JPH04291311A - 副鏡駆動機構 - Google Patents
副鏡駆動機構Info
- Publication number
- JPH04291311A JPH04291311A JP8143591A JP8143591A JPH04291311A JP H04291311 A JPH04291311 A JP H04291311A JP 8143591 A JP8143591 A JP 8143591A JP 8143591 A JP8143591 A JP 8143591A JP H04291311 A JPH04291311 A JP H04291311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- secondary mirror
- cylinders
- pin
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Telescopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、望遠鏡の副鏡を駆動
し、星を追尾したり、赤外観測の際に、対象物と背景を
交互に見るために副鏡を振動させたりする副鏡駆動機構
に関するものである。
し、星を追尾したり、赤外観測の際に、対象物と背景を
交互に見るために副鏡を振動させたりする副鏡駆動機構
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4は従来の副鏡駆動機構の概念図であ
り、図において、1,2,17,18,19および21
は、各々、副鏡、固定部、駆動軸用ピン受A、駆動軸用
ピン受B、駆動軸用ピン、およびアクチュエータである
。22はピン受Aで、副鏡1の背面に駆動軸35をはさ
んで対称な位置に取り付けられている。23はピンA、
24は連結棒A、25はピンB、26はビームで、連結
棒A24の両端はピンA23およびピンB25を介して
ピン受A22およびビーム26に接続されている。 27はピンC、28は連結棒B、24はピンD、30は
レバー、31はピンE、32はピン受B、33はカウン
タウエイトである。連結棒B28の両端はビーム26の
中央部とレバー30の端に各々ピンC27とピンD29
を介して接続されている。レバー30はピンE31を介
してピン受B32で支えられており、ピン受B32は固
定部2に取り付けられている。レバー30の端にはカウ
ンターウエイト33が取り付けられている。副鏡1と連
結棒A24とビーム26で4節リンクが構成されている
。
り、図において、1,2,17,18,19および21
は、各々、副鏡、固定部、駆動軸用ピン受A、駆動軸用
ピン受B、駆動軸用ピン、およびアクチュエータである
。22はピン受Aで、副鏡1の背面に駆動軸35をはさ
んで対称な位置に取り付けられている。23はピンA、
24は連結棒A、25はピンB、26はビームで、連結
棒A24の両端はピンA23およびピンB25を介して
ピン受A22およびビーム26に接続されている。 27はピンC、28は連結棒B、24はピンD、30は
レバー、31はピンE、32はピン受B、33はカウン
タウエイトである。連結棒B28の両端はビーム26の
中央部とレバー30の端に各々ピンC27とピンD29
を介して接続されている。レバー30はピンE31を介
してピン受B32で支えられており、ピン受B32は固
定部2に取り付けられている。レバー30の端にはカウ
ンターウエイト33が取り付けられている。副鏡1と連
結棒A24とビーム26で4節リンクが構成されている
。
【0003】この従来例の動作は次のとおりである。副
鏡1は、駆動軸用ピン受B18とアクチュエータ21で
3点固定され、副鏡1の位置、姿勢が定まる。また、ピ
ン受A22が4ケ所取り付けられており、この4点が力
支持されている。重力補償力は、カウンタウエイト33
とレバー30で発生し、ビーム26の中央に伝え、その
1/2ずつがピン受22に伝えられ、副鏡1に伝えられ
る。副鏡の駆動はアクチュエータ21を用いて直接副鏡
1を振動させることにより行うことができる。駆動時で
も、ビーム26の中央部の位置は変化せず、従って、ビ
ーム26の中央部に接続されている連結棒B28の位置
も変化せず、レバー30、カウンタウエイト33も静止
したままである。従って重力を補償する力は駆動の影響
を受けず、常に一定である。また副鏡1とビーム26と
の間に熱膨張の差が生じても、連結棒A24の両端がピ
ン継手になっており、副鏡1には無理な力が作用しない
。
鏡1は、駆動軸用ピン受B18とアクチュエータ21で
3点固定され、副鏡1の位置、姿勢が定まる。また、ピ
ン受A22が4ケ所取り付けられており、この4点が力
支持されている。重力補償力は、カウンタウエイト33
とレバー30で発生し、ビーム26の中央に伝え、その
1/2ずつがピン受22に伝えられ、副鏡1に伝えられ
る。副鏡の駆動はアクチュエータ21を用いて直接副鏡
1を振動させることにより行うことができる。駆動時で
も、ビーム26の中央部の位置は変化せず、従って、ビ
ーム26の中央部に接続されている連結棒B28の位置
も変化せず、レバー30、カウンタウエイト33も静止
したままである。従って重力を補償する力は駆動の影響
を受けず、常に一定である。また副鏡1とビーム26と
の間に熱膨張の差が生じても、連結棒A24の両端がピ
ン継手になっており、副鏡1には無理な力が作用しない
。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の副鏡駆動装置は
以上のように構成されており、副鏡の重力変形を補償す
るためにカウンタウエイトとレバーを用いているために
重量が大きくなるという問題点があった。また駆動する
軸は、各種のレバーやリンクの軸と同じ方向で、1軸だ
けであるため、2つの軸まわりに回転させることができ
ないという問題点もあった。
以上のように構成されており、副鏡の重力変形を補償す
るためにカウンタウエイトとレバーを用いているために
重量が大きくなるという問題点があった。また駆動する
軸は、各種のレバーやリンクの軸と同じ方向で、1軸だ
けであるため、2つの軸まわりに回転させることができ
ないという問題点もあった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、カウンタウエイトやレバーをな
くし、軽量化するとともに、2つの軸まわりに副鏡を回
転させることのできる副鏡駆動機構を得ることを目的と
する。
ためになされたもので、カウンタウエイトやレバーをな
くし、軽量化するとともに、2つの軸まわりに副鏡を回
転させることのできる副鏡駆動機構を得ることを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る副鏡駆動
機構は、副鏡の重力変形を補償するために複数の油圧ベ
ローズまたはシリンダで副鏡を支持し、これらのベロー
ズまたはシリンダを管で連結し、さらにこれらの油圧ベ
ローズまたはシリンダと別に各グループ毎に駆動用ベロ
ーズまたはシリンダを設け、これと各グループのベロー
ズまたはシリンダを管で連結し、駆動用ベローズまたは
シリンダのピストンをアクチュエータで動かすことによ
り副鏡を駆動するようにしたものである。
機構は、副鏡の重力変形を補償するために複数の油圧ベ
ローズまたはシリンダで副鏡を支持し、これらのベロー
ズまたはシリンダを管で連結し、さらにこれらの油圧ベ
ローズまたはシリンダと別に各グループ毎に駆動用ベロ
ーズまたはシリンダを設け、これと各グループのベロー
ズまたはシリンダを管で連結し、駆動用ベローズまたは
シリンダのピストンをアクチュエータで動かすことによ
り副鏡を駆動するようにしたものである。
【0007】
【作用】この発明における副鏡駆動機構は、重力変形を
補償するために管で連結したベローズまたはシリンダを
用いて、支持点に定められた支持力を出す構造を用いて
いるため、カウンタウエイトなどがなく軽量化されてい
る。またベローズまたはシリンダをグループに分け、各
グループ毎に駆動用ベローズまたはシリンダを用いるこ
とにより2軸まわりに駆動することもできる。
補償するために管で連結したベローズまたはシリンダを
用いて、支持点に定められた支持力を出す構造を用いて
いるため、カウンタウエイトなどがなく軽量化されてい
る。またベローズまたはシリンダをグループに分け、各
グループ毎に駆動用ベローズまたはシリンダを用いるこ
とにより2軸まわりに駆動することもできる。
【0008】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1は側面を表し、図2は図1の断面AAを表す
。図において、1,2は従来装置と同様、副鏡と固定部
である。3aは被駆動ピストン、4aは被駆動ピストン
3aと副鏡1を接続する棒、5aは被駆動ピストン3a
と固定部2の間に設けられた被駆動ベローズで、棒4a
を中心に配置できるようにリング状になっている。6a
は駆動用ベローズ、7aはこれらのベローズを連結する
連結管、8aはベローズ5a,6a、管7aの中に充填
されている流体である。9aはアクチュエータ、10a
は駆動ピストンで、これらにより駆動ベローズ6aを押
すことができるような構造となっている。この実施例で
は図2に示すように、副鏡の重力変形を抑えるために、
副鏡全体を9点で支持し、これらを3つのグループに分
け、各々、3a,3b,3cのピストンで支持している
。11はガイドベアリング、12は球面軸受で、これら
により副鏡1のx,y面の動きを拘束している。
する。図1は側面を表し、図2は図1の断面AAを表す
。図において、1,2は従来装置と同様、副鏡と固定部
である。3aは被駆動ピストン、4aは被駆動ピストン
3aと副鏡1を接続する棒、5aは被駆動ピストン3a
と固定部2の間に設けられた被駆動ベローズで、棒4a
を中心に配置できるようにリング状になっている。6a
は駆動用ベローズ、7aはこれらのベローズを連結する
連結管、8aはベローズ5a,6a、管7aの中に充填
されている流体である。9aはアクチュエータ、10a
は駆動ピストンで、これらにより駆動ベローズ6aを押
すことができるような構造となっている。この実施例で
は図2に示すように、副鏡の重力変形を抑えるために、
副鏡全体を9点で支持し、これらを3つのグループに分
け、各々、3a,3b,3cのピストンで支持している
。11はガイドベアリング、12は球面軸受で、これら
により副鏡1のx,y面の動きを拘束している。
【0009】次にこの実施例の動作について述べる。ま
ず自重変形が補償される原理を説明する。被駆動ベロー
ズ5aが連結管7aで連結されており、この中に充填さ
れている流体の圧力はどこでも同じであるため、支持力
は被駆動ベローズ5aの断面積を適当に設定することに
より、各点に任意に配分できる。予め、副鏡1の自重変
形解析を行い、自重変形が最小になるような各支持力配
分を求めておき、この配分になるように被駆動ベローズ
5aの断面積を決めてやれば、副鏡1の自重変形を最小
に抑えることができる。
ず自重変形が補償される原理を説明する。被駆動ベロー
ズ5aが連結管7aで連結されており、この中に充填さ
れている流体の圧力はどこでも同じであるため、支持力
は被駆動ベローズ5aの断面積を適当に設定することに
より、各点に任意に配分できる。予め、副鏡1の自重変
形解析を行い、自重変形が最小になるような各支持力配
分を求めておき、この配分になるように被駆動ベローズ
5aの断面積を決めてやれば、副鏡1の自重変形を最小
に抑えることができる。
【0010】次に駆動方法について説明する。駆動はア
クチュエータ9a,9b,9c(9b,9cは図示せず
)で駆動ピストン10a,10b,10c(10b,1
0cは図示せず)を押し引きすることにより、副鏡を3
自由度(z軸方向並進z,x軸まわり回転θxとy軸ま
わり回転θy)駆動することができる。動かすべきθx
,θy,zが与えられれば、各駆動ピストン10a,1
0b,10cをいくら動かせば良いかは、装置の幾何学
的寸法、配置から一義的に定まる。この関係から副鏡1
のθx,θy,zを任意に制御できる。
クチュエータ9a,9b,9c(9b,9cは図示せず
)で駆動ピストン10a,10b,10c(10b,1
0cは図示せず)を押し引きすることにより、副鏡を3
自由度(z軸方向並進z,x軸まわり回転θxとy軸ま
わり回転θy)駆動することができる。動かすべきθx
,θy,zが与えられれば、各駆動ピストン10a,1
0b,10cをいくら動かせば良いかは、装置の幾何学
的寸法、配置から一義的に定まる。この関係から副鏡1
のθx,θy,zを任意に制御できる。
【0011】なお上記実施例では、流体に圧力を与える
ものとしてベローズを用いたが、ベローズの代わりにシ
リンダを用いてもよく、シリンダを用いた実施例を図3
に示す。これは先の実施例のベローズの機能をシリンダ
で置き換えたもので、他の動作は基本的には、先の実施
例と同じである。図3において、13aは被駆動シリン
ダ、14aは駆動シリンダである。15aはピン継手A
、16aはピン継手Bで、これらは副鏡1をθx,θy
方向に駆動したときに棒4aに無理な力がかからないよ
うに設けたものである。
ものとしてベローズを用いたが、ベローズの代わりにシ
リンダを用いてもよく、シリンダを用いた実施例を図3
に示す。これは先の実施例のベローズの機能をシリンダ
で置き換えたもので、他の動作は基本的には、先の実施
例と同じである。図3において、13aは被駆動シリン
ダ、14aは駆動シリンダである。15aはピン継手A
、16aはピン継手Bで、これらは副鏡1をθx,θy
方向に駆動したときに棒4aに無理な力がかからないよ
うに設けたものである。
【0012】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、副鏡の
自重変形を抑えるために管で連結したベローズまたはシ
リンダを用い、カウンタウエイトやレバーを用いていな
いため、軽量化することができる。またシリンダをグル
ープ化し、上記ベローズまたはシリンダを別途設けた駆
動ベローズまたはシリンダで駆動することにより、副鏡
を2軸以上の自由度について駆動することができる。
自重変形を抑えるために管で連結したベローズまたはシ
リンダを用い、カウンタウエイトやレバーを用いていな
いため、軽量化することができる。またシリンダをグル
ープ化し、上記ベローズまたはシリンダを別途設けた駆
動ベローズまたはシリンダで駆動することにより、副鏡
を2軸以上の自由度について駆動することができる。
【図1】この発明の一実施例を示す正面断面図である。
【図2】図1のA−A線における断面図である。
【図3】この発明の他の実施例を示す正面断面図である
。
。
【図4】従来の副鏡駆動装置を示す斜視図である。
1 副鏡
2 固定部
3a,3b,3c ピストン
4a 棒
5a 被駆動ベローズ
6a 駆動ベローズ
7a,7b,7c 連結管
8a 流体
9a アクチュエータ
10a 駆動ピストン
11 ガイドベアリング
12 球面軸受
13a 被駆動シリンダ
14a 駆動シリンダ
15a,16a ピン継手
Claims (1)
- 【請求項1】 副鏡の重量を、流体を充填した複数の
ピストンとベローズまたはシリンダで支え、これらのベ
ローズまたはシリンダをいくつかのグループに分け、各
グループの圧力が等しくなるように、グループ内のベロ
ーズまたはシリンダを管で連結するとともに、上記ベロ
ーズまたはシリンダとは別に上記グループの数だけ設け
た駆動用のベローズまたはシリンダをそれぞれ各グルー
プのベローズまたはシリンダと管で連結し、上記駆動用
のベローズまたはシリンダのピストンをアクチュエータ
で変位させることにより副鏡を駆動するようにしたこと
を特徴とする副鏡駆動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8143591A JPH04291311A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 副鏡駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8143591A JPH04291311A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 副鏡駆動機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04291311A true JPH04291311A (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=13746315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8143591A Pending JPH04291311A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 副鏡駆動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04291311A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010151982A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Mitaka Koki Co Ltd | 太陽光集光システム |
US11237489B2 (en) | 2016-12-30 | 2022-02-01 | Asml Netherlands B.V. | Adjustment assembly and substrate exposure system comprising such an adjustment assembly |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP8143591A patent/JPH04291311A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010151982A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Mitaka Koki Co Ltd | 太陽光集光システム |
US11237489B2 (en) | 2016-12-30 | 2022-02-01 | Asml Netherlands B.V. | Adjustment assembly and substrate exposure system comprising such an adjustment assembly |
TWI773710B (zh) * | 2016-12-30 | 2022-08-11 | 荷蘭商Asml荷蘭公司 | 調整總成及包含此種調整總成之基板曝光系統 |
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