JPH0429031A - レンズ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えばＣＣＤ等のラインセンサに適用される
光学式レンズを検査する場合に用いて好適なレンズ検査
装置に関する。

［従来の技術］ 従来、光学式レンズの検査は、次のように行なわれてい
た。すなわち、検査用の像が形成されているチャートに
光を照射し、その像を被検査レンズを介してスクリーン
に投影し、像が正しく投影されているか否かを、目視に
より検査することにより、レンズの解像度を検査するよ
うにしていた。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このように、人の目視による検査を行な
うと、客観性が失われるばかりでなく、検査に時間がか
かる問題点がある。

また、例えば、ラインセンサ等に用いるレンズの場合、
光軸に対して垂直な面内における所定の方向の特性が良
好であれば、実用的には同等問題がないにも拘らず、目
視検査の場合、レンズの全体を検査するため、ラインセ
ンサに用いる場合においては、実質的に問題とならない
方向に欠点があるレンズも不合格とされてしまい、歩留
まりが悪化する問題点がある。

本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、レン
ズを短時間かつ自動的に検査することができるようにす
るとともに、レンズの歩留まりを向上するものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明のレンズ検査装置は、被検査レンズが、少なくと
もその光軸を中心として回転可能に設置される設置台と
、被検査レンズを検査するための像が形成されているチ
ャートと、チャートに直線状の光を照射する光源と、レ
ンズを介してチャートの像が結像される受光素子部と、
被検査レンズを回転制御し、受光素子部の出力から、複
数の回転位置におけるＭＴＦを演算し、演算結果を所定
の基準値と比較する制御部と、制御部における比較結果
を表示する表示部とを備えることを特徴とする。

［作用］ 上記構成のレンズ検査装置においては、被検査レンズが
光軸を中心として回転きれ、各回転位置におけるＭＴＦ
が演算される。所定の回転位置における演算値が所定の
基準値を満足するとき、そのレンズは合格とされる。

従って、レンズの方向毎の検査を自動的に行なうことが
できる。

［実施例］ 第２図および第３図は、本発明のレンズ検査装置の一実
施例の構成を示す正面図と側面図、第１図はその主要部
の電気的構成を示すブロック図である。

略直線状（棒状）に形成された光源２より発生された光
は、チャート１に照射される。光源２は冷却ファン１２
により冷却されている。チャート１により反射された光
は、暗箱１１中を案内され、設置台４に設置された被検
査レンズ３に入射される。被検査レンズ３はチャート１
に予め形成されている（Ｉを、例えばＣＣＤ等の受光素
子部５に結像きせる。

受光素子部５に入力された像は、そこで光電変換された
後、メモリ６に供給され、書込まれる。

タイミングコントロール部７は、例えばマイクロコンユ
ータ等よりなる制御部８や、受光素子部５の出力を基準
にして、種々のタイミング信号を生成し、メモリ６等に
供給する。操作入力部１０は操作に対応する信号を制御
部８に出力する。制御部８は、メモリ６に記憶されたデ
ータを処理し、必要な情報を表示部９に表示する。

次に、第４図のフローチャートを参照して、その動作を
説明する。

操作入力部１０の操作により、電源がオンされたとき、
制御部８はシステムをイニシャライズする（ステップＳ
Ｌ）。操作者は次に、設置台４に被検査レンズ３を設置
する（ステップＳ２）。制御ｗＪ部８は操作入力部１０
の操作により、検査のスタートが指令されると、メモリ
６をイニシャライズする（ステップ゛Ｓ３．Ｓ４）。

次に、制御部８は、設置台４を駆動し、被検査レンズ３
を、その光軸方向（第１図中左右方向）に移動きせる（
ステップＳ５）。制御部８は、被検査レンズ３を介して
受光素子部５に入力されているチャート１の像を、被検
査レンズ３が、例えば、１０μｍ移動する毎に、メモリ
６に書込み、書込んだデータからＭＴＦを計算する（ス
テップＳ６）。

この処理が最大のＭＴＦが求められる士で繰返される（
ステップＳ７）。最大のＭＴＦが求められたとぎ、被検
査レンズ３はその位置に停止される。

すなわち、このようにして、ピント調整が行なわれる。

ピントの調整が完了した後、制御部８は設置台４を、光
軸を中心として時計方向または反時計方向に回転し、３
０度回転する毎にＭＴＦを計算する（ステップＳ８．Ｓ
９）。この処理は、被検査レンズ３が合計１８０度回転
されるまで行なわれる（ステップ５１０）。

次に、制御卸部８は、被検査レンズ３を最大のＭ’［’
Ｆが求められる回転位置に回転するとともに、その最大
のＭＴＦを表示部９に表示きせる（ステップＳｌｌ、　
　５１２）。ざらに、制御部８は、この最大のＭＴＦを
、予め設定しである基準値（規格値）と比較し、基準値
以上であるとき合格の表示を、また、未満であるとき不
合格の表示を、表示部９に表示させる（ステップＳ１３
乃至５１５）。

被検査レンズ３は、ラインセンサ等の直線状の受光素子
アレイに光を集光するのに用いられる。

従って、最大のＭＴＦが得られる方向を、ラインセンν
の方向に対応きせることにより、充分な品質を有するラ
インセンサを実現することかできる。

このため、被検査レンズ３には、最大のＭＴＦが得られ
る方向に目印等が付され、ラインセンサに組込むとき、
その方向が一致づるように調整される。

以上のようにして、検査が終了したとぎ、被検査レンズ
３か交換され、新たな被検査レンズについて同様の処理
が行なわれる（ステップ５１６）。

次に、第５図を参照して、ＭＴＦと被検査レンズ３の解
１９／度の関係について説明する。

チャート１の像が、第５図Ｂに示すように、比較的広い
間隔の黒と白の像であるとぎ、受光素子部５からの出力
は、第５図Ａに示す、Ｌ：うに、それぞれ黒および白の
レベルに一致する。

しかしながら、第５図りに示すように、黒と白の像の間
隔か狭くなると、受光素子部５の出力は、第５図Ｃに示
すように、黒と白の中間のレベルになる。受光素子部５
の出力の、白と黒の像に対応Ｊるレベルの差をＡ、黒レ
ベルと黒の像に対応づるレベルとの差をＢとすると、Ｍ
ＴＦは次式より演算される。

ＭＴＦ＝Ａ／　（（Ａ十Ｂ）＋Ｂ） ＝Ａ／（八＋２Ｂ） 一ヒ式より明らかなように、解像度か良好な程、Ｍ　Ｔ
Ｆは大きくなる。従って、ＭＴＦを計算することにより
、実質的に被検査レンズ３の解像度を検査することがで
きる。

し発明の効果］ 以上のように、本発明のレンズ検査装置によれば、被検
査レンズを光軸を中心として回転し、複数の回転位置に
おけるＭＴＦを演算し、演算結果を所定の基準値と比較
するようにしたので、所定の回転位置における演箆値が
所定の基準値を満足づるとき、そのレンズを合１２５と
することができる。

従って、レンズの検査を短時間かつ自動的に行なうこと
ができる。また、１つの方向におけるＭＴＦか基準を満
足しなくとも、他の方向におけるＭＴ　Ｆか基準を満足
すれば、そのレンズを合格とＪることかてきるので、し
ンズの歩留まりを向上きせることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第２図および第３図の実施例の電気的構成を示
すブロック図、第２図は本発明のレンズ検Ｍ装置の一実
施例の構成を示す正面図、第３図は本発明のレンズ検査
装置の一実施例の構成を示す側面図、第４図は第１図に
示す実施例の動作を説明するフローチャート、第５図は
ＭＴＦと解像度の関係を説明する図である。 １　チャート ２°−光源 ３°被検査レンズ ４・・・設置台 ５・・・受光素子部 ６−　メモリ ７−タイミングコントロール部 ８・制御部 ９°表示部 １０−操作入力部 １１　暗箱 １２　冷却ファン 持許畠願人オムロン株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査レンズが、少なくともその光軸を中心として回転
   可能に設置される設置台と、 前記被検査レンズを検査するための像が形成されている
   チャートと、 前記チャートに直線状の光を照射する光源と、前記レン
   ズを介して前記チャートの像が結像される受光素子部と
   、 前記被検査レンズを回転制御し、前記受光素子部の出力
   から、複数の回転位置におけるＭＴＦを演算し、演算結
   果を所定の基準値と比較する制御部と、 前記制御部における比較結果を表示する表示部とを備え
   ることを特徴とするレンズ検査装置。