JPH0437126U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す正面図、第２図
は平面図、第３図は搬送を説明する説明図、また
従来の技術を第４，５，６図で示す。 １……搬送管、２……浮上用電磁石、３……ス
ライダ、４……ホルダ、５……磁性材棒、６……
アングル、７……ベルト、８……モータ、９……
中央部真空容器、１０……スライダ、１１……シ
リンダ、１２……ツメ、１３……中間保持部、１
４……軸、１５……カツプリング、１６……磁性
流体シール、１７……ギア、１８……モータ、１
９……ギア、２０……ゲートバルブ、２１……真
空容器、２２……レバー、２３……ギア、２４…
…ギア、２５……ガイド、２６……磁性流体シー
ル、２７……ギア、２８……ベローズ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 少なくとも２ケ以上の真空容器と前記真空容器
   を放射状に取りつけた中央部真空容器からなる真
   空装置において、前記中央部真空容器の各真空容
   器の対辺位置で、ベローズにより中央部真空容器
   と接続された内側真空雰囲気の非磁性材からなる
   搬送管と、前記搬送管内に配置され、先端に被搬
   送物品を保持するホルダを備えた磁性材棒と、前
   記磁性材棒を搬送管内で浮上させるための搬送管
   外側大気雰囲気にある浮上用磁石とからなる直線
   導入部と、前記直線導入部および搬送管を上下さ
   せる上下移動手段と、前記中央部真空容器内に設
   置され、前記被搬送物品をホルダより受け取る中
   間保持部と、前記中間保持部を回転させる回転手
   段と、前記回転手段の大気・真空を遮断するシー
   ル部を備えた事を特徴とする真空内磁気浮上搬送
   装置。