固定される。本発明の示さ
れた実施例では、接着剤44が弁本体40の内端とオリ
フィス板43のオフセット噛合部分の間に挟まれ、弁本
体にプレートを堅固に固定する。オリフィス板43は弁
本体へ向かって、特に弁本体の外部、即ち出口ラインコ
ネクタ22及びライン2への流体の放出のために円周上
に等間隔で離間した開口部46を有する拡大チャンバ4
5へ向かって内方に突出する。オリフィス板43は中央
オリフィス47を含む。オリフィス板の最内端面は、凹
部48を有する実質的に平らなプレート部材として形成
され、0リングシール49が凹部中に配置されそこから
取外し状態で外方に突出する。○リングシール49は流
量計の端壁構造の端面に対して密着し、流体の流路への
密接合をもたらし、それにより流量計を通るガス流はす
べてオリフィス板43を通るようにされ、特にオリフィ
ス47を通ってラインコネクタ22へ流れるようにされ
る。 [0014] 本発明の示された実施例によると、弁ステム装置50は
弁本体開口部42の外部ボア51a中に摺動可能に取付
けられた拡大ピストン51を有し、オリフィス47を通
って下方へ突出する特別に整形された弁ステム52を含
む。弁ステム装置50はオリフィス47中での正確な軸
方向の位置決めのために摺動可能に取付けられている。 [0015] オリフィス47はその最外面で円形のエツジ53で形成
されている。オリフィス47は図4の拡大図に最も明瞭
に示されるように、鋭い円形のエツジ53を有する丸い
定直径間口部壁で形成される。オリフィス47はがくて
弁ステム52に対して必然的にエツジフロー制御を画成
する。 [0016] 弁ステム52はオリフィス47を通って突出する固い部
材として示される。ステム52の表面はオリフィス47
のそれに対して反対のテーパがつけられている。かくて
、その直径には外端から内端にかけて漸進的な減少があ
り、ステム52がオリフィス中に移動すると、ステムは
エツジ53に対して閉じるようになり、ステム52がオ
リフィスから外方へ移動すると、逆にステムとオリフィ
スのエツジの間のフロー開口部は増大する。 [0017] 図2に示される如く、図示された閉じた弁の位置ではス
テム52はオリフィス板43を越えて相当に突出する延
長端を有する。オリフィス板43の内端は円形の凹部5
3aを含み、流量計流路10からオリフィス47までの
流路が遮断されないようにする。かくて、示された弁ス
テム52はオリフィス47の内方へ何倍も延びる。同じ
基本的ステム装置50は、やや異なったテーパ角を有す
るステムで形成され、同じオリフィス中に配置され、各
ステム装置はオリフィスを通る特定のSAEフローレン
ジを制御する。弁構造はかくて弁本体に別々に固定され
た弁フレートとモータ駆動シャフト57の延長に取外し
可能に接続された弁ステム装置で形成されるのが好まし
く、これにより、多くの産業上の応用等により要請され
る広範なフローに対して、基本的な流量計を提供するも
のである。 [0018] 一定直径オリフイス47が示されたが、オリフィスは図
4で想像線で示すように鋭いエツジ55から広がるテー
パで形成されてもよい。上述の如く、示された丸いオリ
フィスは低フローでのフローと弁ステム52の位置との
関係が大きいことを示したカミフローレンジ内でフロー
が大きくなると線形性は減少する。弁ステム52のそれ
と逆のテーパを有するテーパ付オリフィスを与えること
により、非線形性は最小にすることができる。非線形効
果を除去するための好ましい装置においては、プログラ
マブルな制御器が、弁ステムの位置を適当に変化させる
ことにより、かかる非線形性を補償するのに用いられる
。適当な制御装置は図5及び図6に示され、以下に詳細
に示す。 [0019] オリフィス板43及び弁ステム装置50は、異なったフ
ローについて弁21のフロー開口を変えられるように、
取外し可能に別々に設けられている。オリフィス板43
及びステム52はかくて以下に詳細に示すように、選択
されたフローレンジにおけるフローにつき結合的に設計
されている。 [0020] 弁ステム装置50は、オリフィス47中でのステム52
の軸方向及び線形の位置決めのためにステッパモータ2
6に連結される。モータ26は弁本体の上端に取付けら
れ、制御エンクロージャすなわちハウジング25中に配
置される。 [0021] ステム本体51は拡大図が示され、弁本体40のボア5
1aに概ね対応する直径を有し、ボア中で密接なすべり
ばめを有する。本体51は弁ステムと一体的に形成され
るように示され、その長さの中間に環状シーリング凹部
54を有する。 環状シール55は凹部中に配置され、開口部をシールす
るためにボア面と摺動可能に係合する。環状シール55
は好ましい構成では、流量計の内部に向かって開口する
凹部を画成するサイドリップ56を有するカップ状部材
として示される。 弁ステム本体51とボアとの間のインターフェイスを通
るガス漏れは凹部に入り予め圧力が加えられたリップ5
6を維持し、ステムの摩擦力負荷を比較的低くしつつ、
ボアとステム本体との間のシールを堅固に保つ。この構
造は測定さるべき流体等に応じて、自動注油式の材料で
形成される。 [0022] モータ26のモータ駆動シャフト57はボア51aを通
って弁ステム本体51の外端の適当な開口部へ下方に延
在する。セットスクリュー57a又は他の適当なコネク
タが、組立体の同時の軸方向の位置決めのために、弁本
体をシャフト57に堅固に固定する。 [0023] 周環するモータのカラー58は弁本体40の最上端に螺
合され、平坦な面を画成する。ボアのそれよりも若干大
きく弁本体の他の径より小さい中央開口部を有するベー
スプレート59がボルトで締められるか、そうでなけれ
ば円形カラー58に固定されてモータ取付プレート61
を載置する。位置決めリング62はプレート61の下側
から下方へ弁本体40に同軸的に突出する。小さな本体
ハブ63は位置決めカラー58と噛合するように精密に
機械製造される。リング62はシャフト57に対してリ
ング62を正確に配置するために軸受はハウジング62
aに圧入されるか、もしくは堅固に固定され、それによ
り弁ボア51a及び弁ステム装置50に対し正確に配置
される。これは軸64をシャフト57、弁ステム52及
びオリフィスエツジ53と一致させる。 [0024] モータ26は所望の精度を提供する適当又は所望の構成
のステッパモータである。モータ26はモータ駆動シャ
フト57において回転−線形動作で示される。 バースト・マニュファクチュアリングは、S、A、E、
レンジ10〜2400のガス流をモニターしたモデル
ハース)No、 4104.003のモータを有する
。回転−線形動作装置は回転ギアに連結された螺合シャ
フト部分を有し、これによりシャフトが回転に対して固
定されたままで線形のシャフト動作が生まれる。ハンド
ホイール27はセットスクリュー58によりシャフト5
7に固定された状態で示されており、エツジスロット5
8を有する。カバー39上の垂直プレート59スロツト
58と噛合し、それによりシャフトの回転を防止する。 モータの回転はシャフトをシャフト軸の線形方向に動か
す。モータ26が遮断され回転出力が固定されると、ホ
イール27とシャフト57の物理的回転はシャフトをそ
の軸上に動かす。モータ26は図7に示される如くモー
タがオフになると、発電制動される。 [0025] モータ26は制御ハウジング25中に包まれている。制
御回路基板65及びメインパワー回路基板66はハウジ
ングにおいてホイール27の上に取外し可能に固定され
ている。ハウジング25はアクセス口38を有する。回
路基板は、マルチピンコネクタ67がモータケーブル6
8と基板66を取外し可能に接続した状態で制御箱の中
に納められる。主人力/出カケ−プル29は回路基板6
5の上のハウジングの側に固定され、モータ26、手動
制御、センサー装置3、処理制御器、データロガ−その
他を接続するコネクタ68(図5及び図6)により、回
路基板及び制御素子に相互接続される。センサ及び制御
箱からのケーブルは好ましくは端子基板70に接続され
、パワーは115ボルトからの主オン/オフソレノイド
への供給であり、ステッパモータ26及び制御装置(図
5及び図6)への低電圧DC供給(24ボルト)にパワ
ーを与える。 [0026] ハウジング25の上端はLEDやその他の装置に直接ア
クセスできるようにアクセス壁71を有し、組立体は2
つの別々のケーブル接続のみを必要とする一体化された
パッケージである。 [0027] 非保持器及びオリフィス構造の組合せ、及びテーパーの
付けられた弁ステム装置は4つの基本的な保持器の構造
で設計されており、それぞれは各フローレンジにつき適
当なオリフィス板を有する。各レンジ中に、弁ステム装
置が幾分具なった角度で形成される。第1のレンジはS
、 A、 E、フロー10〜18でオリフィス径は0.
375インチであり、弁ステムテーパ角はO’40’
〜4° 30′ の間にある。第4のレンジは、570
〜3400の間にある6つのS、A、E、フローを含み
、オリフィス径は1.43フインチであり、弁ステム本
体はフロー関連径1.500インチであり、弁ステムテ
ーパ角は7° 45′ から32° 30′の間にある
。弁ステムは、最小の背圧で完全なフローを実現するた
め、延長位置からオリフィスを通ってオリフィスから上
方に動く。全延長移動は弁中の背圧効果を補償する。弁
ステムはオリフィス深度約8分の3インチで1インチと
いったような完全に選択された移動を有する。 [0028] 図5及び図6はケーブル68を解してモータに連結され
たモータ回路基板66を含む制御実施例の回路図である
。モータ回路基板66は、基板65及び66上に噛合部
分71a及び71bを有する第1端子接続71により制
御回路基板に接続される。第2の端子接続72は駆動出
力及びインターロック回路をモータ基板66に接続し、
噛合端子部分72aと基板65及び66を有する。コネ
クタの補助ピン及びソケットは対応する番号を与えられ
、1つは文字により区別される。 ヘッド及び制御器からの24ボルト供給及び信号は端子
基板74を有する入力供給回路基板73に接続される。 基板73上のインターロック継電器75は24ボルトの
制御パワーの印加と、関連する大地インターロックに応
答して接点76を制御する。接点76は測定ガスにつき
フローライン中での主ソレノイド77を制御する。 [0029] メータヘッド3と制御器6からの信号はケーブル29に
より基板73に、ケーブル78により制御基板65に接
続される。24ボルト供給は基板73がら別のケーブル
79及び79aにより基板65及び基板66に接続され
る。各ケーブル79及び79aは2つの回路間でのフィ
ードバックを避けるために、コンデンサ79b及び79
cによりそれぞれ別々に大地まで分流される。24ボル
ト供給に接続された数個の継電器及びその他の素子は説
明を明瞭とするために記号により表される。ケーブル7
8における継電器インターロック線80はインターロッ
ク継電器75を基板65を介して大地に接続する。手動
制御装置用のインターロッキングとパネル30−の相関
デイスプレィは相互接続されている。端子装置82と基
板65の間のケーブル81は、数個のインジケーターを
生かすためのパワーとインターロック信号を受信し、以
下に示すように、操作の自動状態又はモードと手動状態
又はモードの間に一定の相間自動スイッチングをもたら
す。 [0030] ユニ文駆動 モータ基板66はモータ26にパルスを与える供給ソー
ス83を含む。ソース83回路は、モータを時計回り又
は反時計回りに駆動するためにモータ26にパルス信号
出力を与えるようにされた内部パルス発生器(図示せず
)を含む。ソース83は大地を入力制御ピンから引き離
すことにより起動される。ピン接地は、コネクタ72b
でピン85に、ソケットコネクタ72aでソケット85
aに共通相互接続を有する相互接続リード線により行わ
れる。方向制御はソース83のピン86での接地信号を
生じさせることにより確立される。ピン86はピンコネ
クタ72bでピン87、コネクタ72aでソケット87
aを有するリード線を介してモータ基板65及び回路制
御基板65上でそれぞれ接続される。モータ26は高速
及び低速で表される2つの異なったステップ速度で操作
されるようになっている。R−C回路網88及び89は
継電器90の接点を介してソース83の入力に接続され
る。レジスタ及びコンデンサ回路網88はモータ26に
比較的遅い速度のパルス列を与える。継電器90の通電
により交番抵抗及びコンデンサ回路網89へ入力が切り
換えられ、これにより集積回路源83により生成された
パルス列速度が増大し、ステッパモータ26のステップ
速度を増大させる。 [0031] 自 手 モード選択 図6のデイスプレィパネル基板30に示される如く、手
動/自動選択スイッチ91は、自動位置を有し自動操作
の状態で基板65を配置する二極双投装置である。LE
Dとして示されるランプ37aは自動スイッチ接点91
aを通じて回路中で接続され、自動状態を示す緑色のよ
うな特定の色でオンされる。手動スイッチ位置(想像線
で示される)では、接点92a及び92bは可動接点9
3により接地され、相互接続ケーブルS1のリード線を
通じて基板65に相互接続され、自動応答をディスエー
ブルし、単極三役位置スイッチで示された手動方向スイ
ッチ95を回路に接続する。スイッチ85の可動接地接
点96はバネ97aによりバネでロードされて接点97
と係合し、自動制御装置にインターロックされるリード
線に接続される。接点96は反対側に移動可能で、「ア
ップ」又は「ダウン」接点98又は99と係合する。 [0032] 弁え上0皇動赳囃 モータ26は次にセンサヘッド3及び制御器6から受信
した相対信号に従って駆動される。信号は所望の流速に
比例した最小信号及び最大信号を供給する;これは4〜
20ミリアンペアの間にある実際の環境から選択される
。20ミリアンペア信号は要求に応じて又は実際のフロ
ーに従って、最大の流速信号を生成し、4ミリアンペア
信号が最小流速の指標である。信号は分離され、図示の
如く1対のリード線100及び101を介して基板73
から印加される。 [0033] 基板65の比較器装置102はヘッドのリード線100
及び制御器のリード線101からの相対的レベルの信号
を比較する。比較器装置102は第1の増幅器103と
第2の増幅器104で示される。増幅器103及び10
4の出力は1対の同様の増幅器105及び106に接続
されて比較回路を画成する。ヘッド増幅器103の出力
は1つの増幅器105の反転入力に、及び反対の増幅器
106の非反転入力に接続される。同様に、制御増幅器
104はその出力を第1比較増幅器105の非反転入力
と第2比較増幅器106の反転入力に接続される。増幅
器105又は106の正の入力でのより高い信号は、対
応する増幅器をオンにし、比較回路の反対増幅器をオフ
にする。増幅器106及び105はそれぞれフィードバ
ックレジスタ105a及び106aを有し、これらは比
較器の動作を「オフ」から「オン」への瞬時の遷移から
増幅器の入力の異なった信号に応じて出力電圧の漸次の
生成へと変化させる。従って、増幅器105と106の
うち1つのみがヘッド3及び制御器6からの相対信号レ
ベルに従って除々にオンされる。ヘッドに関連する比較
増幅器105は「オン」の時にモータ26を駆動して弁
21を開ける。逆に、制御器関連の増幅器106はモー
タ26を駆動して弁21を閉じる。 [0034] 増幅器106からの出力は増幅器110への電圧を除々
に生成し、増幅器106からの非反転入力での電圧が増
幅器110の反転入力での基準電圧よりも僅かに高くな
る時に後者を作動させる。(図では可調整電位差計11
1を含む)低窓基準はセットポイント付近での信号レベ
ルを変えてモータ動作のセットポイント及び不感帯の精
度を決定する。高窓増幅器112及び113は同様であ
り基準回路114の調整は低速から高速モータ作動への
高速変換の操作の窓の幅を決定する。 [0035] 同様の動作が、増幅器103からのヘッド信号のレベル
が制御器からの制御信号よりも太きいか高い場合に生じ
る。 [0036] 増幅器105及び106は低窓回路107及び高窓回路
108に接続される。 回路107は増幅器105及び106に接続されその入
力が共通に接続され、レンジ制御バイアス回路111と
しての可調整電位差計回路に接続された出力増幅器10
9及び110を含む。 窓107の回路は全レンジの5%以内異なる2つの信号
間での作動で動作する。窓回路108は動作可能で増幅
器112及び113を含み、1つの入力は増幅器105
及び106に接続され、第2の共通入力は基準ソース1
14に接続される。出力は高速でモータを作動させる。 信号差動が信号レベルにおける全最大作動の5%又はそ
れ以上である場合には増幅器112又は113は共通接
続での出力信号を生じさせる。分離ダイオード115は
2つの増幅器出力を分離する。出力はトランジスタ11
6を「オン」に駆動するように接続され、それはソケッ
トコネクタ72aの接地ソケット117を接地し、それ
によりモータ基板66でのビンコネクタ7272bのピ
ン117aに接続される。ビンコネクタ117aは継電
器90を接地して附勢し、接点118は低速回路網88
を切断し、接点119は高速回路網99を接続する。 [0037] 制御信号がメータのヘッド信号よりも小さいと、増幅器
110は「オン」となり、トランジスタ120の入力に
直接接続され、トランジスタは「オン」となってイネー
ブルトランジスタ121を接地するために近似信号を供
給する。トランジスタ121はレジスタ122を介して
24ボルトバスに接続されたベースを有し、通常は導電
性であり、接地されると阻止され、それによりその出力
から大地を引き離す。トランジスタ121の出力は手動
/自動継電器134の接点134bを介して端子コネク
タ72aのソケット85a及びモータ回路基板コネクタ
72bのピン85に接続され、イネーブルピン84を介
してソース83を選択的に接地し解放する。イネーブル
トランジスタ121のターンオフはピン84から大地を
引き離し、ソース83は起動され通常の低速でパルスモ
ータ26へ1列のパルス信号を伝送する。 [0038] モータ26は、ヘッドと制御信号の差動が全ての可能な
差の5%より大きくならない限り、ゆっくりと弁21を
閉じる。後者の場合には、継電器90は通電され、モー
タ26を駆動して弁21を閉じる。弁21が閉まると、
信号の差動は減少し、それが5%より下がると、トラン
ジスタ116は導電性の増幅器112又は113のター
ン「オフ」の結果ターンオフとなり、継電器90は遮断
されその接点をリセットし接点118を閉じ、さらに低
速回路網88を挿入し、それにより、弁が所望の設定に
接近移動するにつれ、低いモータ速度に自動的に回帰す
る制御信号がヘッド信号よりも大きい場合には、弁21
は開く。 [0039] 弁開口部増幅器109は、トランジスタ126を1オン
」に駆動すると同時に方向性トランジスタ127を「オ
ン」にするように接続され、以下のようにモータ26を
動作させて弁を開ける。増幅器109とトランジスタ1
26及び127間の回路接続用の回路は基板66上にイ
ンターロック継電器128を含む。継電器128は、制
御器6からの信号が最小レベルを下回る場合、及び概ね
最小レベルより僅かに高いレベルを下回る場合には、弁
が開かないようにする。通常、開放接点128aは増幅
器109の出力接続に直列に接続される。制御基板65
を参照するに、増幅器109の出力はストリップコネク
タ72aのソケ・ノド129に接続され、またコネクタ
72bの補助ピン129aを介して継電器接点128a
の可動接点に接続される。継電器接点128aの反対側
はコネクタ72bのピン130及びコネクタ72aのソ
ケット130aに接続される。ソケット130aは、二
極双投スイッチ131の常閉接点132aに接続される
。常閉接点132aは係合された可動接点132bによ
りトランジスタ126及び127に直接接続され、適当
な回転でモータ26を通電した状態にする。二極双投継
電器131の第2の接点132cは、以下に示す手動制
御用の「アップ」駆動リード線に直接接続される。反対
の接点132bはトランジスタ126及び127のベー
スに共同して接続される。継電器131が通常の図示さ
れた位置にあると、両トランジスタ126及び127は
通電される。トランジスタ126の出力はイネーブルト
ランジスタ121を「オフ」にするように接続され、そ
れにより信号をコネクタ72a及び72のソケット85
a及びピン85を介して、上述のように「ダウン」又は
閉じた制御トランジスタ120によりトランジスタ12
1をターンオンしたのと同じ方法で、ソース83の駆動
入力ピン84に供給する。同時に、トランジスタ127
は通電され、コネクタ72a及び72bの端子ソケット
87a及びピン87aを介して接地信号を、パルス列を
反転しモータの方向を反転させる基板66上のパルス源
83の方向性制御ピン又は入力86に供給する。 [0040] トランジスタ121及び127はまた、実線の自動位置
と交互の想像線の手動位置を有する手動/自動継電器1
34を通って回路に接続される。継電器134はトラン
ジスタ127及び121の出力にそれぞれ接続された固
定接点134a及び134bを有する二極双投装置であ
る。継電器接点134C及び134dは手動モードにお
けるモータのアップ・ダウン通電用の入力となる。 [0041] インターロック継電器128は、設定低次限界より低い
制御器を開放接点128aを有し、モータをアップ駆動
して弁を開くように通電されなければならず、制御器が
限界より上に設定されたときにのみそれを行う。継電器
128は基板66上の基準増幅器135を介して制御器
6からの信号を感知することにより制御され、それは4
ミリアンペアの最小要求レベルより上、好ましくは僅か
に上回って4.17ミリアンペアなどがよい。比較基準
増幅器135は基板64上の基準電圧回路136に、特
にコネクタ71a及び71bのピン137及びソケット
137aを通じて接続された第1の負の入力を有する。 増幅器135への第2の正の入力はコネクタ71a及び
71bのピン138及びソケット138aを介して基板
65上の制御増幅器の出力に接続される。IC増幅器1
35の出力は4゜17ミリアンペア及びそれ以上で駆動
された4、17ミリアンペア以下の制御信号で駆動「オ
フ」される。IC増幅器135の出力はトランジスタ1
39を駆動するように接続され、その出力は継電器12
8の接地側に接続される。信号が417ミリアンペア又
はそれ以上である場合には、増幅器はオン駆動され、ト
ランジスタ139は導通し、継電器128は通電され、
接点128aは閉じ、自動制御回路をイネーブルする。 制御器6からの信号が4.17ミリアンペアを下回る場
合には、増幅器135は制御回路の完成を防止しつつ駆
動オフされ、弁21を開ける。増幅器135の出力はま
た基板65及び66にあるコネクタ71a及び71bの
端子ピン141及びソケッ)141aにそれぞれ接続さ
れた線を接地するように接続された基板66上のトラン
ジスタ140を制御するように接続される。同じ線がま
た、通常閉じた接点を有しローリミツトランプをターン
オンする基板66又は継電器142の継電器接点142
aに接続される。 [0042] ソケット141aは、ソレノイド継電器75用の入力基
板73からの接地リード線80に接続され、継電器への
パワーを維持し、それによりソレノイド76を普通の作
動状態に維持する。増幅器135が出力を生じさせ4.
17アンペア以上の制御要求信号を示すと、継電器75
の接地側は接地され主ソレノイド77は開放状態になる
。 [0043] ソレノイド継電器75はまた、コネクタ71aのピン1
41への接続で通電され、通常閉じた接点アーム142
a及び継電器142の接点142bを介してトランジス
タ140のそれからの交互の接地路を確立する。接点1
42bは接地線80へのピン141及び141aを介し
てソレノイド継電器75に接続される。 継電器142は以下のようにローリミツトヘッド信号の
発生に応答してその接点を制御するように操作される。 [0044] IC基準増幅器143はIC基準増幅器135と共同し
て同じ基準信号源に接続された正の入力を有する。増幅
器143の付の入力は基板66及び65上のコネクタ7
1a及び71bのピン及びソケット144及び144b
に接続される。 基板65上のソケッ)144aはへラドセンサ増幅器1
03の出力に接続される。増幅器143はヘッド制御信
号を基準信号と比較する。ヘッド信号が4.17ミリア
ンペアを上回る場合には、増幅器143はオフに保たれ
る。ヘッドからの4.17以下の信号では、増幅器14
3は「オン」となり信号を信号時間遅延回路網145に
印加する。少しおいて、例えば2秒の後、時間遅延回路
網145は信号を発生し、それはIC増幅器146の正
の入力に印加され、増幅器を「オン」にする。増幅器1
46の出力信号はトランジスタ147をオンにし継電器
142を通電するように接続される。継電器142は接
地された第1の可動接点142aを有する二極継電器で
あり、接点142bは上述の通りである。第2の可動接
点1420又は継電器142は、通常、回路において低
リミット基準増幅器143の出力に直接接続されて制御
基板65上の閉じたトランジスタを附勢する接点142
dと係合する。このように、接点142dはレジスタ1
48と、高リミット継電器149の継電器接点149a
及び149bと直列になって、リミット基準増幅器14
3の出力に接続れ、これはダウントランジスタ120に
係合接点142c及び142d、及びソケット71a及
び71bのピン150及びソケッ)150aを介してフ
ィードバック信号を供給する。 [0045] タイミング回路網145の時間遅延期間の間、モータ2
6は下方で通電され、制御弁をしっかりと閉め、その後
、継電器142のスイッチ動作の結果ソレノイド弁への
接地回路を開放する役割を果たす。 [0046] 継電器142の交互の接点位置は継電器142の通電と
同時に第2の可動接点アーム142bにより係合された
接点を含む。第1の可動接点アーム142aはストリッ
プコネクタ71のピン及びソケット151及び151a
を接地するように接続された接点142eを係合するよ
うに通電される。制御基板65のソケット151aは、
ピン上のピン152及び基板65上のソケットコネクタ
153へのリード線を書いて接続される。ピン152は
ケーブル81、特に低リミットランプ36aの復帰側へ
接続された端子ピン152aを介して制御パネルに接続
され、これは好ましくは関連カラーデイスプレィを表示
し、好ましくは赤い光が低リミットを示すのが良い。パ
ネルでの24ボルト供給はLEDランプに接続される。 [0047] 継電器142は、継電器142が係合されると可動接点
142Cにより係合される通常開いた接点142fを有
する。接点142fは可動接点142aと共同してリー
ド線153aを介して接地され、従って附勢された状態
ではダウントランジスタ120をピン及びソケット15
0及び150aを介して接地する。これは調整が完全で
ない場合にも遮断での閉じ動作を制限する。 [0048] 基板66上の高リミット継電器149は接地された常開
リミットトップスイッチ154を含む制御線に接続され
る。スイッチ154は手動位置決めホイール27の通路
に配置された小さなマイクロスイッチである。スイッチ
154が閉じると、継電器149は24ボルト供給を通
じて通電され、継電器接点149aを開放し、それによ
り低リミット基準増幅器143の出力を接点142bか
ら除去し「ダウン」 トランジスタ120への上述の回
路を開放する。 [0049] 継電器149はまたリード線を介して窒素制御パネル(
図示せず)上のトップリミットランプ154aに接続さ
れた1組の常開接点149bを有する。かくて最大のメ
タノール流を示すスイッチ154の起動は両ガスパネル
に示される。 [00501 トップリミットスイッチ154はまた、コネクタ72b
及び72a上のピン155とソケット155aを直接接
地する。ソケッ)155aは基板65上の継電器131
の接地側に接続され、これはそれにより継電器のパワー
側への24ボルト接続の結果通電される。これは接点1
32aを反転させて「アップ」信号駆動線とトランジス
タ126及び127との間に接続された接点132bへ
の接続を開放して弁21を開ける。同時に、継電器13
1は制御基板65上のパワーストリップコネクタ164
のピン156に接続された接点132Cへの接続を完成
する。継電器131の可動接点132はダイオード15
7と直列にソレノイド継電器75の接地線80に接続さ
れる。接地接続が増幅器135を介して除去されると、
正のパワーが継電器線からダイオード157を通じて、
及び回路を通じて制御基板、特に「アップ」接点97ま
で生じる。ダイオード157及び接点132Cはリード
線を介して端子ピン156及び高リミットランプ36の
復帰側に接続された制御パネル30上の端子156aに
接続され、ランプ36はトップリミットスイッチ154
がピン及びソケット155及び155aでの接続を接地
すると「オン」となる。同時に、継電器131の復帰側
は接地され、これはパネル上の高リミットランプのター
ンオンで通電され、手動信号を含むその他の信号を開放
から効果的に制限し弁21の手動で閉めることのみ許容
する。 回路は継続要求信号検出装置を形成する基板66上の基
準増幅器160を含む。増幅器160の負の入力は基準
増幅器35の正の入力と共同して制御器入力に接続され
る。増幅器160の正の入力は低レベル入力信号に接続
される。増幅器160は、制御信号が分しベル0.15
0ボルト以上の場合はいつでもオンであり、それより低
い電圧ではオフである。トランジスタ161は増幅器1
60に接続され、増幅器からの信号の結果通常のあらゆ
る動作の下で導通している。トランジスタ161の出力
はコネクタ72のピン162及びソケット162aに接
続される。かくて、要求信号が喪失するかリード線が切
断されたなら、要求は必然的に消失し、増幅器160は
ローとなる。ソケッ)162aは、制御信号が信号の実
際の喪失を示すレベルまでなくなったことを示す。端子
162aは継電器134の接地側に接続されて継電器1
34をターンオンし、手動制御モードにする。端子16
2aはまた、ストリッツコネクタ164のピン163に
接続され、これはリード線によりパネルコネクタ81上
のピン163aに接続される。ピン163aは手動ラン
プ37の片側を接地し、その他方の側はコネクタ81の
ピン165に接続され、基板65のパルス源装置169
に接続される。パルス源又は回路169は容量逓降回路
網及びフィードバック回路を含み、パルス化された出力
とランプの通電を与える。「自動」の緑色のランプ37
aはまだオンになる。同時に通電される手動ランプ37
と緑色のランプ37aの組合せは操作者に対し、信号の
喪失があったこと、及び弁制御が必要な場合にアップ/
ダウン制御レバーの起動が必要であることを明瞭に知ら
せる。ランプ37は黄色のような特殊な色を有し、パル
ス化された通電はその状態での操作者に対し閃光色信号
を供給する。かくて、制御ループの開口部は弁を最後の
フロー位置に維持し、動作に適当な信号を与えつつ手動
制御を挿入する。 [0051] 基板65上のケーブルヘッド連続感知装置170は、ヘ
ッドリード線80の正の側又はリード線に共同して接続
された反対の極の入力を有する1対の増幅器171及び
172を有する。増幅器171及び172への反対の組
の入力はそれぞれ別々の基準信号回路173及び174
に接続される。ヘッドケーブル4のいずれの線を遮断し
ても、それぞれの正及び負の入力での信号損失となり、
それにより増幅器171及び172のいずれかを完全に
オンに駆動し、それによりトランジスタ168を駆動し
、このトランジスタは共同して手動制御リード線に接続
されてヘッドケーブルからの信号の損失の際に継電器1
34を附勢し、さらに装置を自動状態から手動状態に設
定する。トランジスタ168はまた端子ピン163に接
続され、ランプ37の対応する閃光通電を生じさせる。 [0052] 二極双投スイッチ91は、制御パネルからの線を介して
制御回路基板66に接続された第1及び第2の手動接点
92を含む。第1の「手動」接点92aはコネクタ83
のストリップコネクタピン177及び基板65上のコネ
クタ153のピン177aを介してトランジスタ116
のベースに接続され、このトランジスタは高速窓駆動を
制御する。トランジスタ116のベースを正に接地する
ことにより、トランジスタ116のターンオンが防止さ
れ、かくて装置は低速モータモードに固定される。 [0053] 第2の「手動」接点92bは接続ストリップ82及び1
64の信号パネル端子ピン163及び163aを接地す
る。端子ピン163は継電器24ボルト供給から通電し
、その二極接点を示された実線自動位置から交互の手動
位置に移す。 [0054] 手動スイッチ91を介した、もしくはヘッド信号モニタ
ー装置170間は制御信号モニター160からの継電器
134の起動は、自動制御を遮断し、アップ/ダウン方
向性制御レバー33及び制御パネル30上のスイッチ装
置95からの信号を必要とする。 [0055] スイッチ95の接点97はコネクタ82及び164端子
178及び178aを介して継電器装置134の接点に
接続され、詩に接点132cに接続される。手動モード
位置で起動された常閉接点132Cはスイッチ134の
接点134dに接続される。接点134dはそれにより
コネクタ72a及び72bのソケット87a及びピン8
7に接続される。方向スイッチ95の接地信号はそれに
よりパルス源83のピン84に印加され、源をオフに保
つ。モータ26は遮断される。 [0056] アップ/ダウンスイッチ95を下方位置に置き、接地可
動接点96を空き接点に置き、接地接続を接点132C
から引き離し、ソースピン84はそれによりモータの通
電を弁21を閉じるようにする。 [0057] 弁21を開けるには、レバー33は接点98を接地する
よう動かされ、接地を接点97から、それによりソース
83のピン84から除去し、モータ26を通電する。「
アップ」の位置では、「アップ」接点98が制御基板3
0から端子ストリップ82及び153のピン179及び
179aを介して継電器131の接点132aに直接接
地をし、継電器134の起動された位置では、継電器1
34の通常開いた継電器接点134Cである。継電器の
起動された位置では、コネクタ72aのソケット85a
及びコネクタ72bのピン87は接地され、パルス源8
3のピン86を接地しパルス列、それによりモータ26
の回転を逆にする。モータはここでモータ26が弁21
を開くように動作する。 [0058] ホイール27による弁装置の正確な位置決めはモータ連
結素子の非回転動作に依存する。モータ26は複数の巻
線を同時に通電することにより発電制動される。常開ス
イッチ180(図5及び図6)はソース83の1対のピ
ン181及び181aと1つの端子ピン181への負の
供給の選択的印加及び除去のための負の供給接続ケーブ
ル79aとの間に接続される。スイッチ180はカバー
39を起動するためにハウジング25中に取りつけられ
た小さなマイクロスイッチである。カバー39でスイッ
チ180は開かれ、端子ピンにパルスを発生させるよう
に起動され、モータは動態的に位置決めされる。カバー
39が所定位置にあると、スイッチ180は閉じられ、
ソース83はモータ26を逆に駆動する状態にされる。 手動では、モータの自動信号が防止される。第2スイッ
チ182はカバー39に連結され、同じカバー操作スイ
ッチ108(図39図51図6)により起動されること
が示される。スイッチ182は通常は開放スイッチであ
り、ピン84と基板66上のコネクタ72bの入力信号
ピン84との間に直列接続される。カバー39が所定位
置にあるとスイッチ182は閉じられ、自動プログラム
制御又はその代わりにレバー33により与えられる手動
制御を許容する。 [0059] セットポイントモニターは弁位置決め親装置に組み込ま
れ、選択されたセットポイント弁位置における弁装置の
位置決めを連続表示する。図2から図6では、セットポ
イントランプ184はパネル30に取り付けられる。 [00601 ランプ184は、好ましくは2色フィラメントランプで
あり、並列に直流電源に反対の極で接続された1対のL
EDデイスプレィダイオード185及び185aを含む
。ダイオード185は第1の有極供給に応答して緑色の
デイスプレィを生じさせ、ダイオード185aは交互の
反対の有極供給に応答して赤いデイスプレィを生じさせ
る。二極双投継電器186は低電圧供給及び大地にそれ
ぞれ接続された可動の接点186aを有する。接点は第
1の有極パワー並列ダイオード185に供給するように
接続された第1の固定接点186b、及び有極パワーを
逆にする第2固定接点186Cと選択的に係合する。 [0061] ランプ継電器巻線187は回路中で比較器増幅器109
及び110の出力に接続かれ、この増幅器はそれぞれ開
放弁信号及び閉じる弁信号を生成する。弁及びセットポ
イントでのフローで増幅器109及び110の出力は低
いか、もしくは効果的にオフとなる。実際の適用では、
装置は信号差動がセットポイントの2パーセントかそれ
以下の場合には零出力を与えるようになっている。 [0062] 増幅器109及び110の出力は分離ダイオード188
及び188aを通じてセットポイント状態線189に接
続される。いずれかの増幅器が駆動出力信号を生成する
と、関連信号が関連するダイオードを通じて状態信号線
189に生成される。継電器装置190は状態線に接点
190aを含み、手動制御下で回路をディスエーブルす
る。かくて、装置190の継電器の巻線190bは入力
車子163aへの接続を介して手動継電器134に接地
される。これは、手動制御下ではセットポイントが操作
者により直接設定されるため、必要である。 [0063] 適当な電子タイマーのような時間遅延装置191は継電
器接点190aの状態線下流に接続される。装置189
は状態信号の伝送を選択された期間だけ遅延しその間弁
装置はプログラム要求信号と流量信号の間のいずれかの
偏移に応答して要求セットポイントまで駆動さるべきで
ある。典型的には、5秒の期間が選択された。 [0064] セットポイントが到達されない場合には、時間遅延装置
は時間切れとなり、状態信号を状態線189を介して移
送し、ランプ184をセットポイントデイスプレィ色か
ら警告色へ切換える。 [0065] 装置191は低電圧供給に接続された抵抗コンデンサタ
イミング回路網192を含む。トランジスタ193は回
路網192の入力に接続され、通常検回路網をスタンド
バイの状態に保つために導電性である。トランジスタ1
94はその入力を状態信号線189に接続させ、その出
力を状態線189からの信号に応答してトランジスタ1
93をオフにするように接続されており、これによりタ
イミング周期が開始される。 [0066] タイミング回路網191の出力はトランジスタ付駆動回
路195を通ってトランジスタ196をオンにするよう
に接続され、このトランジスタは継電器巻線187の接
地側に接続され、それによりセットポイント継電器18
6を通電する。 かくて、タイミング回路網191が時間切れになった場
合は常に、継電器接点186aが「緑色」ダイオード1
85を遮断し「赤色」ダイオード185aを通電する作
動する。ランプ184がセットポイントのミスを表示す
る赤の場合は、操作者は弁装置が感知又は制御回路中の
何らかの故障により適切に調節されなかったということ
を即座に了解する。操作者は必要な補正をするために装
置に必要な注意を直ちに向けることができる。例えば、
開示されたようなフロート動作の流量計では、フロート
構造中に入った泥やその他の異物はフロート14に固着
する。フロート14は所与の位置で詰まり、制御装置に
誤った出力信号を送ることになる。制御はかくて、差動
に応じて弁を駆動して開けたり閉じたりするように信号
を受け、モータ26は読出を重大に変化させずに弁装置
を駆動し続ける。ここで示したモニターで、割当て時間
内にセットポイントに到達しないモータ26の連続駆動
は、操作者に対し直ちに、装置の異常動作を警告する。 操作者はそこで装置を手動位置にし、装置を適切にセッ
トし、そうすることで異常を突き止めることができる。 [0067] モータ付プログラム制御装置は、モータ及びその連結シ
ャフトの代わりに簡単な手動制御弁アクチュエータ19
7で置き換えることもできる。図7に示した好ましい構
成では、手動制御アクチュエータ197は手動位置決め
された螺合車夫と198で形成され、これはモータ駆動
制御を手動回転制御で直接代替するようにモータシャフ
ト57の径に対応するように機械製造された結合端19
9を有する。同じ弁棒装置50は手動又はモータ制御で
直接用いられる。 [0068] とりわけ、手動制御アクチュエータ197は、モータ付
弁装置及びそのハウジングの直接置換として、弁本体又
は保持箱40の上端に固定されるようにされた取付はキ
ャップ200を含む。螺合シャフト部材198は、カッ
プ200の螺刻本体201を介して螺合され、シャフト
の回転はシャフトの線形動作をもたらす。シャフト19
8は、シャフトに固定された刻みのついた制御ノブ20
2を有する本体から上方に突出する。シャフト198の
延長は、前述の通り、図3に示される如く、モータシャ
フトの弁ステムへの相互接続に対応する離脱可能なセッ
トスクリュー57aを通じてステム本体51に直接連結
するように機械製造された端部である。202のノブを
回転することにより、シャフト198と弁ステム52の
線形位置が決定される。 [0069]
本発明は高度に改良されたモータ付弁及び正確な弁配置
でのガス流の制御及び比較的重大な圧力及びフローレン
ジでのフローを正確に決定する弁制御を提供するもので
ある。弁構造は今日の機械技術で正確に形成することが
できる。低電圧駆動ステッパモータ、従来型のソリッド
ステート技術等を利用した装置は、厳しい環境での使用
に耐える装置の実用的で大量生産可能な構成を提供する
ものである。
でのガス流の制御及び比較的重大な圧力及びフローレン
ジでのフローを正確に決定する弁制御を提供するもので
ある。弁構造は今日の機械技術で正確に形成することが
できる。低電圧駆動ステッパモータ、従来型のソリッド
ステート技術等を利用した装置は、厳しい環境での使用
に耐える装置の実用的で大量生産可能な構成を提供する
ものである。
【図1】
本発明の教示に従って構成されるプログラムモータ付弁
装置を内蔵する制御流量計を組み込んだ、本発明の実施
例を示す流量測定装置を系統的に示したものである。
装置を内蔵する制御流量計を組み込んだ、本発明の実施
例を示す流量測定装置を系統的に示したものである。
【図2】
図1に示されたモータ付弁装置の拡大垂直断面である。
【図3】
図1及び図2に示された弁装置の分解図である。
【図4】
図2及び図3に示されたフロー弁装置の拡大部分図、
【
図5】 示された実施例に用いる制御回路図であり、モータ駆動
回路基板を示す。
図5】 示された実施例に用いる制御回路図であり、モータ駆動
回路基板を示す。
【図6】
示された実施例に用いる制御回路図であり、制御回路基
板を示す。
板を示す。
【図7】
図1〜図4に示された装置をさらに変形した場合を示す
。
。
1 流量計
2 フローライン
3 センサ装置
4 ケーブル
6 制御装置
10 流路
11 モータ付弁装置
14 ロッド
21 流量制御弁
23 流量計ハウジング
26 モータ
36.37 ランフ
40 弁本体
43 オリフィス板
47 オリフィス
52 弁ステム
57 シャフト
66 モータ回路基板
83 パルス源
90 継電器
図面
【図1】
【図2】
【図3】
【図6】
Claims (21)
- 【請求項1】 流量計は街流路の反対の端部の第1及び第2のフローラ
インコネクタを有する流路と、該流量計に取り付けられ
た弁本体とを有し、該第1フローラインコネクタ及び該
流路と連通する内部オリフィスを有し、該オリフィスと
共通の軸の外部ボアを有する流量計弁装置であって、該
ボア中に摺動可能に配置され、該オリフィスを通って突
出し該オリフィスの軸と一致する軸上を移動可能な弁ス
テムを有する弁装置の改良よりなり、該ステムはオリフ
ィスを通る逓減する径を画成するテーパを有し、モータ
装置は該弁ステムを線形に移動させるため該弁装置に固
定されている流量計弁装置。 - 【請求項2】 該オリフィスはオリフィスの放出側での鋭い円形エッジ
から一定の又は段階的に増大された径を有する請求項1
記載の流量計弁装置。 - 【請求項3】 該オリフィスは外側の鋭い円形エッジから段階的に増大
する径を有し、流路へ向かって内方へ延在する請求項1
又は2記載の装置。 - 【請求項4】 該弁本体は該流量計との取外し可能な接続装置を有し、
夫々が同一の取外し可能な接続装置を有し夫々が他の弁
本体とは異なった径のオリフィスを有する複数の弁本体
を有する請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の装置
。 - 【請求項5】 夫々が異なったテーパ角を有する複数の弁ステムを有す
る請求項1乃至4のうちいずれか一項記載の装置。 - 【請求項6】 該弁ステムを位置決めするために該モータに接続された
手動位置決め制御に関する請求項1乃至5のうちいずれ
か一項記載の装置。 - 【請求項7】 該モータ装置はステッパモータを含む請求項1記載の装
置。 - 【請求項8】 該弁装置に取付けられ該モータ及び該手動制御を囲む包
囲体を有し、該モータは回転出力シャフトと該モータの
該シャフトとの回転−線形接続を有し、該包囲体はシャ
フトの線形動作を有し、該包囲体は取外し可能なアクセ
ス壁を有し、インターロックプレートは該シャフトの軸
を通る面に内方に突出し、該プレートと該手動制御は半
径方向のスロットとシャフト軸に平行に延びるプレート
接続を有し、該手動制御は該モータの動作に応答して該
シャフトの軸方向の動作を許容しつつ回転に対して保持
される請求項6記載の装置。 - 【請求項9】 該モータはモータを発電制動する手段を有する請求項8
記載の装置。 - 【請求項10】 該モータをプログラム制御に応答して動作するように接
続する手動/自動制御又は逆のモータ動作用の手動制御
を有する請求項1乃至9のうちいずれか一項記載の装置
。 - 【請求項11】 該センサ装置の選択された出力に応答して選択された状
態に応答して該モータをプログラム制御から手動制御へ
接続する状態センサ装置を有し、該選択されたプレート
は該センサ装置からの損失信号と、高リミット信号と、
低リミット信号と、リミット信号を越えた信号を有する
請求項10記載の装置。 - 【請求項12】 一端に入口開口部と他端に放出開口部と、該放出開口部
に弁座とを有し、流れを変えるためにオリフィスに対し
て弁ステムが動くような円形の弁オリフィスを有する伸
長形の流路を含む流量計ハウジングより成る自動流量計
及び弁装置であって、該オリフィスは弁オリフィスの放
出端で弁座を画成する鋭いエッジを有する側壁開口部を
有し、該制御弁ステムは該流路の放出端に取付けられ、
該鋭いエッジ及び該弁オリフィスを通ってそこから内方
へ突出し、該弁ステムは該エッジ開口部の径に少なくと
も等しい円径から長手方向へのテーパを有し、ステムの
端へ向かって径が減少し、駆動モータ装置は該弁ステム
を逆に配置するために該ステムに接続されることを特徴
とする自動流量計及び弁装置。 - 【請求項13】 該弁ステムへ加えられる閉じ力を制限して該オリフィス
への損傷を防ぐ制限制御を有する請求項1乃至12のう
ちいずれか一項記載の装置。 - 【請求項14】 該駆動装置は、回転−線形動作変換器及び該ステムに接
続された線形動作シャフト部材を有する逆回転モータを
有する請求項1乃至13のうちいずれか一項記載の装置
。 - 【請求項15】 可動弁部材により選択的に開かれる流路装置と、該弁組
立体に接続された出力シャフトを有するステッパモータ
と、該モータを順方向及び逆方向に動作させる該モータ
に接続されたパルス源と、該パルス源を起動するための
第1制御装置とを有し、該モータを順方向に作動させる
よう該パルス源を起動する第1状態と、該パルス源への
駆動信号と該モータを逆回転方向に起動するための該パ
ルス源への逆信号とを同時に生成する第2状態とを有し
、該第1制御装置は該第1及び第2状態を選択的に生成
するための制御入力を有する流量計を有する流量計及び
弁装置。 - 【請求項16】 該制御装置はプログラム制御回路及び手動制御回路と、
該プログラム制御回路と交互に該手動制御回路を選択的
にイネーブルする第1スイッチ装置と、該プログラム制
御回路の選択的動作に応答して該手動モードを自動決定
する該スイッチ装置を起動するように接続された安全イ
ンターロック装置とを有する請求項15記載の装置。 - 【請求項17】 該安全インターロック装置はプログラムされたフローレ
ンジを下回る又は上回る流量に対して零コマンド信号に
応答して該手動モードを生成する請求項15又は16記
載の装置。 - 【請求項18】 流量計を通る流量を感知して流量信号を生成するモニタ
ーと、所望の流量についての要求信号を設定する制御装
置と、要求信号と流量信号とを比較して第1信号差信号
に応答する弁開放信号を生成する第1及び第2比較回路
と、速度変化を決定するために予め選択された差動レベ
ルにつき該入力信号と該流量信号との差に応答して速度
制御信号を生成する速度制御比較回路とを有する請求項
1乃至17のうちいずれか一項記載の装置。 - 【請求項19】 中央の位置から該弁装置を開放する位置に動作可能で、
逆に該弁装置を閉じる第2位置へ動作可能な制御レバー
を有する手動制御スイッチを有し、弾性手段が該制御を
該中央位置へ押すことにより制御は該弁装置の再配置を
手動制御するために該第1又は第2位置に確実に保持さ
れなければならない請求項18記載の装置。 - 【請求項20】 該プログラム制御回路は該モータの動作用の集積電子制
御回路を含むモータ駆動基板と、該弁装置への制御信号
の状態を感知する手段とを有し、該プログラム制御回路
はまた流量信号と該要求信号の処理し該弁閉塞信号と該
弁開放信号とを生成する別々の電子制御基板と、該手動
制御及び該弁装置の動作及び該基板、モータ駆動基板及
び該制御基板上の該回路の起動用の低電圧パワー信号と
を含むパワー入力回路基板と、該パワー供給基板から該
モータ駆動基板及び該制御基板のそれぞれへの別々の低
電圧ケーブル信号と、該モータ駆動基板及び該制御基板
での該低電圧パワー接続に接続された第1及び第2バイ
パスコンデンサとを含む請求項18又は19記載の装置
。 - 【請求項21】 該流量計へのフローラインにおいて接続された主オン−
オフ弁と、該弁装置を通電及び遮断するように動作可能
で制御入力を有するスイッチ手段と、該モータ駆動基板
及び該制御回路基板上の制御スイッチ手段と直列に該制
御入力に接続されて該プログラム制御回路中で選択され
た異常状態に応答して該主オン−オフ弁を選択的に閉じ
る低電圧入力信号とを含む請求項20記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US45223289A | 1989-12-18 | 1989-12-18 | |
US452232 | 1989-12-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0439714A true JPH0439714A (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=23795644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP40318290A Pending JPH0439714A (ja) | 1989-12-18 | 1990-12-18 | 流量計弁装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0434003A3 (ja) |
JP (1) | JPH0439714A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104214401A (zh) * | 2014-08-29 | 2014-12-17 | 苏州福润机械有限公司 | 一种具有警示功能电控开关的阀门 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2511113A1 (fr) * | 1981-08-06 | 1983-02-11 | Rop Const Meca | Vanne motorisee pour la commande de l'ecoulement de fluides sous hautes pressions |
JPS59200880A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Tokyo Keiki Co Ltd | デイジタル弁リモ−トコントロ−ラ |
JPS60100215A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-04 | Tokyo Keiki Co Ltd | デイジタル弁制御装置 |
US4609176A (en) * | 1984-04-20 | 1986-09-02 | Badger Meter, Inc. | Fluid flow control system with pulse driven electric control valve |
DE3432494C2 (de) * | 1984-09-04 | 1995-07-27 | Buerkert Gmbh | Regelungsanordnung zur Regelung des Durchsatzes von Gas- oder Flüssigkeitsströmen in Rohrleitungen |
JPS62124378A (ja) * | 1985-11-19 | 1987-06-05 | Mitsubishi Electric Corp | 流量制御弁装置 |
JPS6435185A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Flow control valve |
US4864870A (en) * | 1988-07-20 | 1989-09-12 | Waukee Engineering Company | Analog flow meter instrument |
-
1990
- 1990-12-18 JP JP40318290A patent/JPH0439714A/ja active Pending
- 1990-12-18 EP EP19900124638 patent/EP0434003A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0434003A3 (en) | 1992-04-22 |
EP0434003A2 (en) | 1991-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5168200A (en) | Automatic powered flowmeter valves and control thereof | |
US6026682A (en) | Coolant safety system for automated welding apparatus | |
KR101092676B1 (ko) | 일체된 압력 센서를 갖는 전자기식 압력 조절 밸브 장치 | |
US4174729A (en) | Pressure sensing safety device | |
US7290680B2 (en) | Valve for dispensing two liquids at a predetermined ratio | |
US9841122B2 (en) | Gas valve with electronic valve proving system | |
US5228469A (en) | Fluid control system | |
JP4835354B2 (ja) | ニードル弁 | |
US20040129321A1 (en) | Double valve | |
US20050165535A1 (en) | Valve flow metering control system and method | |
US20090114861A1 (en) | Control system for dynamic orifice valve apparatus and method | |
GB2349867A (en) | Beverage dispenser with means for controlling diluent to concentrate flow ratio | |
US6044857A (en) | Electronic controller for a modulating valve | |
US5493086A (en) | Monitoring and regulating device for a fluid such as engine oil | |
US6079441A (en) | Adjustable electronic position indicator apparatus | |
CN1474902A (zh) | 用于真空马桶的冲洗流体阀 | |
US4205702A (en) | Flow sensor responsive to fluid leakage flow within a range from above a predetermined minimum to below a predetermined maximum and nonresponsive to fluid leakage flows beyond said range | |
GB2403015A (en) | Differential pressure gage with switch | |
US20100005905A1 (en) | Apparatus for Determining and Controlling Flow Rate | |
US5437241A (en) | Differential pressure indicator | |
JPH0439714A (ja) | 流量計弁装置 | |
CA2073684C (en) | Apparatus for measurement and control, respectively, of temperature and/or pressure | |
WO2019049292A1 (ja) | 流量制御装置 | |
US2914088A (en) | Fluid flow regulating means | |
KR200291721Y1 (ko) | 솔레노이드 밸브 구동 진단 장치 |