JPH04366407A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH04366407A JPH04366407A JP16764291A JP16764291A JPH04366407A JP H04366407 A JPH04366407 A JP H04366407A JP 16764291 A JP16764291 A JP 16764291A JP 16764291 A JP16764291 A JP 16764291A JP H04366407 A JPH04366407 A JP H04366407A
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- Japan
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- layer
- magnetic head
- film magnetic
- yoke
- magnetic
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- Withdrawn
Links
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- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 13
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等に用い
られる薄膜磁気ヘッドに関するものである。
られる薄膜磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは、磁気ディスク等にお
ける磁気記録媒体上で高密度のデータの書込み、読出し
を行うものである。この書込み、読出し特性の向上を図
るために構成された以下の様な薄膜磁気ヘッドが公知で
ある。
ける磁気記録媒体上で高密度のデータの書込み、読出し
を行うものである。この書込み、読出し特性の向上を図
るために構成された以下の様な薄膜磁気ヘッドが公知で
ある。
【０００３】薄膜磁気ヘッドのヨーク及び巻線の部分的
断面図を図３に示す様に、薄膜磁気ヘッド３１は、基体
３２上に形成されており、一対のポールピース３３，３
５と後側領域３４，３６とを有する２つの磁性体層と、
ギャップ層３７と、前記２つの磁性体層間において、絶
縁層３８によって電気的に絶縁されている導電性巻線３
９とによって形成されている。
断面図を図３に示す様に、薄膜磁気ヘッド３１は、基体
３２上に形成されており、一対のポールピース３３，３
５と後側領域３４，３６とを有する２つの磁性体層と、
ギャップ層３７と、前記２つの磁性体層間において、絶
縁層３８によって電気的に絶縁されている導電性巻線３
９とによって形成されている。
【０００４】前記２つの磁性体層は、耐腐食磁性材料で
ある、例えばパーマロイを用いて形成され、前記各層の
後側領域３４，３６における厚さは、前記各層のポール
ピース３３，３５における厚さよりも厚くし、又、断面
積を増加させることによって、ヨークが磁化飽和するこ
とに対抗すると共に、記録時の変換効率を高めている（
特開昭５５−８４０１９号公報）。
ある、例えばパーマロイを用いて形成され、前記各層の
後側領域３４，３６における厚さは、前記各層のポール
ピース３３，３５における厚さよりも厚くし、又、断面
積を増加させることによって、ヨークが磁化飽和するこ
とに対抗すると共に、記録時の変換効率を高めている（
特開昭５５−８４０１９号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この後側領
域における厚さをポールピースよりも厚くし、断面積を
増加させることによって、ヨークが磁化飽和することに
対抗すると共に、記録時の変換効率を高める場合、これ
に使用される磁性材料の特性によって限度がある。
域における厚さをポールピースよりも厚くし、断面積を
増加させることによって、ヨークが磁化飽和することに
対抗すると共に、記録時の変換効率を高める場合、これ
に使用される磁性材料の特性によって限度がある。
【０００６】しかし、現在幾つかの系で、パーマロイよ
りも更に高い飽和磁化を有する材料、例えばＦｅ−Ｓｉ
，Ｆｅ−Ｎ，Ｆｅ−Ｎ−Ｚｒ，Ｃｏ−Ｆｅ−Ｓｉ，Ｃｏ
−Ｆｅ−Ｐ等が開発され、薄膜磁気ヘッドの磁性材料と
しての適用が望まれているものの、これらの大部分は、
腐食性の点で劣るという問題がある。
りも更に高い飽和磁化を有する材料、例えばＦｅ−Ｓｉ
，Ｆｅ−Ｎ，Ｆｅ−Ｎ−Ｚｒ，Ｃｏ−Ｆｅ−Ｓｉ，Ｃｏ
−Ｆｅ−Ｐ等が開発され、薄膜磁気ヘッドの磁性材料と
しての適用が望まれているものの、これらの大部分は、
腐食性の点で劣るという問題がある。
【０００７】そこで、本発明は上記事情に鑑みて成され
たものであり、高飽和磁化合金を使用することによって
、記録時に優れた変換特性の得られる薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的としている。
たものであり、高飽和磁化合金を使用することによって
、記録時に優れた変換特性の得られる薄膜磁気ヘッドを
提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明における薄膜磁気ヘッドは、夫々先端にポ
ールピースを有すると共に後側領域において前記ポール
ピースの厚さより大きな厚さを有する下部磁性体層及び
上部磁性体層と、ギャップ層と、前記下部、上部磁性体
層の間のコイル及び絶縁層とを有し、前記下部磁性体層
及び上部磁性体層の夫々の後側領域が、ポールピースか
ら連続して耐腐食磁性材料から成る層と、高飽和磁化合
金から成る層との複合層によって形成されたものである
。
めに、本発明における薄膜磁気ヘッドは、夫々先端にポ
ールピースを有すると共に後側領域において前記ポール
ピースの厚さより大きな厚さを有する下部磁性体層及び
上部磁性体層と、ギャップ層と、前記下部、上部磁性体
層の間のコイル及び絶縁層とを有し、前記下部磁性体層
及び上部磁性体層の夫々の後側領域が、ポールピースか
ら連続して耐腐食磁性材料から成る層と、高飽和磁化合
金から成る層との複合層によって形成されたものである
。
【０００９】
【作用】上述の様な構成によれば、下部磁性体層及び上
部磁性体層の夫々の後側領域が、耐腐食磁性材料から成
る層と高飽和磁化合金から成る層との複合層によって、
ポールピースの厚さより大きな厚さを有して形成される
ことによって、薄膜磁気ヘッドのヨークが磁化飽和する
ことに対抗すると共に、記録時の変換効率が高められ、
又ポールピースが耐腐食磁性材料で形成されることによ
って、腐食されることが無い。
部磁性体層の夫々の後側領域が、耐腐食磁性材料から成
る層と高飽和磁化合金から成る層との複合層によって、
ポールピースの厚さより大きな厚さを有して形成される
ことによって、薄膜磁気ヘッドのヨークが磁化飽和する
ことに対抗すると共に、記録時の変換効率が高められ、
又ポールピースが耐腐食磁性材料で形成されることによ
って、腐食されることが無い。
【００１０】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照して具体
的に説明する。
的に説明する。
【００１１】薄膜磁気ヘッドの構成は図１に示す通りで
ある。薄膜磁気ヘッド１は、絶縁材料から成る基体２上
に形成されており、先端部に扇状のヨーク１０が形成さ
れている。そして、このヨーク１０を含む様にして全体
がほぼ楕円形状をした箔状コイル６が設けられている。 箔状コイル６は電気的に絶縁されて、この一端は中心部
分１２でリード部１３と接続され、他端はリード部１４
と接続され、書込み、読出し信号は、このリード部１３
，１４を経由して伝達される。前記ヨーク１０は、この
先端の変換ギャップから初期飽和点を越える位置まで延
びる一対のポールピースから成るポール部Ｐと、後側領
域Ｂと、この後側領域内に設けられた後側ギャップ１１
とを有する。
ある。薄膜磁気ヘッド１は、絶縁材料から成る基体２上
に形成されており、先端部に扇状のヨーク１０が形成さ
れている。そして、このヨーク１０を含む様にして全体
がほぼ楕円形状をした箔状コイル６が設けられている。 箔状コイル６は電気的に絶縁されて、この一端は中心部
分１２でリード部１３と接続され、他端はリード部１４
と接続され、書込み、読出し信号は、このリード部１３
，１４を経由して伝達される。前記ヨーク１０は、この
先端の変換ギャップから初期飽和点を越える位置まで延
びる一対のポールピースから成るポール部Ｐと、後側領
域Ｂと、この後側領域内に設けられた後側ギャップ１１
とを有する。
【００１２】図１に示す薄膜磁気ヘッド１のＸ−Ｘ′断
面を拡大して図２に示す様に、ヨーク１０は、ポール部
Ｐから後側領域Ｂにかけて連続して形成された下部磁性
体層３と上部磁性体層９とから成っている。前記下部磁
性体層３の後側領域Ｂにおける上面には、ヨーク上層４
が形成され、前記上部磁性体層９の後側領域Ｂにおける
下面には、ヨーク下層８が形成され、これによって、ヨ
ーク１０は、後側領域Ｂにおける厚さがポール部Ｐにお
ける厚さより厚くなるように形成されている。前記下部
磁性体層３と上部磁性体層９とは、耐腐食磁性材料であ
る、例えばパーマロイから成り、又、前記ヨーク上層４
とヨーク下層８とは、高飽和磁化合金である、例えばＦ
ｅ−Ｓｉから成っている。このＦｅ−Ｓｉは、Ｓｉの含
有量によって幅はあるものの、２．０［Ｔ］前後の高い
飽和磁化を有している。ここで用いられる高飽和磁化合
金としては、既述のＦｅ−Ｎ，Ｆｅ−Ｎ−Ｚｒ，Ｃｏ−
Ｆｅ−Ｓｉ，Ｃｏ−Ｆｅ−Ｐ等であってもよく、又、耐
腐食磁性材料としては、Ｆｅ−Ｎｉ系、又はセンダスト
等であってもよい。
面を拡大して図２に示す様に、ヨーク１０は、ポール部
Ｐから後側領域Ｂにかけて連続して形成された下部磁性
体層３と上部磁性体層９とから成っている。前記下部磁
性体層３の後側領域Ｂにおける上面には、ヨーク上層４
が形成され、前記上部磁性体層９の後側領域Ｂにおける
下面には、ヨーク下層８が形成され、これによって、ヨ
ーク１０は、後側領域Ｂにおける厚さがポール部Ｐにお
ける厚さより厚くなるように形成されている。前記下部
磁性体層３と上部磁性体層９とは、耐腐食磁性材料であ
る、例えばパーマロイから成り、又、前記ヨーク上層４
とヨーク下層８とは、高飽和磁化合金である、例えばＦ
ｅ−Ｓｉから成っている。このＦｅ−Ｓｉは、Ｓｉの含
有量によって幅はあるものの、２．０［Ｔ］前後の高い
飽和磁化を有している。ここで用いられる高飽和磁化合
金としては、既述のＦｅ−Ｎ，Ｆｅ−Ｎ−Ｚｒ，Ｃｏ−
Ｆｅ−Ｓｉ，Ｃｏ−Ｆｅ−Ｐ等であってもよく、又、耐
腐食磁性材料としては、Ｆｅ−Ｎｉ系、又はセンダスト
等であってもよい。
【００１３】そして、前記下部磁性体層３と上部磁性体
層９との間には、所定の厚みを有して、非磁性材料であ
る、例えばＡｌ２ Ｏ３ から成るギャップ層５が形成
され、前記ギャップ層５の上には、導電性巻線である箔
状コイル６と、これを覆って絶縁層７が形成されている
。
層９との間には、所定の厚みを有して、非磁性材料であ
る、例えばＡｌ２ Ｏ３ から成るギャップ層５が形成
され、前記ギャップ層５の上には、導電性巻線である箔
状コイル６と、これを覆って絶縁層７が形成されている
。
【００１４】上記の薄膜磁気ヘッド１は、先ず、所定の
厚みを有し、例えばＡｌ２ Ｏ３ から成る基体２上に
、パーマロイから成る下部磁性体層３がパターン形成さ
れ、前記下部磁性体層３の後側領域Ｂにおいて、Ｆｅ−
Ｓｉから成るヨーク上層４がパターン形成される。この
上に非磁性材料であるＡｌ２ Ｏ３ をスパッタリング
被着させることによって、所定の厚みを有するギャップ
層５が形成される。そして、ギャップ層５の上に、例え
ばノボラック樹脂系の如き絶縁材料から成る絶縁層７と
、前記絶縁層７によって電気的に絶縁される様に覆われ
た箔状コイル６とが形成される。その後、上部磁性体層
９の後側領域Ｂにおいて、Ｆｅ−Ｓｉから成るヨーク下
層８がパターン形成され、パーマロイから成る上部磁性
体層９がパターン形成される。
厚みを有し、例えばＡｌ２ Ｏ３ から成る基体２上に
、パーマロイから成る下部磁性体層３がパターン形成さ
れ、前記下部磁性体層３の後側領域Ｂにおいて、Ｆｅ−
Ｓｉから成るヨーク上層４がパターン形成される。この
上に非磁性材料であるＡｌ２ Ｏ３ をスパッタリング
被着させることによって、所定の厚みを有するギャップ
層５が形成される。そして、ギャップ層５の上に、例え
ばノボラック樹脂系の如き絶縁材料から成る絶縁層７と
、前記絶縁層７によって電気的に絶縁される様に覆われ
た箔状コイル６とが形成される。その後、上部磁性体層
９の後側領域Ｂにおいて、Ｆｅ−Ｓｉから成るヨーク下
層８がパターン形成され、パーマロイから成る上部磁性
体層９がパターン形成される。
【００１５】この様に薄膜磁気ヘッド１のヨーク１０の
後側領域Ｂが、ポール部Ｐの各ポールピースの厚さより
厚くなるように形成されることによって、しかも、高飽
和磁化合金であるＦｅ−Ｓｉから成るヨーク上層４を、
パーマロイから成る下部磁性体層３に重ね合わせ、又、
Ｆｅ−Ｓｉから成るヨーク下層８を、パーマロイから成
る上部磁性体層９に重ね合わせることによって、薄膜磁
気ヘッド１のヨーク１０が磁化飽和することに対抗する
と共に、記録時の変換効率が更に高められる。又、ポー
ル部Ｐが耐腐食磁性材料であるパーマロイで形成される
ことによって、腐食されることも無い。
後側領域Ｂが、ポール部Ｐの各ポールピースの厚さより
厚くなるように形成されることによって、しかも、高飽
和磁化合金であるＦｅ−Ｓｉから成るヨーク上層４を、
パーマロイから成る下部磁性体層３に重ね合わせ、又、
Ｆｅ−Ｓｉから成るヨーク下層８を、パーマロイから成
る上部磁性体層９に重ね合わせることによって、薄膜磁
気ヘッド１のヨーク１０が磁化飽和することに対抗する
と共に、記録時の変換効率が更に高められる。又、ポー
ル部Ｐが耐腐食磁性材料であるパーマロイで形成される
ことによって、腐食されることも無い。
【００１６】
【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、薄膜磁気
ヘッドの材料として、耐腐食性の面で劣る高飽和磁化合
金の使用が可能であると共に、これにより記録時に優れ
た変換特性の得られる薄膜磁気ヘッドの提供が可能とな
る。
ヘッドの材料として、耐腐食性の面で劣る高飽和磁化合
金の使用が可能であると共に、これにより記録時に優れ
た変換特性の得られる薄膜磁気ヘッドの提供が可能とな
る。
【図１】本発明における薄膜磁気ヘッドの部分的に破断
された拡大斜視図である。
された拡大斜視図である。
【図２】図１に示す薄膜磁気ヘッドのＸ−Ｘ′断面拡大
図である。
図である。
【図３】従来における薄膜磁気ヘッドのヨーク及び巻線
の部分的断面図である。
の部分的断面図である。
【符号の説明】
１ 薄膜磁気ヘッド
２ 基体
３ 下部磁性体層
４ ヨーク上層
５ ギャップ層
６ 箔状コイル
７ 絶縁層
８ ヨーク下層
９ 上部磁性体層
１０ ヨーク
Ｂ 後側領域
Ｐ ポール部
Claims (1)
- 【請求項１】 夫々先端にポールピースを有すると共
に後側領域において前記ポールピースの厚さより大きな
厚さを有する下部磁性体層及び上部磁性体層と、ギャッ
プ層と、前記下部、上部磁性体層の間のコイル及び絶縁
層とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性体
層及び上部磁性体層の夫々の後側領域が、ポールピース
から連続して耐腐食磁性材料から成る層と、高飽和磁化
合金から成る層との複合層によって形成されたことを特
徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16764291A JPH04366407A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16764291A JPH04366407A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04366407A true JPH04366407A (ja) | 1992-12-18 |
Family
ID=15853557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16764291A Withdrawn JPH04366407A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04366407A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06295418A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-10-21 | Nec Corp | 複合型磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置 |
-
1991
- 1991-06-12 JP JP16764291A patent/JPH04366407A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06295418A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-10-21 | Nec Corp | 複合型磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |