JPH04296667A - High-speed voltage measuring device - Google Patents

High-speed voltage measuring device

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JPH04296667A
JPH04296667A JP3086245A JP8624591A JPH04296667A JP H04296667 A JPH04296667 A JP H04296667A JP 3086245 A JP3086245 A JP 3086245A JP 8624591 A JP8624591 A JP 8624591A JP H04296667 A JPH04296667 A JP H04296667A
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interferometer
speed
polarization
light
measuring device
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宏典 高橋
Tsuneyuki Uragami
恒幸 浦上
Shinichiro Aoshima
紳一郎 青島
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Hamamatsu Photonics KK
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Abstract

PURPOSE:To measure voltage at good linearity and S/N ratio, even if the voltage is small, without converting, etc., output, of a light detector based on input/ output characteristics. CONSTITUTION:A high-speed voltage measuring device 10 is constructed by arranging a light source 12, a polarizer 14, a light modulator 16 onto which an electric signal to be measured is applied, a polarization interferometer 18, a streak camera 20, and a processing device 22, in that order. By utilizing the fact that interference fringes are formed on the input surface of the streak camera 20 by means of the polarization interferometer 18 and the fringes move according to the electric signal to be measured applied to the light modulator 16, the amount of movement is detected by the streak camera 20 for voltage measurement.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は、電気光学結晶を用い
た高速電圧測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-speed voltage measuring device using an electro-optic crystal.

【0002】0002

【従来の技術】従来、例えば図6に示されるような、高
速電圧測定装置1がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is a high-speed voltage measuring device 1 as shown in FIG. 6, for example.

【0003】この高速電圧測定装置1は、光源2と、偏
光子4A、光変調器4B及び検光子4Cからなる光強度
変調器4と、例えばストリークカメラからなる高速光検
出器6と、処理装置7、及び表示装置8とを有してなる
。光源2からの光は前記光強度変調器4に入力され、光
変調器4Bは入力される被測定電気信号によって屈折率
変化を受け、これにより、光変調器4Bでは入力光の偏
光の状態が変化し、検光子4Cにて、強度変化に変換さ
れて高速光検出器6に入力されるようになっている。
This high-speed voltage measuring device 1 includes a light source 2, a light intensity modulator 4 consisting of a polarizer 4A, a light modulator 4B, and an analyzer 4C, a high-speed photodetector 6 consisting of, for example, a streak camera, and a processing device. 7, and a display device 8. The light from the light source 2 is input to the optical intensity modulator 4, and the optical modulator 4B undergoes a refractive index change depending on the input electrical signal to be measured. As a result, the optical modulator 4B changes the state of polarization of the input light. The intensity changes, and is converted into intensity changes by the analyzer 4C and input to the high-speed photodetector 6.

【0004】光変調器4Bへの印加電圧Vと、検光子4
Cを経て高速光検出器6に入力する出力光強度Iとの間
には、図7に示されるように、次の(1)式の関係があ
る。
The voltage V applied to the optical modulator 4B and the analyzer 4
As shown in FIG. 7, there is a relationship between the output light intensity I input to the high-speed photodetector 6 via C and the following equation (1).

【0005】 I=I0 sin 2 (π/2・V/Vπ)    
  …(1)
I=I0 sin 2 (π/2・V/Vπ)
...(1)

【0006】ここでVπは半波長電圧であ
り、光変調器4Bの性能より決定される。
[0006] Here, Vπ is a half-wave voltage, which is determined based on the performance of the optical modulator 4B.

【0007】従って、高速光検出器6では前記(1)式
に基づいて、被測定電気信号によって強度が変調された
光を検出することになる。
Therefore, the high-speed photodetector 6 detects light whose intensity is modulated by the electrical signal to be measured based on the above equation (1).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の高
速電圧測定装置1においては、図7に示されるように、
光変調器4Bへの印加電圧Vと、検光子4Cを経た出力
光強度Iはsin 2 の関数の関係であって比例関係
ではないので、IからVを算出するためには、処理装置
7で、図7の出力特性を元に変換する必要がある。
In the conventional high-speed voltage measuring device 1 as described above, as shown in FIG.
The voltage V applied to the optical modulator 4B and the output light intensity I after passing through the analyzer 4C have a relationship of a sin 2 function and are not a proportional relationship. Therefore, in order to calculate V from I, the processing device 7 must , it is necessary to convert based on the output characteristics shown in FIG.

【0009】この場合、Vが小さいと、Vの変化に対す
るIの変化が少ないので、正確な測定が困難であるとい
う問題点がある。
In this case, if V is small, there is a small change in I with respect to a change in V, so there is a problem that accurate measurement is difficult.

【0010】又、高速光検出器6で検出している光量が
少ないためS/Nが悪くなってしまうという問題点があ
る。
[0010] Furthermore, since the amount of light detected by the high-speed photodetector 6 is small, there is a problem that the S/N ratio becomes poor.

【0011】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、、入出力特性を元にした変換等を
用いることなく、又、小さな電圧でも容易に測定を行う
ことができ、更にS/Nが良い高速電圧測定装置を提供
することを目的とする。
The present invention was made in view of the above-mentioned conventional problems, and it is possible to easily measure even small voltages without using conversion based on input/output characteristics. Furthermore, it is an object of the present invention to provide a high-speed voltage measuring device with a good S/N ratio.

【0012】0012

【課題を解決するための手段】この発明は、偏光した光
を出力する光源と、電気光学結晶を用いた光変調器と、
偏光干渉計と、高速1次元光検出器と、をこの順で配置
してなり、前記光変調器に印加される電気信号の変化に
応じて、前記光検出器の入力面に形成される干渉縞が移
動する移動量に基づいて、前記電気信号の電圧を検出す
ることを特徴とする高速電圧測定装置により、上記目的
を達成するものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention provides a light source that outputs polarized light, an optical modulator using an electro-optic crystal,
A polarization interferometer and a high-speed one-dimensional photodetector are arranged in this order, and interference is formed on the input surface of the photodetector in response to changes in the electrical signal applied to the optical modulator. The above object is achieved by a high-speed voltage measuring device that detects the voltage of the electric signal based on the amount of movement of the stripes.

【0013】前記偏光干渉計は、複屈折結晶と、検光子
とを光入力側からこの順で備えて構成するようにしても
よい。
The polarization interferometer may include a birefringent crystal and an analyzer in this order from the light input side.

【0014】又、前記偏光干渉計は、シングルスリット
及びこれと平行のダブルスリットからなり、前記シング
ルスリットの長手方向に対して+45°及び−45°の
偏光方向の偏光子を、前記ダブルスリットの各々のスリ
ットに備えたヤングの干渉計と、このヤングの干渉計の
光出力側に設けられ、前記偏光子に対して偏光方向が4
5°異なる検光子と、から構成してもよい。
The polarization interferometer is composed of a single slit and a double slit parallel to the single slit, and polarizers with polarization directions of +45° and -45° with respect to the longitudinal direction of the single slit are connected to the double slit. A Young's interferometer is provided in each slit, and a Young's interferometer is provided on the optical output side of the Young's interferometer, and the polarization direction is 4 with respect to the polarizer.
It may also consist of analyzers that differ by 5 degrees.

【0015】[0015]

【作用及び効果】この発明によれば、入射する光の偏光
状態に応じて干渉縞を発生させる偏光干渉計と、この偏
光干渉計の入力側に、被測定電気信号を印加すると、入
射光の偏光状態が変化して出力する光変調器と、を設け
、該光変調器への印加電圧に比例して前記干渉縞が移動
することを利用している。
[Operations and Effects] According to the present invention, a polarization interferometer generates interference fringes according to the polarization state of incident light, and when an electrical signal to be measured is applied to the input side of this polarization interferometer, An optical modulator that outputs an output with a changed polarization state is provided, and the interference fringes move in proportion to the voltage applied to the optical modulator.

【0016】この干渉縞の移動量を高速1次元光検出器
により検出することによって、被測定電気信号の電圧を
測定することができる。
By detecting the amount of movement of this interference fringe using a high-speed one-dimensional photodetector, the voltage of the electrical signal to be measured can be measured.

【0017】前記被測定電気信号の電圧変化と、干渉縞
の移動量は比例関係にあるので、図6の従来の高速電圧
測定装置におけるように、入出力特性に基づく変換をす
ることなく、容易に電圧を測定することができる。
Since there is a proportional relationship between the voltage change of the electrical signal to be measured and the amount of movement of the interference fringes, it is easy to perform conversion without performing conversion based on input/output characteristics as in the conventional high-speed voltage measuring device shown in FIG. voltage can be measured.

【0018】又、同様の理由により、電圧と干渉縞の移
動量とのリニアルティが良好であり、高い測定精度を得
ることができ、更に、光変調器の半波長電圧Vπの大小
に拘らず測定をすることができるという優れた効果を有
する。
Furthermore, for the same reason, the linearity between the voltage and the amount of movement of the interference fringes is good, and high measurement accuracy can be obtained. It has the excellent effect of being able to

【0019】[0019]

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】図1に示されるように、本発明の実施例に
係る高速電圧測定装置10は、光源12と、偏光子14
と、被測定電気信号が印加される電気光学結晶からなる
光変調器16と、偏光干渉計18と、この偏光干渉計1
8からの出力光を受光するストリークカメラ20と、こ
のストリークカメラ20の出力信号を処理する処理装置
22と、表示装置23とを、光源12側からこの順で配
置して構成され、前記光変調器16に印加される電気信
号の変化に応じて、前記ストリークカメラ20の入力面
に形成される干渉縞が移動する移動量に基づいて、前記
電気信号の電圧を求めるものである。
As shown in FIG. 1, a high-speed voltage measuring device 10 according to an embodiment of the present invention includes a light source 12 and a polarizer 14.
, an optical modulator 16 made of an electro-optic crystal to which an electrical signal to be measured is applied, a polarization interferometer 18 , and this polarization interferometer 1
The streak camera 20 that receives the output light from the streak camera 20, the processing device 22 that processes the output signal of the streak camera 20, and the display device 23 are arranged in this order from the light source 12 side. The voltage of the electric signal is determined based on the amount of movement of the interference fringes formed on the input surface of the streak camera 20 in response to changes in the electric signal applied to the streak camera 16.

【0021】前記偏光子14は、前記光源12からの出
力光が偏光している場合は省略することができる。
The polarizer 14 can be omitted if the output light from the light source 12 is polarized.

【0022】前記偏光干渉計18は、図2に示されるよ
うに、対物レンズ24と、複屈折結晶26と、検光子2
8を、この順で配置して構成したものである。
As shown in FIG. 2, the polarization interferometer 18 includes an objective lens 24, a birefringent crystal 26, and an analyzer 2.
8 are arranged in this order.

【0023】前記検光子28の偏光方向は、複屈折結晶
26の結晶の光学軸と45°の角度を持つようにして配
置されている。
The polarization direction of the analyzer 28 is arranged at an angle of 45° with the optical axis of the birefringent crystal 26.

【0024】前記ストリークカメラ20は、図3に示さ
れるように、その入射スリット20Aが干渉縞を横切る
ようにセットされている。
As shown in FIG. 3, the streak camera 20 is set so that its entrance slit 20A crosses the interference fringes.

【0025】又、処理装置22は、ストリークカメラ2
0で得られた干渉縞のピーク値の間隔A、及びピークの
移動量Xから、後述の(2)式に基づいて印加電圧Vを
求めるものである。
The processing device 22 also includes a streak camera 2.
The applied voltage V is determined from the interval A between the peak values of the interference fringes obtained at 0 and the amount of movement X of the peaks based on equation (2) described later.

【0026】次に上記実施例装置の作用について説明す
る。
Next, the operation of the apparatus of the above embodiment will be explained.

【0027】前記偏光干渉計18に偏光した光が入力す
ると、対物レンズ24で拡げられ、複屈折結晶26に入
射する。
When polarized light enters the polarization interferometer 18 , it is expanded by an objective lens 24 and enters a birefringent crystal 26 .

【0028】この複屈折結晶26中では、入力ビームは
結晶の光学軸によって決まる方向と、これと直角の方向
の2つの偏光状態の光に分かれ、異なる経路を伝播し、
2つの出力光に光路差が与えられることになる。
In this birefringent crystal 26, the input beam is split into two polarization states, one in the direction determined by the optical axis of the crystal and the other in the direction perpendicular to this, and propagates along different paths.
An optical path difference is given to the two output lights.

【0029】検光子28は、前述の如く、その偏光方向
が、複屈折結晶26の光学軸と45°の角度を持って配
置されているので、該複屈折結晶26を出射したその偏
光状態が直交した2つのビームは、検光子28を通過し
た後に干渉し、その干渉縞がストリークカメラ20の入
力面である入射スリット20Aに形成されることになる
As described above, the analyzer 28 is arranged so that its polarization direction is at an angle of 45° with the optical axis of the birefringent crystal 26, so that the polarization state of the light emitted from the birefringent crystal 26 is The two orthogonal beams interfere after passing through the analyzer 28, and interference fringes are formed at the entrance slit 20A, which is the input surface of the streak camera 20.

【0030】一方、光変調器16は、印加された電圧に
応じて、入射光の偏光状態を変化して偏光干渉計18に
出力する。
On the other hand, the optical modulator 16 changes the polarization state of the incident light according to the applied voltage and outputs it to the polarization interferometer 18.

【0031】従って、偏光干渉計18によってストリー
クカメラ20の入力面に形成された干渉縞は、光変調器
16による偏光状態の変化、即ち、印加電圧の変化に比
例して移動することになる。
Therefore, the interference fringes formed on the input surface of the streak camera 20 by the polarization interferometer 18 move in proportion to the change in the polarization state by the optical modulator 16, that is, the change in the applied voltage.

【0032】このときの干渉縞の移動量Xは、干渉縞の
間隔をA、光変調器16への印加電圧をV、半波長電圧
をVπとしたとき、次の(2)式で与えられることにな
る。
The movement amount X of the interference fringes at this time is given by the following equation (2), where the interval between the interference fringes is A, the voltage applied to the optical modulator 16 is V, and the half-wavelength voltage is Vπ. It turns out.

【0033】X=A/2・V/Vπ      …(2
[0033]X=A/2・V/Vπ...(2
)

【0034】例えば、ステップ関数的に変化する電気
信号を測定したときの、前記ストリークカメラ20の出
力例は、図4のようになる。光変調器16への電圧が印
加されていないとき(時刻T1)の干渉縞による出力の
ピークの位置(チャンネル)が、図3においてA1〜A
3で示される。ここで図4の縦軸は時間、横軸は入射ス
リット20Aの位置を示す。
For example, an example of the output of the streak camera 20 when measuring an electric signal that changes in a step function manner is as shown in FIG. The peak positions (channels) of the output due to interference fringes when no voltage is applied to the optical modulator 16 (time T1) are A1 to A in FIG.
3. Here, the vertical axis in FIG. 4 represents time, and the horizontal axis represents the position of the entrance slit 20A.

【0035】処理装置22では、3つのピークのチャネ
ルA1〜A3を求め、これから干渉縞の間隔Aを求める
The processing device 22 obtains the channels A1 to A3 of the three peaks, and obtains the interval A of the interference fringes from them.

【0036】次に、時刻T2で、被測定電気信号を光変
調器16に印加すると干渉縞が移動し、その後、時刻T
3での干渉縞に基づくストリークカメラ20の出力のピ
ークのチャネルB1〜B3を求め、前述のチャネルA1
〜A3と比較することによって、干渉縞の移動量Xを求
めることができる。
Next, at time T2, when the electrical signal to be measured is applied to the optical modulator 16, the interference fringes move;
The peak channels B1 to B3 of the output of the streak camera 20 based on the interference fringes at
~A3, the amount of movement X of the interference fringes can be determined.

【0037】この移動量X、前記干渉縞の間隔A及び既
知のVπから、前述のように、電圧Vを求めることがで
きる。
From this movement amount X, the interval A of the interference fringes, and the known Vπ, the voltage V can be determined as described above.

【0038】このような計算を全ての時刻に亘って処理
装置22で行うことによって、被測定電気信号の波形を
求めることができる。
By performing such calculations at all times in the processing device 22, the waveform of the electrical signal to be measured can be determined.

【0039】なお、ストリークカメラ20は、繰返し現
象のみでなく、単発現象としての被測定電気信号をも測
定することができる。
Note that the streak camera 20 can measure not only repeated phenomena but also electrical signals to be measured as single phenomena.

【0040】上記実施例において、前記検光子28の偏
光方向と複屈折結晶26の結晶の光学軸の角度は45°
だけに限定されず、一致又は直交しなければ良い。
In the above embodiment, the angle between the polarization direction of the analyzer 28 and the optical axis of the birefringent crystal 26 is 45°.
However, it is sufficient that they do not match or orthogonally intersect.

【0041】上記実施例においては、偏光干渉計18は
、複屈折結晶26を含むものであるが、本発明はこれに
限定されるものでなく、偏光干渉計は、他の構成であっ
てもよい。
In the above embodiment, the polarization interferometer 18 includes the birefringent crystal 26, but the present invention is not limited to this, and the polarization interferometer may have other configurations.

【0042】例えば、図5に示されるように、シングル
スリット30と、これと平行のダブルスリット32とか
らなり、前記シングルスリット30の長手方向に対して
+45°及び−45°の偏光方向の偏光子34A、34
Bからなるヤングの干渉計36と、このヤングの干渉計
36の光出力側に設けられ、前記偏光子14に対して偏
光方向が45°異なる検光子38と、から構成してもよ
い。
For example, as shown in FIG. 5, it consists of a single slit 30 and a double slit 32 parallel to this, and polarized light with polarization directions of +45° and -45° with respect to the longitudinal direction of the single slit 30. Child 34A, 34
It may be constructed from a Young's interferometer 36 made of B and an analyzer 38 which is provided on the light output side of the Young's interferometer 36 and whose polarization direction differs by 45 degrees from the polarizer 14.

【0043】このヤングの干渉計36に入力した光は、
シングルスリット30で回折されて拡がり、ダブルスリ
ット32へ入射する。
The light input to the Young's interferometer 36 is
The light is diffracted by the single slit 30, spreads out, and enters the double slit 32.

【0044】ダブルスリット32は、互いに直交する偏
光方向の偏光子34A、34Bを備えているために、互
いに直交した偏光状態の光となって、該偏光子34A、
34Bを通過し、これらは検光子38を通過した後、干
渉して、ストリークカメラ20の入力面に干渉縞を形成
する。
Since the double slit 32 is provided with polarizers 34A and 34B whose polarization directions are orthogonal to each other, the light whose polarization states are orthogonal to each other is generated.
34B, and after passing through the analyzer 38, they interfere and form interference fringes on the input surface of the streak camera 20.

【0045】光変調器16に被測定電気信号が印加され
ると、前記直交した偏光状態の2つの光の位相差が変化
し、この位相差変化に応じて干渉縞が移動することにな
る。
When the electrical signal to be measured is applied to the optical modulator 16, the phase difference between the two lights with orthogonal polarization states changes, and the interference fringes move in accordance with this change in phase difference.

【0046】上記実施例において、前記偏光子34A、
34Bの偏光方向は、前記シングルスリット30の長手
方向に対して、+45°、−45°に限定されず、両者
が一致しなければよい。又、前記検光子38の偏光方向
は、前記偏光子34A、34Bのいずれかと一致しなけ
ればよい。
In the above embodiment, the polarizer 34A,
The polarization direction of 34B is not limited to +45° or −45° with respect to the longitudinal direction of the single slit 30, and it is sufficient that they do not coincide. Further, the polarization direction of the analyzer 38 does not need to match that of either of the polarizers 34A and 34B.

【0047】なお、上記実施例においては、ストリーク
カメラ20により干渉縞の検出を行っているが、本発明
はこれに限定されるものでなく、高速で光検出を行う高
速1次元光検出器であればよい。
In the above embodiment, interference fringes are detected using the streak camera 20, but the present invention is not limited to this, and may be a high-speed one-dimensional photodetector that detects light at high speed. Good to have.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】図1は、本発明に係る高速電圧測定装置の実施
例を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a high-speed voltage measuring device according to the present invention.

【図2】図2は、同実施例における偏光干渉計の一例を
示すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing an example of a polarization interferometer in the same embodiment.

【図3】図3は、同実施例装置におけるストリークカメ
ラと干渉縞の位置関係を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing the positional relationship between a streak camera and interference fringes in the apparatus of the embodiment.

【図4】図4は、前記ストリークカメラの出力例を示す
線図である。
FIG. 4 is a diagram showing an example of the output of the streak camera.

【図5】図5は、前記実施例における偏光干渉計の他の
例を示すブロック図である。
FIG. 5 is a block diagram showing another example of the polarization interferometer in the embodiment.

【図6】図6は、従来の高速電圧測定装置を示すブロッ
ク図である。
FIG. 6 is a block diagram showing a conventional high-speed voltage measuring device.

【図7】図7は、図6の高速電圧測定装置における光変
調器への印加電圧と、光検出器の出力との関係を示す線
図である。
7 is a diagram showing the relationship between the voltage applied to the optical modulator and the output of the photodetector in the high-speed voltage measuring device of FIG. 6. FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…高速電圧測定装置、 12…光源、 14、34A、34B…偏光子、 16…光変調器、 18…偏光干渉計、 20…ストリークカメラ、 22…処理装置、 23…表示装置、 26…複屈折結晶、 28、38…検光子、 30…シングルスリット、 32…ダブルスリット、 36…ヤングの干渉計。 10...High speed voltage measuring device, 12...Light source, 14, 34A, 34B...polarizer, 16...light modulator, 18...Polarization interferometer, 20...Streak camera, 22...processing device, 23...Display device, 26...birefringent crystal, 28, 38...Analyzer, 30...Single slit, 32...double slit, 36...Young's interferometer.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】偏光した光を出力する光源と、電気光学結
晶を用いた光変調器と、偏光干渉計と、高速1次元光検
出器と、をこの順で配置してなり、前記光変調器に印加
される電気信号の変化に応じて、前記高速1次元光検出
器の入力面に形成される干渉縞が移動する移動量に基づ
いて、前記電気信号の電圧を検出することを特徴とする
高速電圧測定装置。
1. A light source that outputs polarized light, an optical modulator using an electro-optic crystal, a polarization interferometer, and a high-speed one-dimensional photodetector, which are arranged in this order, The voltage of the electric signal is detected based on the amount of movement of interference fringes formed on the input surface of the high-speed one-dimensional photodetector in response to changes in the electric signal applied to the detector. High-speed voltage measurement device.
【請求項2】請求項1において、前記偏光干渉計は、複
屈折結晶と、検光子と、を光入力側からこの順で備えて
なることを特徴とする高速電圧測定装置。
2. A high-speed voltage measuring device according to claim 1, wherein the polarization interferometer comprises a birefringent crystal and an analyzer in this order from the light input side.
【請求項3】請求項1において、前記偏光干渉計は、シ
ングルスリット及びこれと平行のダブルスリットからな
り、前記シングルスリットの長手方向に対して+45°
及び−45°の偏光方向の偏光子を、前記ダブルスリッ
トの各々のスリットに備えたヤングの干渉計と、このヤ
ングの干渉計の光出力側に設けられ、前記偏光子に対し
て偏光方向が45°異なる検光子と、を有してなること
を特徴とする高速電圧測定装置。
3. In claim 1, the polarization interferometer includes a single slit and a double slit parallel to the single slit, and is arranged at an angle of +45° with respect to the longitudinal direction of the single slit.
A Young's interferometer is provided with a polarizer having a polarization direction of -45° in each slit of the double slit, and a Young's interferometer is provided on the optical output side of the Young's interferometer, and a polarizer having a polarization direction of −45° A high-speed voltage measuring device characterized by having an analyzer that differs by 45 degrees.
【請求項4】請求項1、2又は3において、前記高速1
次元光検出器は、ストリークカメラであることを特徴と
する高速電圧測定装置。
4. In claim 1, 2 or 3, the high speed 1
The dimensional photodetector is a high-speed voltage measurement device characterized by being a streak camera.
【請求項5】請求項1、2又は3において、前記光源は
、無偏光の光を出力する光源と偏光子から構成されてい
ることを特徴とする高速電圧測定装置。
5. A high-speed voltage measuring device according to claim 1, wherein the light source is comprised of a light source that outputs unpolarized light and a polarizer.
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