JP2742474B2 - High-speed voltage measurement device - Google Patents

High-speed voltage measurement device

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JP2742474B2
JP2742474B2 JP3086245A JP8624591A JP2742474B2 JP 2742474 B2 JP2742474 B2 JP 2742474B2 JP 3086245 A JP3086245 A JP 3086245A JP 8624591 A JP8624591 A JP 8624591A JP 2742474 B2 JP2742474 B2 JP 2742474B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、電気光学結晶を用い
た高速電圧測定装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-speed voltage measuring device using an electro-optic crystal.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、例えば図6に示されるような、高
速電圧測定装置1がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is a high-speed voltage measuring device 1 as shown in FIG.

【0003】この高速電圧測定装置1は、光源2と、偏
光子4A、光変調器4B及び検光子4Cからなる光強度
変調器4と、例えばストリークカメラからなる高速光検
出器6と、処理装置7、及び表示装置8とを有してな
る。光源2からの光は前記光強度変調器4に入力され、
光変調器4Bは入力される被測定電気信号によって屈折
率変化を受け、これにより、光変調器4Bでは入力光の
偏光の状態が変化し、検光子4Cにて、強度変化に変換
されて高速光検出器6に入力されるようになっている。
The high-speed voltage measuring device 1 comprises a light source 2, a light intensity modulator 4 comprising a polarizer 4A, a light modulator 4B and an analyzer 4C, a high-speed light detector 6 comprising, for example, a streak camera, and a processing device. 7 and a display device 8. Light from the light source 2 is input to the light intensity modulator 4,
The optical modulator 4B receives a change in the refractive index in response to the input electric signal to be measured, whereby the polarization state of the input light changes in the optical modulator 4B and is converted into a change in intensity by the analyzer 4C, thereby changing the speed. The light is input to the photodetector 6.

【0004】光変調器4Bへの印加電圧Vと、検光子4
Cを経て高速光検出器6に入力する出力光強度Iとの間
には、図7に示されるように、次の(1)式の関係があ
る。
The voltage V applied to the optical modulator 4B and the voltage of the analyzer 4
As shown in FIG. 7, there is a relationship expressed by the following equation (1) between the output light intensity I input to the high-speed photodetector 6 via C.

【0005】 I=I0 sin 2 (π/2・V/Vπ) …(1)I = I 0 sin 2 (π / 2 · V / Vπ) (1)

【0006】ここでVπは半波長電圧であり、光変調器
4Bの性能より決定される。
Here, Vπ is a half-wavelength voltage, which is determined from the performance of the optical modulator 4B.

【0007】従って、高速光検出器6では前記(1)式
に基づいて、被測定電気信号によって強度が変調された
光を検出することになる。
Accordingly, the high-speed photodetector 6 detects light whose intensity is modulated by the electric signal to be measured, based on the above equation (1).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の高
速電圧測定装置1においては、図7に示されるように、
光変調器4Bへの印加電圧Vと、検光子4Cを経た出力
光強度Iはsin 2 の関数の関係であって比例関係ではな
いので、IからVを算出するためには、処理装置7で、
図7の出力特性を元に変換する必要がある。
In the conventional high-speed voltage measuring device 1 as described above, as shown in FIG.
Since the voltage V applied to the optical modulator 4B and the output light intensity I via the analyzer 4C are a function of sin 2 and are not proportional, the processing device 7 needs to calculate V from I. ,
It is necessary to convert based on the output characteristics of FIG.

【0009】この場合、Vが小さいと、Vの変化に対す
るIの変化が少ないので、正確な測定が困難であるとい
う問題点がある。
In this case, when V is small, there is a problem that accurate measurement is difficult because the change of I with respect to the change of V is small.

【0010】又、高速光検出器6で検出している光量が
少ないためS/Nが悪くなってしまうという問題点があ
る。
In addition, since the amount of light detected by the high-speed photodetector 6 is small, there is a problem that the S / N ratio deteriorates.

【0011】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、、入出力特性を元にした変換等を
用いることなく、又、小さな電圧でも容易に測定を行う
ことができ、更にS/Nが良い高速電圧測定装置を提供
することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and can perform measurement easily even at a small voltage without using conversion based on input / output characteristics. It is another object of the present invention to provide a high-speed voltage measuring device having a better S / N ratio.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明は、偏光した光
を出力する光源と、電気光学結晶を用いた光変調器と、
偏光干渉計と、高速1次元光検出器と、をこの順で配置
してなり、前記光変調器に印加される電気信号の変化に
応じて、前記光検出器の入力面に形成される干渉縞が移
動する移動量に基づいて、前記電気信号の電圧を検出す
ることを特徴とする高速電圧測定装置により、上記目的
を達成するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a light source for outputting polarized light, an optical modulator using an electro-optic crystal,
A polarization interferometer and a high-speed one-dimensional photodetector are arranged in this order, and an interference formed on an input surface of the photodetector in response to a change in an electric signal applied to the optical modulator. The above object is attained by a high-speed voltage measuring device, wherein the voltage of the electric signal is detected based on the amount of movement of the stripe.

【0013】前記偏光干渉計は、複屈折結晶と、検光子
とを光入力側からこの順で備えて構成するようにしても
よい。
The polarization interferometer may include a birefringent crystal and an analyzer in this order from the light input side.

【0014】又、前記偏光干渉計は、シングルスリット
及びこれと平行のダブルスリットからなり、前記シング
ルスリットの長手方向に対して+45°及び−45°の
偏光方向の偏光子を、前記ダブルスリットの各々のスリ
ットに備えたヤングの干渉計と、このヤングの干渉計の
光出力側に設けられ、前記偏光子に対して偏光方向が4
5°異なる検光子と、から構成してもよい。
The polarization interferometer comprises a single slit and a double slit parallel to the single slit, and polarizers having a polarization direction of + 45 ° and −45 ° with respect to the longitudinal direction of the single slit are provided. A Young interferometer provided in each slit; and a light interferometer provided on the light output side of the Young interferometer and having a polarization direction of 4 relative to the polarizer.
5 ° different analyzers.

【0015】[0015]

【作用及び効果】この発明によれば、入射する光の偏光
状態に応じて干渉縞を発生させる偏光干渉計と、この偏
光干渉計の入力側に、被測定電気信号を印加すると、入
射光の偏光状態が変化して出力する光変調器と、を設
け、該光変調器への印加電圧に比例して前記干渉縞が移
動することを利用している。
According to the present invention, a polarization interferometer for generating interference fringes in accordance with the polarization state of incident light and an electric signal to be measured applied to the input side of the polarization interferometer allow the incident light to be reflected. An optical modulator that changes the polarization state and outputs the light, and utilizes the fact that the interference fringes move in proportion to the voltage applied to the optical modulator.

【0016】この干渉縞の移動量を高速1次元光検出器
により検出することによって、被測定電気信号の電圧を
測定することができる。
The voltage of the electric signal to be measured can be measured by detecting the amount of movement of the interference fringes by a high-speed one-dimensional photodetector.

【0017】前記被測定電気信号の電圧変化と、干渉縞
の移動量は比例関係にあるので、図6の従来の高速電圧
測定装置におけるように、入出力特性に基づく変換をす
ることなく、容易に電圧を測定することができる。
Since the voltage change of the electric signal to be measured and the amount of movement of the interference fringe are in a proportional relationship, unlike the conventional high-speed voltage measuring device of FIG. Voltage can be measured.

【0018】又、同様の理由により、電圧と干渉縞の移
動量とのリニアルティが良好であり、高い測定精度を得
ることができ、更に、光変調器の半波長電圧Vπの大小
に拘らず測定をすることができるという優れた効果を有
する。
For the same reason, the linearity between the voltage and the amount of movement of the interference fringes is good, a high measurement accuracy can be obtained, and the measurement can be performed regardless of the magnitude of the half-wave voltage Vπ of the optical modulator. It has an excellent effect that it can be performed.

【0019】[0019]

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】図1に示されるように、本発明の実施例に
係る高速電圧測定装置10は、光源12と、偏光子14
と、被測定電気信号が印加される電気光学結晶からなる
光変調器16と、偏光干渉計18と、この偏光干渉計1
8からの出力光を受光するストリークカメラ20と、こ
のストリークカメラ20の出力信号を処理する処理装置
22と、表示装置23とを、光源12側からこの順で配
置して構成され、前記光変調器16に印加される電気信
号の変化に応じて、前記ストリークカメラ20の入力面
に形成される干渉縞が移動する移動量に基づいて、前記
電気信号の電圧を求めるものである。
As shown in FIG. 1, a high-speed voltage measuring apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a light source 12 and a polarizer 14.
And an optical modulator 16 made of an electro-optic crystal to which an electric signal to be measured is applied, a polarization interferometer 18, and the polarization interferometer 1
A streak camera 20 for receiving the output light from the strobe camera 8, a processing device 22 for processing an output signal of the streak camera 20, and a display device 23 arranged in this order from the light source 12 side. The voltage of the electric signal is obtained based on the amount of movement of the interference fringes formed on the input surface of the streak camera 20 in accordance with the change in the electric signal applied to the device 16.

【0021】前記偏光子14は、前記光源12からの出
力光が偏光している場合は省略することができる。
The polarizer 14 can be omitted when the output light from the light source 12 is polarized.

【0022】前記偏光干渉計18は、図2に示されるよ
うに、対物レンズ24と、複屈折結晶26と、検光子2
8を、この順で配置して構成したものである。
As shown in FIG. 2, the polarization interferometer 18 includes an objective lens 24, a birefringent crystal 26,
8 are arranged in this order.

【0023】前記検光子28の偏光方向は、複屈折結晶
26の結晶の光学軸と45°の角度を持つようにして配
置されている。
The polarization direction of the analyzer 28 is arranged so as to have an angle of 45 ° with the optical axis of the crystal of the birefringent crystal 26.

【0024】前記ストリークカメラ20は、図3に示さ
れるように、その入射スリット20Aが干渉縞を横切る
ようにセットされている。
As shown in FIG. 3, the streak camera 20 is set so that the entrance slit 20A crosses the interference fringes.

【0025】又、処理装置22は、ストリークカメラ2
0で得られた干渉縞のピーク値の間隔A、及びピークの
移動量Xから、後述の(2)式に基づいて印加電圧Vを
求めるものである。
The processing device 22 includes the streak camera 2
The applied voltage V is obtained from the interval A between the peak values of the interference fringes obtained at 0 and the moving amount X of the peak based on the following equation (2).

【0026】次に上記実施例装置の作用について説明す
る。
Next, the operation of the above embodiment will be described.

【0027】前記偏光干渉計18に偏光した光が入力す
ると、対物レンズ24で拡げられ、複屈折結晶26に入
射する。
When polarized light enters the polarization interferometer 18, it is expanded by the objective lens 24 and enters the birefringent crystal 26.

【0028】この複屈折結晶26中では、入力ビームは
結晶の光学軸によって決まる方向と、これと直角の方向
の2つの偏光状態の光に分かれ、異なる経路を伝播し、
2つの出力光に光路差が与えられることになる。
In the birefringent crystal 26, the input beam is split into two polarization states, a direction determined by the optical axis of the crystal and a direction perpendicular to the direction, and propagates through different paths.
An optical path difference will be given to the two output lights.

【0029】検光子28は、前述の如く、その偏光方向
が、複屈折結晶26の光学軸と45°の角度を持って配
置されているので、該複屈折結晶26を出射したその偏
光状態が直交した2つのビームは、検光子28を通過し
た後に干渉し、その干渉縞がストリークカメラ20の入
力面である入射スリット20Aに形成されることにな
る。
As described above, the analyzer 28 is arranged so that its polarization direction is at an angle of 45 ° with respect to the optical axis of the birefringent crystal 26. The two orthogonal beams interfere after passing through the analyzer 28, and their interference fringes are formed on the entrance slit 20A which is the input surface of the streak camera 20.

【0030】一方、光変調器16は、印加された電圧に
応じて、入射光の偏光状態を変化して偏光干渉計18に
出力する。
On the other hand, the optical modulator 16 changes the polarization state of the incident light according to the applied voltage, and outputs it to the polarization interferometer 18.

【0031】従って、偏光干渉計18によってストリー
クカメラ20の入力面に形成された干渉縞は、光変調器
16による偏光状態の変化、即ち、印加電圧の変化に比
例して移動することになる。
Therefore, the interference fringes formed on the input surface of the streak camera 20 by the polarization interferometer 18 move in proportion to the change of the polarization state by the optical modulator 16, that is, the change of the applied voltage.

【0032】このときの干渉縞の移動量Xは、干渉縞の
間隔をA、光変調器16への印加電圧をV、半波長電圧
をVπとしたとき、次の(2)式で与えられることにな
る。
The amount of movement X of the interference fringes at this time is given by the following equation (2), where A is the interval between the interference fringes, V is the voltage applied to the optical modulator 16, and Vπ is the half-wavelength voltage. Will be.

【0033】X=A/2・V/Vπ …(2)X = A / 2 · V / Vπ (2)

【0034】例えば、ステップ関数的に変化する電気信
号を測定したときの、前記ストリークカメラ20の出力
例は、図4のようになる。光変調器16への電圧が印加
されていないとき(時刻T1)の干渉縞による出力のピ
ークの位置(チャンネル)が、図3においてA1〜A3
で示される。ここで図4の縦軸は時間、横軸は入射スリ
ット20Aの位置を示す。
For example, FIG. 4 shows an output example of the streak camera 20 when an electric signal changing in a step function is measured. When the voltage is not applied to the optical modulator 16 (time T1), the peak positions (channels) of the output due to the interference fringes are A1 to A3 in FIG.
Indicated by Here, the vertical axis in FIG. 4 indicates time, and the horizontal axis indicates the position of the entrance slit 20A.

【0035】処理装置22では、3つのピークのチャネ
ルA1〜A3を求め、これから干渉縞の間隔Aを求め
る。
The processing unit 22 obtains three peak channels A1 to A3, and obtains an interference fringe interval A from the three peak channels A1 to A3.

【0036】次に、時刻T2で、被測定電気信号を光変
調器16に印加すると干渉縞が移動し、その後、時刻T
3での干渉縞に基づくストリークカメラ20の出力のピ
ークのチャネルB1〜B3を求め、前述のチャネルA1
〜A3と比較することによって、干渉縞の移動量Xを求
めることができる。
Next, at time T2, when the electric signal to be measured is applied to the optical modulator 16, the interference fringes move.
3, the peaks B1 to B3 of the output of the streak camera 20 based on the interference fringes are obtained, and the above-described channel A1 is determined.
By comparing with A3, the moving amount X of the interference fringes can be obtained.

【0037】この移動量X、前記干渉縞の間隔A及び既
知のVπから、前述のように、電圧Vを求めることがで
きる。
As described above, the voltage V can be obtained from the movement amount X, the interval A of the interference fringes, and the known Vπ.

【0038】このような計算を全ての時刻に亘って処理
装置22で行うことによって、被測定電気信号の波形を
求めることができる。
By performing such calculations in the processing device 22 over all the times, the waveform of the electric signal to be measured can be obtained.

【0039】なお、ストリークカメラ20は、繰返し現
象のみでなく、単発現象としての被測定電気信号をも測
定することができる。
The streak camera 20 can measure not only a repetitive phenomenon but also an electric signal to be measured as a single event.

【0040】上記実施例において、前記検光子28の偏
光方向と複屈折結晶26の結晶の光学軸の角度は45°
だけに限定されず、一致又は直交しなければ良い。
In the above embodiment, the angle between the polarization direction of the analyzer 28 and the optical axis of the crystal of the birefringent crystal 26 is 45 °.
However, the present invention is not limited to this, and it is sufficient if they do not coincide or are orthogonal.

【0041】上記実施例においては、偏光干渉計18
は、複屈折結晶26を含むものであるが、本発明はこれ
に限定されるものでなく、偏光干渉計は、他の構成であ
ってもよい。
In the above embodiment, the polarization interferometer 18
Includes the birefringent crystal 26, but the present invention is not limited to this, and the polarization interferometer may have another configuration.

【0042】例えば、図5に示されるように、シングル
スリット30と、これと平行のダブルスリット32とか
らなり、前記シングルスリット30の長手方向に対して
+45°及び−45°の偏光方向の偏光子34A、34
Bからなるヤングの干渉計36と、このヤングの干渉計
36の光出力側に設けられ、前記偏光子14の偏光方向
と同一又は直交する偏向方向の検光子38と、から構成
してもよい。
For example, as shown in FIG. 5, a single slit 30 and a double slit 32 parallel to the single slit 30 are provided, and the polarized light is polarized at + 45 ° and −45 ° with respect to the longitudinal direction of the single slit 30. Children 34A, 34
B, and a polarization direction of the polarizer 14 provided on the light output side of the Young interferometer 36.
And an analyzer 38 having the same or orthogonal deflection direction .

【0043】このヤングの干渉計36に入力した光は、
シングルスリット30で回折されて拡がり、ダブルスリ
ット32へ入射する。
The light input to the Young's interferometer 36 is
The light is diffracted and spread by the single slit 30 and enters the double slit 32.

【0044】ダブルスリット32は、互いに直交する偏
光方向の偏光子34A、34Bを備えているために、互
いに直交した偏光状態の光となって、該偏光子34A、
34Bを通過し、これらは検光子38を通過した後、干
渉して、ストリークカメラ20の入力面に干渉縞を形成
する。
Since the double slit 32 is provided with the polarizers 34A and 34B having polarization directions orthogonal to each other, the double slit 32 becomes light in a polarization state orthogonal to each other.
After passing through the analyzer 34B, they interfere and form interference fringes on the input surface of the streak camera 20.

【0045】光変調器16に被測定電気信号が印加され
ると、前記直交した偏光状態の2つの光の位相差が変化
し、この位相差変化に応じて干渉縞が移動することにな
る。
When the electric signal to be measured is applied to the optical modulator 16, the phase difference between the two lights in the orthogonal polarization state changes, and the interference fringes move according to the change in the phase difference.

【0046】上記実施例において、前記偏光子34A、
34Bの偏光方向は、前記シングルスリット30の長手
方向に対して、+45°、−45°に限定されず、両者
が一致しなければよい
In the above embodiment, the polarizer 34A,
The polarization direction of 34B is not limited to + 45 ° and −45 ° with respect to the longitudinal direction of the single slit 30, and it is only necessary that both directions do not coincide .

【0047】なお、上記実施例においては、ストリーク
カメラ20により干渉縞の検出を行っているが、本発明
はこれに限定されるものでなく、高速で光検出を行う高
速1次元光検出器であればよい。
In the above embodiment, the interference fringes are detected by the streak camera 20, but the present invention is not limited to this, and a high-speed one-dimensional photodetector that detects light at high speed is used. I just need.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明に係る高速電圧測定装置の実施
例を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a high-speed voltage measuring device according to the present invention.

【図2】図2は、同実施例における偏光干渉計の一例を
示すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a polarization interferometer according to the embodiment.

【図3】図3は、同実施例装置におけるストリークカメ
ラと干渉縞の位置関係を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a positional relationship between a streak camera and interference fringes in the apparatus of the embodiment.

【図4】図4は、前記ストリークカメラの出力例を示す
線図である。
FIG. 4 is a diagram showing an output example of the streak camera.

【図5】図5は、前記実施例における偏光干渉計の他の
例を示すブロック図である。
FIG. 5 is a block diagram showing another example of the polarization interferometer in the embodiment.

【図6】図6は、従来の高速電圧測定装置を示すブロッ
ク図である。
FIG. 6 is a block diagram showing a conventional high-speed voltage measuring device.

【図7】図7は、図6の高速電圧測定装置における光変
調器への印加電圧と、光検出器の出力との関係を示す線
図である。
FIG. 7 is a diagram showing a relationship between an applied voltage to an optical modulator and an output of a photodetector in the high-speed voltage measuring device of FIG. 6;

【符号の説明】 10…高速電圧測定装置、 12…光源、 14、34A、34B…偏光子、 16…光変調器、 18…偏光干渉計、 20…ストリークカメラ、 22…処理装置、 23…表示装置、 26…複屈折結晶、 28、38…検光子、 30…シングルスリット、 32…ダブルスリット、 36…ヤングの干渉計。[Description of Signs] 10: High-speed voltage measurement device, 12: Light source, 14, 34A, 34B: Polarizer, 16: Optical modulator, 18: Polarization interferometer, 20: Streak camera, 22: Processing device, 23: Display Apparatus, 26: Birefringent crystal, 28, 38: Analyzer, 30: Single slit, 32: Double slit, 36: Young's interferometer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−267766(JP,A) 特開 平3−158704(JP,A) 特開 平2−156166(JP,A) 特開 昭62−63802(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-3-267766 (JP, A) JP-A-3-158704 (JP, A) JP-A-2-156166 (JP, A) JP-A-62-162 63802 (JP, A)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】偏光した光を出力する光源と、電気光学結
晶を用いた光変調器と、偏光干渉計と、高速1次元光検
出器と、をこの順で配置してなり、前記光変調器に印加
される電気信号の変化に応じて、前記高速1次元光検出
器の入力面に形成される干渉縞が移動する移動量に基づ
いて、前記電気信号の電圧を検出することを特徴とする
高速電圧測定装置。
1. A light source for outputting polarized light, an optical modulator using an electro-optic crystal, a polarization interferometer, and a high-speed one-dimensional photodetector are arranged in this order. Detecting a voltage of the electric signal based on a moving amount of an interference fringe formed on an input surface of the high-speed one-dimensional photodetector in accordance with a change in the electric signal applied to the detector. High-speed voltage measurement device.
【請求項2】請求項1において、前記偏光干渉計は、複
屈折結晶と、検光子と、を光入力側からこの順で備えて
なることを特徴とする高速電圧測定装置。
2. A high-speed voltage measuring apparatus according to claim 1, wherein said polarization interferometer comprises a birefringent crystal and an analyzer in this order from the light input side.
【請求項3】請求項1において、前記偏光干渉計は、シ
ングルスリット及びこれと平行のダブルスリットからな
り、前記シングルスリットの長手方向に対して+45°
及び−45°の偏光方向の偏光子を、前記ダブルスリッ
トの各々のスリットに備えたヤングの干渉計と、このヤ
ングの干渉計の光出力側に設けられ、前記偏光子に対し
て偏光方向が45°異なる検光子と、を有してなること
を特徴とする高速電圧測定装置。
3. The polarization interferometer according to claim 1, wherein the polarization interferometer comprises a single slit and a double slit parallel to the single slit, and is + 45 ° with respect to the longitudinal direction of the single slit.
And a polarizer having a polarization direction of -45 °, a Young interferometer provided in each slit of the double slit, and provided on the light output side of the Young interferometer, the polarization direction with respect to the polarizer A high-speed voltage measuring device comprising: an analyzer that differs by 45 °.
【請求項4】請求項1、2又は3において、前記高速1
次元光検出器は、ストリークカメラであることを特徴と
する高速電圧測定装置。
4. The high-speed communication system according to claim 1, 2 or 3,
A high-speed voltage measuring device, wherein the two-dimensional photodetector is a streak camera.
【請求項5】請求項1、2又は3において、前記光源
は、無偏光の光を出力する光源と偏光子から構成されて
いることを特徴とする高速電圧測定装置。
5. The high-speed voltage measuring device according to claim 1, wherein the light source comprises a light source that outputs unpolarized light and a polarizer.
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