JPH04329013A - 圧電共振子及びその製造方法 - Google Patents
圧電共振子及びその製造方法Info
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- JPH04329013A JPH04329013A JP12675091A JP12675091A JPH04329013A JP H04329013 A JPH04329013 A JP H04329013A JP 12675091 A JP12675091 A JP 12675091A JP 12675091 A JP12675091 A JP 12675091A JP H04329013 A JPH04329013 A JP H04329013A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックフィルタな
どに用いられる伸び振動を利用した圧電共振子及びその
製造方法に関する。
どに用いられる伸び振動を利用した圧電共振子及びその
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】伸び振動を利用した圧電共振子は、公知
であり、フィルタなどの用途に用いられている。その圧
電共振子として、表裏両面に電極膜が形成されている母
圧電基板を、ダイシングソー用いてチップを切り出すと
ともに、一面の電極膜を２分割した構造を有する４５５
ＫＨｚのフィルタ用圧電共振子がある（特公平１−４８
６９５号，特公平１−４８６９１号公報参照）。
であり、フィルタなどの用途に用いられている。その圧
電共振子として、表裏両面に電極膜が形成されている母
圧電基板を、ダイシングソー用いてチップを切り出すと
ともに、一面の電極膜を２分割した構造を有する４５５
ＫＨｚのフィルタ用圧電共振子がある（特公平１−４８
６９５号，特公平１−４８６９１号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記構造の
圧電共振子から入出力を取り出すために、共振子の電極
面に端子片を直接接触させると、振動や衝撃により電極
面と端子片の突起点との間でこすれ合い、電極部分が削
りとられて特性がずれるなど不具合を生ずることがある
。この問題を解消するため、電極面と端子片間に異方導
電性ゴムシートを挾み込む試みがあるが、圧電共振子の
チップが微細のため、組立てが非常に煩雑，厄介である
。
圧電共振子から入出力を取り出すために、共振子の電極
面に端子片を直接接触させると、振動や衝撃により電極
面と端子片の突起点との間でこすれ合い、電極部分が削
りとられて特性がずれるなど不具合を生ずることがある
。この問題を解消するため、電極面と端子片間に異方導
電性ゴムシートを挾み込む試みがあるが、圧電共振子の
チップが微細のため、組立てが非常に煩雑，厄介である
。
【０００４】前記圧電共振子の製造方法によれば、チッ
プの長さ方向に２等分し、また長さ方向と交差する方向
に、長さ方向の中心から１／３の位置をそれぞれ溝加工
して電極膜を切離している。分割電極が必要以上に大き
いときにはスプリアス特性上好ましくないために、余分
の電極膜は、各分割電極より切離されるのであるが、切
離された電極部分は全くの無駄となる。この種圧電共振
子は、ＡＭラジオ以外にも通信機やコードレスフォンな
どの４５５ＫＨｚ用フィルタとして需要が大きく、シャ
ープな選択性と、スプリアス減衰量の大きい素子の開発
が望まれている。
プの長さ方向に２等分し、また長さ方向と交差する方向
に、長さ方向の中心から１／３の位置をそれぞれ溝加工
して電極膜を切離している。分割電極が必要以上に大き
いときにはスプリアス特性上好ましくないために、余分
の電極膜は、各分割電極より切離されるのであるが、切
離された電極部分は全くの無駄となる。この種圧電共振
子は、ＡＭラジオ以外にも通信機やコードレスフォンな
どの４５５ＫＨｚ用フィルタとして需要が大きく、シャ
ープな選択性と、スプリアス減衰量の大きい素子の開発
が望まれている。
【０００５】本発明の目的は、振動や衝撃に対しても安
定な特性を維持し、スプリアス減衰量が大きく、選択性
に優れた圧電共振子及びその製造方法を提供することに
ある。
定な特性を維持し、スプリアス減衰量が大きく、選択性
に優れた圧電共振子及びその製造方法を提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る圧電共振子においては、圧電基板のチッ
プに、共通電極と、分割電極とを有する圧電共振子であ
って、共通電極は、チップの一面の全面に形成されたも
のであり、分割電極は、チップの他面の一部領域に対を
なして平行に付された電極膜であり、各々の分割電極の
電極膜表面一部上に導電性樹脂膜が付され、導電性樹脂
膜は、柔軟性を有し、分割電極間で切離されているもの
である。
、本発明に係る圧電共振子においては、圧電基板のチッ
プに、共通電極と、分割電極とを有する圧電共振子であ
って、共通電極は、チップの一面の全面に形成されたも
のであり、分割電極は、チップの他面の一部領域に対を
なして平行に付された電極膜であり、各々の分割電極の
電極膜表面一部上に導電性樹脂膜が付され、導電性樹脂
膜は、柔軟性を有し、分割電極間で切離されているもの
である。
【０００７】また、前記分割電極は、チップの表面の一
部領域に一定間隔を置いて平行に付されたものであり、
導電性樹脂膜は、分割電極の電極膜一部表面と、露出し
たチップの圧電基板上に跨って形成され、両分割電極の
露出した圧電基板上で切離されたものである。
部領域に一定間隔を置いて平行に付されたものであり、
導電性樹脂膜は、分割電極の電極膜一部表面と、露出し
たチップの圧電基板上に跨って形成され、両分割電極の
露出した圧電基板上で切離されたものである。
【０００８】また、本発明による圧電共振子の製造方法
においては、電極形成工程と、導電性樹脂膜形成工程と
、切断工程とを有する圧電共振子の製造方法であって、
電極形成工程は、圧電基板の一面に共通電極、他面に分
割電極を形成する工程であり、共通電極は、圧電基板の
全面に形成されたものであり、分割電極は、前記圧電基
板上に一定間隔を置いて行列方向に整列させた短冊状電
極膜であり、樹脂膜形成工程は、行又は列方向の短冊状
電極膜上の相互間に跨って一定領域に柔軟性を有する導
電性樹脂膜を形成する工程であり、切断工程は、短冊状
電極膜間の導電性樹脂膜を切離すと共に、各々の短冊状
電極膜を分割電極として２分割し、圧電基板から、所定
形状のチップを切り出す工程である。
においては、電極形成工程と、導電性樹脂膜形成工程と
、切断工程とを有する圧電共振子の製造方法であって、
電極形成工程は、圧電基板の一面に共通電極、他面に分
割電極を形成する工程であり、共通電極は、圧電基板の
全面に形成されたものであり、分割電極は、前記圧電基
板上に一定間隔を置いて行列方向に整列させた短冊状電
極膜であり、樹脂膜形成工程は、行又は列方向の短冊状
電極膜上の相互間に跨って一定領域に柔軟性を有する導
電性樹脂膜を形成する工程であり、切断工程は、短冊状
電極膜間の導電性樹脂膜を切離すと共に、各々の短冊状
電極膜を分割電極として２分割し、圧電基板から、所定
形状のチップを切り出す工程である。
【０００９】また、電極形成工程と、導電性樹脂膜形成
工程と、切断工程とを有する圧電共振子の製造方法であ
って、電極形成工程は、圧電基板の一面に共通電極、他
面に分割電極を形成する工程であり、共通電極は、圧電
基板の全面に形成されたものであり、分割電極は、前記
圧電基板上に一定間隔を置いて行又は列方向に整列させ
た帯状の電極膜であり、樹脂膜形成工程は、帯状電極膜
上の全長にわたり一定領域に柔軟性を有する導電性樹脂
膜を形成する工程であり、切断工程は、帯状電極膜間の
圧電基板を切離すと共に、各々の帯状電極膜を所定の大
きさのチップに切離し、且つチップ上の電極膜を分割電
極として２分割し、同時に導電性樹脂膜を切離して圧電
基板から、所定形状のチップを切り出す工程である。
工程と、切断工程とを有する圧電共振子の製造方法であ
って、電極形成工程は、圧電基板の一面に共通電極、他
面に分割電極を形成する工程であり、共通電極は、圧電
基板の全面に形成されたものであり、分割電極は、前記
圧電基板上に一定間隔を置いて行又は列方向に整列させ
た帯状の電極膜であり、樹脂膜形成工程は、帯状電極膜
上の全長にわたり一定領域に柔軟性を有する導電性樹脂
膜を形成する工程であり、切断工程は、帯状電極膜間の
圧電基板を切離すと共に、各々の帯状電極膜を所定の大
きさのチップに切離し、且つチップ上の電極膜を分割電
極として２分割し、同時に導電性樹脂膜を切離して圧電
基板から、所定形状のチップを切り出す工程である。
【００１０】
【作用】分割電極面に形成された導電性樹脂膜は、長辺
伸び振動の寄生振動を抑制し、スプリアス減衰に寄与す
る。しかも導電性樹脂膜は柔軟性を有するため、主振動
には全く影響しない。電極への入出力は、柔軟性のある
導電性樹脂膜に引出端子片を接触させて行うため、振動
や衝撃を受けても特性が変化しない。また、チップ上の
分割電極は、予め規定された大きさに形成されたもので
あるため、分断するだけで所定の特性が得られる。
伸び振動の寄生振動を抑制し、スプリアス減衰に寄与す
る。しかも導電性樹脂膜は柔軟性を有するため、主振動
には全く影響しない。電極への入出力は、柔軟性のある
導電性樹脂膜に引出端子片を接触させて行うため、振動
や衝撃を受けても特性が変化しない。また、チップ上の
分割電極は、予め規定された大きさに形成されたもので
あるため、分断するだけで所定の特性が得られる。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の実施例を図によって説明する
。図１において、本発明による圧電共振子は、チップの
圧電基板１は、裏面側の全面に共通電極２，表面側に分
割電極３，３のパターンの対を有し、両分割電極３，３
の電極膜の一部には導電性樹脂膜４，４が形成されてい
るものである。分割電極３，３は、一定間隔を置いて長
手方向両側に形成され、導電性樹脂膜４，４は、各々の
分割電極３，３上に塗布され、両分割電極３，３間の圧
電基板１上で分断されている。パターンによって分割電
極３，３を圧電基板１上に形成するときには、銀ペース
トを用いてスクリーン印刷する方法、金属マスクを用い
て、銀，ニッケル，クロム，モネル等の金属を蒸着ある
いは、スパッタリングによって電極パターンを形成する
方法、さらに金属を蒸着又はスパッタリングしたのち、
レジストをかけ、フォトエッチングによって電極パター
ンを形成する方法を用いることができる。
。図１において、本発明による圧電共振子は、チップの
圧電基板１は、裏面側の全面に共通電極２，表面側に分
割電極３，３のパターンの対を有し、両分割電極３，３
の電極膜の一部には導電性樹脂膜４，４が形成されてい
るものである。分割電極３，３は、一定間隔を置いて長
手方向両側に形成され、導電性樹脂膜４，４は、各々の
分割電極３，３上に塗布され、両分割電極３，３間の圧
電基板１上で分断されている。パターンによって分割電
極３，３を圧電基板１上に形成するときには、銀ペース
トを用いてスクリーン印刷する方法、金属マスクを用い
て、銀，ニッケル，クロム，モネル等の金属を蒸着ある
いは、スパッタリングによって電極パターンを形成する
方法、さらに金属を蒸着又はスパッタリングしたのち、
レジストをかけ、フォトエッチングによって電極パター
ンを形成する方法を用いることができる。
【００１２】導電性樹脂膜４は、シリコン樹脂（又はシ
リコンゴム）、ウレタン樹脂等の柔軟性のある樹脂（又
はゴム）にカーボン粉やニッケル，銀，銅等の金属粉を
混合して導電性を保有させたものであり、体積抵抗率５
０Ωｃｍ以下のものである。体積抵抗率が５０Ωｃｍを
越えると、共振抵抗が増えて挿入損失が大きくなり、ま
た、スプリアス特性などの周波数応答性が悪くなる。分
割電極３面に導電性樹脂膜４を形成するには、スクリー
ン印刷又はマスク印刷によって行うことができる。導電
性樹脂膜４は、各々の分割電極３，３上に分離して別個
に設けられたものであるが、両分割電極３，３上に跨っ
て一連に塗布した後、両分割電極３，３間の圧電基板１
上で分断することにより形成できる。この場合の分断に
はダイシングソー又はレーザを用い、分割電極間の圧電
基板１に溝加工を施せば、溝５の両側に導電性樹脂膜４
，４を分離できる。導電性樹脂膜４の好ましい厚さは、
３０〜１５０μｍである。３０μｍ以下では振動や衝撃
に対して特性不良を起こし易く、また、１５０μｍ以上
では、共振抵抗が増えて挿入損失が大きくなり、またス
プリアス特性などの周波数応答性も悪くなる傾向になっ
て好ましくない。
リコンゴム）、ウレタン樹脂等の柔軟性のある樹脂（又
はゴム）にカーボン粉やニッケル，銀，銅等の金属粉を
混合して導電性を保有させたものであり、体積抵抗率５
０Ωｃｍ以下のものである。体積抵抗率が５０Ωｃｍを
越えると、共振抵抗が増えて挿入損失が大きくなり、ま
た、スプリアス特性などの周波数応答性が悪くなる。分
割電極３面に導電性樹脂膜４を形成するには、スクリー
ン印刷又はマスク印刷によって行うことができる。導電
性樹脂膜４は、各々の分割電極３，３上に分離して別個
に設けられたものであるが、両分割電極３，３上に跨っ
て一連に塗布した後、両分割電極３，３間の圧電基板１
上で分断することにより形成できる。この場合の分断に
はダイシングソー又はレーザを用い、分割電極間の圧電
基板１に溝加工を施せば、溝５の両側に導電性樹脂膜４
，４を分離できる。導電性樹脂膜４の好ましい厚さは、
３０〜１５０μｍである。３０μｍ以下では振動や衝撃
に対して特性不良を起こし易く、また、１５０μｍ以上
では、共振抵抗が増えて挿入損失が大きくなり、またス
プリアス特性などの周波数応答性も悪くなる傾向になっ
て好ましくない。
【００１３】本発明による圧電共振子を製造するには図
２に示すように、方形の圧電基板１１の裏面全面に共通
電極の電極膜１２を形成し、表面側には、予め定めた大
きさの短冊状の電極膜１３を行，列方向に一定間隔に整
列させて形成する。次いで、行（または列方向）の短冊
状電極膜１３，１３，…間に跨って各々の電極膜１３の
中央部分に導電性樹脂膜１４を一連に形成したあと、図
に示すＸ１，Ｘ２，…線及びＹ１，Ｙ２，…線で個々の
チップに切り出し、同時に短冊状電極膜１３，１３間の
圧電基板１１にＺ１，Ｚ２，…線に沿って溝切りを行い
、両電極膜１３，１３間に跨って付された導電性樹脂膜
１４を分断すれば図１に示す圧電共振子のチップが得ら
れる。 この方法によれば、各チップ上の各分割電極３，３は、
短冊状電極膜１３，１３を半裁したものとなる。本実施
例では、両分割電極３，３間に跨って塗布された導電性
樹脂膜を分断する溝の位置，幅，深さの設定は、分割電
極３，３からの制約を一切受けずに自由に行うことがで
きる。
２に示すように、方形の圧電基板１１の裏面全面に共通
電極の電極膜１２を形成し、表面側には、予め定めた大
きさの短冊状の電極膜１３を行，列方向に一定間隔に整
列させて形成する。次いで、行（または列方向）の短冊
状電極膜１３，１３，…間に跨って各々の電極膜１３の
中央部分に導電性樹脂膜１４を一連に形成したあと、図
に示すＸ１，Ｘ２，…線及びＹ１，Ｙ２，…線で個々の
チップに切り出し、同時に短冊状電極膜１３，１３間の
圧電基板１１にＺ１，Ｚ２，…線に沿って溝切りを行い
、両電極膜１３，１３間に跨って付された導電性樹脂膜
１４を分断すれば図１に示す圧電共振子のチップが得ら
れる。 この方法によれば、各チップ上の各分割電極３，３は、
短冊状電極膜１３，１３を半裁したものとなる。本実施
例では、両分割電極３，３間に跨って塗布された導電性
樹脂膜を分断する溝の位置，幅，深さの設定は、分割電
極３，３からの制約を一切受けずに自由に行うことがで
きる。
【００１４】図３は、本発明の圧電共振子を製造する場
合の別の実施例を示す図である。本実施例では方形の圧
電基板１１の裏面全面に共通の電極膜１２が形成され、
表面側には、予め定められた幅員で列方向（又は行方向
）に一定間隔を置いて帯状の電極膜２３が形成され、さ
らに各帯状電極膜２３上には、両側を除いて中央部分に
のみ、全長にわたり導電性樹脂膜２４が形成されたもの
である。本実施例においても、図２と同様に、図に示す
Ｘ１，Ｘ２，…線、Ｙ１，Ｙ２，…線で個々のチップに
切り出すと同時に、図に示すＺ１，Ｚ２，…線に沿って
溝切りを行えば、圧電共振子のチップが得られる。本実
施例において、溝切り線Ｚ１，Ｚ２，…は、導電性樹脂
膜２４を切離すと同時に、電極膜２３を分断してチップ
上の分割電極３，３を形成するものである。溝幅，深さ
の設定により、実質的に図１と同じ圧電共振子が得られ
る。なお、以上、いずれの実施例においても、導電性樹
脂膜として厚み方向にのみ導電性を有する異方導電性樹
脂膜を形成させた場合は、あえて樹脂膜を切断するまで
もなく、両分割電極に対して電気的に切り離すことがで
きる。
合の別の実施例を示す図である。本実施例では方形の圧
電基板１１の裏面全面に共通の電極膜１２が形成され、
表面側には、予め定められた幅員で列方向（又は行方向
）に一定間隔を置いて帯状の電極膜２３が形成され、さ
らに各帯状電極膜２３上には、両側を除いて中央部分に
のみ、全長にわたり導電性樹脂膜２４が形成されたもの
である。本実施例においても、図２と同様に、図に示す
Ｘ１，Ｘ２，…線、Ｙ１，Ｙ２，…線で個々のチップに
切り出すと同時に、図に示すＺ１，Ｚ２，…線に沿って
溝切りを行えば、圧電共振子のチップが得られる。本実
施例において、溝切り線Ｚ１，Ｚ２，…は、導電性樹脂
膜２４を切離すと同時に、電極膜２３を分断してチップ
上の分割電極３，３を形成するものである。溝幅，深さ
の設定により、実質的に図１と同じ圧電共振子が得られ
る。なお、以上、いずれの実施例においても、導電性樹
脂膜として厚み方向にのみ導電性を有する異方導電性樹
脂膜を形成させた場合は、あえて樹脂膜を切断するまで
もなく、両分割電極に対して電気的に切り離すことがで
きる。
【００１５】（実施例）以下に本発明の実施例を示す。
図２において、表裏両面の全面に電極膜を施したセラミ
ック圧電基板（厚さ０．２５ｍｍ）を分極処理した後、
レジストをかけ、一面に分割電極の電極膜パターンを焼
き付け、これをフォトエッチングして行列方向に短冊状
電極膜１３，１３を形成した。なお、短冊状電極膜１３
の大きさは長さ２．６０ｍｍ，幅０．５５ｍｍ，電極膜
間の間隔は、０．２ｍｍとした。次に、行方向の各短冊
状電極膜１３の中央に跨って導電性樹脂（シリコーン系
，ウレタン系）膜１４を幅２．０ｍｍ，厚さ０．０７ｍ
ｍの大きさでスクリーン印刷した。１５０℃で３０分間
加熱乾燥したのち、ダイシングソーにより、切断線Ｘ１
，Ｘ２，…，Ｙ１，Ｙ２，…で切断するとともに切込線
Ｚ１，Ｚ２，…に沿って幅０．１５ｍｍ，深さ０．０５
ｍｍの溝を付し、表面一部が導電性樹脂膜４に覆われた
分割電極３，３の対を有する図１の圧電共振子（長さ３
．８ｍｍ，幅０．６ｍｍ，厚さ０．２５ｍｍ）Ａのチッ
プを各々切り出した。
ック圧電基板（厚さ０．２５ｍｍ）を分極処理した後、
レジストをかけ、一面に分割電極の電極膜パターンを焼
き付け、これをフォトエッチングして行列方向に短冊状
電極膜１３，１３を形成した。なお、短冊状電極膜１３
の大きさは長さ２．６０ｍｍ，幅０．５５ｍｍ，電極膜
間の間隔は、０．２ｍｍとした。次に、行方向の各短冊
状電極膜１３の中央に跨って導電性樹脂（シリコーン系
，ウレタン系）膜１４を幅２．０ｍｍ，厚さ０．０７ｍ
ｍの大きさでスクリーン印刷した。１５０℃で３０分間
加熱乾燥したのち、ダイシングソーにより、切断線Ｘ１
，Ｘ２，…，Ｙ１，Ｙ２，…で切断するとともに切込線
Ｚ１，Ｚ２，…に沿って幅０．１５ｍｍ，深さ０．０５
ｍｍの溝を付し、表面一部が導電性樹脂膜４に覆われた
分割電極３，３の対を有する図１の圧電共振子（長さ３
．８ｍｍ，幅０．６ｍｍ，厚さ０．２５ｍｍ）Ａのチッ
プを各々切り出した。
【００１６】図４において、得られた圧電共振子の共通
電極２及び各分割電極３，３にそれぞれ端子片６及び７
，８をあてがい、ケース９内に収納し、蓋１０を取付け
て各端子片を電極に圧着してフィルタに組立て、そのフ
ィルタ特性及びスプリアス特性を測定した。図５は４５
５ＫＨｚフィルタの周波数特性、図６は、４５５ＫＨｚ
フィルタのスプリアス特性を示している。図に明らかな
とおり、４５５ＫＨｚの選択性、スプリアス減衰性に優
れたものであった。また、振動，衝撃に対しても特性劣
化がなく安定した特性が得られた。
電極２及び各分割電極３，３にそれぞれ端子片６及び７
，８をあてがい、ケース９内に収納し、蓋１０を取付け
て各端子片を電極に圧着してフィルタに組立て、そのフ
ィルタ特性及びスプリアス特性を測定した。図５は４５
５ＫＨｚフィルタの周波数特性、図６は、４５５ＫＨｚ
フィルタのスプリアス特性を示している。図に明らかな
とおり、４５５ＫＨｚの選択性、スプリアス減衰性に優
れたものであった。また、振動，衝撃に対しても特性劣
化がなく安定した特性が得られた。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によるときには、分
割電極面に柔軟な導電性樹脂膜を有するため、長辺伸び
振動の寄生振動を抑制し、主振動に影響せずスプリアス
減衰量を大きくでき、またケース内への組込みを容易に
行うことができる。しかも、ケースに組付けしたときに
は、端子片を柔軟な導電性樹脂膜に圧接させるため、振
動や衝撃に対しても安定な特性を維持できる。さらに、
分割電極は、予め定められた大きさで、チップ上に形成
されて、また、導電性樹脂膜は、予め定められた領域に
のみ形成されるため、特性の調整が可能となり、スプリ
アス減衰特性の向上に寄与できる。
割電極面に柔軟な導電性樹脂膜を有するため、長辺伸び
振動の寄生振動を抑制し、主振動に影響せずスプリアス
減衰量を大きくでき、またケース内への組込みを容易に
行うことができる。しかも、ケースに組付けしたときに
は、端子片を柔軟な導電性樹脂膜に圧接させるため、振
動や衝撃に対しても安定な特性を維持できる。さらに、
分割電極は、予め定められた大きさで、チップ上に形成
されて、また、導電性樹脂膜は、予め定められた領域に
のみ形成されるため、特性の調整が可能となり、スプリ
アス減衰特性の向上に寄与できる。
【図１】本発明の一実施例を示す圧電共振子の斜視図で
ある。
ある。
【図２】圧電共振子を多数個取りする場合の説明図であ
る。
る。
【図３】圧電共振子を多数個取りする場合の他の例を示
す説明図である。
す説明図である。
【図４】圧電共振子をケースに組込むときの組合せ状況
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図５】本発明による圧電共振子を用いた４５５ＫＨｚ
フィルタの周波数特性を示す図である。
フィルタの周波数特性を示す図である。
【図６】本発明による圧電共振子を用いた４５５ＫＨｚ
フィルタのスプリアス特性を示す図である。
フィルタのスプリアス特性を示す図である。
１ 圧電基板
２ 共通電極
３ 分割電極
４ 導電性樹脂膜
５ 溝
１１ 圧電基板
１２ 共通電極の電極膜
１３ 短冊状電極膜
１４ 導電性樹脂膜
２３ 帯状電極膜
２４ 導電性樹脂膜
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電基板のチップに、共通電極と、分
割電極とを有する圧電共振子であって、共通電極は、チ
ップの一面の全面に形成されたものであり、分割電極は
、チップの他面の一部領域に対をなして平行に付された
電極膜であり、各々の分割電極の電極膜表面一部上に導
電性樹脂膜が付され、導電性樹脂膜は、柔軟性を有し、
分割電極間で切離されていることを特徴とする圧電共振
子。 - 【請求項２】 前記分割電極は、チップの表面の一部
領域に一定間隔を置いて平行に付されたものであり、導
電性樹脂膜は、分割電極の電極膜一部表面と、露出した
チップの圧電基板上に跨って形成され、両分割電極の露
出した圧電基板上で切離されたものであることを特徴と
する請求項１に記載の圧電共振子。 - 【請求項３】 電極形成工程と、導電性樹脂膜形成工
程と、切断工程とを有する圧電共振子の製造方法であっ
て、電極形成工程は、圧電基板の一面に共通電極、他面
に分割電極を形成する工程であり、共通電極は、圧電基
板の全面に形成されたものであり、分割電極は、前記圧
電基板上に一定間隔を置いて行列方向に整列させた短冊
状電極膜であり、樹脂膜形成工程は、行又は列方向の短
冊状電極膜上の相互間に跨って一定領域に柔軟性を有す
る導電性樹脂膜を形成する工程であり、切断工程は、短
冊状電極膜間の導電性樹脂膜を切離すと共に、各々の短
冊状電極膜を分割電極として２分割し、圧電基板から、
所定形状のチップを切り出す工程であることを特徴とす
る圧電共振子の製造方法。 - 【請求項４】 電極形成工程と、導電性樹脂膜形成工
程と、切断工程とを有する圧電共振子の製造方法であっ
て、電極形成工程は、圧電基板の一面に共通電極、他面
に分割電極を形成する工程であり、共通電極は、圧電基
板の全面に形成されたものであり、分割電極は、前記圧
電基板上に一定間隔を置いて行又は列方向に整列させた
帯状の電極膜であり、樹脂膜形成工程は、帯状電極膜上
の全長にわたり一定領域に柔軟性を有する導電性樹脂膜
を形成する工程であり、切断工程は、帯状電極膜間の圧
電基板を切離すと共に、各々の帯状電極膜を所定の大き
さのチップに切離し、且つチップ上の電極膜を分割電極
として２分割し、同時に導電性樹脂膜を切離して圧電基
板から、所定形状のチップを切り出す工程であることを
特徴とする圧電共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12675091A JPH04329013A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12675091A JPH04329013A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04329013A true JPH04329013A (ja) | 1992-11-17 |
Family
ID=14942990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12675091A Pending JPH04329013A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04329013A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1103137C (zh) * | 1997-04-25 | 2003-03-12 | 株式会社村田制作所 | 压电谐振器和使用该压电谐振器的电子部件 |
-
1991
- 1991-04-30 JP JP12675091A patent/JPH04329013A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1103137C (zh) * | 1997-04-25 | 2003-03-12 | 株式会社村田制作所 | 压电谐振器和使用该压电谐振器的电子部件 |
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