JPH04313037A - 圧電型圧力センサ - Google Patents
圧電型圧力センサInfo
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- JPH04313037A JPH04313037A JP7886591A JP7886591A JPH04313037A JP H04313037 A JPH04313037 A JP H04313037A JP 7886591 A JP7886591 A JP 7886591A JP 7886591 A JP7886591 A JP 7886591A JP H04313037 A JPH04313037 A JP H04313037A
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は内燃機関のシリンダ内燃
焼圧力等の圧力検出に適した圧電型圧力センサに関する
。
焼圧力等の圧力検出に適した圧電型圧力センサに関する
。
【０００２】
【従来の技術】応力を加えて電荷を発生する圧電効果を
利用した圧電型圧力センサは、従来よりよく用いられて
いる。特に最近では内燃機関のシリンダ内燃焼圧力等の
検出に適した圧力センサの開発が盛んである。図６に従
来より用いられている圧電型圧力センサの基本構成を示
す。同図はセンサの縦断面図であり、センサ箱体５１内
部に設置された圧電素子５４は上部固定ネジ５５によっ
て圧力伝達部材５３を介してダイアフラム状に加工され
た受圧面５２の裏面に押しつけられて固定され、予備応
力が与えられている。この予備応力は特に内燃機関のシ
リンダ内燃焼圧力を計測する場合には負圧を計測するた
めにも必要である。また、圧力伝達部材５３は受圧面５
２の中心に直角に取り付けられるように、ガイド部材５
６によってガイドされている。
利用した圧電型圧力センサは、従来よりよく用いられて
いる。特に最近では内燃機関のシリンダ内燃焼圧力等の
検出に適した圧力センサの開発が盛んである。図６に従
来より用いられている圧電型圧力センサの基本構成を示
す。同図はセンサの縦断面図であり、センサ箱体５１内
部に設置された圧電素子５４は上部固定ネジ５５によっ
て圧力伝達部材５３を介してダイアフラム状に加工され
た受圧面５２の裏面に押しつけられて固定され、予備応
力が与えられている。この予備応力は特に内燃機関のシ
リンダ内燃焼圧力を計測する場合には負圧を計測するた
めにも必要である。また、圧力伝達部材５３は受圧面５
２の中心に直角に取り付けられるように、ガイド部材５
６によってガイドされている。
【０００３】次に、その動作を説明する。センサ箱体５
１の外部から受圧面５２に印加された圧力は、圧力伝達
部材５３を介して圧電素子５４の内周部分を押し上げる
ように伝達される。ここで圧電素子５４の上端外周部は
上部固定ネジ５５により下方へ加圧されているため、圧
電素子５４に剪断力が加えられる。この応力に応じて発
生した電荷を電気信号として検出する構成となっている
。
１の外部から受圧面５２に印加された圧力は、圧力伝達
部材５３を介して圧電素子５４の内周部分を押し上げる
ように伝達される。ここで圧電素子５４の上端外周部は
上部固定ネジ５５により下方へ加圧されているため、圧
電素子５４に剪断力が加えられる。この応力に応じて発
生した電荷を電気信号として検出する構成となっている
。
【０００４】ここで、発生した電荷を検出するための構
成を説明する。円筒形の圧電素子５４の内側面と外側面
には圧電素子内で発生した電荷を収集するための電極が
設けられている。外側電極はセンサ箱体にアースされ、
内側電極の電荷を検出するために信号取り出し金具５７
によって信号を取り出していた。さらに、この電荷は信
号増幅回路（図示せず）に入力され電圧に変換されてい
た。
成を説明する。円筒形の圧電素子５４の内側面と外側面
には圧電素子内で発生した電荷を収集するための電極が
設けられている。外側電極はセンサ箱体にアースされ、
内側電極の電荷を検出するために信号取り出し金具５７
によって信号を取り出していた。さらに、この電荷は信
号増幅回路（図示せず）に入力され電圧に変換されてい
た。
【０００５】このような圧電素子を用いたセンサを温度
変化の激しいエンジンの燃焼圧測定に使用するためには
、圧電素子の温度特性が大きく影響する。そこで、サー
ミスタ等をセンサ内に新たに取り付けて温度補償を行う
方法が考えられている（特開平１−２１３５３５参照）
。
変化の激しいエンジンの燃焼圧測定に使用するためには
、圧電素子の温度特性が大きく影響する。そこで、サー
ミスタ等をセンサ内に新たに取り付けて温度補償を行う
方法が考えられている（特開平１−２１３５３５参照）
。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】現在のエンジンは高出
力化のため４バルブエンジンが主流であり、シリンダヘ
ッドにセンサを取り付けることのできる部分が非常に制
約されている。このため、上記の様な目的で使用するセ
ンサには取付部分の小型化が要求されている。
力化のため４バルブエンジンが主流であり、シリンダヘ
ッドにセンサを取り付けることのできる部分が非常に制
約されている。このため、上記の様な目的で使用するセ
ンサには取付部分の小型化が要求されている。
【０００７】しかしながら、従来例の様にサーミスタ等
の部品を新たに用いて温度補償を行うためには、センサ
の小型化が困難になるという欠点があった。また、部品
数が増加するために、センサの信頼性の問題も生じてい
る。
の部品を新たに用いて温度補償を行うためには、センサ
の小型化が困難になるという欠点があった。また、部品
数が増加するために、センサの信頼性の問題も生じてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
、本発明は、受圧面を有する筒形の箱体と、前記箱体の
内部に設けられ、かつ一端が前記受圧面の裏側の面のほ
ぼ中央に接する圧力伝達部材と、前記箱体の内部に設け
られ、内外周面に電極を設け、外周面側の電極が前記箱
体の側面に接する筒形の圧電素子と、前記箱体の内部に
設けられ、前記圧力伝達部材と前記箱体の間に配置され
、前記圧力伝達部材を前記受圧面の中心に、かつ受圧面
にほぼ直角に位置決めするガイド部材と、前記箱体の内
部に設けられ、前記圧電素子の内周面側の電極に接し、
前記圧電素子で発生した電圧を前記箱体外部に取り出す
信号取り出し部材と、前記圧電素子、前記信号取り出し
部材、前記圧力伝達部材を、圧力を与えることにより固
定する固定部材とから構成され、前記信号取り出し部材
と前記圧電素子は、前記固定部材と前記圧力伝達部材と
の間に配置され、前記ガイド部材、前記圧力伝達部材、
前記信号取り出し部材、前記圧電素子、前記固定部材を
ほぼ同軸位置に配置し、前記ガイド部材の内周面に電極
を設け、前記圧電素子と電気的に並列に接続するコンデ
ンサを構成し、前記圧電素子の温度特性と前記コンデン
サの温度特性とが互いにほぼ相殺するものであることを
特徴とする圧電型圧力センサである。
、本発明は、受圧面を有する筒形の箱体と、前記箱体の
内部に設けられ、かつ一端が前記受圧面の裏側の面のほ
ぼ中央に接する圧力伝達部材と、前記箱体の内部に設け
られ、内外周面に電極を設け、外周面側の電極が前記箱
体の側面に接する筒形の圧電素子と、前記箱体の内部に
設けられ、前記圧力伝達部材と前記箱体の間に配置され
、前記圧力伝達部材を前記受圧面の中心に、かつ受圧面
にほぼ直角に位置決めするガイド部材と、前記箱体の内
部に設けられ、前記圧電素子の内周面側の電極に接し、
前記圧電素子で発生した電圧を前記箱体外部に取り出す
信号取り出し部材と、前記圧電素子、前記信号取り出し
部材、前記圧力伝達部材を、圧力を与えることにより固
定する固定部材とから構成され、前記信号取り出し部材
と前記圧電素子は、前記固定部材と前記圧力伝達部材と
の間に配置され、前記ガイド部材、前記圧力伝達部材、
前記信号取り出し部材、前記圧電素子、前記固定部材を
ほぼ同軸位置に配置し、前記ガイド部材の内周面に電極
を設け、前記圧電素子と電気的に並列に接続するコンデ
ンサを構成し、前記圧電素子の温度特性と前記コンデン
サの温度特性とが互いにほぼ相殺するものであることを
特徴とする圧電型圧力センサである。
【０００９】また、受圧面を有する筒形の箱体と、前記
箱体の内部に設けられ、かつ一端が前記受圧面の裏側の
面のほぼ中央に接する圧力伝達部材と、前記箱体の内部
に設けられ、内外周面に電極を設け、外周面側の電極が
前記箱体の側面に接する筒形の圧電素子と、前記箱体の
内部に設けられ、前記圧力伝達部材と前記箱体の間に配
置され、前記圧力伝達部材を前記受圧面の中心に、かつ
受圧面にほぼ直角に位置決めするガイド部材と、前記箱
体の内部に設けられ、前記圧電素子の内周面側の電極に
接し、前記圧電素子で発生した電圧を前記箱体外部に取
り出す信号取り出し部材と、前記圧電素子、前記信号取
り出し部材、前記圧力伝達部材を、圧力を与えることに
より固定する固定部材とから構成され、前記信号取り出
し部材と前記圧電素子は、前記固定部材と前記圧力伝達
部材との間に配置され、前記ガイド部材、前記圧力伝達
部材、前記信号取り出し部材、前記圧電素子、前記固定
部材をほぼ同軸位置に配置し、前記ガイド部材の外周面
に電極を設け、前記箱体と前記ガイド部材との間に絶縁
層を設け、前記圧電素子と電気的に直列に接続するコン
デンサを構成し、前記コンデンサの温度特性と前記圧電
素子の温度特性とがほぼ同一の特性をし、前記圧電素子
の出力の検出時に、増幅器としてチャージアンプを用い
、前記コンデンサを前記チャージアンプのフィードバッ
クコンデンサとすることを特徴とする圧電型圧力センサ
である。
箱体の内部に設けられ、かつ一端が前記受圧面の裏側の
面のほぼ中央に接する圧力伝達部材と、前記箱体の内部
に設けられ、内外周面に電極を設け、外周面側の電極が
前記箱体の側面に接する筒形の圧電素子と、前記箱体の
内部に設けられ、前記圧力伝達部材と前記箱体の間に配
置され、前記圧力伝達部材を前記受圧面の中心に、かつ
受圧面にほぼ直角に位置決めするガイド部材と、前記箱
体の内部に設けられ、前記圧電素子の内周面側の電極に
接し、前記圧電素子で発生した電圧を前記箱体外部に取
り出す信号取り出し部材と、前記圧電素子、前記信号取
り出し部材、前記圧力伝達部材を、圧力を与えることに
より固定する固定部材とから構成され、前記信号取り出
し部材と前記圧電素子は、前記固定部材と前記圧力伝達
部材との間に配置され、前記ガイド部材、前記圧力伝達
部材、前記信号取り出し部材、前記圧電素子、前記固定
部材をほぼ同軸位置に配置し、前記ガイド部材の外周面
に電極を設け、前記箱体と前記ガイド部材との間に絶縁
層を設け、前記圧電素子と電気的に直列に接続するコン
デンサを構成し、前記コンデンサの温度特性と前記圧電
素子の温度特性とがほぼ同一の特性をし、前記圧電素子
の出力の検出時に、増幅器としてチャージアンプを用い
、前記コンデンサを前記チャージアンプのフィードバッ
クコンデンサとすることを特徴とする圧電型圧力センサ
である。
【００１０】
【作用】上記構成により、本発明はガイド部材を圧電素
子と逆の温度特性を持つ温度補償用コンデンサで構成す
るか、またはガイド部材を圧電素子と同じ材質で構成し
、チャージアンプのフィードバックコンデンサとするこ
とによって、正確にセンサ出力の温度補償を行い、かつ
センサの小型化が容易な構造とできる。
子と逆の温度特性を持つ温度補償用コンデンサで構成す
るか、またはガイド部材を圧電素子と同じ材質で構成し
、チャージアンプのフィードバックコンデンサとするこ
とによって、正確にセンサ出力の温度補償を行い、かつ
センサの小型化が容易な構造とできる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して第一の発明の圧電型圧
力センサの一実施例について説明する。図１は第一の発
明の実施例における圧電型圧力センサの断面図を示す。 同図中１１は金属からなるセンサ箱体であり、このセン
サ箱体１１の一端にダイアフラム状に加工された受圧面
１７を設けている。この受圧面１７は被測定領域、例え
ば内燃機関のシリンダ内に設置されている。センサ箱体
１１の内部には絶縁材（例えばセラミック）で形成され
た圧力伝達部材１６が一端が受圧面１７の裏面に接する
ように設けられ、他端には円筒形の圧電素子１３が設け
られている。この円筒型の圧電素子１３としては、例え
ばチタン酸鉛を主成分としてＭｎやＬａ等を加えたもの
が用いられており、図５の実線に示すような正の温度特
性を有している。この円筒形の圧電素子１３の下方内周
部分は信号取り出し金具１４を介して圧力伝達部材１６
に接している。さらに圧電素子１３の上端外周部分は上
部固定ネジ１２によって押さえ付けられている。この上
部固定ネジ１２の締め付け力によって圧電素子１３、信
号取り出し金具１４及び圧力伝達部材１６を受圧面１７
に押し付け、各部材の固定及び圧電素子１３への予備応
力を印加している。ここで、信号取り出し金具１４およ
び圧力伝達部材１６はガイド部材１５によって、受圧面
１１の中心に直角に位置するよう高精度に支持される。 また、ガイド部材１５の内外周には電極（図示せず）が
形成されており、外周電極はセンサ箱体１１に、内周電
極は信号取り出し金具１４にそれぞれ接触している。す
なわち、圧電素子１３とガイド部材１５は電気的に並列
に接続されている。このガイド部材１５は、例えばチタ
ン酸ストロンチウムを主成分とするセラミックが用いら
れており、図５の破線に示すように、圧電素子１３と逆
の温度特性を有している。
力センサの一実施例について説明する。図１は第一の発
明の実施例における圧電型圧力センサの断面図を示す。 同図中１１は金属からなるセンサ箱体であり、このセン
サ箱体１１の一端にダイアフラム状に加工された受圧面
１７を設けている。この受圧面１７は被測定領域、例え
ば内燃機関のシリンダ内に設置されている。センサ箱体
１１の内部には絶縁材（例えばセラミック）で形成され
た圧力伝達部材１６が一端が受圧面１７の裏面に接する
ように設けられ、他端には円筒形の圧電素子１３が設け
られている。この円筒型の圧電素子１３としては、例え
ばチタン酸鉛を主成分としてＭｎやＬａ等を加えたもの
が用いられており、図５の実線に示すような正の温度特
性を有している。この円筒形の圧電素子１３の下方内周
部分は信号取り出し金具１４を介して圧力伝達部材１６
に接している。さらに圧電素子１３の上端外周部分は上
部固定ネジ１２によって押さえ付けられている。この上
部固定ネジ１２の締め付け力によって圧電素子１３、信
号取り出し金具１４及び圧力伝達部材１６を受圧面１７
に押し付け、各部材の固定及び圧電素子１３への予備応
力を印加している。ここで、信号取り出し金具１４およ
び圧力伝達部材１６はガイド部材１５によって、受圧面
１１の中心に直角に位置するよう高精度に支持される。 また、ガイド部材１５の内外周には電極（図示せず）が
形成されており、外周電極はセンサ箱体１１に、内周電
極は信号取り出し金具１４にそれぞれ接触している。す
なわち、圧電素子１３とガイド部材１５は電気的に並列
に接続されている。このガイド部材１５は、例えばチタ
ン酸ストロンチウムを主成分とするセラミックが用いら
れており、図５の破線に示すように、圧電素子１３と逆
の温度特性を有している。
【００１２】次に、本実施例の圧電型圧力センサの動作
について説明する。被測定領域の圧力が受圧面１７に加
わると、その力は圧力伝達部材１６、信号取り出し金具
１４を通して圧電素子１３の下方内周部分に伝えられる
。一方、圧電素子１３の上方外周部分は上部固定ネジ１
２によって押さえられているので、圧電素子１３に剪断
力が加えられ、この加えられた力に応じた電荷が圧電素
子１３に発生し、内外周に形成された電極（図示せず）
に集められる。外周電極はセンサ箱体と接しており、グ
ランドに接地されている。また、内周電極は信号取り出
し金具１４に接しており、信号取り出し金具１４を介し
て電荷を取り出している。
について説明する。被測定領域の圧力が受圧面１７に加
わると、その力は圧力伝達部材１６、信号取り出し金具
１４を通して圧電素子１３の下方内周部分に伝えられる
。一方、圧電素子１３の上方外周部分は上部固定ネジ１
２によって押さえられているので、圧電素子１３に剪断
力が加えられ、この加えられた力に応じた電荷が圧電素
子１３に発生し、内外周に形成された電極（図示せず）
に集められる。外周電極はセンサ箱体と接しており、グ
ランドに接地されている。また、内周電極は信号取り出
し金具１４に接しており、信号取り出し金具１４を介し
て電荷を取り出している。
【００１３】図２は第一の発明の模式図である。破線で
囲まれた部分がセンサ内部に相当し、圧電素子２２とガ
イド部材２３が並列に接続されている。ここで、ガイド
部材２３は圧電素子２２と逆の温度特性を有するため、
温度変化による圧電素子の容量変化をキャンセルするこ
とが可能となる。
囲まれた部分がセンサ内部に相当し、圧電素子２２とガ
イド部材２３が並列に接続されている。ここで、ガイド
部材２３は圧電素子２２と逆の温度特性を有するため、
温度変化による圧電素子の容量変化をキャンセルするこ
とが可能となる。
【００１４】次に、第二の発明について説明する。図３
は第二の発明の一実施例における圧電型圧力センサの断
面図である。圧電素子３３と同じ材質のガイド部材３５
の内外周面には電極（図示せず）が構成されている。さ
らに、外周面電極上と底面には絶縁層３９を構成してお
り、センサ箱体３１と電気的に絶縁されている。この絶
縁層３９としては例えばテフロン系樹脂等が使用される
。また、内周面の電極は信号取り出し金具３４と接し、
電気的に導通している。ガイド部材３５の外周電極はリ
ード線３８に接続され、センサ箱体３１の一部分に設け
られた切り欠き部分を通って、チャージアンプのフィー
ドバックコンデンサ部分に接続されている。
は第二の発明の一実施例における圧電型圧力センサの断
面図である。圧電素子３３と同じ材質のガイド部材３５
の内外周面には電極（図示せず）が構成されている。さ
らに、外周面電極上と底面には絶縁層３９を構成してお
り、センサ箱体３１と電気的に絶縁されている。この絶
縁層３９としては例えばテフロン系樹脂等が使用される
。また、内周面の電極は信号取り出し金具３４と接し、
電気的に導通している。ガイド部材３５の外周電極はリ
ード線３８に接続され、センサ箱体３１の一部分に設け
られた切り欠き部分を通って、チャージアンプのフィー
ドバックコンデンサ部分に接続されている。
【００１５】図４は第二の発明の模式図である。破線で
囲まれた部分がセンサ内部であり、一点鎖線で囲まれた
部分はチャージアンプ４０である。このようなチャージ
アンプでは、出力電圧ＥａはＥａ＝−Ｑ／Ｃｆで表され
、圧電素子４２で発生した電荷Ｑは全てフィードバック
コンデンサの容量Ｃｆに移行するという特徴がある。す
なわち、ガイド部材４３はチャージアンプ４０のフィー
ドバックコンデンサとして接続されているため、圧電素
子４２で発生した電荷は全てガイド部材４３に移行する
。 ここで、ガイド部材４３は圧電素子４２と同じ材質で構
成されており、かつ同じ温度状態に置かれているために
、圧電素子４２に容量の変化が生じた場合、ガイド部材
４３にも同様の容量変化が生じ、チャージアンプの出力
を補正することが可能となる。
囲まれた部分がセンサ内部であり、一点鎖線で囲まれた
部分はチャージアンプ４０である。このようなチャージ
アンプでは、出力電圧ＥａはＥａ＝−Ｑ／Ｃｆで表され
、圧電素子４２で発生した電荷Ｑは全てフィードバック
コンデンサの容量Ｃｆに移行するという特徴がある。す
なわち、ガイド部材４３はチャージアンプ４０のフィー
ドバックコンデンサとして接続されているため、圧電素
子４２で発生した電荷は全てガイド部材４３に移行する
。 ここで、ガイド部材４３は圧電素子４２と同じ材質で構
成されており、かつ同じ温度状態に置かれているために
、圧電素子４２に容量の変化が生じた場合、ガイド部材
４３にも同様の容量変化が生じ、チャージアンプの出力
を補正することが可能となる。
【００１６】尚、本実施例ではガイド部材の全部を温度
補償用コンデンサに変更したものを示したが、一部分を
変更することによっても同様の効果が得られるものであ
る。
補償用コンデンサに変更したものを示したが、一部分を
変更することによっても同様の効果が得られるものであ
る。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、第一の発明では圧力伝達
部材を受圧面の中心に直角に支持するためのガイド部材
に圧電素子と逆の温度特性を有する温度補償用コンデン
サを使用し、この温度補償用コンデンサを圧電素子と並
列に接続することによって、圧電素子の静電容量変化を
キャンセルする。また、第二の発明では、信号増幅回路
としてチャージアンプを用いるものにおいて、ガイド部
材を圧電素子と同じ材質で構成し、これをアンプのフィ
ードバックコンデンサとすることによって温度補償を行
う。
部材を受圧面の中心に直角に支持するためのガイド部材
に圧電素子と逆の温度特性を有する温度補償用コンデン
サを使用し、この温度補償用コンデンサを圧電素子と並
列に接続することによって、圧電素子の静電容量変化を
キャンセルする。また、第二の発明では、信号増幅回路
としてチャージアンプを用いるものにおいて、ガイド部
材を圧電素子と同じ材質で構成し、これをアンプのフィ
ードバックコンデンサとすることによって温度補償を行
う。
【００１８】これによって、部品数が増加することなし
に容易でかつ正確に温度補償を可能にする。
に容易でかつ正確に温度補償を可能にする。
【図１】第一の発明の一実施例における圧電型圧力セン
サの断面図
サの断面図
【図２】第一の発明の模式図
【図３】第二の発明の一実施例における圧電型圧力セン
サの断面図
サの断面図
【図４】第二の発明の模式図
【図５】第一の発明の一実施例における圧電素子及びコ
ンデンサの温度特性を表わす図
ンデンサの温度特性を表わす図
【図６】従来例における圧電型圧力センサの断面図
１０ コネクタ部
１１ センサ箱体
１２ 上部固定ネジ
１３ 圧電素子
１４ 信号取り出し金具
１５ ガイド部材
１６ 圧力伝達部材
１７ 受圧面
２０ 信号増幅回路
２１ センサ
２２ 圧電素子
２３ ガイド部材
３０ コネクタ部
３１ センサ箱体
３２ 上部固定ネジ
３３ 圧電素子
３４ 信号取り出し金具
３５ ガイド部材
３６ 圧力伝達部材
３７ 受圧面
３８ リード線
３９ 絶縁層
４０ チャージアンプ
４１ センサ
４２ 圧電素子
４３ ガイド部材
５１ センサ箱体
５２ 受圧部
５３ 圧力伝達部材
５４ 圧電素子
５５ 上部固定ネジ
５６ ガイド部材
５７ 電極取り出し金具
Claims (2)
- 【請求項１】受圧面を有する筒形の箱体と、前記箱体の
内部に設けられ、かつ一端が前記受圧面の裏側の面のほ
ぼ中央に接する圧力伝達部材と、前記箱体の内部に設け
られ、内外周面に電極を設け、外周面側の電極が前記箱
体の側面に接する筒形の圧電素子と、前記箱体の内部に
設けられ、前記圧力伝達部材と前記箱体の間に配置され
、前記圧力伝達部材を前記受圧面の中心に、かつ受圧面
にほぼ直角に位置決めするガイド部材と、前記箱体の内
部に設けられ、前記圧電素子の内周面側の電極に接し、
前記圧電素子で発生した電圧を前記箱体外部に取り出す
信号取り出し部材と、前記圧電素子、前記信号取り出し
部材、前記圧力伝達部材を、圧力を与えることにより固
定する固定部材とから構成され、前記信号取り出し部材
と前記圧電素子は、前記固定部材と前記圧力伝達部材と
の間に配置され、前記ガイド部材、前記圧力伝達部材、
前記信号取り出し部材、前記圧電素子、前記固定部材を
ほぼ同軸位置に配置し、前記ガイド部材の内周面に電極
を設け、前記圧電素子と電気的に並列に接続するコンデ
ンサを構成し、前記圧電素子の温度特性と前記コンデン
サの温度特性とが互いにほぼ相殺するものであることを
特徴とする圧電型圧力センサ。 - 【請求項２】受圧面を有する筒形の箱体と、前記箱体の
内部に設けられ、かつ一端が前記受圧面の裏側の面のほ
ぼ中央に接する圧力伝達部材と、前記箱体の内部に設け
られ、内外周面に電極を設け、外周面側の電極が前記箱
体の側面に接する筒形の圧電素子と、前記箱体の内部に
設けられ、前記圧力伝達部材と前記箱体の間に配置され
、前記圧力伝達部材を前記受圧面の中心に、かつ受圧面
にほぼ直角に位置決めするガイド部材と、前記箱体の内
部に設けられ、前記圧電素子の内周面側の電極に接し、
前記圧電素子で発生した電圧を前記箱体外部に取り出す
信号取り出し部材と、前記圧電素子、前記信号取り出し
部材、前記圧力伝達部材を、圧力を与えることにより固
定する固定部材とから構成され、前記信号取り出し部材
と前記圧電素子は、前記固定部材と前記圧力伝達部材と
の間に配置され、前記ガイド部材、前記圧力伝達部材、
前記信号取り出し部材、前記圧電素子、前記固定部材を
ほぼ同軸位置に配置し、前記ガイド部材の外周面に電極
を設け、前記箱体と前記ガイド部材との間に絶縁層を設
け、前記圧電素子と電気的に直列に接続するコンデンサ
を構成し、前記コンデンサの温度特性と前記圧電素子の
温度特性とがほぼ同一の特性をし、前記圧電素子の出力
の検出時に、増幅器としてチャージアンプを用い、前記
コンデンサを前記チャージアンプのフィードバックコン
デンサとすることを特徴とする圧電型圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7886591A JPH04313037A (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 圧電型圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7886591A JPH04313037A (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 圧電型圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04313037A true JPH04313037A (ja) | 1992-11-05 |
Family
ID=13673721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7886591A Pending JPH04313037A (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 圧電型圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04313037A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5517073A (en) * | 1992-03-19 | 1996-05-14 | Unisia Jecs Corporation | Pressure sensor |
-
1991
- 1991-04-11 JP JP7886591A patent/JPH04313037A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5517073A (en) * | 1992-03-19 | 1996-05-14 | Unisia Jecs Corporation | Pressure sensor |
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