JPH0431676A - Structure for vacuum pump - Google Patents
Structure for vacuum pumpInfo
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- JPH0431676A JPH0431676A JP13679690A JP13679690A JPH0431676A JP H0431676 A JPH0431676 A JP H0431676A JP 13679690 A JP13679690 A JP 13679690A JP 13679690 A JP13679690 A JP 13679690A JP H0431676 A JPH0431676 A JP H0431676A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、真空ポンプの構造に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application fields] The present invention relates to the structure of a vacuum pump.
半導体素子や集積回路の製造工程においては、真空チャ
ンバー内で、半導体基板の表面に金属薄膜等が形成され
ている。本発明は、この真空チャンバー内を高真空にす
るための油拡散ポンプ等の真空ポンプの構造に関する。In the manufacturing process of semiconductor elements and integrated circuits, a thin metal film or the like is formed on the surface of a semiconductor substrate in a vacuum chamber. The present invention relates to the structure of a vacuum pump such as an oil diffusion pump for creating a high vacuum inside the vacuum chamber.
［背景技術］
油拡散ポンプ２１は、第３図に示すように、床面２２か
ら浮かせ、ボルト２３によって真空チャンバー２４の下
面に固定されている。[Background Art] As shown in FIG. 3, the oil diffusion pump 21 is suspended from a floor surface 22 and fixed to the lower surface of a vacuum chamber 24 with bolts 23.
したがって、従来にあっては、油拡散ポンプ内の油を交
換する場合には、数人の作業者が油拡散ポンプな持って
支え、別な作業者がボルトを緩めて外し、ボルトを外し
た後、油拡散ポンプを床面に降ろしていた。Therefore, in the past, when replacing the oil in an oil diffusion pump, several workers held and supported the oil diffusion pump, and another worker loosened and removed the bolts. After that, the oil diffusion pump was lowered to the floor.
［発明が解決しようとする課題］
上記のように、油拡散ポンプは、非常に重いので、−人
で真空チャンバーから取り外すのは困難であり、油拡散
ポンプの取り外し作業は、数人でなければ行うことがで
きなかフた。[Problems to be Solved by the Invention] As mentioned above, the oil diffusion pump is very heavy, so it is difficult to remove it from the vacuum chamber by one person, and the removal work of the oil diffusion pump requires several people. I couldn't do it.
しかして、本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、真空ポンプの
取り外し、あるいは真空チャンバーへの取り付けを一人
でも容易に行えるようにすることにある。The present invention has been made in view of the drawbacks of the conventional examples described above, and its purpose is to enable even one person to easily remove a vacuum pump or attach it to a vacuum chamber. It is in.
５課題を解決するための手段コ
本発明の真空ポンプの構造は、床面から浮かせて真空チ
ャンバーに取り付けられる真空ポンプであって、真空ポ
ンプ本体に昇降自在な脚部を設けたことを特徴としてい
る。5. Means for Solving the Problems The structure of the vacuum pump of the present invention is that the vacuum pump is mounted in a vacuum chamber while floating above the floor surface, and is characterized in that the vacuum pump body is provided with legs that can be raised and lowered. There is.
［作用］
本発明の真空ポンプにあっては、昇降自在な脚部を設け
ているので、真空ポンプを真空チャンバーから取り外す
際には、まず脚部を下降させて床面に着床させ、脚部に
よって真空ポンプ本体を支持させた状態で真空ポンプを
真空チャンバーから切り離せば、−人で真空ポンプを取
り外すことができる。[Function] The vacuum pump of the present invention is provided with legs that can be raised and lowered, so when removing the vacuum pump from the vacuum chamber, the legs are first lowered and placed on the floor. By separating the vacuum pump from the vacuum chamber with the vacuum pump body supported by the parts, the vacuum pump can be removed by hand.
逆に、真空ポンプを真空チャンバーに取り付ける際には
、真空ポンプ本体を脚部によって支持させた状態で真空
チャンバーに取り付ければ、−人で容易に真空ポンプの
取り付けを行うことができる。On the other hand, when attaching the vacuum pump to the vacuum chamber, if the vacuum pump body is attached to the vacuum chamber while being supported by the legs, the vacuum pump can be easily attached by one person.
そして、脚部は上下に動くので、真空チャンバーから分
離した真空ポンプを脚部に沿って下降させることができ
、真空ポンプの真空チャンバーの下方からの引き出しが
容易になる。また、真空ポンプを真空チャンバーに取り
付けた後は、脚部を上昇させておけば、脚部が邪魔にな
ることがない。Since the legs move up and down, the vacuum pump separated from the vacuum chamber can be lowered along the legs, making it easy to pull out the vacuum pump from below the vacuum chamber. Furthermore, after the vacuum pump is attached to the vacuum chamber, if the legs are raised, the legs will not get in the way.
また、脚部を上昇させておけば、真空ポンプを運転した
時に、真空ポンプの振動が伝わって脚部と床面との間で
騒音が発生するのを防止することができる。Further, by raising the legs, when the vacuum pump is operated, it is possible to prevent noise from being generated between the legs and the floor due to vibrations of the vacuum pump being transmitted.
Ｅ実施例］ 以下、本発明の実施例を添付図に従って説明する。E Example] Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
第１図（ａ） （ｂ）は、本発明の一実施例を示す正面
図及び下面図（ころの図示を省略〕である。１は真空チ
ャンバー ２は真空チャンバーの下方の床面であり、床
面２から浮かせて真空チャンバー１の下面に油拡散ポン
プ３が着脱可能に固定されている。油拡散ポンプ３の固
定は、油拡散ポンプ本体４の上端面に設けられてフラン
ジ６を、ボルト７によって真空チャンバー１の下面に締
め付けることにより行われている。また、油拡散ポンプ
本体４からは、３本以上のアーム８が放射状に突出させ
られており、各アーム８には上下に昇降可能な脚部５が
挿通させられている。さらに、各脚部５の下端には、ス
トッパ（図示せず）機能付ぎの走行自在なころ９が設け
られている。上下に昇降自在となった脚部５は、■フラ
ンジ６を真空チャンバー１の下面に当接させると共に脚
部５を下降させてころ９を床面２に接地させた状態と、
■油拡散ポンプ本体４を真空チャンバー１の下面に当接
させると共に脚部５を上昇させてころ９を床面２から離
した状態（あるいは、ころ９を床面２に接地させると共
に油拡散ポンプ本体４を下降させて真空チャンバー１の
下面から離した状態）の少なくとも２つの位置でアーム
８に固定することができるようになっている。このため
の固定手段は、特に限定されるものでなく、種々の構造
を用いることできる。いくつかの例をあげると、０脚部
５とアーム８に設けたビン孔を合わせ、ピンを差し込む
ことにより脚部を固定する方法、０脚部５をねじ棒とし
、アーム８のねじ孔に螺合させ、任意の位置で脚部５が
止まるようにする方法、■アーム８に螺合させたボルト
を脚部５に締め付けることによって脚部５を固定する方
法、■アーム８に設けたチャックによって脚部５を掴ま
せる方法、■脚部５にキー溝を設け、キー溝に横状をし
たキーを差し込むことによって脚部５を固定する方法、
■脚部Ｓに設けた保合部とアーム８に設けたストッパー
を係合させることによって脚部５を固定する方法等が可
能である。1(a) and 1(b) are a front view and a bottom view (illustration of rollers are omitted) showing an embodiment of the present invention. 1 is a vacuum chamber, 2 is a floor surface below the vacuum chamber, An oil diffusion pump 3 is removably fixed to the lower surface of the vacuum chamber 1, floating above the floor 2.The oil diffusion pump 3 is fixed by attaching a flange 6 provided on the upper end surface of the oil diffusion pump main body 4 to a bolt. 7 is tightened to the bottom surface of the vacuum chamber 1. Three or more arms 8 are radially protruded from the oil diffusion pump body 4, and each arm 8 is capable of moving up and down. A leg portion 5 is inserted through the leg portion 5. Furthermore, a movable roller 9 with a stopper function (not shown) is provided at the lower end of each leg portion 5. The part 5 includes: (1) a state in which the flange 6 is brought into contact with the lower surface of the vacuum chamber 1 and the leg part 5 is lowered so that the roller 9 is grounded on the floor surface 2;
■ A state in which the oil diffusion pump body 4 is brought into contact with the lower surface of the vacuum chamber 1 and the legs 5 are raised to separate the rollers 9 from the floor 2 (or the rollers 9 are brought into contact with the floor 2 and the oil diffusion pump The main body 4 can be fixed to the arm 8 in at least two positions (a state in which the main body 4 is lowered and separated from the lower surface of the vacuum chamber 1). The fixing means for this purpose is not particularly limited, and various structures can be used. Some examples include a method in which the legs are fixed by aligning the bottle holes provided in the leg part 5 and the arm 8 and inserting a pin; A method for fixing the leg 5 by tightening the bolt screwed onto the arm 8 to the leg 5; ■ A chuck provided on the arm 8. (1) A method of fixing the leg 5 by providing a key groove in the leg 5 and inserting a horizontal key into the key groove;
(2) A method of fixing the leg portion 5 by engaging a retaining portion provided on the leg portion S with a stopper provided on the arm 8 is possible.
次に、第２図（ａ）〜（ｅ）に従って、油拡散ポンプ３
を真空チャンバー１から取り外す際の手順を説明する。Next, according to FIGS. 2(a) to (e), the oil diffusion pump 3
The procedure for removing the vacuum chamber 1 from the vacuum chamber 1 will be explained.
第２図（ａ）は、油拡散ポンプ３を真空チャンバー１の
下面に取り付けた状態を示している。通常は、第２図（
ａ）のように、脚部５は床面２から離れるように上方へ
持ち上げられており、下方へ落ちないように適宜固定手
段によってアーム８に固定されている。このようにして
、通常は脚部５を上方へ上昇させておけば、作業者は足
先を脚部５に引っ掛けてつまづいたりすることがない。FIG. 2(a) shows a state in which the oil diffusion pump 3 is attached to the lower surface of the vacuum chamber 1. Usually, Figure 2 (
As shown in a), the leg portion 5 is lifted upward away from the floor surface 2, and is fixed to the arm 8 by appropriate fixing means to prevent it from falling downward. In this way, if the legs 5 are normally raised upward, the worker will not get his or her feet caught on the legs 5 and trip.
また、脚部５を床面２から離しておけば、油拡散ポンプ
３の運転時の振動が脚部５を伝わり、脚部５と床面２と
の接触部分で騒音を発生させたり、クリーンルーム内で
ほこりを立てたりすることを防止できる。例えば、油拡
散ポンプ３内の油を交換するために、油拡散ポンプ３を
真空チャンバー１から取り外す場合には、まず第２図（
ｂ）に示すように、脚部５を下方へ降ろし、ころ９を床
面２に接地させ、この位置で脚部５が動かないように適
宜固定手段によってアーム８に固定する。また、ころ９
もストッパーによって動かないようにする。こうして、
複数本の脚部５によって油拡散ポンプ本体４な支持させ
た状態で、第２図（ｃ）に示すように、フランジ６から
ボルト７を抜き取り、油拡散ポンプ３を真空チャンバー
１から取り外す。次に、油拡散ポンプ本体４を脚部５に
沿って徐々に下降させ、第２図（ｄ）に示すように、油
拡散ポンプ本体４の上面を真空チャンバー１の下面から
離間させる。この時、一定の高さよりも下に油拡散ポン
プ本体４が下がらないように脚部５に係合部等を設け、
油拡散ポンプ本体４を支持できるようにしておけば、油
拡散ポンプ本体４を脚部５に沿って下降させた時に、脚
部５とアーム８との間の固定手段によって脚部５をアー
ム８に固定する手間が省ける。この後、ころ９のストッ
パーを解除し、第２図（ｅ）に示すように、作業し易い
位置まで油拡散ポンプ３を移動させる。この時、ころ９
によってスムーズに油拡散ポンプ３を移動させることが
できるので、重い油拡散ポンプ３でも容易に移動させる
ことができ、また真空チャンバー１の下面と床面２との
間にあまり間隔がない場合でも、容易に油拡散ポンプ３
を引き出すことができる。そして、例えば油拡散ポンプ
３の油な交換した後、油拡散ポンプ３を再び真空チャン
バー１の下面に取り付ける場合には、上記の手順と逆の
手順で油拡散ポンプ３を真空チャンバー１の下面に取り
付ければよい。この場合、脚部５がネジ棒であれば、脚
部５を回すことによって容易に油拡散ポンプ本体４を上
昇させることができるが、油拡散ポンプ３を人力で持ち
上げなければならない場合には、補助的にジヤツキ等を
用いてもよい。In addition, if the legs 5 are kept apart from the floor 2, vibrations during operation of the oil diffusion pump 3 will be transmitted through the legs 5, causing noise at the contact area between the legs 5 and the floor 2, or causing noise in the clean room. Prevents dust from building up inside. For example, when removing the oil diffusion pump 3 from the vacuum chamber 1 in order to replace the oil in the oil diffusion pump 3, first see FIG.
As shown in b), the legs 5 are lowered, the rollers 9 are brought into contact with the floor 2, and in this position the legs 5 are fixed to the arms 8 by appropriate fixing means so that they do not move. Also, Koro 9
The stopper also prevents it from moving. thus,
With the oil diffusion pump body 4 supported by the plurality of legs 5, the bolts 7 are removed from the flange 6 and the oil diffusion pump 3 is removed from the vacuum chamber 1, as shown in FIG. 2(c). Next, the oil diffusion pump body 4 is gradually lowered along the leg portions 5, and the upper surface of the oil diffusion pump body 4 is separated from the lower surface of the vacuum chamber 1, as shown in FIG. 2(d). At this time, an engaging portion or the like is provided on the leg portion 5 so that the oil diffusion pump body 4 does not fall below a certain height.
If the oil diffusion pump main body 4 is supported, when the oil diffusion pump main body 4 is lowered along the leg 5, the leg 5 is fixed to the arm 8 by the fixing means between the leg 5 and the arm 8. It saves you the trouble of fixing it. Thereafter, the stopper of the roller 9 is released, and the oil diffusion pump 3 is moved to a position where it is easy to work, as shown in FIG. 2(e). At this time, Koro 9
Since the oil diffusion pump 3 can be moved smoothly by the Easy oil diffusion pump 3
can be extracted. For example, if you want to reinstall the oil diffusion pump 3 on the bottom surface of the vacuum chamber 1 after replacing the oil in the oil diffusion pump 3, reinstall the oil diffusion pump 3 on the bottom surface of the vacuum chamber 1 by reversing the above procedure. Just install it. In this case, if the legs 5 are threaded rods, the oil diffusion pump main body 4 can be easily raised by turning the legs 5, but if the oil diffusion pump 3 must be lifted manually, A jack or the like may be used as an auxiliary aid.
なお、上記実施例では油拡散ポンプの場合について説明
したが、本発明はこれ以外のクライオポンプやターボポ
ンプ等の真空ポンプを用いた場合でも同様に実施できる
のは当然である。In addition, although the case of the oil diffusion pump was explained in the above-mentioned Example, it is natural that the present invention can be implemented in the same way even when using a vacuum pump other than this, such as a cryopump or a turbo pump.
［発明の効果］
本発明によれば、脚部によって真空ポンプ本体を支持さ
せることができるので、真空ポンプの真−空チャンバー
からの取り外し及び取り付けを一人でも容易に行なうこ
とができ、真空ポンプの着脱作業を省力化することがで
きる。また、脚部は昇降させることができるので、使用
しない場合には床面から上昇させておけば、床面と脚部
との間で騒音が発生したり、はこりが立ったりするのを
防止できる。[Effects of the Invention] According to the present invention, since the vacuum pump main body can be supported by the legs, even one person can easily remove and attach the vacuum pump from the vacuum chamber. It is possible to save labor in attaching and detaching work. In addition, the legs can be raised and lowered, so if you raise them above the floor when not in use, you can prevent noise or lumps from forming between the floor and the legs. can.
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ） （ｂ）は本発明の一実施例を示す正面図
及び下面図、第２図（ａ） （ｂ） （ｃ） （ｄ）
（ｅ）は同上の真空ポンプを真空チャンバーから取り外
す手順を示す説明図、第３図は従来例の正面図である。
１・・・真空チャンバー
２・・・床面
３・・・油拡散ポンプ
４・・・油拡散ポンプ本体
５・・・脚部[Brief Description of the Drawings] Figure 1 (a) (b) is a front view and bottom view showing an embodiment of the present invention, Figure 2 (a) (b) (c) (d)
(e) is an explanatory view showing the procedure for removing the same vacuum pump from the vacuum chamber, and FIG. 3 is a front view of the conventional example. 1... Vacuum chamber 2... Floor surface 3... Oil diffusion pump 4... Oil diffusion pump body 5... Legs
Claims (1)
る真空ポンプであって、 真空ポンプ本体に昇降自在な脚部を設けたことを特徴と
する真空ポンプの構造。(1) A structure of a vacuum pump, which is a vacuum pump that can be mounted in a vacuum chamber while floating above the floor surface, and is characterized in that the vacuum pump body is provided with legs that can be raised and lowered.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13679690A JPH0431676A (en) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | Structure for vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13679690A JPH0431676A (en) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | Structure for vacuum pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0431676A true JPH0431676A (en) | 1992-02-03 |
Family
ID=15183720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13679690A Pending JPH0431676A (en) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | Structure for vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0431676A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6909556B2 (en) | 2002-01-14 | 2005-06-21 | Lightmaster Systems, Inc. | Design of prism assemblies and kernel configurations for use in projection systems |
| US6982829B1 (en) | 2002-08-23 | 2006-01-03 | Lightmaster Systems, Inc | Prism assembly with cholesteric reflectors |
| US7280281B2 (en) | 2002-03-05 | 2007-10-09 | Berg & Berg Enterprises, Inc. | Method and apparatus for increasing microdisplay black state in light management systems and flexibility to utilize polarized or unpolarized input light |
| US7285775B2 (en) | 2004-12-02 | 2007-10-23 | International Business Machines Corporation | Endpoint detection for the patterning of layered materials |
| CN103089589A (en) * | 2013-01-09 | 2013-05-08 | 昆山佳铭自动化科技有限公司 | Compressing-ring assembling and detection combination device used for piston type electric vacuum pump |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP13679690A patent/JPH0431676A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6909556B2 (en) | 2002-01-14 | 2005-06-21 | Lightmaster Systems, Inc. | Design of prism assemblies and kernel configurations for use in projection systems |
| US7280281B2 (en) | 2002-03-05 | 2007-10-09 | Berg & Berg Enterprises, Inc. | Method and apparatus for increasing microdisplay black state in light management systems and flexibility to utilize polarized or unpolarized input light |
| US6982829B1 (en) | 2002-08-23 | 2006-01-03 | Lightmaster Systems, Inc | Prism assembly with cholesteric reflectors |
| US7285775B2 (en) | 2004-12-02 | 2007-10-23 | International Business Machines Corporation | Endpoint detection for the patterning of layered materials |
| CN103089589A (en) * | 2013-01-09 | 2013-05-08 | 昆山佳铭自动化科技有限公司 | Compressing-ring assembling and detection combination device used for piston type electric vacuum pump |
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