JPH0436240U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0436240U JPH0436240U JP7786190U JP7786190U JPH0436240U JP H0436240 U JPH0436240 U JP H0436240U JP 7786190 U JP7786190 U JP 7786190U JP 7786190 U JP7786190 U JP 7786190U JP H0436240 U JPH0436240 U JP H0436240U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- printed circuit
- probe card
- input
- output terminals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第１図は本考案に係るプローブカードを示す要
部断面図、第２図は第１図に示したプローブカー
ドの組み立て前の構成を示す要部断面図、第３図
はフレキシブルプリント回路基板を示す概略図、
第４図はニードルとフレキシブルプリント回路基
板との取り付け部を示す拡大図、第５図は第３図
中部の拡大図、第６図は第３図中−線断面
図、第７図は従来のプローブカードを示す要部断
面図、第８図は従来のプローブカードを示す要部
平面図、第９図は従来のプローブカードを示す要
部断面図、第１０図は従来のプローブカードを示
す要部拡大平面図である。 １……プリント基板、２……入出力端子、３…
…被試験集積回路、４……入出力端子、５……ニ
ードル、６……フレキシブルプリント回路基板。
部断面図、第２図は第１図に示したプローブカー
ドの組み立て前の構成を示す要部断面図、第３図
はフレキシブルプリント回路基板を示す概略図、
第４図はニードルとフレキシブルプリント回路基
板との取り付け部を示す拡大図、第５図は第３図
中部の拡大図、第６図は第３図中−線断面
図、第７図は従来のプローブカードを示す要部断
面図、第８図は従来のプローブカードを示す要部
平面図、第９図は従来のプローブカードを示す要
部断面図、第１０図は従来のプローブカードを示
す要部拡大平面図である。 １……プリント基板、２……入出力端子、３…
…被試験集積回路、４……入出力端子、５……ニ
ードル、６……フレキシブルプリント回路基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) プリント基板１と、このプリント基板１の
入出力端子２に電気的に接続されると共に、該プ
リント基板１に固定され、被試験集積回路３の入
出力端子４に接触して被試験集積回路３に試験電
流を供給する複数のニードル５とを有するプロー
ブカードにおいて、 上記ニードル５とプリント基板１の入出力端子
３とをフレキシブルプリント回路基板６を介して
電気的に接続したことを特徴とするプローブカー
ド。 (2) 上記ニードル５とフレキシブルプリント回
路基板６とは複数段に設けたことを特徴とする請
求項１に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990077861U JP2539264Y2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990077861U JP2539264Y2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | プローブカード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436240U true JPH0436240U (ja) | 1992-03-26 |
| JP2539264Y2 JP2539264Y2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=31620626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990077861U Expired - Lifetime JP2539264Y2 (ja) | 1990-07-24 | 1990-07-24 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539264Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243761A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-08-28 | Cascade Microtech Inc | ウェハープローブ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120650U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 日本電子材料株式会社 | プロ−ブカ−ド |
| JPS59163968U (ja) * | 1983-04-20 | 1984-11-02 | 株式会社フジクラ | プリント回路板検査装置 |
| JPS612338A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
| JPH01295185A (ja) * | 1988-05-21 | 1989-11-28 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
-
1990
- 1990-07-24 JP JP1990077861U patent/JP2539264Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58120650U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 日本電子材料株式会社 | プロ−ブカ−ド |
| JPS59163968U (ja) * | 1983-04-20 | 1984-11-02 | 株式会社フジクラ | プリント回路板検査装置 |
| JPS612338A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
| JPH01295185A (ja) * | 1988-05-21 | 1989-11-28 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243761A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-08-28 | Cascade Microtech Inc | ウェハープローブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2539264Y2 (ja) | 1997-06-25 |