JPH04355151A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH04355151A JPH04355151A JP13086191A JP13086191A JPH04355151A JP H04355151 A JPH04355151 A JP H04355151A JP 13086191 A JP13086191 A JP 13086191A JP 13086191 A JP13086191 A JP 13086191A JP H04355151 A JPH04355151 A JP H04355151A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インク滴を飛翔させて
記録媒体上に画像を形成するインクジェット記録装置に
関し、特にインクを吐出する吐出口を有する面が金属で
あるインクジェット記録ヘッドに関する。
記録媒体上に画像を形成するインクジェット記録装置に
関し、特にインクを吐出する吐出口を有する面が金属で
あるインクジェット記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェット記録方法は、現在知られ
ている各種記録方式の中でも記録時に低騒音のノンイン
パクト記録方法であり、また、インク滴を飛翔させて記
録媒体上に画像を形成するので高速記録が可能で、かつ
普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録ができると
いう点で極めて有用な記録方法として認められている。 インクジェット記録ヘッドにおいて、インク吐出口を有
する面は例えば金属、セラミック、ガラス、プラスチッ
ク等で形成されている。しかし、インクジェット記録方
法はインク滴を飛翔させて記録媒体上に画像を形成する
ので、インク吐出面を濡らさないことを前提としたイン
クジェット記録ヘッドの場合、インク吐出口を有する面
の撥インク性(インクが水性インクであれば撥水性、油
性インクであれば撥油性)が要求される。もし、撥イン
ク性が不十分であるとインクジェット記録ヘッドからイ
ンクを吐出させたときに、そのインクが吐出口近傍に付
着し、不均一なインク溜り(濡れムラ)が生じるため、
再びインクを吐出させたとき、図1に示すようにその飛
翔方向がインク溜りの側に引っ張られ正規の方向から外
れる(吐出インク飛行曲がり)という問題が起こる。さ
らに、濡れムラが不安定なために吐出のたびにその飛翔
方向が乱れ、安定したインクの吐出ができず良好な記録
が得られない。
ている各種記録方式の中でも記録時に低騒音のノンイン
パクト記録方法であり、また、インク滴を飛翔させて記
録媒体上に画像を形成するので高速記録が可能で、かつ
普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録ができると
いう点で極めて有用な記録方法として認められている。 インクジェット記録ヘッドにおいて、インク吐出口を有
する面は例えば金属、セラミック、ガラス、プラスチッ
ク等で形成されている。しかし、インクジェット記録方
法はインク滴を飛翔させて記録媒体上に画像を形成する
ので、インク吐出面を濡らさないことを前提としたイン
クジェット記録ヘッドの場合、インク吐出口を有する面
の撥インク性(インクが水性インクであれば撥水性、油
性インクであれば撥油性)が要求される。もし、撥イン
ク性が不十分であるとインクジェット記録ヘッドからイ
ンクを吐出させたときに、そのインクが吐出口近傍に付
着し、不均一なインク溜り(濡れムラ)が生じるため、
再びインクを吐出させたとき、図1に示すようにその飛
翔方向がインク溜りの側に引っ張られ正規の方向から外
れる(吐出インク飛行曲がり)という問題が起こる。さ
らに、濡れムラが不安定なために吐出のたびにその飛翔
方向が乱れ、安定したインクの吐出ができず良好な記録
が得られない。
【0003】そこで、従来より図2に示すようにインク
吐出口2を有する面3の一部あるいは全部に撥インク層
5を形成し濡れムラを防止する方法が様々示されている
。例えば、特開昭55−65564号公報にはシリコン
系撥水剤、フッ素系撥水剤等の撥水剤を塗布する方法や
、特開昭56−89569号公報にはフロロアルコキシ
シラン等で処理する方法や、フッ素系化合物やシラン系
化合物のプラズマ重合膜(特開昭64−87359号公
報等)や熱蒸着などでコーティングする方法や、特開平
2−39944号公報にはフロロシリコーンコーティン
グ剤で処理する方法や、さらには特開平2−48953
号公報に示されるようにインク吐出口を有する面を微細
な凹凸を形成し、その凹凸の形成された面に対して撥イ
ンク層を形成する方法などが公知である。
吐出口2を有する面3の一部あるいは全部に撥インク層
5を形成し濡れムラを防止する方法が様々示されている
。例えば、特開昭55−65564号公報にはシリコン
系撥水剤、フッ素系撥水剤等の撥水剤を塗布する方法や
、特開昭56−89569号公報にはフロロアルコキシ
シラン等で処理する方法や、フッ素系化合物やシラン系
化合物のプラズマ重合膜(特開昭64−87359号公
報等)や熱蒸着などでコーティングする方法や、特開平
2−39944号公報にはフロロシリコーンコーティン
グ剤で処理する方法や、さらには特開平2−48953
号公報に示されるようにインク吐出口を有する面を微細
な凹凸を形成し、その凹凸の形成された面に対して撥イ
ンク層を形成する方法などが公知である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インク
ジェット記録装置には、記録紙から発生する紙粉や空気
中のほこり、ゴミ等がインク吐出口2を有する面3に付
着した場合の吐出口2の目詰まりを防ぐ目的で、図3に
示すようにゴム製のプレート6で面3を拭くという機能
が不可欠である。従って、インク吐出口を有する面3が
金属である場合には前述の従来技術のいずれの撥インク
層5も密着性が低いためにゴムプレート6で何回も拭い
ていると剥離してしまうという課題があった。
ジェット記録装置には、記録紙から発生する紙粉や空気
中のほこり、ゴミ等がインク吐出口2を有する面3に付
着した場合の吐出口2の目詰まりを防ぐ目的で、図3に
示すようにゴム製のプレート6で面3を拭くという機能
が不可欠である。従って、インク吐出口を有する面3が
金属である場合には前述の従来技術のいずれの撥インク
層5も密着性が低いためにゴムプレート6で何回も拭い
ていると剥離してしまうという課題があった。
【0005】すなわち、インク吐出口を有する面に初期
的には撥インク性があっても、次第に撥インク性が失わ
れ、インクジェット記録ヘッドからインクを吐出させた
ときに、そのインクが吐出口近傍に付着し、インクの飛
翔方向がインクが付着した側に引っ張られ飛行曲がりが
生じてしまうという課題があった。
的には撥インク性があっても、次第に撥インク性が失わ
れ、インクジェット記録ヘッドからインクを吐出させた
ときに、そのインクが吐出口近傍に付着し、インクの飛
翔方向がインクが付着した側に引っ張られ飛行曲がりが
生じてしまうという課題があった。
【0006】本発明は前記課題を解決するためのもので
あり、その目的とするところは、インク吐出口を有する
面に密着性の高い撥インク層を形成し、従ってインクを
吐出させたとき、吐出インク飛行曲がりが起こらず、高
品質の記録が長期間にわたって可能なインクジェット記
録ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
あり、その目的とするところは、インク吐出口を有する
面に密着性の高い撥インク層を形成し、従ってインクを
吐出させたとき、吐出インク飛行曲がりが起こらず、高
品質の記録が長期間にわたって可能なインクジェット記
録ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、インクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、インク吐出口を有する面が金属
であって、その表面にSiO2 薄膜層を設け、さらに
フロロシリコーンコーティング剤による撥インク層が形
成されていることを特徴とする。
ト記録ヘッドにおいて、インク吐出口を有する面が金属
であって、その表面にSiO2 薄膜層を設け、さらに
フロロシリコーンコーティング剤による撥インク層が形
成されていることを特徴とする。
【0008】一般にインクジェット記録ヘッドのインク
吐出口を有する面の材料として用いられる金属はベリリ
ウム、アルミニウム、チタン、バナジウム、クロム、マ
ンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、モリブデ
ン、スズ、タンタル、金等があげられ、これらのいずれ
か単一、あるいは2種類以上の合金である場合がある。 さらに、ホウ素、炭素、フッ素、ケイ素、リン等の非金
属元素が上記金属中に1種類以上含まれている場合もあ
る。本発明者らは、インクジェット記録ヘッドにおいて
、インク吐出口を有する面が上記に示すような金属であ
る場合、その金属との密着性がよく、撥インク性の良好
な表面処理について検討した結果、金属表面上にSiO
2 薄膜層を設け、さらにフロロシリコーンコーティン
グ剤を塗布し、加熱処理することによって得られた撥イ
ンク層は金属に対する密着性が向上し、図3に示すよう
にゴムプレート6でインク吐出口を有する面3を何回も
拭いた場合でも、剥離がなく、飛行曲がりも生じないこ
とがわかった。尚、ゴムプレートは、NBRゴム、シリ
コンゴム、ブチルゴム、クロロビデンゴム等の発泡性ゴ
ムからなる。
吐出口を有する面の材料として用いられる金属はベリリ
ウム、アルミニウム、チタン、バナジウム、クロム、マ
ンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、モリブデ
ン、スズ、タンタル、金等があげられ、これらのいずれ
か単一、あるいは2種類以上の合金である場合がある。 さらに、ホウ素、炭素、フッ素、ケイ素、リン等の非金
属元素が上記金属中に1種類以上含まれている場合もあ
る。本発明者らは、インクジェット記録ヘッドにおいて
、インク吐出口を有する面が上記に示すような金属であ
る場合、その金属との密着性がよく、撥インク性の良好
な表面処理について検討した結果、金属表面上にSiO
2 薄膜層を設け、さらにフロロシリコーンコーティン
グ剤を塗布し、加熱処理することによって得られた撥イ
ンク層は金属に対する密着性が向上し、図3に示すよう
にゴムプレート6でインク吐出口を有する面3を何回も
拭いた場合でも、剥離がなく、飛行曲がりも生じないこ
とがわかった。尚、ゴムプレートは、NBRゴム、シリ
コンゴム、ブチルゴム、クロロビデンゴム等の発泡性ゴ
ムからなる。
【0009】従ってインク吐出口を有する面に以上のよ
うな撥インク層を形成したインクジェット記録ヘッドで
はインクを吐出させるとき、インクがインク吐出口近傍
に付着せず、安定したインク吐出状態を維持することが
でき、高品質の記録が長期間にわたって可能となる。
うな撥インク層を形成したインクジェット記録ヘッドで
はインクを吐出させるとき、インクがインク吐出口近傍
に付着せず、安定したインク吐出状態を維持することが
でき、高品質の記録が長期間にわたって可能となる。
【0010】金属表面上にSiO2 薄膜層を設ける方
法としてはスパッタ、CVD蒸着、EB蒸着等種々の薄
膜製造プロセスおよびゾル−ゲル法等がある。
法としてはスパッタ、CVD蒸着、EB蒸着等種々の薄
膜製造プロセスおよびゾル−ゲル法等がある。
【0011】図4において、本発明に関わるインクジェ
ット記録ヘッドの断面図を示す。本発明のインクジェッ
ト記録ヘッド材料としては、インク吐出口2を有する面
3は金属であるが、インク流路7を形成する部材8はイ
ンク吐出口を有する面3と同一の金属でもよいし、異な
る金属でもよいし、ガラス、シリコン、セラミック、プ
ラスチック等でもよい。インク吐出口を有する面3には
SiO2 薄膜層9が設けられ、さらにフロロシリコー
ンコーティング剤による撥インク層5が形成されている
。 また、インク流路形成部材には圧電素子や発熱体等のイ
ンク吐出用素子10が具備されている。
ット記録ヘッドの断面図を示す。本発明のインクジェッ
ト記録ヘッド材料としては、インク吐出口2を有する面
3は金属であるが、インク流路7を形成する部材8はイ
ンク吐出口を有する面3と同一の金属でもよいし、異な
る金属でもよいし、ガラス、シリコン、セラミック、プ
ラスチック等でもよい。インク吐出口を有する面3には
SiO2 薄膜層9が設けられ、さらにフロロシリコー
ンコーティング剤による撥インク層5が形成されている
。 また、インク流路形成部材には圧電素子や発熱体等のイ
ンク吐出用素子10が具備されている。
【0012】本発明のインクジェット記録ヘッドのイン
ク吐出口を有する面の材料として用いる金属はベリリウ
ム、アルミニウム、チタン、バナジウム、クロム、マン
ガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、モリブデン
、スズ、タンタル、金等があげられ、これらのいずれか
単一、あるいは2種類以上の合金であってもよい。さら
に、ホウ素、炭素、フッ素、ケイ素、リン等の元素が上
記金属中に含まれていてもよい。また、インク吐出口を
有する面が1種類の金属で形成されてもよいし、部分的
に金属の異なるもので形成されてもよい。
ク吐出口を有する面の材料として用いる金属はベリリウ
ム、アルミニウム、チタン、バナジウム、クロム、マン
ガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、モリブデン
、スズ、タンタル、金等があげられ、これらのいずれか
単一、あるいは2種類以上の合金であってもよい。さら
に、ホウ素、炭素、フッ素、ケイ素、リン等の元素が上
記金属中に含まれていてもよい。また、インク吐出口を
有する面が1種類の金属で形成されてもよいし、部分的
に金属の異なるもので形成されてもよい。
【0013】本発明のインクジェット記録ヘッドは、あ
らかじめインク吐出口を有する面3を形成する金属表面
上にSiO2 薄膜層9を設け、さらにフロロシリコー
ンコーティング剤を塗布し、加熱処理して撥インク層5
を形成した後、インク流路形成部材と接着することによ
って製造しても良いし、インク吐出口を有する面3を形
成する金属表面上にSiO2 薄膜層9を設けてからイ
ンク流路形成部材に接着した後、SiO2 薄膜層9上
にフロロシリコーンコーティング剤を塗布し、加熱処理
して撥インク層5を形成しすることによって製造しても
良い。 また、インク吐出口を有する面3を形成する金属をイン
ク流路形成部材に接着した後、インク吐出口を有する面
3にSiO2薄膜層を設け、さらにフロロシリコーンコ
ーティング剤を塗布し、加熱処理して撥インク層5を形
成することによって製造することもできる。
らかじめインク吐出口を有する面3を形成する金属表面
上にSiO2 薄膜層9を設け、さらにフロロシリコー
ンコーティング剤を塗布し、加熱処理して撥インク層5
を形成した後、インク流路形成部材と接着することによ
って製造しても良いし、インク吐出口を有する面3を形
成する金属表面上にSiO2 薄膜層9を設けてからイ
ンク流路形成部材に接着した後、SiO2 薄膜層9上
にフロロシリコーンコーティング剤を塗布し、加熱処理
して撥インク層5を形成しすることによって製造しても
良い。 また、インク吐出口を有する面3を形成する金属をイン
ク流路形成部材に接着した後、インク吐出口を有する面
3にSiO2薄膜層を設け、さらにフロロシリコーンコ
ーティング剤を塗布し、加熱処理して撥インク層5を形
成することによって製造することもできる。
【0014】なお、本発明は図4に示した如きヘッドに
限定されることはなく、液体を吐出口より吐出させ、そ
の吐出口を有する面が金属であれば、如何なるタイプの
ヘッドでも適用されるものである。
限定されることはなく、液体を吐出口より吐出させ、そ
の吐出口を有する面が金属であれば、如何なるタイプの
ヘッドでも適用されるものである。
【0015】
【実施例】以下、本発明を実施例を挙げてさらに具体的
に説明する。
に説明する。
【0016】(実施例1)電解法によってインク吐出口
を形成したNiプレートを徳田製作所製スパッター装置
CFS−12P−100Aを用いてSiO2 焼結体タ
ーゲットを、Ar圧力5mtorrの雰囲気中でスパッ
タし、厚さ500オンク゛ストロームのSiO2 薄膜
層を形成した。
を形成したNiプレートを徳田製作所製スパッター装置
CFS−12P−100Aを用いてSiO2 焼結体タ
ーゲットを、Ar圧力5mtorrの雰囲気中でスパッ
タし、厚さ500オンク゛ストロームのSiO2 薄膜
層を形成した。
【0017】次に以下の組成のフロロシリコーンコーテ
ィング剤に浸漬し引き上げて乾燥させた。
ィング剤に浸漬し引き上げて乾燥させた。
【0018】
“フレオン”TF
95wt%
KP801(信越化学製、商品名)
5wt%続いて200℃のオ
ーブン中に2時間投入し、反応硬化させて撥インク層を
形成した。
95wt%
KP801(信越化学製、商品名)
5wt%続いて200℃のオ
ーブン中に2時間投入し、反応硬化させて撥インク層を
形成した。
【0019】(実施例2)電解法によってインク吐出口
を形成したNiプレートを以下の組成の溶液中に浸漬し
引き上げて乾燥させてできたゲルコーティング膜を40
0℃で加熱し、厚さ0.1μmのSiO2 薄膜層膜を
形成した。
を形成したNiプレートを以下の組成の溶液中に浸漬し
引き上げて乾燥させてできたゲルコーティング膜を40
0℃で加熱し、厚さ0.1μmのSiO2 薄膜層膜を
形成した。
【0020】
Si(OC2H5)4
30wt%
エタノール
40w
t% 純水
29
.5wt% HCl
0.5wt% 次に実施例1と同様にして撥イン
ク層を形成した。
30wt%
エタノール
40w
t% 純水
29
.5wt% HCl
0.5wt% 次に実施例1と同様にして撥イン
ク層を形成した。
【0021】(比較例)電解法によってインク吐出口を
形成したNiプレートを実施例1と同様の組成のフロロ
シリコーンコーティング剤に浸漬し引き上げて乾燥させ
た後、200℃のオーブン中に2時間投入し、反応硬化
させて撥インク層を形成した。
形成したNiプレートを実施例1と同様の組成のフロロ
シリコーンコーティング剤に浸漬し引き上げて乾燥させ
た後、200℃のオーブン中に2時間投入し、反応硬化
させて撥インク層を形成した。
【0022】上記実施例1、2および比較例の撥インク
層を形成したNiプレートと下記の組成のインクAを用
いて、撥インク層の密着性を調べるために次の実験を行
った。
層を形成したNiプレートと下記の組成のインクAを用
いて、撥インク層の密着性を調べるために次の実験を行
った。
【0023】
インクAの組成
C.I.ダイレクトブラック154
1wt% グリセリ
ン
3wt% エ
タノール
5wt%
水
9
1wt%試験I:上記プレートに対するインクAの接触
角を測定した。次にそれを図3に示すようにゴムプレー
ト6で一定方向にワイピングする方法で数千回ワイピン
グした後、再び、インクAの接触角を測定した。その結
果を表1に示す。尚、ゴムプレートはシリコンゴム製の
ものを用いた。
1wt% グリセリ
ン
3wt% エ
タノール
5wt%
水
9
1wt%試験I:上記プレートに対するインクAの接触
角を測定した。次にそれを図3に示すようにゴムプレー
ト6で一定方向にワイピングする方法で数千回ワイピン
グした後、再び、インクAの接触角を測定した。その結
果を表1に示す。尚、ゴムプレートはシリコンゴム製の
ものを用いた。
【0024】接触角は協和界面化学(株)製 FACE
自動接触角計 PD−Z型を用い、25℃においてイ
ンク滴下60秒後に測定した。
自動接触角計 PD−Z型を用い、25℃においてイ
ンク滴下60秒後に測定した。
【0025】
【表1】
【0026】次に、実施例1、2および比較例の撥イン
ク層を形成したインク吐出口形成部材をポリサルフォン
製のインク流路形成部材に接着して得られた図4に示し
たインクジェット記録ヘッドを製造し、次の実験を行っ
た。尚、インク吐出用素子11は圧電素子とした。
ク層を形成したインク吐出口形成部材をポリサルフォン
製のインク流路形成部材に接着して得られた図4に示し
たインクジェット記録ヘッドを製造し、次の実験を行っ
た。尚、インク吐出用素子11は圧電素子とした。
【0027】試験II:上記インクジェット記録ヘッド
を用いてインク吐出口を有する面3に対し、試験Iと同
様にワイピングを数千回行った後、インクジェット記録
装置に装着した。それにより1ページ連続印字を行なっ
た後、30秒待機させ再度印字させたときの印字状態を
確認、吐出インク滴の飛行曲がりの有無をチェックし、
以下の基準にしたがって判断した。その結果を表2に示
す。
を用いてインク吐出口を有する面3に対し、試験Iと同
様にワイピングを数千回行った後、インクジェット記録
装置に装着した。それにより1ページ連続印字を行なっ
た後、30秒待機させ再度印字させたときの印字状態を
確認、吐出インク滴の飛行曲がりの有無をチェックし、
以下の基準にしたがって判断した。その結果を表2に示
す。
【0028】
全く曲がらない
◎やや曲がるが文字に影響ない
○曲がりが発生し文字に影響を与える △
ひどく曲がり文字が読み取れない ×
◎やや曲がるが文字に影響ない
○曲がりが発生し文字に影響を与える △
ひどく曲がり文字が読み取れない ×
【00
29】
29】
【表2】
【0030】以上のように、インク吐出口を有する金属
表面にSiO2 薄膜層を設けずにフロロシリコーンコ
ーティング剤による撥インク層が形成されている比較例
のインクジェット記録ヘッドでは、ゴムプレートでのワ
イピング回数が増加するに従って、撥インク層の剥離が
生じ、飛行曲がりが発生するものであった。それに対し
、インク吐出口を有する金属表面にSiO2 薄膜層を
設け、その上にフロロシリコーンコーティング剤による
撥インク層を形成した実施例のインクジェット記録ヘッ
ドでは、ゴムプレートでのワイピングを10,000回
行なっても、撥インク層は剥離しないため、飛行曲がり
は起こらず、耐久性が良好であった。
表面にSiO2 薄膜層を設けずにフロロシリコーンコ
ーティング剤による撥インク層が形成されている比較例
のインクジェット記録ヘッドでは、ゴムプレートでのワ
イピング回数が増加するに従って、撥インク層の剥離が
生じ、飛行曲がりが発生するものであった。それに対し
、インク吐出口を有する金属表面にSiO2 薄膜層を
設け、その上にフロロシリコーンコーティング剤による
撥インク層を形成した実施例のインクジェット記録ヘッ
ドでは、ゴムプレートでのワイピングを10,000回
行なっても、撥インク層は剥離しないため、飛行曲がり
は起こらず、耐久性が良好であった。
【0031】
【発明の効果】以上の如き本発明によれば、インク吐出
口を有する面の撥インク層の密着性が向上し、ゴムプレ
ートでのワイピイングに対する耐久性が良好なので、こ
れによって、正規の吐出状態が長期間保つことができる
。それゆえ、安定した高品質の記録が長期間可能となり
、信頼性に優れたインクジェット記録ヘッドを提供でき
た。
口を有する面の撥インク層の密着性が向上し、ゴムプレ
ートでのワイピイングに対する耐久性が良好なので、こ
れによって、正規の吐出状態が長期間保つことができる
。それゆえ、安定した高品質の記録が長期間可能となり
、信頼性に優れたインクジェット記録ヘッドを提供でき
た。
【図1】従来のインクジェット記録ヘッドを説明する模
式図
式図
【図2】従来のインクジェット記録ヘッドを説明する模
式図
式図
【図3】一般的なワイピング方法を説明する模式図
【図
4】本発明のインクジェット記録ヘッドの断面図
4】本発明のインクジェット記録ヘッドの断面図
1:インク吐出口形成部材
2:インク吐出口
3:インク吐出口を有する面
4:インク
5:撥インク層
6:ゴムプレート
7:インク流路
8:インク流路形成部材
9:SiO2 薄膜層
10:インク吐出用素子
11:FPC
Claims (2)
- 【請求項1】 インクジェット記録ヘッドにおいて、
インク吐出口を有する面が金属であって、その表面にS
iO2 薄膜層を設け、さらにフロロシリコーンコーテ
ィング剤による撥インク層が形成されていることを特徴
とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項2】 インクジェット記録ヘッドにおいて、
インク吐出口を有する面が金属であって、その表面にS
iO2 薄膜層を設け、さらにフロロシリコーンコーテ
ィング剤を塗布し、加熱処理することにより撥インク層
を形成する工程を含むことを特徴とするインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13086191A JPH04355151A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13086191A JPH04355151A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04355151A true JPH04355151A (ja) | 1992-12-09 |
Family
ID=15044419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13086191A Pending JPH04355151A (ja) | 1991-06-03 | 1991-06-03 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04355151A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6276057B1 (en) * | 1996-01-31 | 2001-08-21 | Sony Corporation | Method for controlling the spread of fluid around a nozzle orifice |
JP2008254201A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Fujifilm Corp | ノズルプレートおよびインク吐出ヘッド、画像形成装置 |
-
1991
- 1991-06-03 JP JP13086191A patent/JPH04355151A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6276057B1 (en) * | 1996-01-31 | 2001-08-21 | Sony Corporation | Method for controlling the spread of fluid around a nozzle orifice |
JP2008254201A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Fujifilm Corp | ノズルプレートおよびインク吐出ヘッド、画像形成装置 |
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