JPH0437614Y2 - - Google Patents
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- JPH0437614Y2 JPH0437614Y2 JP1987123060U JP12306087U JPH0437614Y2 JP H0437614 Y2 JPH0437614 Y2 JP H0437614Y2 JP 1987123060 U JP1987123060 U JP 1987123060U JP 12306087 U JP12306087 U JP 12306087U JP H0437614 Y2 JPH0437614 Y2 JP H0437614Y2
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、クリーンルーム等において、清浄度
の高い高清浄域をこれより清浄度の低い自由空間
内に形成するためのフイルタユニツトに関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a filter unit for forming a highly clean area in a clean room or the like in a free space with a lower degree of cleanliness.
工業用クリーンルームにおいては、ルーム内の
自由空間のうち、特定の区域だけをこの自由空間
よりも高い清浄域に形成することが必要な場合が
ある。例えば、半導体工場を例にすると、各種の
作業機械やストツカー等から流れてくるウエハー
等の原板、半製品、加工品等を、作業員が自由に
通行可能な自由空間内に、台車や自動搬送装置に
よつて搬送する通路が設けられるが、かような搬
送通路においても、かような産品の汚染を防止す
るために、作業機械が稼働しているプロセス帯域
と同様の高度な清浄度に維持することが必要とな
る。
In an industrial clean room, it may be necessary to create only a specific area of the free space within the room into a clean area higher than the free space. For example, in a semiconductor factory, original plates such as wafers, semi-finished products, processed products, etc. flowing from various working machines and stockers are transported using trolleys or automatic transport in a free space where workers can freely pass through. In order to prevent contamination of such products, these transport paths must be maintained at the same high level of cleanliness as the process zone in which the work machinery is operating. It is necessary to do so.
一般に、かような製品搬送に供される空間の容
積は、クリーンルーム全体の容積から比べる非常
に僅かである。そして、この搬送空間は周囲から
閉鎖された空間ではなく、一般には室内に露呈し
た空間である。このような搬送空間を高い清浄域
に維持するには、クリーンルーム全体の清浄度を
高めるか、或いは自由空間内の搬送空間だけを局
部的に高い清浄度に維持することが必要となる。 Generally, the volume of the space provided for such product transportation is very small compared to the volume of the entire clean room. This transport space is not a space that is closed off from the surroundings, but is generally a space that is exposed indoors. In order to maintain such a transfer space at a high level of cleanliness, it is necessary to increase the cleanliness of the entire clean room, or to locally maintain a high level of cleanliness only in the transfer space within the free space.
前者のクリーンルーム全体の清浄度を高めるこ
とは可能であるが、このために空気処理設備が大
型化すると言う問題がある。そして、たとえ室内
全体の清浄度が高められたとしても、作業員の存
在は常に汚染源となるから、作業員の通路と搬送
空間との間にコンタミネーシヨンが発生するとい
う問題がある。 Although it is possible to improve the cleanliness of the entire clean room in the former case, there is a problem in that this increases the size of the air processing equipment. Even if the overall cleanliness of the room is improved, the presence of workers is always a source of contamination, and there is a problem in that contamination occurs between the workers' passage and the transport space.
一方、後者のように搬送通路だけを自由空間よ
りも局部的に高い清浄度に維持させる場合には、
垂直層流式クリーンルーム等では、エアーカーテ
ンやアイリツド(垂れ壁)の使用が提案されたり
している。しかし、搬送通路の両脇にエアーカー
テンを形成して作業員の通路となる自由空間と搬
送通路とのコンタミネーシヨンを防止しようとす
る場合には、このエアーカーテンによる局部的な
高速気流によつて気流の巻き上がりが生じたり、
室内の温湿度の調整の外乱要因となるという問題
がある。 On the other hand, in the case where only the conveyance path is maintained at a locally higher level of cleanliness than the free space, as in the latter case,
In vertical laminar flow clean rooms, the use of air curtains and eyelids (hanging walls) has been proposed. However, if air curtains are formed on both sides of the conveyance path to prevent contamination between the free space that serves as the worker's passage and the conveyance path, the local high-speed airflow caused by this air curtain may cause This may cause the airflow to curl up,
There is a problem in that it becomes a disturbance factor in adjusting the indoor temperature and humidity.
またアイリツドやビニールカーテンを吊るす場
合には、これをできるだけ下方まで垂れるように
しないと十分に搬送通路を囲うことができないの
で、このアイリツドの存在が作業の邪魔になると
いう問題がある。そして、搬送通路だけを自由空
間よりも局部的に高い清浄度に維持しようとする
場合には、製造ラインの変更に応じて空気吹出設
備の変更を要し、これと同時にエアーカーテンや
アイリツドも適宜変更することが必要となり、ラ
イン変更に伴う追従作業性が悪いという問題があ
る。 Furthermore, when hanging eyelids or vinyl curtains, the conveyance path cannot be sufficiently surrounded unless the eyelids or vinyl curtains hang down as far as possible, so there is a problem that the presence of the eyelids becomes a hindrance to the work. When attempting to maintain a locally higher level of cleanliness in only the conveyance path than in the free space, it is necessary to change the air blowing equipment in accordance with changes in the production line, and at the same time, the air curtains and eyelids must also be adjusted accordingly. There is a problem that follow-up workability accompanying line changes is poor.
本考案は、クリーンルーム内において、産品の
搬送通路のように自由空間よりも高い清浄度に維
持された局部的に高清浄域を、従来のようにエア
ーカーテンやアイリツドを使用することなく、ま
たラインの変更などにも自由に且つ簡単に対応で
きるように、形成することを目的としたものであ
る。
This invention enables local high-cleanliness areas maintained at a higher level of cleanliness than free space, such as product transportation paths, within a clean room, to be maintained at a higher level of cleanliness than in free space, without using conventional air curtains or eyelids. The purpose of this is to form the system so that it can be freely and easily adapted to changes in the system.
前記の目的を達成せんとする本考案の要旨とす
るところは、方形の開口を下面にもつケーシング
と、このケーシングの該開口に張り渡された
HEPAフイルタ層とからなるフイルタユニツト
であつて、該HEPAフイルタ層が、該開口の水
平面に対して平行な水平部分と該水平面に対して
傾斜した傾斜部分とから構成され、該開口の中央
部は該水平部分によつて塞がれると共に、該傾斜
部分が前記開口の少なくとも一方の縁から中央部
の方向に向けて下さがりの傾斜を有し、そして、
この傾斜部分と水平部分とが互いに連結されてい
ることを特徴とするフイルタユニツトを使用す
る。
The gist of the present invention, which aims to achieve the above-mentioned object, is to provide a casing having a rectangular opening on the lower surface, and a casing extending over the opening of the casing.
A filter unit consisting of a HEPA filter layer, wherein the HEPA filter layer is composed of a horizontal part parallel to the horizontal plane of the opening and an inclined part inclined with respect to the horizontal plane, and the central part of the opening is The horizontal portion closes the opening, and the inclined portion slopes downward from at least one edge of the opening toward the central portion, and
A filter unit is used in which the inclined portion and the horizontal portion are connected to each other.
本考案のフイルタユニツトは、例えばクリーン
ルーム内の自由空間に搬送通路を形成しようとす
る場合に、その搬送通路に対応する天井面にこの
フイルタユニツトを各々のHEPAフイルタ層の
水平部分と傾斜部分が互いに連続するように連設
して設置することによつて、この搬送通路空間を
自由空間よりも高い清浄域をもつ高清浄域に簡単
に形成することができ、また、自由空間と搬送通
路との気流の巻き込みによるコンタミネーシヨン
を防止できる。 The filter unit of the present invention can be used, for example, when forming a transport passage in a free space in a clean room, the filter unit can be placed on the ceiling surface corresponding to the transport passage so that the horizontal part and the inclined part of each HEPA filter layer are mutually connected. By installing them in a continuous manner, this conveyance passage space can be easily formed into a highly clean area with a higher cleanliness area than the free space, and the connection between the free space and the conveyance passage can be easily formed. Contamination caused by airflow can be prevented.
本考案のフイルタユニツトはHEPAフイルタ
層が中央部では水平部分であるが側部では上あが
りに傾斜させてあるので、このフイルタユニツト
から吹き出される清浄空気流は床面にゆくにした
がつてすそ拡がりの気流パターンを形成する。 In the filter unit of the present invention, the HEPA filter layer is horizontal in the center, but slopes upward at the sides, so that the clean air flow blown out from the filter unit slopes downward as it approaches the floor surface. Forms a widening airflow pattern.
以下に図面の実施例にしたがつて本考案を具体
的に説明する。 The present invention will be explained in detail below with reference to the embodiments shown in the drawings.
第1図は、本考案のフイルタユニツトの使用状
態を説明するためのもので、1はクリーンルーム
の天井面、2は同床面である。本考案のフイルタ
ユニツトは、クリーンルーム内の自由空間3内に
例えば産品の搬送通路となるような清浄度の高い
特定の高清浄域4を形成するのに使用されるもの
である。このために、高清浄域4を覆うに十分な
HEPAフイルタ面積をもつフイルタユニツト5
を、この高清浄域に対応する天井面1に水平方向
に配置し、このフイルタユニツト5から下向きの
清浄空気を吹き出す。 FIG. 1 is for explaining the usage condition of the filter unit of the present invention, in which 1 shows the ceiling of a clean room, and 2 shows the floor of the same. The filter unit of the present invention is used to form a specific highly clean area 4 with a high level of cleanliness, such as a passageway for transporting products, within a free space 3 in a clean room. For this purpose, sufficient
Filter unit 5 with HEPA filter area
is arranged horizontally on the ceiling surface 1 corresponding to this highly clean area, and clean air is blown downward from this filter unit 5.
このフイルタユニツト5は、方形の開口を下面
にもつケーシング6と、このケーシングの該開口
に張り渡されたHEPAフイルタ層とからなり、
このHEPAフイルタ層が、該開口の水平面に対
して平行な水平部分7と、該水平面に対して傾斜
した傾斜部分8とから構成され、該開口の中央部
はこの水平部分7によつて塞がれると共に、傾斜
部分8が該開口の少なくとも一方の縁から中央部
の方向に向けて下さがりの傾斜を有し、そして、
この傾斜部分8と水平部分7とが互いに連結され
て空気吹出面を形成している。 This filter unit 5 consists of a casing 6 having a rectangular opening on the lower surface, and a HEPA filter layer stretched across the opening of the casing.
This HEPA filter layer is composed of a horizontal part 7 parallel to the horizontal plane of the opening and an inclined part 8 inclined with respect to the horizontal plane, and the central part of the opening is closed by the horizontal part 7. and the inclined portion 8 has a downward slope from at least one edge of the opening toward the central portion, and
The inclined portion 8 and the horizontal portion 7 are connected to each other to form an air blowing surface.
第1図の例では、HEPAフイルタの水平部分
7が高清浄域4の幅より若干大きな幅をもつてお
り、傾斜部分8が水平部分7の両側に連設され、
この傾斜部分8は側端にゆくにしたがつて上あが
りの傾斜をもつている。そして、この水平部分7
と傾斜部分8とからなるHEPAフイルタ層の背
後のケーシング6内の空間が給気プレナム9を形
成している。すなわち、ケーシング6は、
HEPAフイルタの水平部分7と傾斜部分8、お
よび側板および上板によつて閉鎖された空間を形
成しており、この閉鎖空間内に、一次フイルタ1
1を経た給気がフアン10によつて供給され、こ
の給気がケーシング6内の閉鎖空間内で均圧化さ
れたうえHEPAフイルタの吹出面から室内に吹
き出される。また、第1図の例ではHEPAフイ
ルタは水平部分7と傾斜部分8とはいずれも圧損
の等しいものを使用しており、このために、両者
は吹出流速が実質的に等しく、通常のクリーンル
ームに採用されているような0.4〜0.5m/sの吹
出流速とするのがよい。傾斜部分8の傾斜角度は
天井高さと高清浄域4の高さと幅にもよるが5〜
25°程度とすればよい。 In the example shown in FIG. 1, the horizontal portion 7 of the HEPA filter has a width slightly larger than the width of the high-purity area 4, and the inclined portions 8 are connected to both sides of the horizontal portion 7.
This inclined portion 8 has an upward slope toward the side end. And this horizontal part 7
The space inside the casing 6 behind the HEPA filter layer, which consists of a sloping section 8 and a sloping section 8, forms an air supply plenum 9. That is, the casing 6 is
A closed space is formed by the horizontal part 7 and the inclined part 8 of the HEPA filter, as well as the side plate and the top plate, and the primary filter 1 is placed in this closed space.
1 is supplied by a fan 10, the pressure of the supplied air is equalized in a closed space within the casing 6, and then the air is blown into the room from the blowing surface of the HEPA filter. Furthermore, in the example shown in Figure 1, the HEPA filter uses filters with equal pressure drop in both the horizontal part 7 and the inclined part 8. Therefore, the blowing flow velocity of both parts is substantially the same, and it is difficult to use in a normal clean room. It is preferable to set the blowing flow velocity to 0.4 to 0.5 m/s as adopted. The angle of inclination of the inclined part 8 depends on the ceiling height and the height and width of the high clean area 4, but it is 5~
It should be about 25°.
これによつて、第1図の気流パターンのように
高清浄域4に向けては垂直な清浄流がダウンフロ
ーとして流れ、この垂直なダウンフローがその傾
斜部分8から吹き出されるすそ拡がりの清浄流
(傾斜清浄流)で囲まれることになり、この傾斜
清浄流が自由空間3内の空気が高清浄域4に入り
込むのを防止する。つまり、傾斜清浄流と自由空
間3との境界は気流方向の進行につれて高清浄域
4とは離れる方向に傾斜するから、自由空間3内
の空気が高清浄域から遠ざかる方向に運ばれると
共に、境界近くの汚染空気が傾斜清浄流に天井部
の側で巻き込まれても、これは傾斜清浄流に乗つ
て自由空間3の方向に運ばれ、高清浄域4の方向
に運ばれることは防止される。 As a result, a vertical clean flow flows as a downflow toward the high cleanliness area 4 as shown in the airflow pattern in FIG. This inclined clean flow prevents the air in the free space 3 from entering the high clean area 4. In other words, the boundary between the inclined clean flow and the free space 3 slopes away from the highly clean area 4 as the airflow direction advances, so the air in the free space 3 is carried away from the highly clean area and the boundary Even if nearby contaminated air is caught in the inclined clean flow near the ceiling, it will be carried towards the free space 3 on the inclined clean flow, and will be prevented from being carried towards the highly clean area 4. .
第2図は、本考案のフイルタユニツトを天井面
に連設して配置することによつて、クリーンルー
ム内の自由空間3内に、台車などが通過する搬送
通路12を高清浄域4として形成した例を、平面
的に示してものである。13は機械設備などが存
在する高清浄域であり、このプロセス高清浄域1
3から各種の産品が搬送通路12を経て搬送され
る。本考案ではこのような自由空間3内の形成す
る搬送通路12に対応する天井面に第1図で説明
したようなフイルタユニツト5を設置することに
よつて、自由空間3よりも高い清浄度に維持され
る高清浄域4を、搬送通路12がその中に含まれ
るように、形成する。第2図の斜線域は高清浄域
4であるが、これは既述の側方の傾斜清浄流で囲
われる領域である。本考案では、既述のような水
平部分7と傾斜部分8とをもつ所定の大きさの
HEPAフイルタを所定の大きさのケーシング内
に設置してこれをユニツト化し、このユニツトを
連設することによつて、搬送通路12のように所
定の幅をもつて自由空間3内に帯状に平面的に延
びる帯域を高清浄域4に形成することができる。
このユニツト化の例を第3図と第4図に示す。 Figure 2 shows that a conveyance passage 12 through which a trolley passes is formed as a highly clean area 4 in a free space 3 in a clean room by arranging the filter unit of the present invention in series on the ceiling surface. An example is shown in a two-dimensional view. 13 is a high cleanliness area where mechanical equipment etc. are present, and this process high cleanliness area 1
3, various products are conveyed through a conveyance path 12. In the present invention, by installing a filter unit 5 as explained in FIG. A maintained highly clean zone 4 is formed in which the conveying passage 12 is contained. The shaded area in FIG. 2 is the highly clean area 4, which is surrounded by the lateral inclined clean flow described above. In the present invention, a predetermined size of the horizontal part 7 and the inclined part 8 as described above is used.
By installing a HEPA filter in a casing of a predetermined size and making it into a unit, and by arranging these units in series, a planar strip is formed in the free space 3 with a predetermined width like the conveyance path 12. It is possible to form a zone in the highly clean area 4 that extends for a long time.
Examples of this unitization are shown in FIGS. 3 and 4.
第3図は単位ユニツト5の代表的な外形を示し
たものである。図示のようにケーシング6は偏平
な方形を有し、その下部開口にHEPAフイルタ
が張り渡された単純な外形を有している。
HEPAフイルタは第1図で説明したように、中
央部の水平部分7とその両側に傾斜部分8を有し
ている。より具体的には、方形の水平部分7の相
対する2辺aとbをケーシング6の開口の縁に沿
わせ、他の相対する2辺cとdをケーシング6の
開口の縁から中央部よりに位置させ、この水平部
分7の2辺cとdから開口の縁までに傾斜部分8
を設ける。辺cから側縁まで延びる傾斜部分と、
辺dから他方の側縁まで延びる傾斜部分とは互い
に同じ勾配と幅をもつ対照的なものとしてもよい
が、場合によつては、その勾配と幅は異ならしめ
てもよい。 FIG. 3 shows a typical external shape of the unit 5. As shown in the figure, the casing 6 has a flat rectangular shape, and has a simple outer shape with a HEPA filter stretched across its lower opening.
As explained in FIG. 1, the HEPA filter has a central horizontal portion 7 and sloped portions 8 on both sides thereof. More specifically, two opposing sides a and b of the rectangular horizontal portion 7 are aligned with the edge of the opening of the casing 6, and the other two opposing sides c and d are aligned from the edge of the opening of the casing 6 toward the center. from the two sides c and d of this horizontal portion 7 to the edge of the opening.
will be established. an inclined portion extending from side c to the side edge;
The sloped portions extending from side d to the other side edge may be symmetrical and have the same slope and width, but in some cases, the slope and width may be different.
第4図は、かようなユニツト5を連設すること
によつて天井面に帯状の清浄空気吹出口を形成す
る例を示している。この場合、第3図に示した形
状のユニツト5を同じ方向にして連設することに
よつて、つまり、水平部分7の辺cとdがどのユ
ニツトでも直線上に一致するような方向にして連
設することによつて帯状に長く延びた清浄空気吹
出口を形成することができる。またT型路を形成
する場合には、その部分のユニツト5′のT型接
合部分における傾斜部分8を、他方のユニツトの
水平部分と傾斜部分に合うように台形の形状にし
ておけばよい。このように連設した各ユニツト5
には、各々第1図のようにフアン10によつて給
気してもよいし、第4図に示すように、給気主ダ
クト16をユニツト列に沿うように配置し、これ
から分岐ダクト17を採つて各ユニツト5に送気
するようにしてもよい。 FIG. 4 shows an example in which a strip-shaped clean air outlet is formed on the ceiling surface by arranging such units 5 in series. In this case, by arranging the units 5 having the shape shown in FIG. 3 in the same direction, that is, by arranging the sides c and d of the horizontal portion 7 in a straight line in all the units. By arranging them in series, a long belt-shaped clean air outlet can be formed. Further, when forming a T-shaped path, the inclined portion 8 at the T-shaped joint portion of the unit 5' may be shaped into a trapezoid so as to match the horizontal portion and the inclined portion of the other unit. Each unit 5 connected in this way
In this case, air may be supplied by a fan 10 as shown in FIG. 1, or as shown in FIG. It is also possible to supply air to each unit 5 by taking the following steps.
第5図は、水平部分7の片側だけに傾斜部分8
を配置した以外は、第3図と同様の本考案に従う
フイルタユニツト5を示す。このユニツトはこれ
を同じ方向に連設すると、つまり、水平部分7と
傾斜部分8との境界となる辺cが互いに一直線上
になるようにユニツトを連設すると、片側だけが
自由空間に接するような帯状の高清浄域を形成す
ることができる。したがつて、他方の片側は高清
浄域に連なつているか、或いは壁面であるような
場合に有利に使用できる。 FIG. 5 shows a sloped portion 8 on only one side of the horizontal portion 7.
3 shows a filter unit 5 according to the invention similar to that of FIG. 3, except that . When these units are connected in the same direction, that is, when the units are connected so that the sides c, which are the boundaries between the horizontal part 7 and the inclined part 8, are in line with each other, only one side is in contact with the free space. It is possible to form a belt-shaped highly clean area. Therefore, it can be advantageously used in cases where the other side is connected to a highly clean area or is a wall surface.
第6図は、傾斜部分8が水平部分7から曲面の
傾斜を有している本考案に従うフイルタユニツト
の例を示している、この場合にも、該傾斜部分が
ケーシングの下部開口の少なくとも一方の縁から
中央部の方向に向けて下さがりの傾斜を有し、そ
して、この傾斜部分と水平部分とが互いに連結さ
れていることには変わりはないが、曲面の傾斜で
あるから、すえ拡がりの気流パターンがより滑ら
かに形成できる。 FIG. 6 shows an example of a filter unit according to the invention in which the sloping portion 8 has a curved slope from the horizontal portion 7, again in this case the sloping portion is located at least one of the lower openings of the casing. It has a downward slope from the edge toward the center, and this sloped part and the horizontal part are still connected to each other, but since it is a curved slope, the width of the seat is A smoother airflow pattern can be created.
以上のようにして、本考案のフイルタユニツト
は、これを連設して使用することによつて、クリ
ーンルーム内の自由空間内に、この自由空間より
高い清浄度を有する高清浄域を設計自由に形成す
ることができ、形成される高清浄域は、自由空間
内からの汚染が防止できる傾斜清浄流の気流パタ
ーンによつてその清浄度が維持される。したがつ
て、特にクリーンルーム内の自由空間に産品の搬
送通路を設けるような工業用クリーンルームにお
いて大きな効果を発揮し、ユニツト化されている
ことによつてラインの変更などにおいても追従が
容易であり且つ製作設置も簡単であるから、既述
の本考案の目的が効果的に達成される。 As described above, by using the filter unit of the present invention in series, it is possible to freely design a high-clean area within the free space of a clean room that has a higher cleanliness level than the free space. The high cleanliness zone that is created is maintained in its cleanliness by an airflow pattern of inclined clean flow that prevents contamination from within the free space. Therefore, it is particularly effective in industrial clean rooms where a product transportation path is provided in the free space within the clean room, and since it is unitized, it is easy to follow changes in the line. Since it is easy to manufacture and install, the above-mentioned objectives of the present invention can be effectively achieved.
第1図は本考案に従がうフイルタユニツトによ
つて自由空間内に高清浄域を形成するための基本
原理を示す気流パターン図、第2図は第1図の原
理によつてクリーンルーム内の搬送通路を高清浄
域に形成する状態を平面的に示した概念図、第3
図は本考案に従うフイルタユニツトの代表的な全
体形状を示す透視斜視図、第4図は第3図のフイ
ルタユニツトを連設した状態を示す斜視図、第5
図は本考案に従うフイルタユニツトの他の例を示
す透視斜視図、第6図は本考案のフイルタユニツ
トのHEPAフイルタの傾斜部分の他の例を説明
するための部分略断面図である。
1……天井面、2……床面、3……自由空間、
4……高清浄域、5……フイルタユニツト、6…
…ケーシング、7……HEPAフイルタの水平部
分、8……HEPAフイルタの傾斜部分、9……
給気プレナム、10……フアン、11……一次フ
イルタ、12……搬送通路。
Figure 1 is an airflow pattern diagram showing the basic principle for forming a highly clean area in free space using a filter unit according to the present invention, and Figure 2 is an airflow pattern diagram showing the basic principle for forming a highly clean area in a free space using the filter unit according to the present invention. Conceptual diagram showing a state in which a conveyance path is formed in a highly clean area, Part 3
The figure is a perspective view showing a typical overall shape of the filter unit according to the present invention, FIG. 4 is a perspective view showing the filter unit of FIG.
The figure is a perspective view showing another example of the filter unit according to the present invention, and FIG. 6 is a partial schematic sectional view for explaining another example of the inclined portion of the HEPA filter of the filter unit according to the present invention. 1... Ceiling surface, 2... Floor surface, 3... Free space,
4...High cleanliness area, 5...Filter unit, 6...
...casing, 7...horizontal part of HEPA filter, 8...slanted part of HEPA filter, 9...
Supply air plenum, 10... fan, 11... primary filter, 12... conveyance passage.
Claims (1)
ケーシングの該開口に張り渡されたHEPAフ
イルタ層とからなるフイルタユニツトをクリー
ンルームの天井部に水平方向に連設配置する天
井部のフイルタ構造において、 該フイルタユニツトとして、HEPAフイル
タ層が水平面に対して平行な水平部分と該水平
面に対して傾斜した傾斜部分とから構成され、
該ケーシング開口の中央部は該水平部分によつ
て塞がれると共に、該傾斜部分が該開口の少な
くとも一方の縁から中央部の方向に向けて下さ
がりの傾斜を有しているフイルタユニツトを使
用し、 このフイルタユニツトの複数を、クリーンル
ーム内の通路空間に対応する天井面に、各々の
HEPAフイルタ層の水平部分と傾斜部分が互
いに連続するように帯状に連設したことを特徴
とする、クリーンルーム自由空間内に高清浄域
の通路空間を形成する天井部フイルタの配置構
造。 (2) 通路空間は、産品の搬送通路空間である実用
新案登録請求の範囲第1項記載の天井部のフイ
ルタの配置構造。[Scope of Claim for Utility Model Registration] (1) A filter unit consisting of a casing with a rectangular opening on the lower surface and a HEPA filter layer stretched across the opening of the casing is installed horizontally on the ceiling of a clean room. In the filter structure of the ceiling part to be arranged, the HEPA filter layer as the filter unit is composed of a horizontal part parallel to the horizontal plane and an inclined part inclined with respect to the horizontal plane,
A filter unit is used in which the center portion of the casing opening is closed by the horizontal portion, and the inclined portion slopes downward from at least one edge of the opening toward the center portion. Then, place multiple of these filter units on the ceiling surface corresponding to the aisle space in the clean room.
A ceiling filter arrangement structure that forms a passage space of a high cleanliness area within the free space of a clean room, characterized in that the horizontal and inclined parts of the HEPA filter layer are arranged in a continuous band shape. (2) The arrangement structure of filters in the ceiling according to claim 1 of the utility model registration, wherein the passage space is a passage space for transporting products.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987123060U JPH0437614Y2 (en) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987123060U JPH0437614Y2 (en) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6428928U JPS6428928U (en) | 1989-02-21 |
JPH0437614Y2 true JPH0437614Y2 (en) | 1992-09-03 |
Family
ID=31371569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987123060U Expired JPH0437614Y2 (en) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0437614Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
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JP5626588B2 (en) * | 2010-03-29 | 2014-11-19 | 清水建設株式会社 | Air conditioning system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5918230B2 (en) * | 1976-10-29 | 1984-04-26 | 東芝テック株式会社 | Serial printer - drive unit |
JPS6020050A (en) * | 1983-07-15 | 1985-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device to mix water with hot-water |
JPS6161011B2 (en) * | 1977-12-02 | 1986-12-23 | Honeywell Inc |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57199026U (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-17 | ||
JPS5918230U (en) * | 1982-07-28 | 1984-02-03 | 富士電機株式会社 | Air diffusion type high performance filter |
JPH039782Y2 (en) * | 1984-09-27 | 1991-03-12 |
-
1987
- 1987-08-11 JP JP1987123060U patent/JPH0437614Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5918230B2 (en) * | 1976-10-29 | 1984-04-26 | 東芝テック株式会社 | Serial printer - drive unit |
JPS6161011B2 (en) * | 1977-12-02 | 1986-12-23 | Honeywell Inc | |
JPS6020050A (en) * | 1983-07-15 | 1985-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Device to mix water with hot-water |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6428928U (en) | 1989-02-21 |
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