JPH04358513A - スクラバ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はスクラバ装置に係り、特
にクリーンルームで使用された爆発性、可燃性の排気ガ
スを導入して空気によって希釈し、希釈した排気ガスを
大気に放出するスクラバ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルームで製造される半導体製品
の製造工程のなかで化学的気相成長（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
　　Ｖａｐｏｒ　　Ｄｅｐｏｓｉｔ）では、モノシラン
、ジクロールシラン及び有機性シラン等の爆発性、可燃
性の特殊ガスが多量に使用される。これらの特殊ガスは
、排気ガスとして他の塩素化合物、フッ素化合物等の酸
性物質と混合され、このままの状態で大気に放出するこ
とができない。

【０００３】従来、このような特殊ガスを除害する装置
として、図２に示すスクラバ装置１がある。このスクラ
バ装置１は、前記排気ガスを排気ガス導入口２から導入
すると共に、この排気ガスに対して空気供給口３からＮ
２　ガス又は空気を供給して、排気ガスを爆発限界以下
及び燃焼限界以下に希釈する。特に空気を供給する場合
、希釈時に排気ガスが空気と反応して発火する危険性が
あるので、この発火がスクラバ装置１内や排気ダクト４
内で延焼するのを阻止する為に、発火を水で消化するス
プレーノズル５、５が設置されている。

【０００４】発火が消化された排気ガスは、ミストセパ
レータ６を介してファン７に吸引された後、前記排気ダ
クト４を介して大気に放出される。ところで、前記スプ
レーノズル５で噴霧される水は、スクラバ装置１の下部
のドレン８に貯留された水をポンプ９で吸水することに
より、スクラバ装置１内で循環して使用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スクラバ装置では、化学的気相成長で生成される排気ガ
ス中の固形分や、真空ポンプから飛散したオイルミスト
は充分に除去することはできるが、モノシラン、ジクロ
ールシラン及び有機性シラン等の爆発性、可燃性の特殊
ガスは、空気希釈されて危険性は薄らぐものの充分に除
去することができないという欠点がある。

【０００６】また、前記特殊ガスを充分に希釈する為に
、空気を多量に供給する方法があるが、この方法では排
気ガスを希釈する容積を確保する為にスクラバ装置が大
型化し、大気に放出する排気ガス量が増大するという欠
点がある。現在、前記特殊ガスに関する排出規制があり
、この排出規制によればモノシランの場合では５ｐｐｍ
、ジクロールシランの場合では０．５ｐｐｍにまで希釈
しなければならないので、特殊ガスを効率的に希釈処理
するスクラバ装置が望まれている。

【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、特殊ガスを効率的に希釈処理することができる
スクラバ装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、クリーンルームで使用された爆発性、可燃性
の排気ガスを排気ガス導入口から導入し、導入した前記
排気ガスを空気供給口から供給された空気によって希釈
し、希釈した排気ガスに水を噴霧して排気ガスの発火を
消化した後、排気ガス中のミストを除去して大気に放出
するスクラバ装置に於いて、前記排気ガス導入口と前記
空気供給口との間に設けられ、空気で希釈される前の排
気ガスを通過させるフイルタ部材と、フイルタ部材に向
けて水を噴霧するスプレー装置と、を備えたことを特徴
とする。

【０００９】

【作用】本発明によれば、排気ガス中のモノシラン、ジ
クロールシラン等に充分な滞留時間を与えると、水と反
応して加水分解することに着目し、排気ガスをフイルタ
部材を通過させることにより滞留時間を長引かせ、そし
てこの排気ガスにスプレー装置から水を噴霧して、モノ
シラン、ジクロールシラン等を水と反応させて加水分解
させる。そして、この希釈処理された排気ガスを空気で
希釈することにより、排気ガスを効率的に希釈処理する
ことができる。

【００１０】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るスクラバ
装置の好ましい実施例について詳説する。図１には本発
明に係るスクラバ装置１０の実施例が示され、このスク
ラバ装置１０は箱体に形成される。前記スクラバ装置１
０の図中左側の側面下部には、クリーンルームで使用さ
れた排気ガスを導入する排気ガス導入口１２が設けられ
、また図中右側の側面上部には排気ガスを大気に放出す
る案内管としての排気ダクト１４が取付けられている。 これにより、前記排気ガスは、スクラバ装置１０内を図
中矢印方向に流れる。更に、空気供給口１６が、スクラ
バ装置１０の前記排気ガス導入口１２に対向する図中右
側の側面に形成されている。

【００１１】尚、ここで排気ガスとは、クリーンルーム
で使用される塩素化合物、フッ素化合物等の酸性物質や
モノシラン、ジクロールシラン、有機性シラン等の爆発
性、可燃性の特殊ガスを含有したものである。前記空気
供給口１６には、ダンパ１８と逆止ダンパ２０とが設け
られる。前記ダンパ１８は、空気供給口１６からスクラ
バ装置１０内に供給される空気量を調節する為にその開
閉が制御される。また、前記逆止ダンパ２０は、スクラ
バ装置１０内に供給された空気が空気供給口１６から逆
流するのを阻止することができる。

【００１２】前記空気供給口１６から導入された排気ガ
ス流れの後流側で、且つ前記空気供給口１６の上流側に
は、充填材２２が設置されている。この充填材２２は排
気ガス中に含有するモノシラン、ジクロールシラン等を
除去することができる。この充填材２２の後流側には一
対のスプレーノズル２４、２４が配置される。前記スプ
レーノズル２４、２４…はその噴射口を前記充填材２２
に向けて取付けられると共に、パイプ２５、２６を介し
て給水ポンプ２８に連結される。給水ポンプ２８にはパ
イプ３０が連結され、このパイプ３０の吸水口３２はス
クラバ装置１０の下部のドレン３４に貯留されている水
３６内に浸漬する位置に取付けられている。

【００１３】また、前述したスプレーノズル２４、２４
…の後流側には、充填材３８が設けられる。この充填材
３８の後流側には一対のスプレーノズル４０、４０が配
置される。このスプレーノズル４０、４０はその噴射口
を前記充填材３８に向けて取付けられると共に、パイプ
４１、２６を介して前記給水ポンプ２８に連結されてい
る。

【００１４】前記スプレーノズル４０、４０の後流側に
は、ミストセパセータ４２が設けられ、このミストセパ
セータ４２の後流側には吸気ファン４４が設置される。 また、前記吸気ファン４４の後流側には、前述した排気
ダクト１４が連結されている。次に、前記の如く構成さ
れたスクラバ装置１０の作用について説明する。

【００１５】先ず、クリーンルームで使用された排気ガ
スを排気ガス導入口１２から５０ｌ／ｍｉｎの割合でス
プレー式除害装置１０内に導入し、この排気ガスを前述
した充填材２２に通過させる。この時、例えば充填材２
２のガス通過断面が４００ｍｍ×４００ｍｍで充填層厚
さが２００ｍｍであると、排気ガスの充填材２２に於け
る滞留（通過）時間が約４０秒になる。このように、排
気ガスの滞留時間が長引くと、排気ガス中のモノシラン
は充填材２２に９０％が除去され、ジクロールシランで
は９８％が除去される。前記充填材２２に除去されたモ
ノシラン、ジクロールシランは、スプレー装置から噴霧
された水と加水分解される。

【００１６】次に、前記充填材２２を通過した排気ガス
は、空気供給口１６から導入された空気によって希釈さ
れた後、充填材３８を通過して排気ガス中の酸性成分が
除去されると共に、スプレーノズル４０、４０から噴霧
された水によって排気ガスの発火が消化される。スプレ
ーノズル４０、４０から噴霧されたミストは、充填材３
８から水滴となって落下してドレン３４に貯留され、そ
して前記給水ポンプ２８に吸水されてスプレーノズル４
０、４０から再び噴霧される。

【００１７】発火が消化されたミストを含む前記排気ガ
スは、吸気ファン４４に吸引されてスクラバ装置１０内
を上昇し、ミストセパレータ４２を介してミストが除去
された後、排気ダクト１４に送り込まれて大気に放出さ
れる。このように、本実施例では、充填材２２で排気ガ
ス中のモノシラン、ジクロールシラン等を除去し、更に
排気ガスを空気で希釈した後、大気に放出するようにし
たので、従来のスクラバ装置と比較して希釈用空気量を
１０％に低下することができ、その分スクラバ装置１０
の小型化、及び希釈後の排気ガス量を減少させることが
できる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るスク
ラバ装置によれば、スクラバ装置の排気ガス導入口と空
気供給口との間にフイルタ部材と、フイルタ部材に向け
て水を噴霧するスプレー装置と、を設けて、空気で希釈
される前の排気ガスをフイルタ部材を通過させる際に、
排気ガス中のモノシラン、ジクロールシラン等をフイル
タ部材で除去すると共にスプレー装置から噴霧された水
と反応させて加水分解させるようにしたので、排気ガス
を効率的に希釈処理することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスクラバ装置の実施例を示す断面
図

【図２】従来のスクラバ装置の実施例を示す断面図

【符号の説明】

１０…スクラバ装置 １２…排気ガス導入口 １４…排気ダクト １６…空気導入口 ２２、３８…充填材 ２４、４０…スプレーノズル ４２…ミストセパレータ ４４…吸気ファン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　クリーンルームで使用された爆発性、
   可燃性の排気ガスを排気ガス導入口から導入し、導入し
   た前記排気ガスを空気供給口から供給された空気によっ
   て希釈し、希釈した排気ガスに水を噴霧して排気ガスの
   発火を消化した後、排気ガス中のミストを除去して大気
   に放出するスクラバ装置に於いて、前記排気ガス導入口
   と前記空気供給口との間に設けられ、空気で希釈される
   前の排気ガスを通過させるフイルタ部材と、フイルタ部
   材に向けて水を噴霧するスプレー装置と、を備えたこと
   を特徴とするスクラバ装置。