JPH0432729A - フーリエ変換形分光分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、フーリエ変換形分光分析装置に関し、詳しく
は、フーリエ変換用のホログラフィック干渉計、−次元
イメージセンサやホトダイオードアレイ等の受光素子、
並びに分光分析用の測定回路を備えた分光分析装置に関
する。

（従来の技術） 従来この種の分光分析装置は、被測定光をホログラフィ
ック干渉計に入射させて空間的に作成した干渉像（イン
ターフェログラム）を−次元イメージセンサやホトダイ
オードアレイ等の受光素子上に結像させ、この受光素子
の高力信号をディジタル信号に変換した後にコンピュー
タ等によりフーリエ変換して被測定光のスペクトルを求
めるものとして知られている。

ここで、前記ホログラフィック干渉計としては、機械的
駆動部分がなく、光学的に安定であることや調整が容易
である等の理由により、三角コモンパス干渉計（ＡＰＰ
ＬＩＤＥ　　０ＰＴＩＣＳ　　１９８４　　Ｎｏ、２　
　ｐ。

２６９〜ｐ、２７３、特開昭６３−２３６９３０号公報
、特開平１−１．８９５２５号公報等を参照）や複屈折
干渉計、光路上に配置した一対の鏡の一方または双方を
傾けた干渉計等が広く用いられている。特に、このうち
三角コモンパス干渉計は、ビームスプリッタにより分け
られた被測定光の二つの光束が互いに逆向きで同一光軸
上を進むため、仮りに外部からの機械的振動が干渉計に
加わってもこの振動による光束の揺れが相殺されて光学
的な悪影響がないという利点があり、また、調整が簡単
でローコストであると共に、フーリエ変換後の波数のリ
ニアリティがよいこと等の理由で注目されている。

一方、受光素子としては、可動部がなく電子的走査が可
能であって、走査回数の多少に応じて高精度かつ短時間
で測定を行うことができ、しかも小形化が可能で分光分
析装置全体の小形化をも図り得る一次元イメージセンサ
やホトダイオ−１〜アレイが広く使用されている。

（発明が解決しようとする課題） 上述した従来の分光分析装置には、次のような問題があ
る。

すなわち、受光素子としてのイメージセンサやホトダイ
オードアレイは１周知のように多数の画素（ホトセル）
から構成されているため、個々の画素によって感度のバ
ラツキがある。従って、これらの画素上に干渉像を結像
させてフーリエ変換によりスペクトルを求める場合１画
素ごとの感度のバラツキを補正しないとスペクトルのＳ
／Ｎ比が悪いため到底実用にはならない。例えばタング
ステンランプを光源とした場合には、Ｓ／Ｎ比が１０［
ｄＢ］程度となってしまう。

ここで、感度のバラツキを補正するには、基本的に次の
方７ムが考えられる。まず、受光素子に強度が均一な光
を照射して個々の画素ごとの感度を６１１１定し、これ
らをコンピュータに取り込む。そして、コンピュータに
よりすへての画素の感度の平均値を求めてこの平均値で
各画素の感度をノーマライズし、感度の高低を示すパラ
メータとしての感度値として各画素ごとに記憶しておく
。

次に、この受光素子を用いて実際に干渉像をｉｔ’ｌｌ
定し、各画素ごとの測定値を前記感度値により割って画
素ごとの感度のバラツキを補正した測定データを得るも
のである。

この場合、分光分析の対象となる被測定光とは別個に強
度が均一な光を作って受光素子の全画素に照射すること
により、個々の画素の感度を測定することができると考
えられるが、実際」二は受光素子の受光面に設けられた
窓材の歪みや窓の汚れ等が影響するため、各画素に対し
て強度が均一な光を照射することはできない。

従って従来では、受光素子の画素ごとの感度のバラツキ
を正確に補正することができず、分光分析の結果にノイ
ズ成分が多く含まれていてスペクトルのＳ／Ｎ比が悪い
という問題を生していた。

本発明は」−記問題点を解決するためになされたもので
、その目的とするところは、受光素子の画素ごとの感度
のバラツキを演算処理により補正してスペク］〜ルのＳ
／Ｎ比を改善し、高精度の分光分析が行なえるようにし
たフーリエ変換形分光分析装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段） −１−記目的を達成するため、本発明は、まず感度補正
モードにおいて、−次元イメージセンサ等の受光素子上
に形成される干渉像を、受光素子を構成する画素の配列
方向に沿って受光素子に対し、相対的に移動させること
により、前記各画素に対して強度がほぼ均一な光を照射
したのと同様な状態を作る第１の手段と、この感度補正
モードにおりる。受光素子の各画素ごとの光検出値と全
画素についての光検出値の平均値との比を、各画素の感
度の高低を示すパラメータとしての感度値として保持す
る第２の手段と、実際の分光分析モードにおいて、各画
素による光検出値を前記感度値に基づきそれぞれ補正し
て受光素子の出力データを得る第３の手段とを備えたも
のである。

ここで、前記第１の手段は、例えばレンズと受光素子と
の間に設けられた回動可能な光学ガラスまたは鏡、ある
いは移動可能な受光素子や回動可能なレンズと、これら
の旺動源等からなり、また、第２及び第３の手段は、サ
ンプルホールド回路やＡ／Ｄ変換器、メモリ、マイコン
の如きディジタル演算手段を含む測定回路からなる。

また、受光素子に対して干渉像を相対的に移動させる際
の速度のパターンとしては、受光素子上の干渉像の最も
明るい位置を中心点としてこの中心点付近の移動速度が
最も遅くなるように干渉像を相対的に移動させると、各
画素に対して強度がほぼ均一な光が照射された状態を実
現することができる。なお、上述した露光景の分布はい
わゆるガウス形分布と考えられ、この分布は、干渉像の
相対的な移動速度が一定の場合でも各画素の光検出値に
対し所定の重み付けをして演算処理することにより実現
可能である。

（作用） 本発明によれば、感度補正モードにおいて受光素子上で
干渉像を相対的に移動させながら各画素ごとの光検出値
を測定することにより、全画素について強度がほぼ均一
な光が照射された時と同様のデータを得ることができる
。これらの全画素についての光検出値の平均値を求め、
この平均値によって各画素の光検出値を割ることにより
、各画素ごとの感度の高低を示すパラメータとしての感
度値が算出される。従って、これらの各画素ごとの感度
値を実際の干渉像の測定（分光分析）に先ｑっで予め記
憶しておき、実際の測定時には、各画素について多数回
の測定により平均化した画素ごとの光検出値を上記感度
値にて補正することにより、全画素について感度のバラ
ツキ補正を行った後の受光素子出力データを得ることが
できる。

よってこの出力データに基づきフーリエ変換を行なえば
、受光素子の画素ごとの感度のバラツキに影響されない
スペクトルを得ることができる。

（実施例） 以下、図に沿って本発明の詳細な説明する。

まず、第］−図及び第２図は本発明の第１実施例におけ
る光学系の構成を概略的に示したものである。

第１図において、１０は周知の三角コモンパス干渉計で
あり、この干渉計１０は、被測定光が入射するビームス
プリッタ１１と、ビームスプリッタ］］の透過光を反射
させる鏡１２と、ビームスプリッタ１１からの反射光を
反射させる鏡１３と、これらの鏡１２゜１３からの反射
光をビームスプリッタ１１を介して隼光するレンズ１４
とを備えている。

一方、２０は干渉像が受光面に結像される受光素子であ
り、この受光素子２０は、前述の如く一次元イメージセ
ンサやホトダイオードアレイによって構成され、電子的
走査を行うためのドライバや受光出力信号を処理してフ
ーリエ変換等を行なうための測定回路（第１図には何れ
も図示せず）に接続されている。

更にこの実施例では、レンズ１４と受光素子２０との間
に光学ガラス３０が配置されており、この光学ガラス３
０はステンピングモータや可動線輪等の適宜な呼動源に
より、レンズ１４の中心軸に直交する軸Ａを中心として
第１図の矢印方向に回動可能となっている。また、この
光学ガラス３０は分光分析モー１−において取り外すこ
とが可能に形成されている。

次にこの実施例の転作を説明する。この実施例では、受
光素子２０の個々の画素が有する感度のバラツキを補正
するにあたり、感度補正モードとして、分光分析の対象
である被測定光をビームスプリンタ１１に入射させると
共に、−に述した光学ガラス：（０を第１図の矢印方向
に回動させることにより受光素子２０上の干渉像を画素
の配列方向に沿って移動させ、各画素に対して強度がほ
ぼ均一な光を照射したのと等価な状態を実現している。

つまりこの実施例では、光学ガラス３０に対して斜めに
入射した光は、光軸に対する光学ガラス３０の角度に応
じた距離だけ平行移動して出射することを利用して干渉
像を移動させるものである。なお、ガラスの厚さや屈折
率によっても異なるが、例えば光学ガラス３０を２０°
〜３０°回動させても光の移動量はＩＩ程度であるため
、光学ガラス３０の移動にそれほどの精度は要求されな
い。

以下、画素ごとの感度のバラツキの補正方法を説明する
と、まず、第１図に示すような構成によって受光素子２
０上に干渉像を結像させておき、この状態で光学ガラス
３０を第２図（ａ）、（ｂ）のように回動（往復動）さ
せることにより、上記干渉像を画素の配列方向に沿って
移動させる。その際の移動距離としては、配列方向に沿
った全画素数の約１／２０程度、干渉像が中心から左右
方向に移動する距離とする。

ここで、受光素子２０の出力にはごく僅かであるがラン
ダムなノイズ成分が含まれているため、各画素による光
検出値の平均値を求めることが上記ノイズ成分の影響を
除去するために有効であること、及び、受光素子２０の
１回の走査時間は数ｍ５ｅｃと短いので、各画素ごとに
多数回の走査による多数の測定データ祭足し込んでその
平均値を求めたとしてもそれほど時間がかからないこと
等に鑑み、この実施例では、前述のように干渉像を移動
させながら各画素ごとの多数の光検出値を足し込んでそ
の平均値を求める方法を採ることとした。

なお、受光素子２０の出力はある走査から次の走査まで
の受光量の積分値となるため、理論的には、受光素子の
１回の走査の間に干渉像を１回移動させることにより全
画素について強度が均一な光が照射されたものとみなす
ことができる。

しかるに、例えば数ｍ５ｅｃの間に光学ガラス３０を精
度よく１回回動させることは物理的、機械的に極めて困
難である。そこで本実施例では、光学ガラス３０を比較
的ゆっくりと動かし、その間に受光素子２０を例えば１
０００回走査することにより各画素についてそれぞれ１
０００個の測定データを求め、これらを足し込んで平均
値を求めることで各画素についての光検出値を算出する
こととした。

一方、光学ガラス３０の回動により干渉像を移動させる
速度のパターンとしては、光学ガラス３０を一定の速度
で回動させることにより、全画素の露光量が一定となる
ように、画素数に対する受光量の関係が方形の分布とな
るパターンや、干渉像の最も明るい位置を受光素子２０
の中央部に設定する場合にこの中央部付近では干渉像を
ゆっくりと移動させ、また、両端部に向かうに従って干
渉像を速く移動させることにより、中央部付近では露光
量が多く、両端部に向かうに従って露光量が少なくなる
三角形の分布となるパターン、あるいは、画素数に対す
る露光量の分布がガウス形分布（正規分布）となるよう
なパターン等が考えられる。

これらの各パターンのうち、ガウス形分布は基本的に三
角形の分布と同様に、受光素子」二の干渉像の最も明る
い位置を中心点としてこの中心点付近で干渉像をゆっく
り移動させ、これから遠ざかるに従って干渉像を速く移
動させるもので、その移動パターンが若干複雑になるも
のである。しかしながら、発明者のシミュレーションに
よれば、第３図（ａ）に示すようなガウス形分布のパタ
ーンのもとで、干渉像の移動距離を全画素数の１／２０
程度とした場合、受光素子２０の出力データを高速フー
リエ変換した場合のスペクトルは、同図（ｂ）に示すよ
うに最大波数の１／８よりも大きい波数で一４０ｄＢ以
下となり、はぼ均一に光を照射したのと同様の効果が得
られる。この場合、波数が小さい部分では干渉像を移動
させた効果は現われていないが、例えば最大波数を５０
０００■−１（波長２００ｎｍ）として設計しても、波
数が５０００ａｎ　−’　（同２０００ｎｍ）までは実
用になるため特に問題はない。

なお、第３図（ａ）のＹ軸は受光素子２０による干渉像
の光検出値をＡ／Ｄ変換した値であり、同図（ｂ）はこ
のデータを離散フーリエ変換した値で対数１１盛により
表したものである。

次に、第４図は感度のバラツキ補正及び分光分析用測定
回路の構成の一例を示すブロック図であり、この例は、
前述したガウス形分布または三角形分布のパターンを得
るために、光学ガラス３０の回動速度を可変として移動
する場合のものである。

同図において、１０１は受光素子の出力信号を増幅する
アンプ、１０２はアンプ１０１の出力信号を読み出すた
めに所定のタイミングでサンプル／ホールトを行うサン
プルホールド回路、１０３はＡ／Ｄ変換器、１０４はＡ
／Ｄ変換器１０３の出力データを一時的に保持する第１
のラッチ回路、１０５はこのラッチ回路１０４の出力デ
ータと後述する第２のラッチ回路１０７の出力データと
を加算する加算器、１０６は加算器１０５の出力データ
を所定のタイミングで取り込み、かつ出力するゲート回
路、１０７は後述するＲ　Ａ　Ｍ　１０８に記憶されて
いる測定値（ゲート回路１０６を介した加算器１０５の
出力データ）を−時的に保持する第２のラッチ回路、１
０８は前記加算器１０５の出力データが受光素子の画素
ごとに所定のアドレスに書き込まれるＲＡＭ、１０９は
ＲＡ　Ｍ　１０８に対するアドレス発生用のカウンタ、
１１０は測定回数カウント用のカウンタ、１１１は基準
正弦波を発生する発振器、１１２はこの基準正弦波に基
づき、各素子や回路に対するタイミング信号を生成する
タイミング発生回路、１１３はタイミング発生回路１１
２との間で感度補正処理や実際の測定の開始指令、終了
指令を授受し、また、カウンタ１１０に対して測定回数
を書き込むと共に、ＲＡ　Ｍ　１０８との間でデータの
読み出し及び記憶内容のリセットを行い。

かつ、感度補正やフーリエ変換等の演算処理を行うため
のパソコンを示している。

次いでこの回路の動作を略述する。まず、受光素子２０
の各画素ごとの感度のバラツキを補正する、感度補正モ
ードにおける動作を説明する。この場合には、光学ガラ
ス３０に回動させながら被測定光を受光素子２０に照射
して各画素ごとに多数回の走査及び測定を行い、各画素
ごとの光検出値の今回値を第１のラッチ回路１０４にラ
ッチすると共に、その画素の前回までの光検出値の累積
値をＲＡＭ１０８から第２のラッチ回路１０７にラッチ
し、これらの第１．第２のラッチ回路１０４．１．０７
の出力データを加算器１０５により逐次足し込み、その
加算結果を、画素ごとに順次更新されるＲ　Ａ　Ｍ　１
０８内の所定のアドレスに書き込んでいく。

これにより、ＲＡ　Ｍ　１０８には最終的に、受光素子
２０の各画素ごとに多数回測定した光検出値の累積値が
記憶されることになり、しかもこれらのデータは、干渉
像を所定の可変速度で移動させた結果、画素数に対する
露光板（光検出値）の関係が例えばガウス形分布となる
ような重み付けが施されたものとなる。

従って、パソコン１１３ではこれらのデータを画素ごと
に読み出し、各々測定回数で割って各画素ごとの光検出
値の平均値を求めると共に、これらの平均値を全画素に
ついて更に平均化した値と前記平均値との比を求めるこ
とで、個々の画素についての感度の高低を示すパラメー
タとしての感度値を算出することができる。そして、こ
れらの各画素ごとの感度値は、実際の測定時に備えて内
部メモリ等に記憶される。

次に、干渉像を実際に測定する分光分析モードにおいて
は、第１図に示した光学系の構成から光学ガラス３０を
取り外し、レンズ１４を介して被測定光を受光素子２０
上に固定的に照射して干渉像を結像させると共に、前記
同様の方法によってＲＡＭ１０８内に各画素ごとの多数
回の測定データの累積値を記憶する。一方、パソコン１
１３ではこれらの測定データを読み出し、かつ測定回数
で割ることにより測定データの平均値を求め、その後、
この平均値を予め記憶しておいた前記感度値にて割るこ
とにより、画素ごとに感度のバラツキが補正された測定
データを得るものである。以後は、周知の離散フーリエ
変換等を演算処理にて行ない、被測定光のスペクトルを
求めればよい。

なお、上述した第４図の回路槽Ｊ戊によれば、ＲＡ　Ｍ
　１０８の容量としては所定ビット長のデータ領域を受
光素子２０の画素数分だけ有するものであればよいため
、コスト面で有利であり、また、ＲＡＭ１０８内のデー
タ数が少ない分だけＲＡＭ１０８からパソコン１１３へ
のデータ転送の時間が短くて済むという利点がある。

第５図（ａ）は、この実施例により画素ごとに感度のバ
ラツキ補正を行った場合の画素数と光検出値との関係を
示しており、縦軸の光検出値はその最大値及び最小値を
上下−杯に描いたものである。

また同図（ｂ）は、上記（ａ）のデータを高速フーリエ
変換した結果であり、縦軸は対数目盛にて表されている
。これらの測定結果を、上記補正を行っていない第６図
（ａ）、（ｂ）の各測定結果と比較すると、干渉像の明
暗が顕著になっている部分付近を除き全画素数にわたっ
て光検出値がほぼ一定になる結果、スペクトルのＳ／Ｎ
比が大幅に改善されていることが明らかである。

次いで、第７図は測定用回路の他の構成を示すブロック
図であり、第４図と同一の構成要素には同一の番号が付
されている。この例は、感度補正モードにおいて、光学
ガラス３０を一定速度で回動させながら各画素ごとの光
検出値を測定回数分だけＲＡＭ１０Ｂ’内に記憶し、そ
の後、これらの全データをパソコン１１３により読み出
すと共に、ガウス形分布等に対応するデータの重み付け
を演算処理により行ってから全画素についての平均値を
求めることにより、各画素ごとの感度値を算出するもの
である。

また、実際の分光分析モードでは、全画素についての全
測定回数のデータをＲＡＭ１０８′に記憶し、パソコン
１１３により各画素についての平均値算出、前記感度値
を用いたバラツキ補正等を行って測定データを得るもの
である。

この回路構成によると、定速で回動する光学ガラス３０
の暉動機構が簡略化できるという利点がある反面、ＲＡ
Ｍ１０８′の容量が増加し、パソコン１０３へのデータ
転送時間や重み付は計算等の演算処理時間が若干長くな
る。

次いで、第８図は本発明の第２実施例を示すものである
。すなわち本発明は、受光素子２０上の干渉像を所定の
範囲で移動させて画素ごとの感度のバラツキを補正する
ものであるから、第１実施例のように光学ガラス３０を
回動させるほか、第８図に示すようにレンズ１４と受光
素子２０との間に配置した可動鏡３１の回動により干渉
像を移動させてもよい。

すなわちこの実施例においては、レンズ１４の中心軸上
に可動鏡３１が配置されており、この可動鏡は上記中心
軸に垂直な軸Ａを中心として回動可能に形成されている
。また、受光素子２０はレンズＩ４の側方において可動
鏡３１による反射光が入射するような位置に配置される
。

この実施例によれば、可動鏡：３１を図の矢印方向に回
動させることで受光素子２０上の干渉像を移動させ、こ
れによって画素ごとの感度のバラツキを補正するもので
あり、測定回路は第１実施例と同様に第４図または第７
図の何れであってもよい。

なお、感度補正や泪り定方性は第１実施例と同一である
ため詳述を省略するが、可動鏡３】の駆動源としては印
加電圧の変化により長さが僅かに変化する圧電アクチュ
エータを利用すれば、可動鏡３１の若干の角度変化によ
って干渉像の変位を大きくとることができる。また、こ
の実施例では、受光素子２０がレンズ１４の側方にある
分、レンズ２０の中心軸方向の長さを短く形成すること
ができ、分析装置全体の小形化が可能になる。

次いで、第９図は本発明の第３実施例である。

この実施例は第２実施例と同様の着想に基づき、受光素
子２０を画素の配列方向に沿って矢印方向に直線的に移
動させることにより、干渉像を移動させるものである。

なお、感度補正や泄定方法及び測定回路の構成は前記各
実施例と同一であるから、重複を避けるために説明を省
略する。

この実施例において、受光素子２０の駆動源はラック、
ピニオンや送りネジ機構、ボイスコイル等が考えられる
。この実施例では、従来の三角コモンパス干渉計の光学
系に対して上記駆動源以外に付加するものはないため、
第１．第２の実施例に比へて構成の一層の簡略化、低コ
ス１〜化が可能になる。

なお、これらの実施例以外にも、レンズ１４のみを第１
実施例の光学ガラス３０と同様な方向に回動させること
によっても受光素子２０上の干渉像を移動させることが
できる。つまり本発明では、受光素子２０上の干渉像を
所定範囲内で所定の距離だけ移動させることができるも
のであれば、励動する対象となる部利は特に限定されな
い。

上記各実施例において、光学ガラス３０や可動鏡３１、
受光素子２０等の駆動源は前述したものに限定されない
のは言うまでもなく、また、測定回路の構成も第４図や
第７図のものに限られないのは勿論である。

更に、本発明は三角コモンパス干渉計ばかりでなく、複
屈折干渉計等の各種のホログラフィック干渉計を用いる
フーリエ変換形分光分析装置に適用することができる。

（発明の効果） 以上のように本発明によれば、−次元イメージセンサや
ホトダイオードアレイ等の受光素子を構成する各画素に
感度上のバラツキがある場合でも、各画素に対して強度
がほぼ均一な光を照射したとみなせる状態を作り、各画
素の感度値を予め算出、記憶して実際の測定時に前記感
度値を用いて測定データを補正するものであるから、受
光素子の出力データの精度が向上し、被測定光のスペク
トルのＳ／Ｎ比向上向上能であって高精度の分光分析が
可能になる。

また、光学系及び測定回路の双方において、実際の分光
分析に必要な構成要素に若干の要素を付加するだけで実
現可能であるから、既存の分析装置にも適用可能であっ
て経済性が高いという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例における光学系の概略的な
構成図、第２図（ａ）、（ｂ）はその動作説明図、第３
図（ａ）はガウス形分布における画素数と光検出値との
関係を示す図、同図（ｂ）はこのときの被測定光のスペ
クトルの説明図、第４図は測定回路の一例を示すブロッ
ク図、第５図（ａ）はこの実施例による感度補正後の画
素数と光検出値との関係を示す図、同図（ｂ）はこのと
きの被測定光のスペクトルの説明図、第６図（ａ）は感
度補正を行わない場合の画素数と光検出値との関係を示
す図、同図（ｂ）はこのときの被測定光のスペクトルの
説明図、第７図は測定回路の他の例を示すブロック図、
第８図及び第９図は本発明の第２．第３実施例を示す光
学系の概略的な構成図である。 １０・・三角コモンパス干渉計 １１・・・ビームスプリッタ　　１．２．１３・・鏡１
４・・・レンズ　　　　　　　２０・・・受光素子３０
・・光学ガラス　　　　　３１・・可動鏡１０１・・・
アンプ　　　１０２・サンプルホールド回路１０３・Ａ
／Ｄ変換器　　１０４，１．０７・・・ラッチ回路】０
５・・・加算器　　　＋０６・ゲート回路１０８、１０
８　′　　・ＲＡＭ １０９・・アドレス発生用カウンタ 】１０・８１１１定回数カウント用カウンタ１１１・発
振器　　　１１２・・・タイミング発生回路１１：３・
・パソコン 特許出願人　電気化学計器株式会社 第 図 第 図 （ａ） （ｂ） 第８ 図 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定光をホログラフィック干渉計に入射させて
   空間的に作成した干渉像を受光素子上に結像させ、この
   受光素子の出力データをフーリエ変換処理して前記被測
   定光のスペクトルを得るフーリエ変換形分光分析装置に
   おいて、 感度補正モードとして、前記干渉像を、前記受光素子を
   構成する画素の配列方向に沿って前記受光素子に対し相
   対的に移動させ、前記受光素子の各画素に対し強度がほ
   ぼ均一な光を照射したのと同様な状態を作る第１の手段
   と、 前記感度補正モードにおける、前記受光素子の各画素ご
   との光検出値と全画素についての光検出値の平均値との
   比を各画素ごとの感度の高低を示す感度値として保持す
   る第２の手段と、 分光分析モードにおいて、前記各画素による光検出値を
   前記感度値に基づきそれぞれ補正して前記受光素子の出
   力データを得る第３の手段と、を備えたことを特徴とす
   るフーリエ変換形分光分析装置。
2. （２）感度補正モードにおいて、受光素子上の干渉像の
   最も明るい位置を中心点としてこの中心点付近の移動速
   度が最も遅くなるように干渉像を相対的に移動させる請
   求項（１）記載のフーリエ変換形分光分析装置。