JPH04346186A - ウェハー識別文字認識装置 - Google Patents
ウェハー識別文字認識装置Info
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- JPH04346186A JPH04346186A JP3119668A JP11966891A JPH04346186A JP H04346186 A JPH04346186 A JP H04346186A JP 3119668 A JP3119668 A JP 3119668A JP 11966891 A JP11966891 A JP 11966891A JP H04346186 A JPH04346186 A JP H04346186A
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- JP
- Japan
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- wafer
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- Pending
Links
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 abstract description 5
- 239000003550 marker Substances 0.000 abstract description 5
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008030 elimination Effects 0.000 abstract 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 abstract 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 210000002569 neuron Anatomy 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Character Input (AREA)
- Character Discrimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェハー識別文字認識装
置に関し、特に半導体ウェハー上に、レーザーマーカー
により刻印されている文字を認識するウェハー識別文字
認識装置に関する。
置に関し、特に半導体ウェハー上に、レーザーマーカー
により刻印されている文字を認識するウェハー識別文字
認識装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェハー識別文字認識装置は、
従来の技術としては「画像処理応用技術、株式会社工
業調査会、第２２頁〜第３１頁、１９８９ 田中弘」
に示されているように、文字認識部においてパターンマ
ッチングや特徴抽出を用いる方法がある。従来のウェハ
ー識別文字認識装置は、図４の従来のウェハー識別文字
認識装置のブロック図に示すようにカメラ１１を含む画
像入力部１と、ノイズ除去部１２と二値化部１３と切り
出し部１４とを含む画像処理部２と、パターンマッチン
グ部あるいは特徴抽出部１６を含む文字認識部３とによ
り構成されている。
従来の技術としては「画像処理応用技術、株式会社工
業調査会、第２２頁〜第３１頁、１９８９ 田中弘」
に示されているように、文字認識部においてパターンマ
ッチングや特徴抽出を用いる方法がある。従来のウェハ
ー識別文字認識装置は、図４の従来のウェハー識別文字
認識装置のブロック図に示すようにカメラ１１を含む画
像入力部１と、ノイズ除去部１２と二値化部１３と切り
出し部１４とを含む画像処理部２と、パターンマッチン
グ部あるいは特徴抽出部１６を含む文字認識部３とによ
り構成されている。
【０００３】ここで、画像入力部１は、カメラ１１によ
り図３に示すようにウェハー３１上にレーザーマーカー
で刻印されたウェハー識別文字３２を入力データ２１と
して取り込む。ノイズ除去部１２で入力データ２１を受
け取り、画像に含まれるノイズを除去する。ノイズ除去
部１２で補正された補正データ２２を二値化部１３が受
け取り、二値化後、切り出し部１４に渡す。切り出し部
１４は、二値化データ２３を１文字単位で切り出す。文
字認識部３としては、従来パターンマッチングあるいは
特徴抽出による処理を行っており、文字認識部３でパタ
ーンマッチングを用いるものは、切り出された文字デー
タとあらかじめ用意しておいた標準文字像との不一致の
面積より類似度を計算し最も高い類似度を示すものを、
認識結果２５として返す。
り図３に示すようにウェハー３１上にレーザーマーカー
で刻印されたウェハー識別文字３２を入力データ２１と
して取り込む。ノイズ除去部１２で入力データ２１を受
け取り、画像に含まれるノイズを除去する。ノイズ除去
部１２で補正された補正データ２２を二値化部１３が受
け取り、二値化後、切り出し部１４に渡す。切り出し部
１４は、二値化データ２３を１文字単位で切り出す。文
字認識部３としては、従来パターンマッチングあるいは
特徴抽出による処理を行っており、文字認識部３でパタ
ーンマッチングを用いるものは、切り出された文字デー
タとあらかじめ用意しておいた標準文字像との不一致の
面積より類似度を計算し最も高い類似度を示すものを、
認識結果２５として返す。
【０００４】文字認識部３で特徴抽出を用いるものは、
文字データの端点、分岐点、という幾何学的特徴点より
解析し、認識結果２５を返す。以上の手順よりウェハー
上の文字の認識を行なっている。
文字データの端点、分岐点、という幾何学的特徴点より
解析し、認識結果２５を返す。以上の手順よりウェハー
上の文字の認識を行なっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェハ
ー識別文字認識装置は、文字認識部において、パターン
マッチングあるいは特徴抽出により文字認識を行ってお
り、比較対象とする標準文字像は変化しない。そのため
入力文字像に関して、１）切り出す際に位置がずれてい
る場合、２）明るさの変動により文字の太さが異なって
いる場合、３）前処理でノイズを完全に消去出来ない場
合、など、わずかな条件の変化で認識率が低下する、と
いう欠点があった。
ー識別文字認識装置は、文字認識部において、パターン
マッチングあるいは特徴抽出により文字認識を行ってお
り、比較対象とする標準文字像は変化しない。そのため
入力文字像に関して、１）切り出す際に位置がずれてい
る場合、２）明るさの変動により文字の太さが異なって
いる場合、３）前処理でノイズを完全に消去出来ない場
合、など、わずかな条件の変化で認識率が低下する、と
いう欠点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハー識別文
字認識装置は、ウェハー上の文字パターンを取り込む画
像入力部と、画像入力部から出力される入力データの前
処理を行う画像処理部と、画像処理部により切り出され
た文字データをニューラルネットワークにより認識する
文字認識部とを備えている。
字認識装置は、ウェハー上の文字パターンを取り込む画
像入力部と、画像入力部から出力される入力データの前
処理を行う画像処理部と、画像処理部により切り出され
た文字データをニューラルネットワークにより認識する
文字認識部とを備えている。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００８】図１は本発明のウェハー識別文字認識装置
の一実施例を示すブロック図である。図１に示す実施例
は、カメラ１１を含む画像入力部１と、ノイズ除去部１
２と二値化部１３と切り出し部１４とを含む画像処理部
２と、ニューラルネットワーク部１５を含む文字認識部
３とにより構成される。また、ニューラルネットワーク
部１５は、図２のニューラルネットワークの構成図に示
されるように入力層４１と、中間層４２と、出力層４３
の３種で構成され、各層のニューロン５１は隣りの層の
すべてのニューロン５１と結合している。
の一実施例を示すブロック図である。図１に示す実施例
は、カメラ１１を含む画像入力部１と、ノイズ除去部１
２と二値化部１３と切り出し部１４とを含む画像処理部
２と、ニューラルネットワーク部１５を含む文字認識部
３とにより構成される。また、ニューラルネットワーク
部１５は、図２のニューラルネットワークの構成図に示
されるように入力層４１と、中間層４２と、出力層４３
の３種で構成され、各層のニューロン５１は隣りの層の
すべてのニューロン５１と結合している。
【０００９】次に、本発明の動作について説明する。ま
ず、画像入力部１は、カメラ１１により、図３に示され
るウェハー３１のオリエンテーションフラット３３に沿
ってレーザーマーカーで刻印されたウェハー識別文字３
２を、入力データ２１として取り込む。ノイズ除去部１
２で入力データ２１を受け取り、画像に含まれるノイズ
を除去する。ノイズ除去部１２で補正された補正データ
２２を二値化部１３が受け取り、二値化後、切り出し部
１４に渡す。切り出し部１４は、二値化データ２３を１
文字単位で切り出す。文字認識部３は、切り出された文
字データ２４を受け取り、ニューラルネットワーク部１
５で認識し、認識結果２５を返す。また、ニューラルネ
ットワーク部１５では、図２に示されるように、入力層
４１に入力された入力データ６１が中間層４２、出力層
４３に前向きに伝搬され、出力層４３からの出力データ
６２と入力データ６１に対応した教師信号６３との誤差
の２乗和が最小となるように各層の結合の強さを修正部
４４で修正（逆伝搬）するという学習を行っており、こ
こでは、前もって、存在し得る文字を学習させておく。
ず、画像入力部１は、カメラ１１により、図３に示され
るウェハー３１のオリエンテーションフラット３３に沿
ってレーザーマーカーで刻印されたウェハー識別文字３
２を、入力データ２１として取り込む。ノイズ除去部１
２で入力データ２１を受け取り、画像に含まれるノイズ
を除去する。ノイズ除去部１２で補正された補正データ
２２を二値化部１３が受け取り、二値化後、切り出し部
１４に渡す。切り出し部１４は、二値化データ２３を１
文字単位で切り出す。文字認識部３は、切り出された文
字データ２４を受け取り、ニューラルネットワーク部１
５で認識し、認識結果２５を返す。また、ニューラルネ
ットワーク部１５では、図２に示されるように、入力層
４１に入力された入力データ６１が中間層４２、出力層
４３に前向きに伝搬され、出力層４３からの出力データ
６２と入力データ６１に対応した教師信号６３との誤差
の２乗和が最小となるように各層の結合の強さを修正部
４４で修正（逆伝搬）するという学習を行っており、こ
こでは、前もって、存在し得る文字を学習させておく。
【００１０】以上の手順に従って、ウェハー上の識別文
字を読み取り認識する。
字を読み取り認識する。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のウェハー
識別文字認識装置は、文字認識部において、パターンマ
ッチングあるいは特徴抽出による文字認識を行う代わり
に、ニューラルネットワークによる文字認識を行う。そ
のため、１）切り出し部で、切り出す際に位置がずれて
いる、２）明るさの変動により文字の太さが異なってい
る、３）前処理で、ノイズが完全に消去出来ていない、
など、条件が異なっていても、ニューラルネットワーク
を用いることにより、ネットワークの結合の強さが逆伝
搬（バックプロパゲーション）学習により修正されるた
め、高い認識率を得ることが可能となる。
識別文字認識装置は、文字認識部において、パターンマ
ッチングあるいは特徴抽出による文字認識を行う代わり
に、ニューラルネットワークによる文字認識を行う。そ
のため、１）切り出し部で、切り出す際に位置がずれて
いる、２）明るさの変動により文字の太さが異なってい
る、３）前処理で、ノイズが完全に消去出来ていない、
など、条件が異なっていても、ニューラルネットワーク
を用いることにより、ネットワークの結合の強さが逆伝
搬（バックプロパゲーション）学習により修正されるた
め、高い認識率を得ることが可能となる。
【図１】本発明のウェハー識別文字認識装置の一実施例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図２】ニューラルネットワークの構成図である。
【図３】ウェハーの外観図である。
【図４】従来のウェハー識別文字認識装置のブロック図
である。
である。
１ 画像入力部
２ 画像処理部
３ 文字認識部
１１ カメラ
１２ ノイズ除去部
１３ 二値化部
１４ 切り出し部
１５ ニューラルネットワーク部１６ パ
ターンマッチング部又は特徴抽出部２１ 入力デ
ータ ２２ 補正データ ２３ 二値化データ ２４ 文字データ ２５ 認識結果 ３１ ウェハー ３２ ウェハー識別文字 ３３ オリエンテーションフラット４１
入力層 ４２ 中間層 ４３ 出力層 ４４ 修正部 ５１ ニューロン ６１ 入力データ ６２ 出力データ ６３ 教師信号
ターンマッチング部又は特徴抽出部２１ 入力デ
ータ ２２ 補正データ ２３ 二値化データ ２４ 文字データ ２５ 認識結果 ３１ ウェハー ３２ ウェハー識別文字 ３３ オリエンテーションフラット４１
入力層 ４２ 中間層 ４３ 出力層 ４４ 修正部 ５１ ニューロン ６１ 入力データ ６２ 出力データ ６３ 教師信号
Claims (2)
- 【請求項１】 ウェハー上の文字パターンを取り込む
画像入力部と、前記画像入力部から出力される入力デー
タの前処理を行う画像処理部と、前記画像処理部により
切り出された文字データをニューラルネットワークを用
いて認識する文字認識部とを含むことを特徴とするウェ
ハー識別文字認識装置。 - 【請求項２】 ウェハー上の文字パターンを画像入力
部に取り込み、前記画像入力部から出力される入力デー
タを画像処理部にて前処理を行い、切り出された文字デ
ータを、文字認識部にて文字認識を行うウェハー識別文
字認識装置において、文字認識をニューラルネットワー
クを用いて認識することを特徴とするウェハー識別文字
認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3119668A JPH04346186A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | ウェハー識別文字認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3119668A JPH04346186A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | ウェハー識別文字認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04346186A true JPH04346186A (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=14767104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3119668A Pending JPH04346186A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | ウェハー識別文字認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04346186A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02153480A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Tokyo Electron Ltd | パターン認識装置及びパターン認識方法 |
-
1991
- 1991-05-24 JP JP3119668A patent/JPH04346186A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02153480A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Tokyo Electron Ltd | パターン認識装置及びパターン認識方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980414 |