JPH04361109A - 表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定装置Info
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- JPH04361109A JPH04361109A JP3162210A JP16221091A JPH04361109A JP H04361109 A JPH04361109 A JP H04361109A JP 3162210 A JP3162210 A JP 3162210A JP 16221091 A JP16221091 A JP 16221091A JP H04361109 A JPH04361109 A JP H04361109A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平板形状の被検物の表
面形状を測定する表面形状測定装置に関する。
面形状を測定する表面形状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の表面形状測定装置としては、特開
平２−１２４４０８号公報に記載されたものが知られて
いる。この装置は被検物をＸＹ方向に移動する移動台と
、被検物の表面に光ビームを照射して反射光を受光する
ことにより照射点でのＺ方向の高さを検出する光センサ
ーと、これらを制御する制御部とを備えて構成されてい
る。
平２−１２４４０８号公報に記載されたものが知られて
いる。この装置は被検物をＸＹ方向に移動する移動台と
、被検物の表面に光ビームを照射して反射光を受光する
ことにより照射点でのＺ方向の高さを検出する光センサ
ーと、これらを制御する制御部とを備えて構成されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】光センサーを用いた従
来技術では、被検物表面が不透明な場合にだけ、その反
射光に基づいた正確な測定を行うことができる。しかし
ながら、被検物が表面に銅パターンが形成されているプ
リント基板などの場合、その多くがガラスエポキシ樹脂
などの半透明のベースを使用しているため、照射した光
ビームが浸透して正確な測定ができない問題があった。
来技術では、被検物表面が不透明な場合にだけ、その反
射光に基づいた正確な測定を行うことができる。しかし
ながら、被検物が表面に銅パターンが形成されているプ
リント基板などの場合、その多くがガラスエポキシ樹脂
などの半透明のベースを使用しているため、照射した光
ビームが浸透して正確な測定ができない問題があった。
【０００４】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
のであり、表面の一部に透明あるいは半透明な部分を有
した被検物であっても、正確に表面形状を測定すること
ができる表面形状測定装置を提供することを目的とする
。
のであり、表面の一部に透明あるいは半透明な部分を有
した被検物であっても、正確に表面形状を測定すること
ができる表面形状測定装置を提供することを目的とする
。
【０００５】
【課題を解決するための手段】図１は、本発明の基本構
成を示し、被検物１の表面の高さを非接触状態で光学的
に測定する光学式変位センサー２と、被検物１の表面の
高さを接触状態で測定する接触式変位センサー３と、こ
れら各センサー２，３と被検物１とを三次元的に相対的
に走査する移動手段４と、各センサー２，３からの測定
値に基づいて被検物１の表面形状を演算する演算手段５
とを備えている。
成を示し、被検物１の表面の高さを非接触状態で光学的
に測定する光学式変位センサー２と、被検物１の表面の
高さを接触状態で測定する接触式変位センサー３と、こ
れら各センサー２，３と被検物１とを三次元的に相対的
に走査する移動手段４と、各センサー２，３からの測定
値に基づいて被検物１の表面形状を演算する演算手段５
とを備えている。
【０００６】
【作用】上記構成において、光学式変位センサー２は被
検物表面に光を照射し、その反射光により被検物１の表
面の不透明部分１ｂの高さを測定し、接触式変位センサ
ー３は被検物１表面との接触状態で被検物表面の透明部
分あるいは半透明部分１ａの高さを測定し、演算部５は
これらセンサー２，３からの測定値に基づいて被検物１
の表面形状を演算する。移動手段はセンサー２，３と被
検物１との相対的な走査を行うことにより、センサー２
，３に対して被検物の表面全体を移動させると共に、被
検物の透明、非透明の表面状態に応じて、センサー２，
３を切り換えるように作用する。
検物表面に光を照射し、その反射光により被検物１の表
面の不透明部分１ｂの高さを測定し、接触式変位センサ
ー３は被検物１表面との接触状態で被検物表面の透明部
分あるいは半透明部分１ａの高さを測定し、演算部５は
これらセンサー２，３からの測定値に基づいて被検物１
の表面形状を演算する。移動手段はセンサー２，３と被
検物１との相対的な走査を行うことにより、センサー２
，３に対して被検物の表面全体を移動させると共に、被
検物の透明、非透明の表面状態に応じて、センサー２，
３を切り換えるように作用する。
【０００７】
【実施例１】図２は本発明の実施例１を示し、光学式変
位センサーとして三角測定式変位センサー１１が、また
接触式変位センサーとして電気マイクロメータ１２が使
用されている。これらのセンサー１１，１２は軸１３ａ
を中心して回転するレボルバー１３に取り付けられてお
り、レボルバー１３はフレーム１５に上下方向移動可能
に設けられたＺステージ１４に取り付けられている。ま
た、レボルバー１３下方のフレーム１５上には左右およ
び前後の直交する２方向に移動可能なＸＹステージ１８
が設けられ、このＸＹステージ１８にホルダー１７が取
り付けられている。そして、このホルダー１７の静電吸
着によって被検物１６が保持されている。さらに、三角
測量式変位センサー１１および電気マイクロメータ１２
はこれらの測定値から被検物１の表面形状を演算するマ
イクロコンピュータ１９に接続され、このマイクロコン
ピユータ１９にディスプレー２０が接続されて演算結果
の可視表示が行われるようになっている。
位センサーとして三角測定式変位センサー１１が、また
接触式変位センサーとして電気マイクロメータ１２が使
用されている。これらのセンサー１１，１２は軸１３ａ
を中心して回転するレボルバー１３に取り付けられてお
り、レボルバー１３はフレーム１５に上下方向移動可能
に設けられたＺステージ１４に取り付けられている。ま
た、レボルバー１３下方のフレーム１５上には左右およ
び前後の直交する２方向に移動可能なＸＹステージ１８
が設けられ、このＸＹステージ１８にホルダー１７が取
り付けられている。そして、このホルダー１７の静電吸
着によって被検物１６が保持されている。さらに、三角
測量式変位センサー１１および電気マイクロメータ１２
はこれらの測定値から被検物１の表面形状を演算するマ
イクロコンピュータ１９に接続され、このマイクロコン
ピユータ１９にディスプレー２０が接続されて演算結果
の可視表示が行われるようになっている。
【０００８】なお、本実施例では、三角測量式変位セン
サー１１を用いているが、焦点検出センサーや反射光量
式変位センサーなど他の光学式変位センサーを用いても
良く、電気マイクロメータに替えて光学スケール式や磁
気スケール式変位センサーを用いても良い。また、被検
物１６を静電吸着により保持しているが、真空吸着によ
り保持しても良い。
サー１１を用いているが、焦点検出センサーや反射光量
式変位センサーなど他の光学式変位センサーを用いても
良く、電気マイクロメータに替えて光学スケール式や磁
気スケール式変位センサーを用いても良い。また、被検
物１６を静電吸着により保持しているが、真空吸着によ
り保持しても良い。
【０００９】上記構成において被検物１６をホルダー１
７に保持させた状態でＸＹステージ１８により所定の位
置に合わせ、測定を開始する。この測定時に被検物１６
の不透明部分は三角測量式変位センサー１１が下向きの
位置で測定を行う。また、ＸＹステージ１８が被検物１
６を走査して、被検物１６の透明部分が位置すると、レ
ボルバー１３を回転させ、電気マイクロメータ１２を下
に向け測定する。この場合、Ｚステージ１４は被検物の
厚みに応じてセンサー１１，１２の高さを調整するため
に使用する。このような操作による測定で２つのセンサ
ーから得られた被検物１６のＸＹ走査での高さの信号は
処理部１９に入力され、不透明部分は三角測量式変位セ
ンサー１１の測定値、また透明部分は電気マイクロメー
タ１２の測定値に基づいて平面の連続したデータとして
算出されディスプレー２０により表示される。
７に保持させた状態でＸＹステージ１８により所定の位
置に合わせ、測定を開始する。この測定時に被検物１６
の不透明部分は三角測量式変位センサー１１が下向きの
位置で測定を行う。また、ＸＹステージ１８が被検物１
６を走査して、被検物１６の透明部分が位置すると、レ
ボルバー１３を回転させ、電気マイクロメータ１２を下
に向け測定する。この場合、Ｚステージ１４は被検物の
厚みに応じてセンサー１１，１２の高さを調整するため
に使用する。このような操作による測定で２つのセンサ
ーから得られた被検物１６のＸＹ走査での高さの信号は
処理部１９に入力され、不透明部分は三角測量式変位セ
ンサー１１の測定値、また透明部分は電気マイクロメー
タ１２の測定値に基づいて平面の連続したデータとして
算出されディスプレー２０により表示される。
【００１０】従って、この実施例１ではレボルバー１３
により２つのセンサー１１，１２の測定位置と高さを等
しく切替えできるので、ＸＹステージ１８の走査による
精度の低下を防止できると共に、マイクロコンピュータ
１９での演算を簡単に行うことができる。
により２つのセンサー１１，１２の測定位置と高さを等
しく切替えできるので、ＸＹステージ１８の走査による
精度の低下を防止できると共に、マイクロコンピュータ
１９での演算を簡単に行うことができる。
【００１１】
【実施例２】図２は本発明の実施例２を示し、実施例１
と同一の要素は同一の符号で対応させてある。この実施
例２では電気マイクロメータ１２にエアーリフタ２１が
取り付けられており、Ｚステージ１４による上下動とは
別個、独立して電気マイクロメータ１２の上下調整が行
われるようになっている。これにより電気マイクロメー
タ１２はその接触子１２ａが実線と破線の間を上下動移
動することができる。また、この電気マイクロメータ１
２と三角測量式変位センサー１２とは距離ｄを有してＺ
ステージ１４に並設されており、これらの被検物１６に
対して固定的となっている。なお、電気マイクロメータ
１２の上下調整として、エアーリフタ２１に代えて電動
リフタ、手動リフタであってもよい。
と同一の要素は同一の符号で対応させてある。この実施
例２では電気マイクロメータ１２にエアーリフタ２１が
取り付けられており、Ｚステージ１４による上下動とは
別個、独立して電気マイクロメータ１２の上下調整が行
われるようになっている。これにより電気マイクロメー
タ１２はその接触子１２ａが実線と破線の間を上下動移
動することができる。また、この電気マイクロメータ１
２と三角測量式変位センサー１２とは距離ｄを有してＺ
ステージ１４に並設されており、これらの被検物１６に
対して固定的となっている。なお、電気マイクロメータ
１２の上下調整として、エアーリフタ２１に代えて電動
リフタ、手動リフタであってもよい。
【００１２】この実施例２においても被検物１６の表面
状態が不透明であればＸＹステージ１８により三角測量
式変位センサー１１の下方に移動して測定する。このと
き、電気マイクロメータ１２はエアーリフタ２１により
、その接触子１２ａを上げておき、接触による不要な損
傷を防止する。一方被検物１６の表面状態が透明な場合
にはＸＹステージ１８のＸ方向を距離ｄ移動して、被検
物１６を電気マイクロ１２下方に位置させ、この状態で
エアーリフター２１により接触子１２ａを下降して接触
測定する。
状態が不透明であればＸＹステージ１８により三角測量
式変位センサー１１の下方に移動して測定する。このと
き、電気マイクロメータ１２はエアーリフタ２１により
、その接触子１２ａを上げておき、接触による不要な損
傷を防止する。一方被検物１６の表面状態が透明な場合
にはＸＹステージ１８のＸ方向を距離ｄ移動して、被検
物１６を電気マイクロ１２下方に位置させ、この状態で
エアーリフター２１により接触子１２ａを下降して接触
測定する。
【００１３】このような実施例２では実施例１と同様な
効果を有するが、センサーの切替えに特別な機構が不要
となると共に、電気マイクロメータ１２に付加されてい
るエアーリフタ２１を使用することにより、切替えに伴
う位置決め精度の低下を防止できる。
効果を有するが、センサーの切替えに特別な機構が不要
となると共に、電気マイクロメータ１２に付加されてい
るエアーリフタ２１を使用することにより、切替えに伴
う位置決め精度の低下を防止できる。
【００１４】
【実施例３】図４は本発明の実施例３を示し、図示する
ように三角測量式変位センサー１１と電気マイクロメー
タ１２とがＺステージ１４に並設されているが、電気マ
イクロメータ１２は三角測量式変位センサー１１の作動
距離ＷＤより短い作動距離に設定されている。
ように三角測量式変位センサー１１と電気マイクロメー
タ１２とがＺステージ１４に並設されているが、電気マ
イクロメータ１２は三角測量式変位センサー１１の作動
距離ＷＤより短い作動距離に設定されている。
【００１５】この実施例３においても被検物１６の表面
状態が不透明であれば、ＸＹステード１８により三角測
量式変位センサー１１の下方に移動して測定する。この
とき三角測量式変位センサー１１は被検物１６との距離
をＷＤとして非接触状態で測定する。一方、表面状態が
透明な場合には、ＸＹステージ１８のＸ方向を距離ｄ移
動して、被検物１６を電気マイクロメータ１２の下方に
位置させる。そして、Ｚステージ１４を高さｈ下降して
破線の位置に示すように電気マイクロメータ１２を被検
物表面と同一高さで作動させる。
状態が不透明であれば、ＸＹステード１８により三角測
量式変位センサー１１の下方に移動して測定する。この
とき三角測量式変位センサー１１は被検物１６との距離
をＷＤとして非接触状態で測定する。一方、表面状態が
透明な場合には、ＸＹステージ１８のＸ方向を距離ｄ移
動して、被検物１６を電気マイクロメータ１２の下方に
位置させる。そして、Ｚステージ１４を高さｈ下降して
破線の位置に示すように電気マイクロメータ１２を被検
物表面と同一高さで作動させる。
【００１６】この実施例３ではセンサーの切替えに付加
する機構が全く不要となり、高さ調整もＺステージだけ
で行うことができるため、構成が簡単で安価となる。
する機構が全く不要となり、高さ調整もＺステージだけ
で行うことができるため、構成が簡単で安価となる。
【００１７】
【実施例４】図５および図６は本発明の実施例４を示す
。この実施例４では、一体型センサー２１を使用するも
のであり、同センサー２１は三角測量式変位センサー１
１の下面中央部分に電気マイクロメータ１２を備えるこ
とにより構成されている。電気マイクロメータ１２は、
その接触子１２ａが蛇腹状の伸縮部材２３を介して一体
型センサー２１に取り付けられている。図５は三角測定
式変位センサー１１による測定時を、図６は電気マイク
ロメータ１２による測定時を示し、これらの測定時には
三角測量式変位センサー１１の測定を電気マイクロメー
タ１２の測定点とを一致させることができる。
。この実施例４では、一体型センサー２１を使用するも
のであり、同センサー２１は三角測量式変位センサー１
１の下面中央部分に電気マイクロメータ１２を備えるこ
とにより構成されている。電気マイクロメータ１２は、
その接触子１２ａが蛇腹状の伸縮部材２３を介して一体
型センサー２１に取り付けられている。図５は三角測定
式変位センサー１１による測定時を、図６は電気マイク
ロメータ１２による測定時を示し、これらの測定時には
三角測量式変位センサー１１の測定を電気マイクロメー
タ１２の測定点とを一致させることができる。
【００１８】この実施例４では被検物１６の表面状態が
不透明であれば、電気マイクロメータ１２を上げた状態
で三角測量式変位センサー１１の測定光を遮ることなく
同センサー１１により測定する。また、表面状態が透明
な場合は電気マイクロメータ１２を下降させて測定する
ようになっている。従って、この実施例４ではセンサー
が一体型なので、小型にできるメリットがある。
不透明であれば、電気マイクロメータ１２を上げた状態
で三角測量式変位センサー１１の測定光を遮ることなく
同センサー１１により測定する。また、表面状態が透明
な場合は電気マイクロメータ１２を下降させて測定する
ようになっている。従って、この実施例４ではセンサー
が一体型なので、小型にできるメリットがある。
【００１９】
【実施例５】図７ないし図９は本発明の実施例５を示し
、三角測量式変位センサー１１と電気マイクロメータ１
２とが併設されて、センサーが構成されるが、電気マイ
クロメータ１２は実施例４と同様に伸縮部材２３を備え
ている。また、この伸縮部材２３の下部には前方向に屈
曲したアーム２４が取り付けられ、このアーム２４に接
触子１２ａが取り付けられている。そして、この状態で
は接触点１２ａは三角測量式変位センサー１１の測定点
と同一の測定点に達することができ、実施例４と同様な
効果を有している。
、三角測量式変位センサー１１と電気マイクロメータ１
２とが併設されて、センサーが構成されるが、電気マイ
クロメータ１２は実施例４と同様に伸縮部材２３を備え
ている。また、この伸縮部材２３の下部には前方向に屈
曲したアーム２４が取り付けられ、このアーム２４に接
触子１２ａが取り付けられている。そして、この状態で
は接触点１２ａは三角測量式変位センサー１１の測定点
と同一の測定点に達することができ、実施例４と同様な
効果を有している。
【００２０】
【発明の効果】本発明は被検物の透明部分を測定する接
触式変位センサーと，非透明部分を測定する光学式変位
センサーとを備えるため、表面に透明、非透明の部分が
あっても、表面形状を精度良く測定することができる。 また、非透明部分が柔軟であったり、透明部分が傷つき
易い場合にもその測定を行うことができる。
触式変位センサーと，非透明部分を測定する光学式変位
センサーとを備えるため、表面に透明、非透明の部分が
あっても、表面形状を精度良く測定することができる。 また、非透明部分が柔軟であったり、透明部分が傷つき
易い場合にもその測定を行うことができる。
【図１】本発明の基本構成を示す側面図。
【図２】本発明の実施例１を示す側面図。
【図３】本発明の実施例２を示す側面図。
【図４】本発明の実施例３を示す側面図。
【図５】本発明の実施例４を示す正面図。
【図６】本発明の実施例４を示す正面図。
【図７】本発明の実施例５を示す正面図。
【図８】本発明の実施例５を示す側面図。
【図９】本発明の実施例５を示す側面図。
１ 被検物
２ 光学式変位センサー
３ 接触式変位センサー
４ 移動手段
５ 演算手段
Claims (1)
- 【請求項１】 被検物の表面の高さを非接触状態
で光学的に測定する光学式変位センサーと、被検物の表
面の高さを接触状態で測定する接触式変位センサーと、
前記各センサーと被検物とを三次元的に相対的に走査す
る移動手段と、前記各センサーからの測定値に基づいて
被検物の表面形状を演算する演算手段とを備えているこ
とを特徴とする表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162210A JPH04361109A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162210A JPH04361109A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | 表面形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04361109A true JPH04361109A (ja) | 1992-12-14 |
Family
ID=15750063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3162210A Withdrawn JPH04361109A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04361109A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004535580A (ja) * | 2001-07-16 | 2004-11-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 表面特性の測定方法及び座標測定装置 |
| JP2012112706A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Kosaka Laboratory Ltd | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
| CN106767621A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-05-31 | 同济大学 | 一种测量盘型滚刀磨损量及磨损形状的装置及方法 |
-
1991
- 1991-06-06 JP JP3162210A patent/JPH04361109A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004535580A (ja) * | 2001-07-16 | 2004-11-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 表面特性の測定方法及び座標測定装置 |
| JP2012112706A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Kosaka Laboratory Ltd | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
| CN106767621A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-05-31 | 同济大学 | 一种测量盘型滚刀磨损量及磨损形状的装置及方法 |
| CN106767621B (zh) * | 2017-01-23 | 2019-04-30 | 同济大学 | 一种测量盘型滚刀磨损量及磨损形状的装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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