JPH04337112A - 磁気軸受の減衰機構 - Google Patents

磁気軸受の減衰機構

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Publication number
JPH04337112A
JPH04337112A JP11035091A JP11035091A JPH04337112A JP H04337112 A JPH04337112 A JP H04337112A JP 11035091 A JP11035091 A JP 11035091A JP 11035091 A JP11035091 A JP 11035091A JP H04337112 A JPH04337112 A JP H04337112A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic bearing
force
axial
vibration
radial
Prior art date
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Pending
Application number
JP11035091A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuki Sato
一樹 佐藤
Yuji Shirao
白尾 祐司
Yoichi Kanemitsu
金光 陽一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
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Publication of JPH04337112A publication Critical patent/JPH04337112A/ja
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、永久磁石の磁気力によ
り回転体の半径方向の並進運動と傾き運動とを安定化す
る受動磁気軸受と、回転体の軸線方向の運動を安定化す
る能動磁気軸受と、半径方向振動に対する減衰機構とを
備え、前記受動磁気軸受の回転体側の永久磁石を固定側
の永久磁石に対し中立位置から軸線方向にシフトして配
設することにより一方に付勢する軸線方向力を発生し、
該軸線方向力を補償する電磁石を備え、前記減衰機構を
軸線方向には固定すると共に半径方向には可動にする滑
り機構を設け、該滑り機構の可動部と固定部との間に介
装した減衰部材により半径方向の振動を減衰させると共
に、前記受動磁気軸受の発生する軸線方向力により可動
部が固定部に押圧された面で発生する摩擦を利用して半
径方向の振動を減衰させる磁気軸受の減衰機構に関する
【0002】
【従来の技術】かかる磁気軸受を図6について説明する
【0003】固定部1には、ロータ2が下部及び上部の
受動磁気軸受10、10aにより半径方向の並進運動と
傾き運動とを安定化するように支持されている。また、
故底部1の頂部には、ロータ2の軸線方向の位置を制御
するための能動磁気軸受20が設けられている。更に、
下部の受動磁気軸受10には、半径方向の振動に対する
減衰機構30が設けられている。なお、図中の符号3は
非常用軸受である。
【0004】下部の受動磁気軸受10を例に説明すると
、固定部1側には、図示の例では4個の相互に磁極が異
なる環状の永久磁石からなる固定部側永久磁石11が設
けられている。ロータ2側には、前記永久磁石11と同
様な永久磁石12が、中立位置からシフト量ΔZ(図1
)だけ軸方向上方にシフトして設けられている。したが
って、永久磁石11、12の反撥力により、可動部32
を下方に付勢する軸線方向力FZが発生する。
【0005】能動磁気軸受20は、固定部1に設けられ
た電磁石21と、ロータ2に設けられた磁性体23とか
らなっており、電磁石21が磁性体23を下方へ引き付
けることにより前記軸方向力に対抗する。従って、コイ
ル22への電流の制御により軸線方向力FZを補償する
ことが出来る。
【0006】減衰機構30は、固定部1に設けられ、断
面がコ字状で環状の固定部材31と、固定部側永久磁石
11が固設され、断面がL字状で下部が固定部材31の
上下部間に収められた環状の可動部32と、半径方向に
ついて固定部材31と可動部32との間に介装された減
衰部材33とからなっている。そして、軸線方向につい
て固定部材31と可動部32との間には、可動部32を
軸線方向に固定すると共に、半径方向には可動にする滑
り機構が構成されている。該滑り機構は摩擦係数の小さ
な材料(例えばテフロン材)の滑り部材34と可動部3
2とを含む。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記の磁気軸受におい
て、受動磁気軸受が発生する軸線方向力FZは、ほぼ半
径方向復元力に比例するため、半径方向復元力を大きく
とれば、軸線方向力FZも大きくなってしまう。摩擦力
は抗力に比例するから、軸線方向力FZが大きければ摩
擦力も大きくなり、ロータ2が振動しても可動部32が
動かない不具合が起こる。
【0008】したがって、軸線方向力FZを小さく設定
するためには、シフト量ΔZを小さくすることが必要と
なるが、最初からシフト量ΔZを小さく設定すると、受
動磁気軸受10及び10aの固定部と可動部それぞれの
位置精度を精密に組立てなければならず、非常用軸受3
とロータ2との軸方向の可動範囲において一方向の軸線
方向力FZを発生させることは困難である。すなわち、
シフト量ΔZが負になると反対方向(下方)への軸線方
向力FZが発生し、ロータ2の軸方向位置を磁気的に制
御することが不可能となってしまう。
【0009】本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑
みて提案されたもので、回転体の半径方向の振動を効果
的に減衰させる磁気軸受の減衰機構を提供することを目
的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気軸受の減衰
機構は、永久磁石の磁気力により回転体の半径方向の並
進運動と傾き運動とを安定化する受動磁気軸受と、回転
体の軸線方向の運動を安定化する能動磁気軸受と、半径
方向振動に対する減衰機構とを備え、前記受動磁気軸受
の回転体側の永久磁石を固定側の永久磁石に対し中立位
置から軸線方向にシフトして配設することにより軸線方
向の一方に付勢する軸線方向力を発生し、該軸線方向力
を補償する電磁石を備え、前記減衰機構を軸線方向には
固定すると共に半径方向には可動にする滑り機構を設け
、該滑り機構の可動部と固定部との間に介装した減衰部
材により半径方向の振動を減衰させると共に、前記受動
磁気軸受の発生する軸線方向力により可動部が固定部に
押圧された面で発生する摩擦を利用して半径方向の振動
を減衰させる磁気軸受において、あらかじめ設定された
回転数において、前記能動磁気軸受により回転体の軸線
方向の位置を制御し、前記受動磁気軸受の軸線方向力を
変化させて前記滑り機構部の摩擦力を小さくし、前記可
動部が小さい振動で動き減衰力を発生するように制御す
る制御回路を設けたことを特徴としている。
【0011】或いは、半径方向の振動を検出するセンサ
を設け、該センサからの信号に基づき、半径方向の振動
が大きくなったときに、前記能動磁気軸受により回転体
の軸線方向の位置を制御し、前記受動磁気軸受の軸線方
向力を変化させることにより前記滑り機構の摩擦力を小
さくし、前記可動部が小さな振動で動き減衰力を発生す
るように制御する制御回路を設けたことを特徴としてい
る。
【0012】上記シフト量は、半径方向復元力を大きく
する軸線方向力を発生するような量を個々の状況に対応
して設定するのが好ましい。
【0013】
【作用】上記のように構成された磁気軸受の減衰機構に
おいては、あらかじめ設定された例えば共振点の回転数
に達するか、又は、ロータの半径方向の振動が所定値よ
り大きくなると、制御回路はコイルへの励磁電流を増し
て能動磁気軸受の吸引力を増加し、シフト量を減らして
軸線方向力を小さくする。これにより可動部の摩擦力を
減らして可動部が小さい振動でも動くようにし、減衰部
材によりロータの振動を効果的に減衰する。
【0014】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
【0015】なお、図1及び図4において図6に対応す
る部分については、同じ符号を付して重複説明を省略す
る。
【0016】図1において、シフト量ΔZは、半径方向
復元力を大きくする軸線方向力FZを発生するような量
に設定されている。能動磁気軸受20のコイル22は、
電気回路L1により制御回路40に接続され、その制御
回路40には、電気回路L2により公知任意のロータ回
転センサ41が接続されている。
【0017】この制御回路40の制御原理を図2により
説明する。可動部32と滑り部材34との間に発生する
摩擦力Frは、摩擦係数をμとすると、Fr=μ・FZ
となる。ここで、受動磁気軸受10の軸方向、半径方向
の剛性をばね系に置き代えると、それぞればね定数KZ
、Krで表わされるので、上式は、Fr=μ・KZ・Δ
Z となり、ロータ2の半径方向変位をΔx、半径方向の力
をFfとすると、 Ff=Kr・Δx となる。可動部32が動き出すためのロータ2の半径方
向変位Δxを数式で表現する。
【0018】可動部32が動き出すためには、Fr≦F
f となる必要がある。従って、前記半径方向変位Δxは、
次式で示される。
【0019】 (aは比例定数で、KZ=a・Kr) この式から、滑り部材34の摩擦係数μと、受動磁気軸
受10の軸方向剛性KZ及び半径方向の剛性Krに応じ
、ロータ2に所定の変位Δxを与えると、可動部32が
小さな振動で動き出すようになる。
【0020】次に、図3を参照して作用を説明する。
【0021】制御回路40は、回転センサ41からの信
号に基づき、ロータ2の回転数が共振回転数以上か否か
を判定する(ステップS1)。YESだったら、コイル
22への励磁電流を増し、電磁石21の吸引力を大きく
してシフト量ΔZを小さくする(ステップS2)。これ
により可動部32が小さい振動でも動き易くなり、共振
振動は減衰部材33により効果的に減衰される。次いで
、共振回転数以下になったか否かを判定し(ステップS
3)、YESだったら、コイル22への励磁電流を減ら
して、電磁石31の吸引力を小さくし、シフト量ΔZを
当初の値に戻して(ステップS4)、制御を終る。
【0022】なお共振周波数は、個々の回転機械につい
て計算することが出来るの。
【0023】図4は本発明の別の実施例を示し、ロータ
2の半径方向の振動を検出する例えば渦電流式の振動セ
ンサ42を設けて制御回路40Aに接続し、他は図1と
同様に構成した例である。この実施例では図5に示すよ
うに、コントローラ40aは、振動センサ42からの信
号に基づき、振動が所定値以上か否かを判定する(ステ
ップS11)。YESだったら、シフト量を小さくし(
ステップS12)、振動が所定値以下になったか否かを
判定する(ステップS13)。そして、YESだったら
、シフト量を元に戻して(ステップS14)、制御を終
る。
【0024】ここで、ロータ2の半径方向の振動を検出
するセンサ42は渦電流式の振動センサに限定されるも
のでは無く、非接触でロータ2と固定部1との間隔を計
測出来るものであれば良い。例えば静電容量形センサ、
光学式変位センサ、ホール素子等を適用出来る。
【0025】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、ロータの共振を検出して該ロータのシフト
量を小さくすることにより、可動部を動き易くして、減
衰部材による振動の減衰効果を向上することが出来る。
【0026】そして、共振発生時以外はロータのシフト
量を小さくする必要が無いため、ロータの軸方向位置を
磁気的に制御することが不可能となってしまう事態が防
止される。
【0027】さらに、ロータのシフト量を調節するだけ
で共振による各種不都合が防止出来るので、制御機構等
の構成が簡略化されるのである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図。
【図2】本発明の原理を説明する模式図。
【図3】制御フローチャートを示す図。
【図4】本発明の別の実施例を示す構成図。
【図5】制御フローチャートを示す図。
【図6】本発明が実施される磁気軸受装置を示す側断面
図。
【符号の説明】
1・・・固定部 2・・・ロータ 10・・・受動磁気軸受 11・・・固定部側永久磁石 12・・・ロータ側永久磁石 20・・・能動磁気軸受 21・・・電磁石 22・・・コイル 30・・・減衰機構 31・・・固定部材 32・・・可動部 33・・・減衰部材 34・・・滑り部材 40、40A・・・制御回路 41・・・回転センサ 42・・・振動センサ FZ・・・軸線方向力 ΔZ・・・シフト量

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  永久磁石の磁気力により回転体の半径
    方向の並進運動と傾き運動とを安定化する受動磁気軸受
    と、回転体の軸線方向の運動を安定化する能動磁気軸受
    と、半径方向振動に対する減衰機構とを備え、前記受動
    磁気軸受の回転体側の永久磁石を固定側の永久磁石に対
    し中立位置から軸線方向にシフトして配設することによ
    り軸線方向の一方に付勢する軸線方向力を発生し、該軸
    線方向力を補償する電磁石を備え、前記減衰機構を軸線
    方向には固定すると共に半径方向には可動にする滑り機
    構を設け、該滑り機構の可動部と固定部との間に介装し
    た減衰部材により半径方向の振動を減衰させると共に、
    前記受動磁気軸受の発生する軸線方向力により可動部が
    固定部に押圧された面で発生する摩擦を利用して半径方
    向の振動を減衰させる磁気軸受において、あらかじめ設
    定された回転数において、前記能動磁気軸受により回転
    体の軸線方向の位置を制御し、前記受動磁気軸受の軸線
    方向力を変化させて前記滑り機構部の摩擦力を小さくし
    、前記可動部が小さい振動で動き減衰力を発生するよう
    に制御する制御回路を設けたことを特徴とする磁気軸受
    の減衰機構。
  2. 【請求項2】  永久磁石の磁気力により回転体の半径
    方向の並進運動と傾き運動とを安定化する受動磁気軸受
    と、回転体の軸線方向の運動を安定化する能動磁気軸受
    と、半径方向振動に対する減衰機構とを備え、前記受動
    磁気軸受の回転体側の永久磁石を固定側の永久磁石に対
    し中立位置から軸線方向にシフトして配設することによ
    り一方に付勢する軸線方向力を発生し、該軸線方向力を
    補償する電磁石を備え、前記減衰機構を軸線方向には固
    定すると共に半径方向には可動にする滑り機構を設け、
    該滑り機構の可動部と固定部との間に介装した減衰部材
    により半径方向の振動を減衰させると共に、前記受動磁
    気軸受の発生する軸線方向力により可動部が固定部に押
    圧された面で発生する摩擦を利用して半径方向の振動を
    減衰させる磁気軸受において、半径方向の振動を検出す
    るセンサを設け、該センサからの信号に基づき、半径方
    向の振動が大きくなったときに、前記能動磁気軸受によ
    り回転体の軸線方向の位置を制御し、前記受動磁気軸受
    の軸線方向力を変化させることにより前記滑り機構の摩
    擦力を小さくし、前記可動部が小さな振動で動き減衰力
    を発生するように制御する制御回路を設けたことを特徴
    とする磁気軸受の減衰機構。
JP11035091A 1991-05-15 1991-05-15 磁気軸受の減衰機構 Pending JPH04337112A (ja)

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JP11035091A Pending JPH04337112A (ja) 1991-05-15 1991-05-15 磁気軸受の減衰機構

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JP (1) JPH04337112A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015113981A (ja) * 2013-12-13 2015-06-22 プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー 回転システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015113981A (ja) * 2013-12-13 2015-06-22 プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー 回転システム

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