JPH0432752A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH0432752A JPH0432752A JP13853990A JP13853990A JPH0432752A JP H0432752 A JPH0432752 A JP H0432752A JP 13853990 A JP13853990 A JP 13853990A JP 13853990 A JP13853990 A JP 13853990A JP H0432752 A JPH0432752 A JP H0432752A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- grating
- specularly reflected
- reflected light
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 241000270281 Coluber constrictor Species 0.000 description 1
- OQZCSNDVOWYALR-UHFFFAOYSA-N flurochloridone Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(N2C(C(Cl)C(CCl)C2)=O)=C1 OQZCSNDVOWYALR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明は、金属、フィルム、紙などの表面をレーザビ
ームで走査して欠陥を検査する表面検査装置に関する。
ームで走査して欠陥を検査する表面検査装置に関する。
（従来の技術）
この種の表面検査装置の従来の代表的な構成を第５図、
第６図、第７図に示している。この例の検査対象物２は
帯状のシートであり、矢印方向に連続的に送給される。
第６図、第７図に示している。この例の検査対象物２は
帯状のシートであり、矢印方向に連続的に送給される。
このシート２の」二ノｊにレーサスキャナ］を配設し、
シート２の表面をレサビームでシート幅方向に繰返し走
査する。また、シート２からの前記レーザビームの正反
則光を含む反射回折光を受光する位置に平行平板格子４
とライトガイド３を配設し、シート２がらの反射回析光
を平行平板格子４を介してライトガイド３に導入し、ラ
イトガイド３に入射した光を光７株変換器６に導くよう
に構成している。
シート２の表面をレサビームでシート幅方向に繰返し走
査する。また、シート２からの前記レーザビームの正反
則光を含む反射回折光を受光する位置に平行平板格子４
とライトガイド３を配設し、シート２がらの反射回析光
を平行平板格子４を介してライトガイド３に導入し、ラ
イトガイド３に入射した光を光７株変換器６に導くよう
に構成している。
第７図に示すように、平行平板格子４はシート２からの
正反射光ａに対してレーザビーム走査方向に所定角度傾
斜しており、シート２からの７１２査ビームの反射回折
光のうち、正反射光ａおよび正反射光ａに対して小さな
角度θ１以下しかなしていない反射回折光は平行平板格
子４を通過せず、正反射光ａに対する角度が６１以上で
０２以下の範囲（ｂで示す）の反射回折光が平行平板格
子４を通過してライトガイド３に入射し、光電変換器６
に達する。
正反射光ａに対してレーザビーム走査方向に所定角度傾
斜しており、シート２からの７１２査ビームの反射回折
光のうち、正反射光ａおよび正反射光ａに対して小さな
角度θ１以下しかなしていない反射回折光は平行平板格
子４を通過せず、正反射光ａに対する角度が６１以上で
０２以下の範囲（ｂで示す）の反射回折光が平行平板格
子４を通過してライトガイド３に入射し、光電変換器６
に達する。
このように、シート２からの正反射光ａおよびそれに近
い向きの反射回折光は受光せず、正反射光ａに対しであ
る程度大きく傾いた向きの反射回析光を受光するために
、適宜に傾いた平行平板の格子４をライトガイド３の前
面に設置している。
い向きの反射回折光は受光せず、正反射光ａに対しであ
る程度大きく傾いた向きの反射回析光を受光するために
、適宜に傾いた平行平板の格子４をライトガイド３の前
面に設置している。
こうすることにより、検査しようとする欠陥をより高感
度に検出することができる。
度に検出することができる。
（発明が解決しようとする課題）
第７図において、レーザビーム走査方向（ライドガイド
３の長手方向）に関し、シート（検査対象物）２からの
正反射光ａに対してθ重〜θ２の角度をなす反射回折光
すに欠陥情報か良く現われるが、同様に正反射光ａと反
対側に０１〜θ２の角度をなす反射回折光Ｃにも欠陥情
報が良く現れる。しかし、正反射光ａに対して適宜に傾
斜させた平行平板格子４を通して反射回折光を選択的に
受光する従来の装置では、欠陥情報を良く含む反射回折
光すとＣのうちの一方しか受光することができず、感度
の点で不充分であった。
３の長手方向）に関し、シート（検査対象物）２からの
正反射光ａに対してθ重〜θ２の角度をなす反射回折光
すに欠陥情報か良く現われるが、同様に正反射光ａと反
対側に０１〜θ２の角度をなす反射回折光Ｃにも欠陥情
報が良く現れる。しかし、正反射光ａに対して適宜に傾
斜させた平行平板格子４を通して反射回折光を選択的に
受光する従来の装置では、欠陥情報を良く含む反射回折
光すとＣのうちの一方しか受光することができず、感度
の点で不充分であった。
この発明は前述した従来の問題点に鑑みなされたもので
、その目的は、正反射光の両側に拡散する所定角度範囲
の反射回折光を無駄なく受光することができるようにし
た高感度の表面検査装置を提供することにある。
、その目的は、正反射光の両側に拡散する所定角度範囲
の反射回折光を無駄なく受光することができるようにし
た高感度の表面検査装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
そこでこの発明では、検査対象物表面からのレーザビー
ムの正反射光を含む反射回折光を受光する位置にプリス
ムアレイと平行平板格子を配設し、正反射光およびそれ
に近い角度で前記プリズムアレイに入射する反射回折光
をレーザビーム走査方向に拡散させて前記平行平板格子
を通過させないようにし、正反射光に対して大きな角度
をなして前記プリズムアレイに入射する反射回折光を正
反射光の延長方向に屈折させて前記平行平板格子を通過
させるようにした。
ムの正反射光を含む反射回折光を受光する位置にプリス
ムアレイと平行平板格子を配設し、正反射光およびそれ
に近い角度で前記プリズムアレイに入射する反射回折光
をレーザビーム走査方向に拡散させて前記平行平板格子
を通過させないようにし、正反射光に対して大きな角度
をなして前記プリズムアレイに入射する反射回折光を正
反射光の延長方向に屈折させて前記平行平板格子を通過
させるようにした。
（作用）
正反射光の両側に拡散する所定角度範囲の反射回折光は
前記プリズムアレイにより正反射光に対して対称に屈折
され、前記平行平板格子を通過する。
前記プリズムアレイにより正反射光に対して対称に屈折
され、前記平行平板格子を通過する。
（実施例）
第１図〜第４図に本発明の一実施例の構成と作用を示し
ている。レーザスキャナ１からのレザビームで検査対象
物である帯状シート２を幅方向に走査し、このシート２
からの正反射光を含む反射回折光を受光する位置に、ま
ずプリズムアレイ５を配設し、その後段に平行平板格子
４を配置し、さらにその後段に光電変換器６につながる
ライトガイド３を配設している。
ている。レーザスキャナ１からのレザビームで検査対象
物である帯状シート２を幅方向に走査し、このシート２
からの正反射光を含む反射回折光を受光する位置に、ま
ずプリズムアレイ５を配設し、その後段に平行平板格子
４を配置し、さらにその後段に光電変換器６につながる
ライトガイド３を配設している。
従来装置（第５図〜第７図）と異なり、格子４の平行平
板はシート２からの正反射光ａの延長方向と平行に配列
されている。プリズムアレイ５は小さな多数の三角プリ
スムを平行平板格子４と平行に配列されている。
板はシート２からの正反射光ａの延長方向と平行に配列
されている。プリズムアレイ５は小さな多数の三角プリ
スムを平行平板格子４と平行に配列されている。
第４図（Ａ）に示すように、シート２からの正反射光ａ
がプリズムアレイ５に入射すると、その光はレーザビー
ム走査方向に拡散するようにし右または左に屈折され、
その結果平行乎板格ｒ４に角度をなして入射し、したが
って格子４を通過しない。正反射光ａに対する角度θか
小さな反射回析光も正反射光ａと同様にプリスムアレイ
５てビム走査方向に拡散するように屈折され、平行平板
格子４を通過しない。
がプリズムアレイ５に入射すると、その光はレーザビー
ム走査方向に拡散するようにし右または左に屈折され、
その結果平行乎板格ｒ４に角度をなして入射し、したが
って格子４を通過しない。正反射光ａに対する角度θか
小さな反射回析光も正反射光ａと同様にプリスムアレイ
５てビム走査方向に拡散するように屈折され、平行平板
格子４を通過しない。
第４図（Ｂ）に示すように、正反射光ａに対して比較的
大きなある角度θをなす反射回折光すまたはＣはブリス
ムアレイ５て屈折された結果、正反射光ａの延長方向に
平行となって平行平板格子４に入射し、格子４を通過し
てライトガイド３に入射し、光電変換器６に受光される
。この角度θを中心とした適宜範囲の反射回折光が平行
平板格子４を通過して受光される。
大きなある角度θをなす反射回折光すまたはＣはブリス
ムアレイ５て屈折された結果、正反射光ａの延長方向に
平行となって平行平板格子４に入射し、格子４を通過し
てライトガイド３に入射し、光電変換器６に受光される
。この角度θを中心とした適宜範囲の反射回折光が平行
平板格子４を通過して受光される。
ここで第３図および第４図（Ｂ）に示すように、シート
２からの正反射光ａの右側に拡散した所定角度範囲の反
射回折光すだけてなく、これと対称に左に拡散した所定
角度範囲の反射回折光Ｃも平行平板格子４を通過して光
電変換器６に受光される。
２からの正反射光ａの右側に拡散した所定角度範囲の反
射回折光すだけてなく、これと対称に左に拡散した所定
角度範囲の反射回折光Ｃも平行平板格子４を通過して光
電変換器６に受光される。
［発明の効果コ
以上詳細に説明したように、この発明に係る表面検査装
置では、検査対象からの反射回折光をプリズムアレイで
正反射光に対して左右対称に屈折させ、次段の平行平板
格子とともに正反射光の左右に拡散した所定角度範囲の
反射回折光を無駄なく受光することかできるので、欠陥
情報を含む光を従来より多く集めることかでき、従来よ
り高感度で高性能になる。
置では、検査対象からの反射回折光をプリズムアレイで
正反射光に対して左右対称に屈折させ、次段の平行平板
格子とともに正反射光の左右に拡散した所定角度範囲の
反射回折光を無駄なく受光することかできるので、欠陥
情報を含む光を従来より多く集めることかでき、従来よ
り高感度で高性能になる。
第１図は本発明の一実施例による表面検査装置の全体該
略図、第２図は同実施例装置の要部斜視図、第３図およ
び第４図は同実施例装置の作用説明図、第５図は従来装
置の全体該略図、第６図は従来装置の要部斜視図、第７
図は従来装置の作用説明図である。 １・・・レーザスキャナ、２・・・検査対象物、３・・
・ライトガイド、４・平行平板格子、５・・・プリズム
アレイ、６・・・光電変換器。
略図、第２図は同実施例装置の要部斜視図、第３図およ
び第４図は同実施例装置の作用説明図、第５図は従来装
置の全体該略図、第６図は従来装置の要部斜視図、第７
図は従来装置の作用説明図である。 １・・・レーザスキャナ、２・・・検査対象物、３・・
・ライトガイド、４・平行平板格子、５・・・プリズム
アレイ、６・・・光電変換器。
Claims (1)
- 検査対象物の表面をレーザビームで走査する手段と、
前記検査対象物表面からの前記レーザビームの正反射光
を含む反射回折光を受光する位置に配置され、正反射光
およびそれに近い角度で入射する反射回折光をレーザビ
ーム走査方向に拡散させる方向に屈折させるとともに、
正反射光に対して大きな角度をなして入射する反射回折
光を正反射光の延長方向に屈折させて出射させるプリズ
ムアレイと、このプリズムアレイから前記正反射光延長
方向に出射してくる光を通過させ、その光に対して一定
以上の角度をなす光の通過を阻止する平行平板格子と、
この平行平板格子を通過した光を光電変換器に導く手段
とを備えた表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13853990A JPH0432752A (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13853990A JPH0432752A (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0432752A true JPH0432752A (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=15224522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13853990A Pending JPH0432752A (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0432752A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5885926A (en) * | 1996-01-12 | 1999-03-23 | Naigai Carbon Ink Co., Ltd. | Heat sensitive color recording material |
| JP2009085691A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Panasonic Corp | 検査装置 |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP13853990A patent/JPH0432752A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5885926A (en) * | 1996-01-12 | 1999-03-23 | Naigai Carbon Ink Co., Ltd. | Heat sensitive color recording material |
| JP2009085691A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Panasonic Corp | 検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5452079A (en) | Method of and apparatus for detecting defect of transparent sheet as sheet glass | |
| US4559451A (en) | Apparatus for determining with high resolution the position of edges of a web | |
| KR100228026B1 (ko) | 이물질 검사를 위한 방법 및 장치 | |
| JPS56126747A (en) | Inspecting method for flaw, alien substance and the like on surface of sample and device therefor | |
| US4522497A (en) | Web scanning apparatus | |
| ES8106804A1 (es) | Aparato para detectar la presencia de defectos en un articu-lo de material translucido | |
| US3589816A (en) | Apparatus for detecting imperfections on a web | |
| JPH01214744A (ja) | 光学式欠陥検査装置 | |
| JPS6234097B2 (ja) | ||
| GB2117897A (en) | Detecting surface defects | |
| US4851696A (en) | Apparatus for receiving radiation only within predetermined angular limits | |
| JPH0432752A (ja) | 表面検査装置 | |
| US4705957A (en) | Wire surface monitor | |
| JPH02107951A (ja) | ピンホール検査装置 | |
| JP2873450B2 (ja) | 光による欠点検査装置 | |
| US3958128A (en) | System for determining a transversal position of any defect in a traveling sheet material | |
| GB2054835A (en) | Scanning Apparatus for Flaw Detection | |
| GB1596295A (en) | Optical apparatus and method | |
| WO2022239568A1 (ja) | ピンホール検出装置 | |
| JPS6330561B2 (ja) | ||
| JPH04215045A (ja) | レーザ検査装置 | |
| JPH05332947A (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
| JPH0352889B2 (ja) | ||
| JPS56126745A (en) | Automatic inspecting device for surface of plate material | |
| JPH0641923B2 (ja) | 表面検査装置 |