JPH04347823A - 高調波発生装置 - Google Patents
高調波発生装置Info
- Publication number
- JPH04347823A JPH04347823A JP3149546A JP14954691A JPH04347823A JP H04347823 A JPH04347823 A JP H04347823A JP 3149546 A JP3149546 A JP 3149546A JP 14954691 A JP14954691 A JP 14954691A JP H04347823 A JPH04347823 A JP H04347823A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fundamental wave
- nonlinear optical
- external resonator
- light
- harmonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 58
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 8
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910003334 KNbO3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007836 KH2PO4 Substances 0.000 description 1
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000368 destabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910000402 monopotassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019796 monopotassium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- GNSKLFRGEWLPPA-UHFFFAOYSA-M potassium dihydrogen phosphate Chemical compound [K+].OP(O)([O-])=O GNSKLFRGEWLPPA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/3501—Constructional details or arrangements of non-linear optical devices, e.g. shape of non-linear crystals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/3501—Constructional details or arrangements of non-linear optical devices, e.g. shape of non-linear crystals
- G02F1/3509—Shape, e.g. shape of end face
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
- G02F1/3542—Multipass arrangements, i.e. arrangements to make light pass multiple times through the same element, e.g. using an enhancement cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のミラーを配置し
て共振器を構成し、この共振器内に非線形光学材料を配
置した外部共振器型の高調波発生装置に関する。
て共振器を構成し、この共振器内に非線形光学材料を配
置した外部共振器型の高調波発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体レーザ（以下ＬＤとする）
等から出射される基本波を非線形光学材料に入射して第
２高調波を得るための研究が行なわれている。第２高調
波を効率よく発生させるためには、位相整合をとること
など様々な条件が必要とされるが、一般には基本波の強
度が強いほど第２高調波を効率よく発生させることがで
きる。このため、複数のミラーを用いて共振器を構成し
、この共振器内部に非線形光学材料、通常は非線形光学
結晶を配置して、基本波を閉じ込めて増幅し、第２高調
波を効率よく発生させることが行なわれている。
等から出射される基本波を非線形光学材料に入射して第
２高調波を得るための研究が行なわれている。第２高調
波を効率よく発生させるためには、位相整合をとること
など様々な条件が必要とされるが、一般には基本波の強
度が強いほど第２高調波を効率よく発生させることがで
きる。このため、複数のミラーを用いて共振器を構成し
、この共振器内部に非線形光学材料、通常は非線形光学
結晶を配置して、基本波を閉じ込めて増幅し、第２高調
波を効率よく発生させることが行なわれている。
【０００３】この共振器としては、非線形光学結晶の端
面に反射膜を設けて結晶の内部で共振させるモノリシッ
ク型共振器と、外部に複数のミラーを配置して共振器を
構成し、この共振器内に非線形光学結晶を配置した外部
共振器とが知られている。
面に反射膜を設けて結晶の内部で共振させるモノリシッ
ク型共振器と、外部に複数のミラーを配置して共振器を
構成し、この共振器内に非線形光学結晶を配置した外部
共振器とが知られている。
【０００４】図３及び図４には、外部共振器を用いた従
来の第２高調波発生装置の一例が示されている。
来の第２高調波発生装置の一例が示されている。
【０００５】この第２高調波発生装置５１は、ＬＤ５３
、コリメートレンズ５５、光位相制御用ミラー５７、モ
ードマッチングレンズ５９及び外部共振器６１によって
構成されている。ＬＤ５３は、例えば波長８６０ｎｍの
基本波６５を出射する。コリメートレンズ５５は、ＬＤ
５３から出射される基本波６５を平行ビームにし、モー
ドマッチングレンズ５９は、外部共振器６１内の共振モ
ードと入射ビームとを整合させる役割をなす。光位相制
御用ミラー５７は、ＬＤ５３に基本波６５の共振光の一
部を帰還させて発振周波数をロックし安定化させる役割
をなす。
、コリメートレンズ５５、光位相制御用ミラー５７、モ
ードマッチングレンズ５９及び外部共振器６１によって
構成されている。ＬＤ５３は、例えば波長８６０ｎｍの
基本波６５を出射する。コリメートレンズ５５は、ＬＤ
５３から出射される基本波６５を平行ビームにし、モー
ドマッチングレンズ５９は、外部共振器６１内の共振モ
ードと入射ビームとを整合させる役割をなす。光位相制
御用ミラー５７は、ＬＤ５３に基本波６５の共振光の一
部を帰還させて発振周波数をロックし安定化させる役割
をなす。
【０００６】外部共振器６１は、球面ミラー６７、６９
及び平面ミラー７１によって構成されており、図に示す
ように三角リング型の共振経路が形成されるようになっ
ている。そして、これらのミラー６７、６９、７１によ
って構成される共振経路内に非線形光学材料をなす例え
ばＫＮｂＯ３ 結晶等からなる非線形光学結晶６３が配
置されている。基本波６５の入射側の球面ミラー６７は
、基本波６５の入射方向に対して斜めに配置されており
、基本波６５が球面ミラー６７の入射面で直接反射され
てＬＤ５３に帰還されるのを防止している。
及び平面ミラー７１によって構成されており、図に示す
ように三角リング型の共振経路が形成されるようになっ
ている。そして、これらのミラー６７、６９、７１によ
って構成される共振経路内に非線形光学材料をなす例え
ばＫＮｂＯ３ 結晶等からなる非線形光学結晶６３が配
置されている。基本波６５の入射側の球面ミラー６７は
、基本波６５の入射方向に対して斜めに配置されており
、基本波６５が球面ミラー６７の入射面で直接反射され
てＬＤ５３に帰還されるのを防止している。
【０００７】ＬＤ５３から出射された基本波６５は、コ
リメートレンズ５５を通して平行ビームとされ、光位相
制御用ミラー５７で反射されて方向を変え、モードマッ
チングレンズ５９を通してモード整合され、球面ミラー
６７に照射される。そして、球面ミラー６７から外部共
振器６１内に入射し、球面ミラー６７、６９、平面ミラ
ー７１によって反射され、リング型に共振する。そして
、共振経路に配置された非線形光学結晶６３を通過する
ときにその一部が第２高調波７５に変換され、球面ミラ
ー６９を通過して出力される。
リメートレンズ５５を通して平行ビームとされ、光位相
制御用ミラー５７で反射されて方向を変え、モードマッ
チングレンズ５９を通してモード整合され、球面ミラー
６７に照射される。そして、球面ミラー６７から外部共
振器６１内に入射し、球面ミラー６７、６９、平面ミラ
ー７１によって反射され、リング型に共振する。そして
、共振経路に配置された非線形光学結晶６３を通過する
ときにその一部が第２高調波７５に変換され、球面ミラ
ー６９を通過して出力される。
【０００８】また、外部共振器６１内で共振した基本波
６５の一部が球面ミラー６７を通してＬＤ５３に帰還し
、ＬＤ５３の発振周波数が外部共振器６１の共振周波数
にロックし安定化する。
６５の一部が球面ミラー６７を通してＬＤ５３に帰還し
、ＬＤ５３の発振周波数が外部共振器６１の共振周波数
にロックし安定化する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
第２高調波発生装置においては、球面ミラー６７から入
射した基本波６５の一部が、非線形光学結晶６３の入射
側の端面で反射され、この直接反射光がＬＤ５３に帰還
して、ＬＤ５３の発振動作を不安定にすることがあった
。このため、図３に拡大して示すように、非線形光学結
晶６３を基本波６５の光路に対して斜めに配置し、非線
形光学結晶６３の端面で反射された直接反射光がＬＤ５
３に戻らないようにしていた。
第２高調波発生装置においては、球面ミラー６７から入
射した基本波６５の一部が、非線形光学結晶６３の入射
側の端面で反射され、この直接反射光がＬＤ５３に帰還
して、ＬＤ５３の発振動作を不安定にすることがあった
。このため、図３に拡大して示すように、非線形光学結
晶６３を基本波６５の光路に対して斜めに配置し、非線
形光学結晶６３の端面で反射された直接反射光がＬＤ５
３に戻らないようにしていた。
【００１０】しかしながら、非線形光学結晶６３の端面
は、通常、位相整合がとれる結晶軸ａに対して垂直にカ
ットされているので、非線形光学結晶６３を傾けて配置
することによって結晶軸ａが光軸に対して傾いてしまい
、波長変換効率が最大となる状態から外れるため、第２
高調波７５への波長変換効率が低下してしまうという問
題点があった。
は、通常、位相整合がとれる結晶軸ａに対して垂直にカ
ットされているので、非線形光学結晶６３を傾けて配置
することによって結晶軸ａが光軸に対して傾いてしまい
、波長変換効率が最大となる状態から外れるため、第２
高調波７５への波長変換効率が低下してしまうという問
題点があった。
【００１１】したがって、本発明の目的は、非線形光学
材料の端面で直接反射される基本波が基本波発生用の光
源に帰還するのを防止するとともに、高調波への波長変
換効率が低下しないようにした高調波発生装置を提供す
ることにある。
材料の端面で直接反射される基本波が基本波発生用の光
源に帰還するのを防止するとともに、高調波への波長変
換効率が低下しないようにした高調波発生装置を提供す
ることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明は、基本波発生用の光源と、前記基本波を内部
に閉じ込めてリング状に共振させる外部共振器と、前記
外部共振器内に配置され前記基本波の一部を高調波に変
換する非線形光学材料とを備えた高調波発生装置におい
て、前記非線形光学材料の基本波の入射面を光軸に対し
て傾くように形成するとともに、非線形光学材料内での
光軸が位相整合がとれる方向に一致するようにしたこと
を特徴とする。
、本発明は、基本波発生用の光源と、前記基本波を内部
に閉じ込めてリング状に共振させる外部共振器と、前記
外部共振器内に配置され前記基本波の一部を高調波に変
換する非線形光学材料とを備えた高調波発生装置におい
て、前記非線形光学材料の基本波の入射面を光軸に対し
て傾くように形成するとともに、非線形光学材料内での
光軸が位相整合がとれる方向に一致するようにしたこと
を特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明では、基本波発生用の光源から出射され
た基本波が、外部共振器内に入射した後、非線形光学材
料の端面に入射するとき、その端面が光軸に対して傾く
ように形成されているため、その端面における直接反射
光が基本波発生用の光源に帰還して発振周波数を不安定
にすることが防止される。また、上記の状態で非線形光
学材料内での光軸が位相整合がとれる方向に一致してい
るので、非線形光学材料内に入射した基本波を高調波に
変換する時の波長変換効率も低下することなく良好に維
持される。
た基本波が、外部共振器内に入射した後、非線形光学材
料の端面に入射するとき、その端面が光軸に対して傾く
ように形成されているため、その端面における直接反射
光が基本波発生用の光源に帰還して発振周波数を不安定
にすることが防止される。また、上記の状態で非線形光
学材料内での光軸が位相整合がとれる方向に一致してい
るので、非線形光学材料内に入射した基本波を高調波に
変換する時の波長変換効率も低下することなく良好に維
持される。
【００１４】
【実施例】図１及び図２には、本発明を第２高調波発生
装置に適用した一実施例が示されている。ただし、本発
明は、第２高調波発生装置に限定されることなく、第３
高調波発生装置、さらに高次の高調波発生装置に適用す
ることもできる。
装置に適用した一実施例が示されている。ただし、本発
明は、第２高調波発生装置に限定されることなく、第３
高調波発生装置、さらに高次の高調波発生装置に適用す
ることもできる。
【００１５】この第２高調波発生装置１１は、前記従来
の第２高調波発生装置と同様に、ＬＤ１３、コリメート
レンズ１５、光位相制御ミラー１７、モードマッチング
レンズ１９及び外部共振器２１で構成されている。ＬＤ
１３としては、波長８６０ｎｍの基本波２５を出射する
ＡｌＧａＡｓシングルモード半導体レーザが用いられて
いる。ただし、基本波発生用光源としては、例えばＹＡ
Ｇなどの固体レーザ等を用いることもできる。
の第２高調波発生装置と同様に、ＬＤ１３、コリメート
レンズ１５、光位相制御ミラー１７、モードマッチング
レンズ１９及び外部共振器２１で構成されている。ＬＤ
１３としては、波長８６０ｎｍの基本波２５を出射する
ＡｌＧａＡｓシングルモード半導体レーザが用いられて
いる。ただし、基本波発生用光源としては、例えばＹＡ
Ｇなどの固体レーザ等を用いることもできる。
【００１６】外部共振器２１は、球面ミラー２７、２９
及び平面ミラー３１によって構成されている。球面ミラ
ー２７は、基本波２５に対して一部透過の反射面とされ
、球面ミラー２９は、基本波２５に対して反射、第２高
調波３３に対して透過の反射面（ダイクロイックミラー
）とされ、平面ミラー３１は、基本波２５、第２高調波
３３のいずれも反射する全反射面とされている。そして
、球面ミラー２７から入射した基本波２５が、上記各ミ
ラーで反射されて三角リング型に共振するようになって
いる。
及び平面ミラー３１によって構成されている。球面ミラ
ー２７は、基本波２５に対して一部透過の反射面とされ
、球面ミラー２９は、基本波２５に対して反射、第２高
調波３３に対して透過の反射面（ダイクロイックミラー
）とされ、平面ミラー３１は、基本波２５、第２高調波
３３のいずれも反射する全反射面とされている。そして
、球面ミラー２７から入射した基本波２５が、上記各ミ
ラーで反射されて三角リング型に共振するようになって
いる。
【００１７】球面ミラー２７と球面ミラー２９との間に
は、ＫＮｂＯ３ からなる非線形光学結晶２３が配置さ
れている。なお、非線形光学材料としては、上記の他に
、ＫＴｉＯＰＯ４ 、ＫＨ２ ＰＯ４ 、ＬｉＮｂＯ３
、β−ＢａＢ２ Ｏ４ 等の各種の結晶を用いること
ができる。
は、ＫＮｂＯ３ からなる非線形光学結晶２３が配置さ
れている。なお、非線形光学材料としては、上記の他に
、ＫＴｉＯＰＯ４ 、ＫＨ２ ＰＯ４ 、ＬｉＮｂＯ３
、β−ＢａＢ２ Ｏ４ 等の各種の結晶を用いること
ができる。
【００１８】特に図１に示すように、非線形光学結晶２
３は、光軸に対して位相整合がとれるａ軸方向と平行な
４つの側面と、これらの側面と交差する２つの端面３５
、３７とで囲まれたブロック状をなし、２つの端面３５
、３７がａ軸に対して垂直な面から８°傾いたテーパ面
に形成されている。そして、非線形光学結晶２３は、外
部共振器２１内において、一方の端面３５が光入射側に
位置し、他方の端面３７が光出射側に位置し、かつ、結
晶内部を通る光軸がａ軸と一致するように配置されてい
る。
３は、光軸に対して位相整合がとれるａ軸方向と平行な
４つの側面と、これらの側面と交差する２つの端面３５
、３７とで囲まれたブロック状をなし、２つの端面３５
、３７がａ軸に対して垂直な面から８°傾いたテーパ面
に形成されている。そして、非線形光学結晶２３は、外
部共振器２１内において、一方の端面３５が光入射側に
位置し、他方の端面３７が光出射側に位置し、かつ、結
晶内部を通る光軸がａ軸と一致するように配置されてい
る。
【００１９】上記の構成において、ＬＤ１３から波長８
６０ｎｍの基本波２５を出射し、この基本波２５をコリ
メートレンズ１５に通して平行ビームとし、光位相制御
用ミラー１７で反射して方向を変え、モードマッチング
レンズ１９を通してモード整合させた後、球面ミラー２
７に照射すると、基本波２５は、球面ミラー２７から外
部共振器２１内に入射し、球面ミラー２７、２９、平面
ミラー３１によって反射され、リング型に共振する。そ
して、共振経路に配置された非線形光学結晶２３を通過
するときにその一部が波長４３０ｎｍの第２高調波３３
に変換され、球面ミラー２９を通過して出力される。
６０ｎｍの基本波２５を出射し、この基本波２５をコリ
メートレンズ１５に通して平行ビームとし、光位相制御
用ミラー１７で反射して方向を変え、モードマッチング
レンズ１９を通してモード整合させた後、球面ミラー２
７に照射すると、基本波２５は、球面ミラー２７から外
部共振器２１内に入射し、球面ミラー２７、２９、平面
ミラー３１によって反射され、リング型に共振する。そ
して、共振経路に配置された非線形光学結晶２３を通過
するときにその一部が波長４３０ｎｍの第２高調波３３
に変換され、球面ミラー２９を通過して出力される。
【００２０】この場合、球面ミラー２７から入射した基
本波２５を、非線形光学結晶２３の端面３５に入射角約
３．５°で入射させると、屈折して非線形光学材料２３
内に入射し、その光軸をａ軸に一致させることができ、
位相整合をとって第２高調波３３への変換効率を最大に
できる。また、球面ミラー２７から入射した基本波２５
が、非線形光学結晶２３の端面３５に入射するとき、そ
の一部は端面３５で反射される。しかし、非線形光学結
晶２３の光入射側の端面３５がａ軸に対して垂直な面か
ら８°傾いたテーパ面をなしているので、この直接反射
光は、入射方向からそれた図中ｂ方向に向かい、ＬＤ１
３に帰還することが防止される。
本波２５を、非線形光学結晶２３の端面３５に入射角約
３．５°で入射させると、屈折して非線形光学材料２３
内に入射し、その光軸をａ軸に一致させることができ、
位相整合をとって第２高調波３３への変換効率を最大に
できる。また、球面ミラー２７から入射した基本波２５
が、非線形光学結晶２３の端面３５に入射するとき、そ
の一部は端面３５で反射される。しかし、非線形光学結
晶２３の光入射側の端面３５がａ軸に対して垂直な面か
ら８°傾いたテーパ面をなしているので、この直接反射
光は、入射方向からそれた図中ｂ方向に向かい、ＬＤ１
３に帰還することが防止される。
【００２１】一方、外部共振器２１内で、リング型に共
振した基本波２５は、平面ミラー３１で反射された後、
その一部が球面ミラー２７を透過して図中ｃ方向に向か
い、光位相制御ミラー１７を介してＬＤ１３に帰還され
る。このようにして、基本波２５の共振波だけをＬＤ１
３に帰還させることにより、ＬＤ１３の発振周波数を外
部共振器周波数にロックして発振動作を安定させること
ができる。
振した基本波２５は、平面ミラー３１で反射された後、
その一部が球面ミラー２７を透過して図中ｃ方向に向か
い、光位相制御ミラー１７を介してＬＤ１３に帰還され
る。このようにして、基本波２５の共振波だけをＬＤ１
３に帰還させることにより、ＬＤ１３の発振周波数を外
部共振器周波数にロックして発振動作を安定させること
ができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
非線形光学材料の基本波の入射面を光軸に対して傾くよ
うに形成したので、基本波発生用光源から出射された基
本波が非線形光学材料の光入射面で反射されて直接帰還
するのを防止し、基本波発生用光源の発振動作を安定さ
せることができる。また、上記の状態で非線形光学材料
内での光軸が位相整合がとれる方向に一致するようにし
たので、波長変換効率を良好に維持することができる。
非線形光学材料の基本波の入射面を光軸に対して傾くよ
うに形成したので、基本波発生用光源から出射された基
本波が非線形光学材料の光入射面で反射されて直接帰還
するのを防止し、基本波発生用光源の発振動作を安定さ
せることができる。また、上記の状態で非線形光学材料
内での光軸が位相整合がとれる方向に一致するようにし
たので、波長変換効率を良好に維持することができる。
【図１】本発明の第２高調波発生装置の部分拡大図
【図
２】本発明を第２高調波発生装置に適用した一実施例を
示す側面図
２】本発明を第２高調波発生装置に適用した一実施例を
示す側面図
【図３】従来の第２高調波発生装置の部分拡大図
【図４
】従来の第２高調波発生装置の一例を示す側面図
】従来の第２高調波発生装置の一例を示す側面図
１１ 第２高調波発生装置
１３ 半導体レーザ（ＬＤ）
１５ コリメートレンズ
１７ 光位相制御ミラー
１９ モードマッチングレンズ
２１ 外部共振器
２３ 非線形光学結晶
２７ 球面ミラー
２９ 球面ミラー
３１ 平面ミラー
３３ 第２高調波
Claims (1)
- 【請求項１】基本波発生用の光源と、前記基本波を内部
に閉じ込めてリング状に共振させる外部共振器と、前記
外部共振器内に配置され前記基本波の一部を高調波に変
換する非線形光学材料とを備えた高調波発生装置におい
て、前記非線形光学材料の基本波の入射面を光軸に対し
て傾くように形成するとともに、非線形光学材料内での
光軸が位相整合がとれる方向に一致するようにしたこと
を特徴とする高調波発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3149546A JPH04347823A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 高調波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3149546A JPH04347823A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 高調波発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04347823A true JPH04347823A (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=15477519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3149546A Pending JPH04347823A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 高調波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04347823A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0811873A2 (en) * | 1996-06-05 | 1997-12-10 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laser light generating apparatus |
| JP2012032724A (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-16 | Nikon Corp | 波長変換光学系及び紫外レーザ装置 |
| WO2014034567A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 住友電気工業株式会社 | レーザ光源 |
-
1991
- 1991-05-24 JP JP3149546A patent/JPH04347823A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0811873A2 (en) * | 1996-06-05 | 1997-12-10 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Laser light generating apparatus |
| EP0811873A3 (en) * | 1996-06-05 | 1999-09-29 | Mitsui Chemicals, Inc. | Laser light generating apparatus |
| JP2012032724A (ja) * | 2010-08-03 | 2012-02-16 | Nikon Corp | 波長変換光学系及び紫外レーザ装置 |
| WO2014034567A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-06 | 住友電気工業株式会社 | レーザ光源 |
| US9225138B2 (en) | 2012-08-31 | 2015-12-29 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Laser light source |
| JPWO2014034567A1 (ja) * | 2012-08-31 | 2016-08-08 | 住友電気工業株式会社 | レーザ光源 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6370168B1 (en) | Intracavity frequency-converted optically-pumped semiconductor laser | |
| US5321718A (en) | Frequency converted laser diode and lens system therefor | |
| JP2002528921A (ja) | キャビティー内の周波数変換された光学的ポンプ半導体レーザー | |
| US5301059A (en) | Short-wavelength light generating apparatus | |
| US6680956B2 (en) | External frequency conversion of surface-emitting diode lasers | |
| JPH05265058A (ja) | 波長変換装置 | |
| US7760775B2 (en) | Apparatus and method of generating laser beam | |
| US5343485A (en) | Laser diode pumped solid state laser | |
| JP2849233B2 (ja) | バルク型共振器構造の光波長変換装置 | |
| JPH04347823A (ja) | 高調波発生装置 | |
| US5278869A (en) | Optical wavelength converting apparatus | |
| JPH04257283A (ja) | 光パラメトリック発振装置 | |
| JPH04347824A (ja) | 高調波発生装置 | |
| JPH03108785A (ja) | レーザ光波長変換方式 | |
| JP2670638B2 (ja) | レーザーダイオードポンピング固体レーザー | |
| JPH06196779A (ja) | 光発生装置 | |
| JPH0595144A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ | |
| JP2000138405A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| JP3074772B2 (ja) | 第２高調波発生装置 | |
| JPH0730183A (ja) | 半導体レーザー | |
| JPH11220194A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| JP4205076B2 (ja) | レーザ光発生装置および発生方法 | |
| JPH04338736A (ja) | 共振器構造の光波長変換装置 | |
| JPH02150084A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH06291402A (ja) | 高調波発生装置 |