JPH0438505A - 力外乱推定装置及び情報機器の力外乱制御装置 - Google Patents

力外乱推定装置及び情報機器の力外乱制御装置

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JPH0438505A
JPH0438505A JP14645990A JP14645990A JPH0438505A JP H0438505 A JPH0438505 A JP H0438505A JP 14645990 A JP14645990 A JP 14645990A JP 14645990 A JP14645990 A JP 14645990A JP H0438505 A JPH0438505 A JP H0438505A
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JP
Japan
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force disturbance
force
momentum sensor
signal
information equipment
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Application number
JP14645990A
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English (en)
Inventor
Noriaki Wakabayashi
若林 則章
Masaharu Imura
正春 井村
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ディスク装置等の情報機器のシステムに加わ
る振動、衝撃などの力外乱を、推定してピフクアソプす
る力外乱推定装置及び力外乱推定装置によって推定され
た力外乱に基づいて、システムに対する悪影響を抑制す
る情報機器の力外乱制御装置に関する。
従来の技術 近年、情報機器の性能の向上はめざましく、それに伴い
磁気ディスク装置や光デイスク装置(以下ディスク装置
という)の記録密度も増大してきた。その結果、記録媒
体たるディスク円板のトラック密度が高くなり、データ
ヘッドのトランクに対する位置決めを行う位置制御装置
の高精度化が要請されて来ている。
その一方、情報機器の小型化が一段と進み、可搬化が要
求されて来ている。このため、運搬時等に外部から大き
な振動、衝撃が加わるおそれがあり、結果的にディスク
装置の使用環境が悪くなってきた。
また、半導体の技術進歩に伴い、最近では処理速度の速
い半導体がディスク装置に組み込まれるため、ディスク
装置も高速性能、例えば、高速トラックアクセス性能が
求められるようになってきた。このような性能を発揮せ
んとすれば、データヘッドを高い加速度で急速に移動さ
せる必要があるため、ディスク装置が自分自身で大きな
振動を誘発するおそれがある。
それ故、振動や衝撃等の力外乱が発生した場合であって
も、データヘッドをディスク円板に対して確実に追従で
きるより高精度の位置制御装置の実現が要請される。
この種の位置制御装置の従来例として、ステッピングモ
ータを用いたものがよく知られている(例えば、USP
4,568,988に記載されたもの)。この位置制御
装置は、通常、ステ・7ピングモータを開ループで制御
して位置制御を行うシステム構成をとるが、記録トラッ
クの一部にサーボ情報を書き込んでおき、これをデータ
ヘッドで読み取ることによって、位置補正(微調)する
ことも可能である。後者のものは閉ループサーボとは言
い難いが、割合簡単に、ある程度の精度を実現できる。
また、他の従来例として、ボイスコイルモー・り(VC
M:Voice  Coi l  Motor)等のサ
ーボモータを用いた閉ループサーボ方式の位置制御装置
がある(例えば、USP4,669゜004に記載され
たもの)。この位置制御装置は、光エンコーダとか、デ
ィスク面そのものに予め記録された、時間的に連続する
ようなサーボ情報に基づいて位置制御するシステム構成
をとり、ステッピングモータよりは位置決め精度を高く
できる利点がある。
また、後者の位置制御装置において、大きな振動や衝撃
が加わる場合の対策として、これらの力外乱を加速度セ
ンサ(加速度ピンクアンプ)で検出し、サーボモータに
対して力外乱を打ち消すようなトルク或いは推力を発生
させるシステム構成が付加される(例えば、特開昭64
−73579号公報記載のもの)。
第5図は、上記したボイスコイルモータ(VCM)と加
速度センサを用いた閉ループ制御方式のディスク装置に
おける大外乱制御装置(位置制御装置)の従来例を示す
構成図である。図中、100は磁気ディスク装置の国体
、101は磁気ディスク円板、102はスピンドルモー
タ、103はデータヘッド、104はVCM、105は
データヘッドの位置デコーダ、PESはデータヘッド位
置信号、106は閉ループサーボ位置決め制御器、△P
はVCM104に対する位置決め信号、IはVCM10
4に流れる電流である。
一方、107はディスク装置にかかる力外乱を検出する
加速度センサであり、圧電素子からなる。
108はこうした加速度センサ107がよく発生する有
害な高域周波数の共振を除去するローパスフィルタ、1
09は加速度センサ107から国体100の振動を取り
出し、振動追従信号△Sを生成する振動追従制御器であ
る。
振動追従信号△SはVCM104に、外乱振動を相対的
に打ち消す力を発生させる。110は合成器であり、位
置決め信号△Pと振動追従信号△Sを加え合わせるもの
である。
この第5図に代表される従来の大外乱制御装置は加速度
センサ107を応用して、機器に加わる外部から、或い
は内部から発生する振動、衝撃を検知して、VCM10
4に対して力外乱を打ち消すようなトルク或いは推力を
発生させることで高精度な位置決めを実現する構成をと
る。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、加速度センサ107を用いた従来の大外
乱制御装置による場合は、以下に示す諸欠点があるため
、情報機器、特にディスク装置等の高速化、高容量化、
小型化、可搬化といった要請に応えることが困難になる
■加速度センサ107の形状が比較的大きなものになる
ため、小型化が要請されるディスク装置等の情報機器に
は搭載しにくい。また、仮に搭載できたとしても、その
形状、サイズにより、例えばプリント基板に実装するこ
とが困難であるため、機器内に専用の取付はスペースを
要するという制約があると共に、機器の設計の自由度が
損なわれる。
■加速度センサ107は、それ自体高価であり、特に機
器の位置決め精度の向上を図らんとすれば、より高価な
加速度センサ107が必要になるため、ディスク装置の
如き廉価な情報機器にはそぐわない。
■逆に、廉価な加速度センサ107を搭載せんとすれば
、これの検出感度が低いため、その分、高感度、且つ高
精度の高価な増幅器が必要になるため、結果的にシステ
ム全体が高価になる。
本発明はこのような従来技術の諸欠点を解消するために
なされたものであり、小型、且つ高精度であって、しか
もコストダウンが可能な情報機器の大外乱制御装置を提
供することを目的とする。
また、本発明の目的は、このような大外乱制御装置に組
み込まれる力外乱推定装置を提供することにある。
課題を解決するための手段 本発明に係る力外乱推定装置は、可撓性部材に弾性支持
され、システムに加わる力外乱に対応して運動する磁石
及びこの磁石の運動状態を電気信号として検出する検出
コイルを有してなる運動量センサと、少なくとも一つの
積分手段及びフィードバック手段を有し、前記電気信号
により運動量センサの運動状態をシュミレートして力外
乱推定信号を生成する観測器とを具備することを特徴と
している。
ここに、磁石の運動状態、即ち運動量センサの検出対象
は、磁石の検出コイルに対する位置若しくは速度等の物
理量や或いはこれらを組み合わせたものを言う。
また、本発明に係る情報機器の力外乱制?1$1装置は
、記録媒体に対してデータを記録、再生するデータヘッ
ドと、このデータヘッドを移動させるアクチュエータと
、可撓性部材に弾性支持され、システムに加わる力外乱
に対応して運動する磁石及びこの磁石の運動状態を電気
信号として検出する検出コイルを存してなる運動量セン
サと、少なくとも一つの積分手段及びフィードバック手
段を有し、前記電気信号により運動量センサの運動状態
をシュミレートして力外乱推定信号を生成する観側蓋と
、大外乱推定信号に基づき振動追従信号を生成して前記
アクチュエータに出力する振動追従制御手段とを具備す
ることを特徴としている。
作用 上記構成によれば、大外乱推定信号に基づき生成される
振動追従信号に従ってアクチュエータを駆動すると、そ
の際、アクチュエータに発生する推力によりデータヘッ
ドが大外乱に伴なう記録媒体との位置ズレを解消する方
向に移動される。即ち、大外乱にもかかわらず、データ
ヘッドを記録媒体に対して精度よく追従させることがで
きる。
加えて、その構造により、シテテムに作用する大外乱の
検出部となる運動量センサを加速度センサに対して充分
小さくできるので、取付はスペース上の制約を解消でき
る。
実施例 以下本発明に係る力外乱推定装置及び情報機器の大外乱
制御装置の実施例を図面を参照しながら説明する。第1
図は、本発明を適用したディスク装置の大外乱制御装置
の原理的な構成図である。
図において、1は磁気ディスク円板であり、2は複数の
磁気ディスク円板1.1・・・を駆動するスピンドルモ
ータである。3は磁気ディスク円板1のディスク面のト
ラ、りに記録されたサーボ情報を読み取るデータヘッド
である。4はボイスコイルモータ(VCM)等からなる
アクチュエータであり、データヘッド3の移動を行なわ
せる。■はアクチュエータ4に流れる電流である。
5はデータヘッド3の位置デコーダであり、データヘッ
ド3により読み取られた前記サーボ情報を復調、解読し
てデータへ・ノド3の位置信号PESを生成する。この
位置信号PESは、三角波或いは正弦波状の波形をもつ
信号であり、その詳細については、例えば特開昭54−
119215号公報に詳細に記載されているので省略す
る。
6は、いわゆるP、1.D制御器からなる閉ル−プサー
ボ位置決め制御器であり、前記位置信号PESに基づき
アクチュエータ4をコントロールする位置決め信号△P
を生成する。7は運動量センサであり、ディスク装置に
かかる外部からの、或いは内部から発生する振動、衝撃
などの大外乱によって、ディスク装置の国体8又はディ
スク装置内の所定の部分の運動を検出する。なお、国体
8には、これに急激な大外乱を作用するのを抑止するた
めに、図外の緩衝材が設けられる。KSは運動量センサ
7の出力信号である。なお、本発明において、運動量セ
ンサ7は必ずしも直接的に加速度を測定するものではな
く、検出対象の位置若しくは速度等の物理量、或いはこ
れらを組み合わせたものを検出するセンサである。
9は観測器であり、運動蓋センサ7の動作(振る舞い)
をシュミレートし、運動量センサ7に加わった振動や衝
撃といった大外乱を推定し、推定した大外乱信号ASを
生成する。12は、運動量センサ7と観測器9を含めて
なる力外乱推定装置である。
10は大外乱信号ASに基づきアクチュエータ4への振
動追従信号へSを生成する振動追従制御器である。振動
追従制御器10は、通常所定の増幅率をもったアンプ(
増幅器)で構成され、増幅率を調節して振動追従性能を
調整する。11は合成器であり、位置決め信号△Pと振
動追従信号へSを加算し、加算信号へP+△Sをアクチ
ュエータ4に出力する。13は国体8内に設けられ、運
動量センサ7と観測器9が実装されるプリント基板であ
る。
以上の構成からなる大外乱制御装置は、全体として機器
に加わる大外乱を推定し、推定結果に基づきデータヘッ
ド3にかかる大外乱をキャンセルするようアクチュエー
タ4をコントロールし、データヘット3の磁気ディスク
円板1に対する位置決めを精度よく行う構成をとる。よ
り具体的には、振動追従信号△Sにまってアクチュエー
タ4に電流を流し、データヘッド3に大外乱に伴なう磁
気ディスク円板1との位置ズレを解消する向きの推力を
作用させて位置決めを行う構成をとる。
11は合成器であり、位置決め信号△Pと振動追従信号
△Sを加算し、加算信号△P+△Sをアクチュエータ4
に出力する。13は国体8内に設けられ、運動量センサ
7と観測器9が実装されるプリント基板13である。
次に、第2図に従い運動量センサ7及び観測器9、即ち
力外乱推定装置12の詳細を説明する。
運動量センサ7の構成は以下の通り。図中20は、例え
ば長さが3鶴、直径が0.5in程度の針棒状をなす永
久磁石であり、図示の如く着磁されている。永久磁石2
0は、板バネ等からなる可撓性部材21により弾性支持
される。なお、矢印22は、ディスク装置に作用する力
外乱によって永久磁石20が振動(運動)する方向を示
しており、永久磁石20の運動に追従して可撓性部材2
1もこの方向に運動するようになっている。
23は検出コイルであり、これに対して矢印22方向に
相対移動する永久磁石20の移動速度■に応じて起電圧
KSを発電する。即ち、永久磁石20が移動すると、こ
れに応じて検出コイル23に鎖交するフラックス(磁束
)が変化するので、この変化量に対応して検出コイル2
3が起電圧KSを発電することになる。24はヨーク(
磁気回路)であり、検出コイル23の検出感度を高める
加えて、可撓性部材21にはこれの急激な運動を制動し
、永久磁石20の過剰な共振を防止するダンパ25が取
付けられる。なお、ダンパ25のより具体的な意義につ
いては後述する。
次に、観測器9の構成について説明する。観測器9は、
第1、第2の積分器31.32、係数要素1/M’ 、
K’ 、D’ 、P、 Q、 Ka’  (夫々の図中
番号は、33.34.35.36.37.38で示され
る)及び減算手段39.41、加算手段40を備えてな
る閉ループの制御系よりなる。
なお、図において、第1、第2の積分器31.32にお
ける1/SのSは、ラプラス演算子であり、1/Sは積
分器31.32の積分操作を示す。また、係数要素1/
M゛のMo及びK”、D′は夫々運動量センサ7の永久
磁石20を含んでなる可動質量M、可撓性部材21のバ
ネ定数K、ダンパ25のダンピング定数りに対応して適
宜選定された値である。
ここで、1託構成の運動量センサ7において、永久磁石
20の運動方程式は下記(1)式で近似される。
M ・α=F−D −V−に−X−(1)但し、αは永
久磁石20にかかる加速度、■は永久磁石20の速度、
Xはその位置変位、Fは永久磁石20にかかる力を示す
また、運動量センサ7が検出できる変数は、検出コイル
23の起電圧KSであり、これは永久磁石200速度■
に比例するから、その比例定数をKaとすると、起電圧
KSは下記(2)式で表される。
KS=Ka・ V−(2) 観測器9は、精度のよい力外乱信号ASを生成するため
には、運動量センサ7の上記(1)式で近似される動作
(より具体的には、永久磁石2゜の速度V)を忠実にシ
ュミレートする必要がある。
具体的には、観測器9に作用する力外乱F′を第1の積
分器31を通して速度情報V゛ として、また、第1、
第2の積分器31.32を通して位置情報X′としてシ
ュミレートする。今、係数要素36.37のPSQがな
いとした場合の、運動量センサ7の動作をシュミレート
する観測器9に関する運動方程式は下記(3)式で示さ
れる。
M’ 、α’ =F’  −D’  ・v′ −に° 
・X。
・・・(3) 但し、α゛は永久磁石20にかかる加速度の推定値、■
゛は永久磁石20の速度の推定値、X”はその位置変位
の推定値、F゛は永久磁石20にかかる力外乱の推定値
を表すものである。なお、上記(3)式をシュミレート
できるように、観測器9には図示する閉ループの制御系
が構成される。
しかしながら、以上の条件だけでは、観測器9が単に運
動量センサ7の運動方程式をシュミレートするだけであ
り、運動量センサ7のリアルタイムの動きに追従するこ
とはできない。そこで、本発明では、減算手段41によ
り、運動量センサ7の出力、即ち、検出コイル23の起
電圧KSと、これにちょうど対応する観測器9の中の起
電圧の推定値KS’ とを比較し、その誤差を求め、且
つこれに適当な係数要素PSQを乗じてフィードバツク
(帰還)し、誤差を解消して、運動量センサ7のリアル
タイムの動きに追従させる構成をとる。
つまり、本発明においては、差分をとることにより、運
動量センサ7と観測器9の動作をトンキングさせ、これ
により観測器9を運動量センサ7のリアルタイムの動き
に追従させる構成をとるのである。
ここで、起電圧の推定値KS’ は下記(4)式%式% 但し、Ka’ は検出コイル23の起電圧の比例定数に
対応する値である。
起電圧KSと推定値KS’  とを比較し、その誤差(
差分)を演算する加減算手段41は、図示の如く演算し
た差分値に適当な係数要素P或いはQを乗じて第1、第
2の積分器の前に夫々フィードバックさせる。
このようなフィードバック手段は、制御理論上よく知ら
れたオブザーバ−(状態観測器)理論に基づいて設計さ
れるべきであり、オブザーバ−の極は、複素平面上で、
式(1)あるいは(3)の極配置に対して充分、原点よ
り遠いところに配置されるべきである。具体的には、係
数要素P、Qを適切に選ぶことによってオブザーバ−極
を原点より遠くに配置し、衝撃的な力外乱に対しても、
実用上、問題ない程度に観測器9の応答を早(させるべ
きである。
観測器9の動作が常に運動量センサ7の動作に追従する
ものならば、運動量センサ7に加わる力外乱は図中のF
゛で推定される筈である。従ってこのF゛が力外乱推定
装置の出力ASになる。
ここで、可撓性部材21にダンパ25を設けたことよる
利点について説明する。第3図は、本発明に係る運動量
センサ7の力外乱Fと位置変位Xで決定される伝達関数
(=X/F)の周波数応答図であり、縦軸は伝達関数X
/F (dB)を、横軸は周波数f (H2)を夫々示
す。この応答は典型的なバネ−質量系の応答であり、こ
の応答図から理解されるように共振周波数の部分に共振
峰がある。
この共振峰を低くできない場合は、衝撃的な力外乱によ
って、運動センサー7の永久磁石2oが過剰に振動し、
観測器9での推定に誤差を律しやすく、結果的にデータ
ヘッド3を磁気ディスク円板1に対して精度よく追従で
きなくなることは明らかである。つまり、追従性を向上
させるためには、観測器9側のシュミレート系(制御系
)でも、全く同じ共振峰を再現しなければならないが、
実際的にはそれを安定して実現するのが難しいがらであ
る。
この共振峰を低くするためにはダンパ25のダンピング
係数りを大きくすればよい。そこで、本発明ではダンピ
ング係数りを共振峰を低くできる適宜の値に設定する。
なお、第3図中に矢印でダンパ25のダンピング係数り
を大きくして行くと、共振峰を小さくできる様を示して
おく。
以上の構成の観測器9において、第1、第2の積分器3
1.32は、演算増幅器(オペアンプ)と、抵抗器及び
コンデンサとで簡単に実現できる。
また各係数要素は抵抗器で実現できることは言うまでも
ないことである。また、加算手段40及び減算手段39
.41も演算増幅器で簡単に実現できる。
観測器の構成は必ずしも第2図に示すようなものである
必要はない。発明の主旨を逸脱しない範囲での変更は可
能である。即ち、例えば第4図に示すように、演算増幅
器とコンデンサを含んで構成されるような積分手段(積
分器)を少なくとも一つ有する制御系であればよい。こ
のような制御系によれば、簡単なシステムで力外乱を推
定できるという利点がある。なお、第4図において第1
図と対応する部分について同一の番号を付し、具体的な
説明については省略する。
図示する実施例の全容は以上の通りであるが、本発明は
以下に述べる各種の変更が可能である。
即ち、観測器9全体をディジタルコンピュータで構成し
、上記積分手段及びフィードバック手段を、プログラム
によって実現する構成をとることもできる。
また、運動量センサーの具体的な構造についても、第2
図に示すものに限定されるものではなく、永久磁石20
及び検出コイル23を含んでなる種々の設計変形が可能
である。
以上のような運動量センサ7は、永久磁石2゜が上記し
た寸法程度の針棒状をなすことからもわかるように、極
めて小型軽量で実現できるので、第1図に示すように観
測器9を構成する電子回路装置と一緒に、プリント基板
13に実装することが容易にできる。このような実装形
態をとる場合は、組立工数を減することができ、また、
ユニット化できることにより、力外乱推定装置及び力外
乱制御装置を全体として小さくできる。それ故、組立上
特に都合のよいものになり、ディスク装置等の情報機器
のコストダウンに貢献できる。
発明の効果 請求項1記載の力外乱推定装置によれば、その構造によ
り、運動量センサの大きさを上記従来の加速度センサに
比べて格段に小さくできる。従って、全体として力外乱
推定装置の大きさを従来のものに比して小さくできるの
で、取付は上の制約がなく、設計の自由度を向上できる
と共に、大幅なコストダウンが可能になる。また、観測
器により運動量センサの運動状態を精度よくシュミレー
トできるので、精度のよい力外乱推定信号を生成できる
また、特に、請求項2記載の力外乱推定装置によれば、
ダンパを設ける構成をとるので、そのダンピング係数を
適宜の値に設定することにより、高精度のシュミレート
が可能になる利点がある。
また、特に請求項4記載の力外乱推定装置によれば、更
に一層、迅速、且つ確実なシュミレートが行えるという
利点がある。
請求項5記載の情報機器の力外乱制御装置によれば、小
型、軽量化が図れることは勿論のこと、力外乱の悪影響
を排除し得て、データヘッドを記録媒体に対して迅速、
且つ精度よく追従させることができるので、可搬化や高
容量化、高速度化、高密度化といった最近の情報機器に
望まれる特質を可能にするという利点がある。
また、請求項9記載の力外乱制御装置によれば、運動量
センサや観測器がプリント基板に、いわばユニット化さ
れた状態で実装されるので、組立工数を低減でき、コス
トダウンを図る上で特に都合のよいものになる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明を適用したディスク装置の力外乱制御
装置の原理的な構成図、第2図は、運動量センサ及び観
測器から構成されるカ外乱推定装置の詳細を示す構成図
、第3図は、本発明の運動量センサの伝達関数の周波数
応答図、第4図は本発明の他の実施例を示す原理的な構
成図である。 第5図は、VCMと加速度センサを用いた従来の閉ルー
プ制御方式のディスク装置における力外乱制御装置の構
成図である。 基板、20・・・永久磁石、21・・・可撓性部材、2
3・・・検出コイル、25・・・ダンパ、3L32・・
・第1、第2の積分器。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)可撓性部材に弾性支持され、システムに加わる力
    外乱に対応して運動する磁石及びこの磁石の運動状態を
    電気信号として検出する検出コイルを有してなる運動量
    センサと、少なくとも一つの積分手段及びフィードバッ
    ク手段を有し、前記電気信号により運動量センサの運動
    状態をシュミレートして力外乱推定信号を生成する観測
    器と を具備することを特徴とする力外乱推定装置。
  2. (2)運動量センサが可撓性部材の振動を制動するダン
    パを備えてなることを特徴とする請求項(1)記載の力
    外乱推定装置。
  3. (3)観測器の積分手段が、演算増幅器、コンデンサ及
    び少なくとも一つの積分器を具備し、フィードバック手
    段が、少なくとも一つの加減算手段及び抵抗器を具備す
    ることを特徴とする請求項(1)記載の力外乱推定装置
  4. (4)観測器がディジタルコンピュータで構成され、積
    分手段及びフィードバック手段がプログラムで実行され
    ることを特徴とする請求項(1)記載の力外乱推定装置
  5. (5)記録媒体に対してデータを記録、再生するデータ
    ヘッドと、 このデータヘッドを移動させるアクチュエータと、 可撓性部材に弾性支持され、システムに加わる力外乱に
    対応して運動する磁石及びこの磁石の運動状態を電気信
    号として検出する検出コイルを有してなる運動量センサ
    と、 少なくとも一つの積分手段及びフィードバック手段を有
    し、前記電気信号により運動量センサの運動状態をシュ
    ミレートして力外乱推定信号を生成する観測器と、 力外乱推定信号に基づき振動追従信号を生成して前記ア
    クチュエータに出力する振動追従制御手段と を具備することを特徴とする情報機器の力外乱制御装置
  6. (6)運動量センサが可撓性部材の振動を制動するダン
    パを備えてなることを特徴とする請求項(5)記載の情
    報機器の力外乱制御装置。
  7. (7)観測器の積分手段が、演算増幅器、コンデンサ及
    び少なくとも一つの積分器を具備し、フィードバック手
    段が、少なくとも一つの加減算手段及び抵抗器を具備す
    ることを特徴とする請求項(5)記載の情報機器の力外
    乱制御装置。
  8. (8)観測器がディジタルコンピュータで構成され、積
    分手段及びフィードバック手段がプログラムで実行され
    ることを特徴とする請求項(5)記載の情報機器の力外
    乱制御装置。
  9. (9)運動量センサをディスク装置のプリント基板に実
    装したことを特徴とする請求項(5)記載の情報機器の
    力外乱制御装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09305235A (ja) * 1996-05-10 1997-11-28 Nec Corp サーボモータの位置制御方法および制御装置

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JPH09305235A (ja) * 1996-05-10 1997-11-28 Nec Corp サーボモータの位置制御方法および制御装置

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