JPH04289453A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】この発明は、超音波、電磁波その
他の波動を用いた検査装置に関するものである。 【０００２】特に、妨害エコーが検査結果に及ぼす悪影
響を低減できる超音波非破壊検査装置などの検査装置に
関するものである。 【０００３】 【従来の技術】従来のこの種の検査装置と妨害エコーの
発生原因について、図３８及び図３９を参照しながら説
明する。 【０００４】図３８及び図３９は、特開昭６２−１１２
０５７号公報に示された従来の超音波を用いた検査装置
における超音探触子の配置と超音波パルスの伝搬状況を
示す説明図、及び従来の検査装置におけるＡスコープ波
形と欠陥検出用時間ゲートを示す波形図である。 【０００５】図３８において、従来の検査装置は、斜角
形の超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）が、丸棒状の試
験体（２）の円周上に沿って配されて構成されている。 【０００６】図中、（３）は試験体（２）の表層部にあ
る欠陥である。また、実線（４Ａ）及び点線（４Ｂ）は
、それぞれ、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）から放
射された超音波パルスの伝搬経路を示す。 【０００７】図３９（ａ）及び（ｂ）は、超音波探触子
（１Ａ）のみから単独で超音波パルスを試験体（２）に
送信したとき、それぞれ、超音波探触子（１Ａ）及び（
１Ｂ）が受信するエコーのＡスコープ波形を示す。 【０００８】図３９（ｃ）及び（ｄ）は、超音波探触子
（１Ｂ）のみから単独で超音波パルスを試験体（２）に
送信したとき、それぞれ、超音波探触子（１Ｂ）及び（
１Ａ）が受信するエコーのＡスコープ波形を示す。 【０００９】なお、図３９（ａ）〜（ｄ）において、エ
コーの波形はその包絡線を示してある。 【００１０】図３９（ｅ）は、超音波探触子（１Ａ）及
び（１Ｂ）により受信されたエコーに関して設定される
欠陥検出用時間ゲートを示す。 【００１１】つぎに、上述した従来の検査装置の動作及
び妨害エコーの発生原因について説明する。 【００１２】まず、超音波探触子（１Ａ）のみから単独
で超音波パルスを試験体（２）に送信した場合について
考えてみる。 【００１３】超音波探触子（１Ａ）から試験体（２）内
に入射した超音波パルスは、図中、実線（４Ａ）で示す
ように、試験体（２）の外壁で反射し、試験体（２）を
一周した後、同じ超音波探触子（１Ａ）へ戻ってくる。 【００１４】このとき、超音波探触子（１Ａ）で受信さ
れるエコーのＡスコープ波形は図３９（ａ）　に示すよ
うになる。 【００１５】図３９（ａ）において、超音波探触子（１
Ａ）を駆動した送信電気パルスＴの後に、まず、超音波
パルスが試験体（２）の表面に入射した時点で試験体（
２）の表面から反射されて戻ってきた表面エコーＳが観
測される。 【００１６】次に、超音波パルスが試験体（２）を一周
した後、受信されるエコーＲ１が観測される。 【００１７】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の３周した時点で、欠陥（３）で反射されて
、さらに４分の３周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、
受信される欠陥エコーＦ３が観測される。 【００１８】超音波探触子（１Ｂ）が受信するエコーの
Ａスコープ波形は図３９（ｂ）に示すようになる。 【００１９】まず、超音波探触子（１Ａ）から試験体（
２）内に入射した超音波パルスが、試験体（２）を２分
の１周した時点で、超音波探触子（１Ｂ）で受信される
エコーＲＢ２４が観測される。 【００２０】次に、超音波パルスが、試験体（２）を４
分の３周した時点で、欠陥（３）で反射されて、さらに
４分の１周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、受信され
る欠陥エコーＦ２が観測される。 【００２１】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の６周した時点で、受信されるエコーＲＢ６
４が観測される。 【００２２】次に、超音波探触子（１Ｂ）のみから単独
で超音波パルスを試験体（２）に送信した場合について
考えてみる。 【００２３】超音波探触子（１Ｂ）自身が受信するエコ
ーのＡスコープ波形は図３９（ｃ）に示すようになる。 【００２４】図３９（ｃ）において、超音波探触子（１
Ｂ）を駆動した送信電気パルスＴの後に、まず、超音波
パルスが試験体（２）の表面に入射した時点で試験体（
２）の表面から反射されて戻ってきた表面エコーＳが観
測される。 【００２５】次に、超音波パルスが試験体（２）を４分
の１周した時点で、欠陥（３）で反射されて、さらに４
分の１周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、受信される
欠陥エコーＦ１が観測される。 【００２６】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を一周した後、受信されるエコーＲ１が観測される
。 【００２７】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の１周した時点で、欠陥（３）で反射されて
、さらに４分の５周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、
受信される欠陥エコーＦ３が観測される。 【００２８】超音波探触子（１Ａ）が受信するエコーの
Ａスコープ波形は図３９（ｄ）に示すようになる。 【００２９】まず、超音波探触子（１Ｂ）から試験体（
２）内に入射した超音波パルスが、試験体（２）を２分
の１周した時点で、超音波探触子（１Ａ）で受信される
エコーＲＢ２４が観測される。 【００３０】次に、超音波パルスが、試験体（２）を４
分の１周した時点で、欠陥（３）で反射されて、さらに
４分の３周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、受信され
る欠陥エコーＦ２が観測される。 【００３１】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の６周した時点で、受信されるエコーＲＢ６
４が観測される。 【００３２】次に、２つの超音波探触子（１Ａ）及び（
１Ｂ）から試験体（２）に超音波パルスを送信した場合
について考えてみる。 【００３３】この場合、超音波探触子（１Ａ）が受信す
るエコーのＡスコープ波形は、図３９（ａ）及び（ｄ）
に示す波形を交流波形レベルで加算した結果となる。 【００３４】同様に、超音波探触子（１Ｂ）が受信する
エコーのＡスコープ波形は、図３９（ｃ）及び（ｂ）に
示す波形を交流波形レベルで加算した結果となる。 【００３５】従来の検査装置においては、これらの加算
結果が各超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）から受信さ
れる。 【００３６】さて、上述した従来の検査装置においては
、超音波探触子（１Ａ）で受信したエコーに対して設定
された図３９（ｅ）に示す欠陥検出用時間ゲート内に、
図３９（ｄ）に示すように、エコーＲＢ２４が混入して
いる。 【００３７】このエコーは欠陥からのエコーではないが
、欠陥検出用時間ゲート内に入っているので、欠陥から
のエコーとして誤認してしまう問題がある。 【００３８】つまり、エコーＲＢ２４は検査の邪魔にな
る妨害エコーである。 【００３９】一方、超音波探触子（１Ｂ）で受信したエ
コーに対して同様に設定された図３９（ｅ）に示す欠陥
検出用時間ゲート内には、図３９（ｃ）に示すように、
欠陥エコーＦ１が現れる。 【００４０】しかし、図３９（ｂ）に示すように、エコ
ーＲＢ２４が欠陥エコーＦ１に重畳してくる問題がある
。 【００４１】したがって、このエコーＲＢ２４も妨害エ
コーである。 【００４２】すなわち、従来の検査装置においては、Ｒ
Ｂ２４やＲＢ６４などの妨害エコーにより検査の信頼性
が得られない問題点があった。 【００４３】 【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
検査装置では、１つの超音波探触子から送信された超音
波パルスが、他の超音波探触子に妨害エコーとして受信
されてしまい、このため、妨害エコーのレベルが大きい
場合には検査が不可能となってしまったり、妨害エコー
のレベルが例え小さくても高精度な検査ができないとい
う問題点があった。 【００４４】この発明は、上述した問題点を解決するた
めになされたもので、妨害エコーが検査結果に及ぼす悪
影響を取り除くことができる検査装置を得ることを目的
とする。 【００４５】さらに、同時に、信号対雑音比の向上が図
れる検査装置を得ることを目的とする。 【００４６】 【課題を解決するための手段】この発明に係る検査装置
は、次に掲げる手段を備えたものである。 【００４７】〔１〕複数個の出力端子を有し、Ｎを自然
数、ｉを１からＮまでの整数、ｊを１から（Ｎ−１）ま
での整数とすると、第１から第ＮまでのＮ個の系列を順
次繰り返して配列したとき、ｊを固定して、第ｉ番目の
系列と第（ｉ＋ｊ）番目の系列の相互相関関数をｉが１
からＮまで加算すると加算結果が零になり、かつ、上記
第１から第Ｎまでの系列の自己相関関数を加算するとサ
イドローブレベルが零となる第１から第Ｎまでの系列を
発生するとともに、上記第１から第Ｎまでの系列に基づ
いてそれぞれ生成される第１から第Ｎまでの送信信号を
発生し、上記第１から第Ｎまでの送信信号を、第ｋ番目
の上記出力端子から、第ｋ、第（ｋ＋１）、第（ｋ＋２
）、・・・、第Ｎ、第１、第２、・・・、第（ｋ−１）
、第ｋ、・・・の順番にしたがって順次繰り返して発生
する送信信号発生手段。 【００４８】〔２〕上記複数個の出力端子に対してそれ
ぞれ設けられ、上記出力端子からの上記送信信号により
励振されて波動を対象物に送信する複数個の送信手段。 【００４９】〔３〕上記対象物からのエコーを受信する
複数個の受信手段。 【００５０】〔４〕上記複数個の受信手段のそれぞれに
対して設けられ、上記第１から第Ｎまでの系列にそれぞ
れ基づいて生成される第１から第Ｎまでの参照信号を用
いて、それぞれ、上記第１から第Ｎまでの送信信号に対
応する第１から第Ｎまでの上記エコーを相関処理する複
数個の相関手段。 【００５１】〔５〕上記複数個の相関手段に対してそれ
ぞれ設けられ、上記第１から第Ｎまでのエコーに対応す
る上記相関手段の出力を加算する複数個の加算手段。 【００５２】 【作　　用】この発明においては、複数個の出力端子を
有する送信信号発生手段によって、Ｎを自然数、ｉを１
からＮまでの整数、ｊを１から（Ｎ−１）までの整数と
すると、第１から第ＮまでのＮ個の系列を順次繰り返し
て配列したとき、ｊを固定して、第ｉ番目の系列と第（
ｉ＋ｊ）番目の系列の相互相関関数をｉが１からＮまで
加算すると加算結果が零になり、かつ、上記第１から第
Ｎの系列までの自己相関関数を加算するとサイドローブ
レベルが零となる第１から第Ｎまでの系列が発生される
とともに、上記第１から第Ｎまでの系列に基づいてそれ
ぞれ生成される第１から第Ｎまでの送信信号が発生され
、上記第１から第Ｎまでの送信信号が、第ｋ番目の上記
出力端子からは、第ｋ、第（ｋ＋１）、第（ｋ＋２）、
・・・、第Ｎ、第１、第２、・・・、第（ｋ−１）、第
ｋ、・・・の順番にしたがって順次繰り返して発生され
る。 【００５３】また、上記複数個の出力端子に対してそれ
ぞれ設けられた複数個の送信手段によって、上記出力端
子からの上記送信信号により励振されて波動が対象物に
送信される。 【００５４】さらに、複数個の受信手段によって、上記
対象物からのエコーが受信される。 【００５５】さらにまた、上記複数個の受信手段のそれ
ぞれに対して設けられた複数個の相関手段によって、上
記第１から第Ｎまでの系列にそれぞれ基づいて生成され
る第１から第Ｎまでの参照信号が用いられて、それぞれ
、上記第１から第Ｎまでの送信信号に対応する第１から
第Ｎまでの上記エコーが相関処理される。 【００５６】そして、上記複数個の相関手段に対してそ
れぞれ設けられた複数個の加算手段によって、上記第１
から第Ｎまでのエコーに対応する上記相関手段の出力が
それぞれ加算される。 【００５７】 【実施例】これから、この発明の５つの実施例について
順次説明する。 【００５８】この発明の第１実施例の構成について図１
を参照しながら説明する。図１は、この発明の第１実施
例を示すブロック図であり、超音波探触子（１Ａ）及び
（１Ｂ）は、図３８で示した従来の検査装置のものと全
く同一である。 【００５９】図１において、この発明の第１実施例は、
上述した従来の検査装置のものと全く同一のものと、２
チャンネルの出力端子（５Ａ）及び（５Ｂ）を有する送
信信号発生器（５）と、この送信信号発生器（５）のチ
ャンネル１の出力端子（５Ａ）及び超音波探触子（１Ａ
）に接続された相関器（６Ａ）と、相関器（６Ａ）に接
続されたメモリ機能を含む加算器（８Ａ）と、送信信号
発生器（５）に入力側が接続されかつ相関器（６Ａ）に
出力側が接続された参照信号発生器（９Ａ）と、送信信
号発生器（５）のチャンネル２の出力端子（５Ｂ）及び
超音波探触子（１Ｂ）に接続された相関器（６Ｂ）と、
相関器（６Ｂ）に接続されたメモリ機能を含む加算器（
８Ｂ）と、送信信号発生器（５）に入力側が接続されか
つ相関器（６Ｂ）に出力側が接続された参照信号発生器
（９Ｂ）と、加算器（８Ａ）及び（８Ｂ）に接続された
表示器（７）とから構成されている。 【００６０】なお、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）
は、それぞれ、送信信号発生器（５）のチャンネル１の
出力端子（５Ａ）及びチャンネル２の出力端子（５Ｂ）
にも接続されている。 【００６１】また、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）
は、従来と同様に、試験体（２）の円周上に沿って配し
てある。 【００６２】つぎに、上述した第１実施例の動作につい
て、図２から図１３までを参照しながら説明する。 【００６３】図２はこの発明の第１実施例における第１
の単位信号を示す波形図、図３、図４、図５及び図６は
この発明の第１実施例における第１、第２、第３及び第
４の送信信号を示す波形図、図７及び図８はこの発明の
第１実施例における前記４つの送信信号の繰り返しを示
す波形図、図９はこの発明の第１実施例における第２の
単位信号を示す波形図、図１０、図１１、図１２及び図
１３はこの発明の第１実施例における第１、第２、第３
及び第４の参照信号を示す波形図である。 【００６４】送信信号発生器（５）は、第１の単位信号
を発生する。この第１の単位信号をｇｓ（ｔ）で表す。 ただし、ｔは時間である。また、送信信号発生器（５）
は、第１の系列｛ａ｝、第２の系列｛ｂ｝、第３の系列
｛ｃ｝及び第４の系列｛ｄ｝を発生する。 【００６５】さらに、送信信号発生器（５）は、第１の
系列｛ａ｝及び第１の単位信号ｇＳ（ｔ）により規定さ
れる第１の送信信号、第２の系列｛ｂ｝及び第１の単位
信号ｇｓ（ｔ）により規定される第２の送信信号、第３
の系列｛ｃ｝及び第１の単位信号ｇＳ（ｔ）により規定
される第３の送信信号、並びに、第４の系列｛ｄ｝及び
第１の単位信号ｇＳ（ｔ）により規定される第４の送信
信号を発生する。 【００６６】これら第１、第２、第３及び第４の送信信
号をそれぞれ、ｓａ（ｔ）、ｓｂ（ｔ）、ｓｃ（ｔ）及
びｓｄ（ｔ）で表す。 【００６７】第１の単位信号ｇｓ（ｔ）は、図２に示す
ように、矩形波形を有する信号である。図中、δｓ　は
固定時間である。 【００６８】第１の送信信号ｓａ（ｔ）は、図３に示す
ように、第１の系列｛ａ｝として長さｎが４である、｛
ａ｝＝｛ａ１，ａ２，ａ３，ａ４｝＝｛＋，＋，＋，−
｝を採用し、この系列と図２に示した第１の単位信号ｇ
ｓ（ｔ）　とから、次に述べる手順にしたがって発生し
た信号である。 【００６９】すなわち、第１の系列｛ａ｝の符号＋には
第１の単位信号ｇｓ（ｔ）を割り当て、符号−には第１
の単位信号ｇｓ（ｔ）に−１を掛けて得られる信号−ｇ
ｓ（ｔ）を割り当てて、第１の系列｛ａ｝の符号の現れ
る順序にしたがって、±ｇｓ（ｔ）が時間軸上に配列さ
れている。 【００７０】第１の系列｛ａ｝の符号（±）と、信号±
ｇｓ（ｔ）との間の関係をわかりやすくするため、図３
中、第１の系列｛ａ｝の符号（±）を合わせて記入して
ある。 【００７１】なお、図３中、δは固定時間である。 【００７２】固定時間δが固定時間δｓに等しい場合に
は、第１の送信信号は、振幅を符号化された波形を有す
る信号に等しい。 【００７３】第２の送信信号ｓｂ（ｔ）は、図４に示す
ように、第２の系列｛ｂ｝として、長さｎが４である、
｛ｂ｝＝｛ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４｝＝｛＋，＋，−，
＋｝を採用し、この系列と図２に示した第１の単位信号
ｇｓ（ｔ）とから、第１の送信信号の発生手順と同様の
手順にしたがって発生した信号である。 【００７４】第３の送信信号ｓｃ（ｔ）は、図５に示す
ように、第３の系列｛ｃ｝として、長さｎが４である、
｛ｃ｝＝｛ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４｝＝｛−，−，−，
＋｝を採用し、この系列と図２に示した第１の単位信号
ｇｓ（ｔ）とから、第１の送信信号の発生手順と同様の
手順にしたがって発生した信号である。 【００７５】第４の送信信号ｓｄ（ｔ）は、図６に示す
ように、第４の系列｛ｄ｝として、長さｎが４である、
｛ｄ｝＝｛ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４｝＝｛＋，＋，−，
＋｝を採用し、この系列と図２に示した第１の単位信号
ｇｓ（ｔ）とから、第１の送信信号の発生手順と同様の
手順にしたがって発生した信号である。 【００７６】図４、図５及び図６において、それぞれ、
第２の系列｛ｂ｝、第３の系列｛ｃ｝及び第４の系列｛
ｄ｝の符号（±）と、信号±ｇｓ（ｔ）との間の関係を
わかりやすくするため、それぞれの系列の符号を合わせ
て記入してある。 【００７７】なお、第３の系列｛ｃ｝は、第１の系列｛
ａ｝において、符号＋と符号−を反転させて得られる系
列に等しい。 【００７８】また、第４の系列｛ｄ｝は、第２の系列｛
ｂ｝に等しい。 【００７９】送信信号発生器（５）は、上記第１から第
４の４つの送信信号を、図７に示すように、第１、第２
、第３、第４、第１、・・・の順番にしたがって、ある
一定の送信繰り返し周期Ｔｒで順次繰り返して発生し、
出力端子（５Ａ）から超音波探触子（１Ａ）に伝達する
。 【００８０】また、送信信号発生器（５）は、上記第１
から第４の４つの送信信号を、図８に示すように、第２
、第３、第４、第１、第２、・・・の順番にしたがって
、ある一定の送信繰り返し周期Ｔｒで順次繰り返して発
生し、出力端子（５Ｂ）から超音波探触子（１Ｂ）に伝
達する。 【００８１】超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）は、上
記４つの送信信号により、それぞれ上述した順番にした
がって順次駆動されて、超音波パルスを試験体（２）内
へ送信する。 【００８２】そして、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ
）は、試験体（２）内の欠陥（３）などの反射体により
反射されたエコーを受信する。 【００８３】超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）により
受信されたエコーは、それぞれ、相関器（６Ａ）及び（
６Ｂ）に伝達される。 【００８４】一方、参照信号発生器（９Ａ）及び（９Ｂ
）は、それぞれ、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）に
より受信されたエコーの相関処理に用いられる第１、第
２、第３及び第４の参照信号を発生する。 【００８５】これら第１、第２、第３及び第４の参照信
号を、それぞれ、ｕａ（ｔ）、ｕｂ（ｔ）、ｕｃ（ｔ）
及びｕｄ（ｔ）で表す。 【００８６】参照信号発生器（９Ａ）は、上記４つの参
照信号を、第１、第２、第３、第４、第１、・・・の順
番にしたがって相関器（６Ａ）に伝達する。 【００８７】一方、参照信号発生器（９Ｂ）は、上記４
つの参照信号を、第２、第３、第４、第１、第２、・・
・の順番にしたがって相関器（６Ｂ）に伝達する。 【００８８】ここで、第１〜第４の参照信号は、第１〜
第４の系列と第２の単位信号により規定される信号であ
る。 【００８９】上記第２の単位信号は、図９に示すように
、矩形波形を有する信号である。図中、δｕ　は固定時
間である。第２の単位信号をｇｕ（ｔ）で表す。 【００９０】第１の参照信号ｕａ（ｔ）は、図１０に示
すように、第１の系列｛ａ｝と第２の単位信号ｇｕ（ｔ
）とから、第１の送信信号の発生手順と同様の手順にし
たがって発生した信号である。 【００９１】すなわち、第１の系列｛ａ｝の符号＋には
第２の単位信号ｇｕ（ｔ）を割り当て、符号−には第２
の単位信号ｇｕ（ｔ）に−１を掛けて得られる信号−ｇ
ｕ（ｔ）を割り当てて、第１の系列｛ａ｝の符号の現れ
る順序にしたがって、±ｇｕ（ｔ）が時間軸上に配列さ
れている。 【００９２】第１の系列｛ａ｝の符号（±）と、信号±
ｇｕ（ｔ）との間の関係をわかりやすくするため、図中
、第１の系列｛ａ｝の符号を合わせて記入してある。 【００９３】また、図中、固定時間δが固定時間δｕに
等しい場合には、第１の参照信号は、振幅を符号化され
た波形を有する信号に等しい。 【００９４】また、固定時間δｕが固定時間δｓに等し
い場合には、第１の参照信号は、第１の送信信号に等し
い。 【００９５】第２の参照信号ｕｂ（ｔ）は、図１１に示
すように、第２の系列｛ｂ｝と第２の単位信号ｇｕ（ｔ
）とから、第１の参照信号の発生手順と同様の手順にし
たがって発生した信号である。 【００９６】第３の参照信号ｕｃ（ｔ）は、図１２に示
すように、第３の系列｛ｃ｝と第２の単位信号ｇｕ（ｔ
）とから、第１の参照信号の発生手順と同様の手順にし
たがって発生した信号である。 【００９７】第４の参照信号ｕｄ（ｔ）は、図１３に示
すように、第４の系列｛ｄ｝と第２の単位信号ｇｕ（ｔ
）とから、第１の参照信号の発生手順と同様の手順にし
たがって発生した信号である。 【００９８】図１１、図１２及び図１３において、それ
ぞれ、第２の系列｛ｂ｝、第３の系列｛ｃ｝及び第４の
系列｛ｄ｝の符号（±）と、信号±ｇｕ（ｔ）との間の
関係をわかりやすくするため、これらの系列の符号を合
わせて記入してある。 【００９９】相関器（６Ａ）では、第１の送信信号ｓａ
（ｔ）を発生した送信機繰り返し周期で受信されたエコ
ーと第１の参照信号ｕａ（ｔ）との間で相関演算を実行
する。 【０１００】同様に、相関器（６Ａ）では、第２の送信
信号ｓｂ（ｔ）を発生した送信繰り返し周期で受信され
たエコーと第２の参照信号ｕｂ（ｔ）との間で、第３の
送信信号ｓｃ（ｔ）を発生した送信繰り返し周期で受信
されたエコーと第３の参照信号ｕｃ（ｔ）との間で、第
４の送信信号ｓｄ（ｔ）を発生した送信繰り返し周期で
受信されたエコーと第４の参照信号ｕｄ（ｔ）との間で
、それぞれ、相関演算を実行する。 【０１０１】超音波探触子（１Ａ）で受信されたエコー
の前記４つの相関演算結果は、加算器（８Ａ）に伝達さ
れ、記憶される。 【０１０２】加算器（８Ａ）では、前記４つの相関演算
結果を加算する。 【０１０３】この加算結果を、超音波探触子（１Ａ）で
受信されたエコーの合成圧縮パルスと呼ぶことにする。 【０１０４】この合成圧縮パルスは、加算器（８Ａ）か
ら表示器（７）に伝達され、従来と同様に表示される。 【０１０５】一方、相関器（６Ｂ）では、第２の送信信
号ｓｂ（ｔ）を発生した送信機繰り返し周期で受信され
たエコーと第２の参照信号ｕｂ（ｔ）との間で相関演算
を実行する。 【０１０６】同様に、相関器（６Ｂ）では、第３の送信
信号ｓｃ（ｔ）を発生した送信繰り返し周期で受信され
たエコーと第３の参照信号ｕｃ（ｔ）との間で、第４の
送信信号ｓｄ（ｔ）を発生した送信繰り返し周期で受信
されたエコーと第４の参照信号ｕｄ（ｔ）との間で、第
１の送信信号ｓａ（ｔ）を発生した送信繰り返し周期で
受信されたエコーと第１の参照信号ｕａ（ｔ）との間で
、それぞれ、相関演算を実行する。 【０１０７】超音波探触子（１Ｂ）で受信されたエコー
の前記４つの相関演算結果は、加算器（８Ｂ）に伝達さ
れ、記憶される。 【０１０８】加算器（８Ｂ）では、前記４つの相関演算
結果を加算する。 【０１０９】この加算結果を、超音波探触子（１Ｂ）で
受信されたエコーの合成圧縮パルスと呼ぶことにする。 【０１１０】この合成圧縮パルスは、加算器（８Ｂ）か
ら表示器（７）に伝達され、従来と同様に表示される。 【０１１１】次に、上述したこの発明の第１実施例の動
作原理および効果を説明する。 【０１１２】説明に際しては、次の順番で説明する。ま
ず、超音波探触子（１Ａ）のみから超音波を送信し、超
音波探触子（１Ａ）によりエコーを受信した場合につい
て説明する。次に、超音波探触子（１Ｂ）のみから超音
波を送信し、超音波探触子（１Ｂ）によりエコーを受信
した場合について説明する。次に、超音波探触子（１Ａ
）のみから超音波を送信し、超音波探触子（１Ｂ）によ
りエコーを受信した場合について説明する。次に、超音
波探触子（１Ｂ）のみから超音波を送信し、超音波探触
子（１Ａ）によりエコーを受信した場合について説明す
る。最後に、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）の両方
から超音波を送信し、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ
）によりエコーを受信した場合について説明する。 【０１１３】まず、超音波探触子（１Ａ）のみから超音
波を送信し、超音波探触子（１Ａ）によりエコーを受信
した場合について、図１４〜図１８を参照しながら考え
てみる。 【０１１４】図１４〜図１７は超音波探触子（１Ａ）で
受信されたエコーの圧縮パルスを示す波形図、図１８は
超音波探触子（１Ａ）で受信されたエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。 【０１１５】図３で示した第１の送信信号ｓａ（ｔ）は
、次の式で表される。 【０１１６】 　　　　ｓａ（ｔ）＝Σａｉｇｓ［ｔ−（ｉ−１）δ］
　　　　　　　　　　　　　　（和はｉについて１〜ｎ
までとる。）　　　　　　　　・・・式（１）【０１１
７】ここで、ａｉ（ｉ＝１，２，・・・，ｎ）の符号±
は±１（複合同順）と同一と見なして掛算している（以
下同様）。 【０１１８】第１の送信信号ｓａ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において、超
音波探触子（１Ａ）により受信したエコーをｒＡＡａ（
ｔ）で表すと、ｒＡＡａ（ｔ）は次の式で表わされる。 【０１１９】 　　　　ｒＡＡａ（ｔ）＝Ｃ０×∫ｓａ（ｔ１）ｈＡＡ
（ｔ−ｔ０−ｔ１）ｄｔ１　　　　　　　　　　　　　
　　　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　
　　　　　　　・・・式（２）【０１２０】ここで、Ｃ
０は定数を表す。 【０１２１】また、ｈＡＡ（ｔ）は、送信信号発生器（
５）のチャンネル１の出力端子（５Ａ）から、超音波探
触子（１Ａ）、試験体（２）の反射体、再び超音波探触
子（１Ａ）を経由して、相関器（６Ａ）の入力端に至る
までの信号伝搬経路における周波数応答特性の逆フーリ
エ変換を表す。すなわち、前記信号伝搬経路のインパル
ス応答を表す。 【０１２２】また、ｔ０は、第１の送信信号ｓａ（ｔ）
により超音波探触子（１Ａ）を駆動した時間からエコー
ｒＡＡａ（ｔ）が受信されるまでの時間である。 【０１２３】Ｃ０＝１としても説明上、一般性を失わな
いので、以下Ｃ０＝１として説明する。 【０１２４】第１の送信信号ｓａ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において受信
されたエコーは、相関器（６Ａ）において、第１の参照
信号ｕａ（ｔ）を用いて相関処理される。 【０１２５】図１０に示した第１の参照信号ｕａ（ｔ）
は、次の式で表される。 【０１２６】 　　　　ｕａ（ｔ）＝Σａｉｇｕ［ｔ−（ｉ−１）δ］
　　　　　　　　　　　　　　（和はｉについて１〜ｎ
までとる。）　　　　　　　　・・・式（３）【０１２
７】したがって、相関器（６Ａ）による相関演算結果（
以下、圧縮パルスＣＡＡａａ（ｔ）と呼ぶ。）は、次の
式で表わされる。 【０１２８】 　　　　ｒＡＡａａ（ｔ）＝∫ｕａ（ｔ２−ｔ）ｒＡＡ
ａ（ｔ２）ｄｔ２　　　　　　　　　　　　　　　　［
積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　　　　　
　　　・・・式（４）【０１２９】ところで、前記圧縮
パルスＣＡＡａａ（ｔ）は、第１の系列｛ａ｝の自己相
関関数を、ρａａ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２、・・
・、±（ｎ−１））で表わし、さらに、 　　　　ＡＡＡ（ｔ）＝∫∫ｇｓ（ｔ１）ｇｕ（ｔ２）
ｈＡＡ（ｔ＋ｔ２−ｔ１）ｄｔ１ｄｔ２　　　　　　　
　　　　　　　　　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　
　　　　　　　　　　　　　・・・式（５）　とおけば
、式（１）〜式（５）から次式に等しい。 【０１３０】 　　　　ＣＡＡａａ（ｔ）＝ρａａ（０）ＡＡＡ（ｔ−
ｔ０）＋　　　　　　　　　　　　Σρａａ（ｉ）［Ａ
ＡＡ（ｔ−ｔ０−ｉδ）＋ＡＡＡ（ｔ−ｔ０＋ｉδ）］
　　　　　　　　　　　　　　（和はｉについて１〜（
ｎ−１）までとる）　　・・・式（６）【０１３１】同
様に、図４に示した第２の送信信号ｓｂ（ｔ）は、式（
１）の右辺において、第１の系列の要素ａｉを、第２の
系列の要素ｂｉで置き変えた式で表せる。 【０１３２】ただし、時間原点は、第２の送信信号ｓｂ
（ｔ）により超音波探触子（１Ａ）を駆動した時間に取
り直している（以下、第３及び第４の送信信号について
も同様である。）。 【０１３３】第２の送信信号ｓｂ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において、超
音波探触子（１Ａ）により受信したエコーをｒＡＡｂ（
ｔ）で表すと、ｒＡＡｂ（ｔ）は、式（２）の右辺にお
いて、第１の送信信号ｓａ（ｔ）を、第２の送信信号ｓ
ｂ（ｔ）で置き換えた式で表せる。 【０１３４】第２の送信信号ｓｂ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において受信
されたエコーは、相関器（６Ａ）において、第２の参照
信号ｕｂ（ｔ）を用いて相関処理される。 【０１３５】図１１に示した第２の参照信号ｕｂ（ｔ）
は、式（３）の右辺において、第１の系列の要素ａｉを
、第２の系列の要素ｂｉで置き変えた式で表せる。 【０１３６】したがって、相関器（６Ａ）による相関演
算結果（以下、圧縮パルスＣＡＡｂｂ（ｔ）と呼ぶ。）
は、式（４）の右辺において、第１の参照信号ｕａ（ｔ
）を第２の参照信号ｕｂ（ｔ）で置き換えるとともに、
エコーｒＡＡａ（ｔ）を、エコーｒＡＡｂ（ｔ）で置き
換えた式で表せる。 【０１３７】したがって、第２の系列｛ｂ｝の自己相関
関数を、ρｂｂ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２、・・・
、±（ｎ−１））で表せば、前記圧縮パルスＣＡＡｂｂ
（ｔ）は、式（６）の右辺において、第１の系列｛ａ｝
の自己相関関数ρａａ（ｉ）を、第２の系列｛ｂ｝の自
己相関関数ρｂｂ（ｉ）で置き換えた式で表せる。 【０１３８】以下、同様に、第３及び第４の送信信号の
場合について考えてみる。 【０１３９】第３の送信信号ｓｃ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において、超
音波探触子（１Ａ）により受信したエコーｒＡＡｃ（ｔ
）で表す。 【０１４０】第３の送信信号ｓｃ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において受信
エコーは、相関器（６Ａ）において、第３の送信信号ｕ
ｃ（ｔ）を用いて相関処理される。 【０１４１】相関器（６Ａ）におけるこの相関演算結果
を、以下、圧縮パルスＣＡＡｃｃ（ｔ）と呼ぶ。この圧
縮パルスＣＡＡｃｃ（ｔ）は、第３の系列｛ｃ｝の自己
相関関数を、ρｃｃ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２、・
・・、±（ｎ−１））で表すと、式（６）の右辺におい
て、第１の系列｛ａ｝の自己相関関数ρａａ（ｉ）を、
第３の系列｛ｃ｝の自己相関関数ρｃｃ（ｉ）で置き換
えた式で表せる。 【０１４２】第４の送信信号ｓｄ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において、超
音波探触子（１Ａ）により受信したエコーｒＡＡｄ（ｔ
）で表す。 【０１４３】第４の送信信号ｓｄ（ｔ）により超音波探
触子（１Ａ）を駆動した送信繰り返し周期において受信
されたエコーは、相関器（６Ａ）において、第４の参照
信号ｕｄ（ｔ）を用いて相関処理される。 【０１４４】相関器（６Ａ）におけるこの相関演算結果
を、以下、圧縮パルスＣＡＡｄｄ（ｔ）と呼ぶ。この圧
縮パルスＣＡＡｄｄ（ｔ）は、第４の系列｛ｄ｝の自己
相関関数を、ρｄｄ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２、・
・・、±（ｎ−１））で表せば、式（６）の右辺におい
て、第１の系列｛ａ｝の自己相関関数ρａａ（ｉ）を、
第４の系列｛ｄ｝の自己相関関数ρｄｄ（ｉ）で置き換
えた式で表せる。 【０１４５】したがって、超音波探触子（１Ａ）で受信
されたエコーの前記４つの圧縮パルス（ＣＡＡａａ（ｔ
）、ＣＡＡｂｂ（ｔ）、ＣＡＡｃｃ（ｔ）及びＣＡＡｄ
ｄ（ｔ）の加算結果である合成圧縮パルスを、ＣＡＡ（
ｔ）で表せば、ＣＡＡ（ｔ）は次式に等しい。 【０１４６】 　　ＣＡＡ（ｔ）＝ＣＡＡａａ（ｔ）＋ＣＡＡｂｂ（ｔ
）＋ＣＡＡｃｃ（ｔ）＋ＣＡＡｄｄ（ｔ）　　　　　　
　　　＝［ρａａ（０）＋ρｂｂ（０）＋ρｃｃ（０）
＋ρｄｄ（０）］ＡＡＡ（ｔ−ｔ０）　　　　　　　　
　　　＋Σ［ρａａ（ｉ）＋ρｂｂ（ｉ）＋ρｃｃ（ｉ
）＋ρｄｄ（ｉ）］×　　　　　　　　　　　　　　　
［ＡＡＡ（ｔ−ｔ０−ｉδ）＋ＡＡＡ（ｔ−ｔ０＋ｉδ
）］　　　　　　　　　　　　　　（和はｉについて１
〜（ｎ−１）までとる）　　　　・・・・式（７）【０
１４７】図１４は、式（６）から計算により求めた圧縮
パルスＣＡＡａａ（ｔ）を示す。 【０１４８】図１５、図１６及び図１７は、それぞれ、
同様の計算に求めた圧縮パルスＣＡＡｂｂ（ｔ）、ＣＡ
Ａｃｃ（ｔ）及びＣＡＡｄｄ（ｔ）である。 【０１４９】これらの計算において、第１〜第４の送信
信号として、図３〜図６に示したものを用い、第１〜第
４の参照信号として、図１０〜図１３に示したものを用
いた。 【０１５０】また、ｈＡＡ（ｔ）はデルタ関数とした。 また、δｓ＝δｕ＝δ／２とした。 【０１５１】また、第１〜第４の系列の自己相関関数に
おいて、ρａａ（０）＝４、ρａａ（１）＝１、ρａａ
（２）＝０、ρａａ（３）＝−１、ρｂｂ（０）＝４、
ρｂｂ（１）＝−１、ρｂｂ（２）＝０、ρｂｂ（３）
＝１、ρｃｃ（０）＝４、ρｃｃ（１）＝１、ρｃｃ（
２）＝０、ρｃｃ（３）＝−１、ρｄｄ（０）＝４、ρ
ｄｄ（１）＝−１、ρｄｄ（２）＝０、ρｄｄ（３）＝
１であることを用いた。 【０１５２】図１４〜図１７において、４つの圧縮パル
スとも、信号のエネルギーの大半は、ｔ＝ｔ０近傍に集
中しているが、ｔ≠ｔ０における振幅（レンジサイドロ
ーブレベル）が高い。 【０１５３】しかし、図１８に示すように、前記４つの
圧縮パルスを加算して得られた合成圧縮パルスＣＡＡ（
ｔ）では、主ローブは強めあい、レンジサイドローブは
相殺されて、主ローブのみ残り、レンジサイドローブレ
ベルは零になっている。 【０１５４】このレンジサイドローブの相殺効果は、δ
ｓ＝δｕ＝δ／２の関係が成り立たない場合でも生じる
。 つまり、この相殺効果は、δｓ及びδｕがともに零以上
の任意の値の場合についても生じる。無論、δｓ≠δｕ
であってもよい。 【０１５５】なお、δｓあるいはδｕが零の場合は、ｇ
ｓ（ｔ）あるいはｇｕ（ｔ）がデルタ関数の場合に相当
する。 【０１５６】すなわち、この発明の第１実施例において
は、超音波探触子（１Ａ）のみから超音波を送信し、超
音波探触子（１Ａ）によりエコーを受信した場合、ｔ＝
ｔ０近傍にのみ大きな振幅（主ローブ）を有し、ｔ≠ｔ
０における振幅（レンジサイドローブレベル）が零の合
成圧縮パルスが得られる作用、効果があることがわかっ
た。 【０１５７】また、パルス圧縮の手法を用いたこの発明
に関わる第１実施例では、この発明と関連する特願平１
−２０３９０９号からわかるように、従来装置に比べ、
信号対雑音比を改善できる効果が期待できる。 【０１５８】なお、上記第１実施例で用いた第１及び第
２の系列において、ρａａ（０）＝ρｂｂ（０）、ρａ
ａ（ｉ）＝−ρｂｂ（ｉ）、（ｉ＝±１、±２…、±（
ｎ−１））が成り立つ。つまり、第１及び第２の系列は
相補系列である。言い換えれば、第１及び第２の系列は
相補関係にある。 【０１５９】また、第３及び第４の系列においても、ρ
ｃｃ（０）＝ρｄｄ（０）、ρｃｃ（ｉ）＝−ρｄｄ（
ｉ）、（ｉ＝±１、±２…、±（ｎ−１））が成り立つ
。つまり、第３及び第４の系列は相補関係にある。 【０１６０】さらに、第１及び第３の系列において、ρ
ａａ（ｉ）＝ρｃｃ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、・・・、
±（ｎ−１））が成り立つ。つまり、第１の系列の自己
相関関数と第３の系列の自己相関関数は等しい。これは
、前述したように、第３の系列｛ｃ｝が、第１の系列に
おいて、符号＋と符号−を反転させて得られる系列に等
しいことによる。 【０１６１】また、第２及び第４の系列において、ρｂ
ｂ（ｉ）＝ρｄｄ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、・・・、±
（ｎ−１））が成り立つ。つまり、第２の系列の自己相
関関数と第４の自己相関関数し等しい。　　これは、前
述したように、第４の系列｛ｄ｝が、第２の系列｛ｂ｝
に等しいことによる。 【０１６２】以上より、次に示す関係、　　　　ρａａ
（０）＋ρｂｂ（０）＋ρｃｃ（０）＋ρｄｄ（０）＝
４ρａａ（０）、　　　　ρａａ（ｉ）＋ρｂｂ（ｉ）
＋ρｃｃ（ｉ）＋ρｄｄ（ｉ）＝０、　　　　　　（ｉ
＝±１、±２、…、±（ｎ−１））　　　　　　　　　
　　　　　・・・・式（８）　が成り立つ。 【０１６３】式（８）に示した関係が成り立つ場合には
、式（７）の右辺におけるＡＡＡ（ｔ）がいかなる波形
であっても、すなわち、ＡＡＡ（ｔ）を規定する式（５
）の右辺における第１の単位信号ｇｓ（ｔ）、第２の単
位信号ｇｕ（ｔ）及びインパルス応答ｈＡＡ（ｔ）が、
いかなる波形であっても、式（７）の右辺において、第
２項は相殺されて零となる。 【０１６４】したがって、 　　　　ＣＡＡ（ｔ）＝４ρａａ（０）ＡＡＡ（ｔ−ｔ
０）　　　　　　　　　　　　・・・・式（９）が成立
する。 【０１６５】したがって、レンジサイドローブレベルが
零の合成圧縮パルスが得られる作用、効果がある。 【０１６６】次に、超音波探触子（１Ｂ）のみから超音
波を送信し、超音波探触子（１Ｂ）によりエコーを受信
した場合について、図１９〜図２３を参照しながら考え
てみる。 【０１６７】図１９〜図２２は超音波探触子（１Ｂ）で
受信されたエコーの圧縮パルスを示す波形図、図２３は
超音波探触子（１Ｂ）で受信されたエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。 【０１６８】第２の送信信号ｓｂ（ｔ）で超音波探触子
（１Ｂ）を駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ｂ）により受信したエコーをｒＢＢｂ（ｔ）
で表す。ｒＢＢｂ（ｔ）は、次の式で表わされる。 【０１６９】 　　　　ｒＢＢｂ（ｔ）＝Ｃ１×∫ｓｂ（ｔ１）ｈＢＢ
（ｔ−ｔ０−ｔ１）ｄｔ１　　　　　　　　　　　　　
　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　　　
　　　　　・・・・式（１０）【０１７０】ここで、Ｃ
１は定数を表す。 【０１７１】また、ｈＢＢ（ｔ）は、送信信号発生器（
５）のチャンネル２の出力端子（５Ｂ）から、超音波探
触子（１Ｂ）、試験体（２）の反射体、再び超音波探触
子（１Ｂ）を経由して、相関器（６Ｂ）の入力端に至る
までの信号伝搬経路における周波数応答特性の逆フーリ
エ変換を表す。すなわち、前記信号伝搬経路のインパル
ス応答を表す。 【０１７２】また、ｔ０は、第２の送信信号ｓｂ（ｔ）
で超音波探触子（１Ｂ）を駆動した時間からエコーｒＢ
Ｂｂ（ｔ）が受信されるまでの時間である。 【０１７３】Ｃ１＝１としても説明上、一般性を失わな
いので、以下Ｃ１＝１として説明する。 【０１７４】第２の送信信号ｓｂ（ｔ）で超音波探触子
（１Ｂ）を駆動した送信繰り返し周期において受信され
たエコーは、相関器（６Ｂ）において、第２の参照信号
ｕｂ（ｔ）を用いて相関処理される。 【０１７５】したがって、相関器（６Ｂ）の相関演算結
果（以下、圧縮パルスＣＢＢｂｂ（ｔ）と呼ぶ。）は次
の式で表わされる。 【０１７６】 　　　　ＣＢＢｂｂ（ｔ）＝∫ｕｂ（ｔ２−ｔ）ｒＢＢ
ｂ（ｔ２）ｄｔ２　　　　　　　　　　　　　　［積分
範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　　　　　　　
　・・・・式（１１）【０１７７】したがって、この圧
縮パルスＣＢＢｂｂ（ｔ）は、 　　ＡＢＢ（ｔ）＝∫∫ｇｓ（ｔ１）ｇｕ（ｔ２）ｈＢ
Ｂ（ｔ＋ｔ２−ｔ１）ｄｔ１ｄｔ２　　　　　　　　　
　　　　　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　
　　　　　　　　　・・・・式（１２）とおけば、式（
１０）〜式（１２）から次式に等しい。 【０１７８】 　　ＣＢＢｂｂ（ｔ）＝ρｂｂ（０）ＡＢＢ（ｔ−ｔ０
）＋　　　　　　　　　　　Σρｂｂ（ｉ）［ＡＢＢ（
ｔ−ｔ０−ｉδ）＋ＡＢＢ（ｔ−ｔ０＋ｉδ）］　　　
　　　　　　　　　　　（和はｉについて１〜（ｎ−１
）までとる）　　・・・・式（１３）【０１７９】以下
、同様に、第３の送信信号ｓｃ（ｔ）、第４の送信信号
ｓｄ（ｔ）、第１の送信信号ｓａ（ｔ）により、それぞ
れ、超音波探触子（１Ｂ）を駆動した送信繰り返し周期
において、相関器（６Ｂ）の相関演算結果について同様
に求めてみる。 【０１８０】ただし、時間原点は、それぞれの送信信号
により超音波探触子（１Ｂ）を駆動した時間に取り直す
。 【０１８１】第３の送信信号ｓｃ（ｔ）により超音波探
触子（１Ｂ）を駆動した送信繰り返し周期において、超
音波探触子（１Ｂ）により受信したエコーをｒＢＢｃ（
ｔ）で表す。 【０１８２】このエコーｒＢＢｃ（ｔ）は、相関器（６
Ｂ）において、第３の参照信号ｕｃ（ｔ）を用いて相関
処理される。 【０１８３】相関器（６Ｂ）におけるこの相関演算結果
を、以下、圧縮パルスＣＢＢｃｃ（ｔ）と呼ぶ。この圧
縮パルスＣＢＢｃｃ（ｔ）は、式（１３）の右辺におい
て、第２の系列｛ｂ｝の自己相関関数をρｂｂ（ｉ）を
、第３の系列｛ｃ｝の自己相関関数ρｃｃ（ｉ）で置き
換えた式で表せる。 【０１８４】第４の送信信号ｓｄ（ｔ）により超音波探
触子（１Ｂ）を駆動した送信繰り返し周期において、超
音波探触子（１Ｂ）により受信したエコーをｒＢＢｄ（
ｔ）で表す。 【０１８５】このエコーｒＢＢｄ（ｔ）は、相関器（６
Ｂ）において、第４の参照信号ｕｄ（ｔ）を用いて相関
処理される。 【０１８６】相関器（６Ｂ）におけるこの相関演算結果
を、以下、圧縮パルスＣＢＢｄｄ（ｔ）と呼ぶ。この圧
縮パルスＣＢＢｄｄ（ｔ）は、式（１３）の右辺におい
て、第２の系列｛ｂ｝の自己相関関数ρｂｂ（ｉ）を、
第４の系列｛ｄ｝の自己相関関数ρｄｄ（ｉ）で置き換
えた式で表せる。 【０１８７】第１の送信信号ｓａ（ｔ）により超音波探
触子（１Ｂ）を駆動した送信繰り返し周期において、超
音波探触子（１Ｂ）により受信したエコーをｒＢＢａ（
ｔ）で表す。 【０１８８】このエコーｒＢＢａ（ｔ）は、相関器（６
Ｂ）において、第１の参照信号ｕａ（ｔ）を用いて相関
処理される。 【０１８９】相関器（６Ｂ）におけるこの相関演算結果
を、以下、圧縮パルスＣＢＢａａ（ｔ）と呼ぶ。この圧
縮パルスＣＢＢａａ（ｔ）は、式（１３）の右辺におい
て、第２の系列｛ｂ｝の自己相関関数ρｂｂ（ｉ）を、
第１の系列｛ａ｝の自己相関関数ρａａ（ｉ）で置き換
えた式で表せる。 【０１９０】したがって、超音波探触子（１Ｂ）で受信
されたエコーの前記４つの圧縮パルス（ＣＢＢｂｂ（ｔ
）、ＣＢＢｃｃ（ｔ）、ＣＢＢｄｄ（ｔ）及びＣＢＢａ
ａ（ｔ）の加算結果である合成圧縮パルスを、ＣＢＢ（
ｔ）で表せば、ＣＢＢ（ｔ）は次式に等しい。 【０１９１】 　　ＣＢＢ（ｔ）＝ＣＢＢｂｂ（ｔ）＋ＣＢＢｃｃ（ｔ
）＋ＣＢＢｄｄ（ｔ）＋ＣＢＢａａ（ｔ）　　　　　　
　　　＝［ρｂｂ（０）＋ρｃｃ（０）＋ρｄｄ（０）
＋ρａａ（０）］ＡＢＢ（ｔ−ｔ０）　　　　　　　　
　　　＋Σ［ρｂｂ（ｉ）＋ρｃｃ（ｉ）＋ρｄｄ（ｉ
）＋ρａａ（ｉ）］×　　　　　　　　　　　　　　　
［ＡＢＢ（ｔ−ｔ０−ｉδ）＋ＡＢＢ（ｔ−ｔ０＋ｉδ
）］　　　　　　　　　　　　　　（和はｉについて１
〜（ｎ−１）までとる）　　・・・・式（１４）【０１
９２】図１９は、式（１３）から計算により求める圧縮
パルスＣＢＢｂｂ（ｔ）を示す。 【０１９３】図２０、図２１及び図２２は、それぞれ、
同様の計算により求めた圧縮パルスＣＢＢｃｃ（ｔ）、
ＣＢＢｄｄ（ｔ）及びＣＢＢａａ（ｔ）である。 【０１９４】これらの計算において、第１〜第４の送信
信号は、それぞれ、図３〜図６に示したものを用い、第
１〜第４の参照信号は、それぞれ、図１０〜図１３に示
したものを用いた。 【０１９５】また、ｈＢＢ（ｔ）はデルタ関数とした。 また、δｓ＝δｕ＝δ／２とした。 【０１９６】図１９〜図２２において、４つの圧縮パル
スとも、信号のエネルギーの大半は、ｔ＝ｔ０近傍に集
中しているが、ｔ≠ｔ０における振幅（レンジサイドロ
ーブレベル）が高い。 【０１９７】しかし、図２３に示すように、前記４つの
圧縮パルスを加算して得られた合成圧縮パルスＣＢＢ（
ｔ）では、主ローブは強めあい、レンジサイドローブは
相殺されて、主ローブのみ残り、レンジサイドローブレ
ベルは零になっている。 【０１９８】なお、このレンジサイドローブの相殺効果
は、図１８の場合と同様に、δｓ＝δｕ＝δ／２の関係
が成り立たない場合でも生じる。つまり、この相殺効果
は、δｓ及びδｕがともに零以上の任意の値の場合につ
いても生じる。 【０１９９】すなわち、この発明の第１実施例において
は、超音波探触子（１Ｂ）のみから超音波を送信し、超
音波探触子（１Ｂ）によりエコーを受信した場合、ｔ＝
ｔ０近傍にのみ大きな振幅（主ローブ）を有し、ｔ≠ｔ
０における振幅（レンジサイドローブレベル）が零の合
成圧縮パルスが得られる作用、効果があることがわかっ
た。 【０２００】また、上述のように、パルス圧縮の手法を
用いたこの発明に関わる第１実施例では、超音波探触子
（１Ｂ）により受信され相関処理された結果においても
、この発明と関連する特願平１−２０３９０９号からわ
かるように、従来装置に比べ、信号対雑音比を改善でき
る効果が期待できる。 【０２０１】なお、上記第１実施例で用いた第１〜第４
の系列において、式（８）が成り立つ。 【０２０２】したがって、式（１４）の右辺におけるＡ
ＢＢ（ｔ）がいかなる波形であっても、すなわち、ＡＢ
Ｂ（ｔ）を規定する式（１２）の右辺における第１の単
位信号ｇｓ（ｔ）、第２の単位信号ｇｕ（ｔ）及びイン
パルス応答ｈＢＢ（ｔ）が、いかなる波形であっても、
式（１４）の右辺において、第２項は相殺されて零とな
る。 【０２０３】したがって、 　　　　　　ＣＢＢ（ｔ）＝４ρａａ（０）ＡＢＢ（ｔ
−ｔ０）　　　　　　　　・・・・式（１５）が成立す
る。 【０２０４】したがって、レンジサイドローブレベルが
零の合成圧縮パルスが得られる作用、効果がある。 【０２０５】次に、超音波探触子（１Ａ）のみから超音
波を送信し、超音波探触子（１Ｂ）によりエコーを受信
した場合について、図２４〜図２８を参照しながら考え
てみる。 【０２０６】これらのエコーは、検査の邪魔となる妨害
エコーである。 【０２０７】図２４〜図２７は超音波探触子（１Ｂ）で
受信されたエコーの圧縮パルスを示す波形図、図２８は
超音波探触子（１Ｂ）で受信されたエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。 【０２０８】超音波探触子（１Ａ）を第１の送信信号ｓ
ａ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ｂ）により受信したエコーをｒＡＢａ（ｔ）
で表す。このエコーｒＡＢａ（ｔ）は、次の式で表わさ
れる。 【０２０９】 　　　　ｒＡＢａ（ｔ）＝Ｃ２×∫ｓａ（ｔ１）ｈＡＢ
（ｔ−ｔ０−ｔ１）ｄｔ１　　　　　　　　　　　　　
　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　　　
　　　　　・・・・式（１６）【０２１０】ここで、Ｃ
２　は定数を表す。 【０２１１】また、ｈＡＢ（ｔ）は、送信信号発生器（
５）のチャンネル１の出力端子（５Ａ）から、超音波探
触子（１Ａ）、試験体（２）の反射体、超音波探触子（
１Ｂ）を経由して、相関器（６Ｂ）の入力端に至るまで
の信号伝搬経路における周波数応答特性の逆フーリエ変
換を表す。すなわち、前記信号伝搬経路のインパルス応
答を表す。 【０２１２】また、ｔ０は、第１の送信信号ｓａ（ｔ）
を発生した時間からエコーｒＡＢａ（ｔ）が受信される
までの時間である。 【０２１３】Ｃ２＝１としても説明上、一般性を失わな
いので、以下Ｃ２＝１として説明する。 【０２１４】前記エコーｒＡＢａ（ｔ）が受信される送
信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ｂ）を第２の送信
信号ｓｂ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期に相当する
。したがって、このエコーｒＡＢａ（ｔ）は、相関器（
６Ｂ）において、第２の参照信号ｕｂ（ｔ）を用いて相
関処理される。 【０２１５】したがって、このエコーｒＡＢａ（ｔ）に
関する相関器（６Ｂ）の相関演算結果（以下、圧縮パル
スＣＡＢａｂ（ｔ）と呼ぶ。）は、次の式で表わされる
。 【０２１６】 　　　　ＣＡＢａｂ（ｔ）＝∫ｕｂ（ｔ２−ｔ）ｒＡＢ
ａ（ｔ２）ｄｔ２　　　　　　　　　　　　　　［積分
範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　　　　　　　
　・・・・式（１７）【０２１７】ところで、この圧縮
パルスＣＡＢａｂ（ｔ）は、第１の系列｛ａ｝と第２の
系列の相互相関関数を、ρａｂ（ｉ）、（ｉ＝０、±１
、±２、・・・、±（ｎ−１））で表わし、さらに、 　　　　ＡＡＢ（ｔ）＝∫∫ｇｓ（ｔ１）ｇｕ（ｔ２）
ｈＡＢ（ｔ＋ｔ２−ｔ１）ｄｔ１ｄｔ２　　　　　　　
　　　　　　　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　
　　　　　　　　　　　・・・・式（１８）とおけば、
式（１６）〜式（１８）から次式に等しい。 【０２１８】 　　　　ＣＡＢａｂ（ｔ）＝Σρａｂ（ｉ）［ＡＡＢ（
ｔ−ｔ０＋ｉδ）］　　　　　　　　（和はｉについて
−（ｎ−１）〜（ｎ−１）までとる）・・・式（１９）
　　【０２１９】同様に、超音波探触子（１Ａ）を第２
の送信信号ｓｂ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期にお
いて、超音波探触子（１Ｂ）により受信されたエコーを
ｒＡＢｂ（ｔ）で表すと、このｒＡＢｂ（ｔ）は、式（
１６）の右辺において、第１の送信信号ｓａ（ｔ）を第
２の送信信号ｓｂ（ｔ）で置き換えた式で表わされる。 【０２２０】ただし、時間原点は、第２の送信信号ｓｂ
（ｔ）により超音波探触子（１Ａ）を駆動した時間に取
り直している（以下、第３及び第４の送信信号について
も同様である。）。 【０２２１】一方、前記エコーｒＡＢｂ（ｔ）が受信さ
れる送信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ｂ）を第３
の送信信号ｓｃ（ｔ）で駆動する送信繰り返し周期に相
当する。 【０２２２】したがって、前記エコーｒＡＢｂ（ｔ）は
、相関器（６Ｂ）において、第３の参照信号ｕｃ（ｔ）
を用いて相関処理される。 【０２２３】したがって、前記エコーｒＡＢｂ（ｔ）に
関する相関器（６Ｂ）の相関演算結果（以下、圧縮パル
スＣＡＢｂｃ（ｔ）と呼ぶ。）は、式（１７）の右辺に
おいて、エコーｒＡＢａ（ｔ）をエコーｒＡＢｂ（ｔ）
で置き換えるとともに、第２の参照信号ｕｂ（ｔ）を第
３の参照信号ｕｃ（ｔ）で置き換えた式で表わされる。 【０２２４】したがって、この圧縮パルスＣＡＢｂｃ（
ｔ）は、第２の系列｛ｂ｝と第３の系列｛ｃ｝の相互相
関関数を、ρｂｃ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２、・・
・、±（ｎ−１）で表わすと式（１９）の右辺において
、ρａｂ（ｉ）をρｂｃ（ｉ）で置き換え式で表せる。 【０２２５】以下、同様にして、超音波探触子（１Ａ）
を第３の送信信号ｓｃ（ｔ）、及び第４の送信信号ｓｄ
（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、それぞれ
、超音波探触子（１Ｂ）により受信されたエコーについ
て、相関器（６Ｂ）の相関演算結果を求めてみる。 【０２２６】超音波探触子（１Ａ）を第３の送信信号ｓ
ｃ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ｂ）により受信されたエコーｒＡＢｃ（ｔ）
で表す。 【０２２７】このエコーｒＡＢｃ（ｔ）が受信される送
信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ｂ）を第４の送信
信号ｓｄ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期に相当する
。したがって、前記エコーｒＡＢｃ（ｔ）は、相関器（
６Ｂ）において、第４の参照信号ｕｄ（ｔ）を用いて相
関処理される。 【０２２８】したがって、前記エコーｒＡＢｃ（ｔ）に
関する相関器（６Ｂ）の相関演算結果を、以下、圧縮パ
ルスＣＡＢｃｄ（ｔ）と呼べば、この圧縮パルスＣＡＢ
ｃｄ（ｔ）は、第３の系列｛ｃ｝と第４の系列｛ｄ｝の
相互相関関数を、ρｃｄ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２
、・・・、±（ｎ−１））で表わすと、式（１９）の右
辺において、ρａｂ（ｉ）をρｃｄ（ｉ）で置き換えた
式で表せる。 【０２２９】超音波探触子（１Ａ）を第４の送信信号ｓ
ｄ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ｂ）により受信されたエコーｒＡＢｄ（ｔ）
で表す。 【０２３０】このエコーｒＡＢｄ（ｔ）が受信される送
信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ｂ）を第１の送信
信号ｓａ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期に相当する
。したがって、前記エコーｒＡＢｄ（ｔ）は、相関器（
６Ｂ）において、第１の参照信号ｕａ（ｔ）を用いて相
関処理される。 【０２３１】したがって、前記エコーｒＡＢｄ（ｔ）に
関する相関器（６Ｂ）の相関演算結果を、以下、圧縮パ
ルスＣＡＢｄａ（ｔ）と呼べば、この圧縮パルスＣＡＢ
ｄａ（ｔ）は、第４の系列｛ｄ｝と第１の系列｛ａ｝の
相互相関関数を、ρｄａ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２
、・・・、±（ｎ−１）で表わすと、式（１９）の右辺
において、ρａｂ（ｉ）をρｄａ（ｉ）で置き換えた式
で表せる。 【０２３２】したがって、超音波探触子（１Ｂ）で受信
された前記４つのエコーに関する前記４つの圧縮パルス
（ＣＡＢａｂ（ｔ）、ＣＡＢｂｃ（ｔ）、ＣＡＢｃｄ（
ｔ）及びＣＡＢｄａ（ｔ）の加算結果である合成圧縮パ
ルス、ＣＡＢ（ｔ）で表せば、ＣＡＢ（ｔ）は、次式に
等しい。 【０２３３】 　　　　ＣＡＢ（ｔ）＝ＣＡＢａｂ（ｔ）＋ＣＡＢｂｃ
（ｔ）＋ＣＡＢｃｄ（ｔ）＋ＣＡＢｄａ（ｔ）　　　　
　　　　　　　＝Σ［ρａｂ（ｉ）＋ρｂｃ（ｉ）＋ρ
ｃｄ（ｉ）＋ρｄａ（ｉ）］×　　　　　　　　　　　
　　　　ＡＡＢ［ｔ−ｔ０＋ｉδ）］　　　　（和はｉ
について−（ｎ−１）〜（ｎ−１）までとる）　　・・
・・式（２０）【０２３４】図２４は、式（１９）から
求めた圧縮パルスＣＡＢａｂ（ｔ）である。 【０２３５】図２５、図２６及び図２７は、それぞれ、
同様の計算により求めた圧縮パルスＣＡＢｂｃ（ｔ）、
ＣＡＢｃｄ（ｔ）、及びＣＡＢｄａ（ｔ）である。 【０２３６】これらの計算において、第１〜第４の送信
信号として、図３〜図６に示したものを用い、第１〜第
４の参照信号として、図１０〜図１３に示したものを用
いた。 【０２３７】また、ｈＡＢ（ｔ）はデルタ関数とした。 【０２３８】また、δｓ＝δｕ＝δ／２とした。 【０２３９】また、第１の系列と第２の系列の相互相関
器関数、第２の系列と第３の系列の相互相関器関数、第
３の系列と第４の系列の相互相関器関数、及び第４の系
列と第１の系列の相互相関器関数において、次の関係を
用いた。 【０２４０】ρａｂ（−３）＝１、ρａｂ（−２）＝０
、ρａｂ（−１）＝１、ρａｂ（０）＝０、ρａｂ（１
）＝３、ρａｂ（２）＝０、ρａｂ（３）＝−１ ρｂｃ（−３）＝１、ρｂｃ（−２）＝０、ρｂｃ（−
１）＝−３、ρｂｃ（０）＝０、ρｂｃ（１）＝−１、
ρｂｃ（２）＝０、ρｂｃ（３）＝−１ ρｃｄ（−３）＝−１、ρｃｄ（−２）＝０、ρｃｄ（
−１）＝−１、ρｃｄ（０）＝０、ρｃｄ（１）＝−３
、ρｃｄ（２）＝０、ρｃｄ（３）＝１ ρｄａ（−３）＝−１、ρｄａ（−２）＝０、ρｄａ（
−１）＝３、ρｄａ（０）＝０、ρｄａ（１）＝１、ρ
ｄａ（２）＝０、ρｄａ（３）＝１ 【０２４１】図２４〜図２７において、圧縮パルスＣＡ
Ｂａｂ（ｔ）、ＣＡＢｂｃ（ｔ）、ＣＡＢｃｄ（ｔ）及
びＣＡＢｄａ（ｔ）では、信号の振幅は零にはなってい
ない。すなわち、超音波探触子（１Ａ）から送信され、
超音波探触子（１Ｂ）で受信された妨害エコーの影響が
残っている。 【０２４２】しかし、最終結果として、表示器（７）に
表示されるのは、これら４つのエコーに関する相関演算
結果の加算結果であるＣＡＢ（ｔ）である。 【０２４３】図２８において、前記加算結果であるＣＡ
Ｂ（ｔ）では、前記４つの圧縮パルスＣＡＢａｂ（ｔ）
、ＣＡＢｂｃ（ｔ）、ＣＡＢｃｄ（ｔ）及びＣＡＢｄａ
（ｔ）において残っていた振幅は相殺されて、信号振幅
が完全に零になっている。 【０２４４】なお、この相殺効果は、δｓ＝δｕ＝δ／
２の関係が成り立たない場合でも生じる。つまり、この
相殺効果は、δｓ及びδｕがともに零以上の任意の値の
場合についても生じる。無論、δｓ≠δｕであってもよ
い。 【０２４５】すなわち、この発明の第１実施例において
は、超音波探触子（１Ａ）から送信され、超音波探触子
（１Ｂ）で受信された妨害エコーの影響は、検査結果に
全く影響を及ぼさない作用、効果があることがわかった
。 【０２４６】なお、上記第１実施例で用いた第１から第
４の系列において、ρｂｃ（ｉ）＝−ρｂａ（ｉ）、（
ｉ＝０、±１、…、±（ｎ−１））が成り立つ。これは
、前記したように、第３の系列｛ｃ｝が、第１の系列｛
ａ｝において、符号＋と符号−を反転させて得られる系
列に等しいことによる。ところで、ρｂａ（ｉ）につい
ては後で説明するが、第２の系列｛ｂ｝と第１の系列｛
ａ｝の相互相関関数である。 【０２４７】また、ρｃｄ（ｉ）＝−ρａｂ（ｉ）、（
ｉ＝０、±１、…、±（ｎ−１））が成り立つ。これは
、前記したように、第３の系列｛ｃ｝が、第１の系列｛
ａ｝において、符号＋と符号−を反転させて得られる系
列に等しいこと、及び第４の系列｛ｄ｝が、第２の系列
｛ｂ｝に等しいことによる。 【０２４８】また、ρｄａ（ｉ）＝ρｂａ（ｉ）、（ｉ
＝０、±１、・・・、±（ｎ−１））が成り立つ。これ
は、前記したように、第４の系列｛ｄ｝が、第２の系列
｛ｂ｝に等しいことによる。 【０２４９】したがって、ｉの値に依存せず常に、次の
示す関係、 　　　　ρａｂ（ｉ）＋ρｂｃ（ｉ）＋ρｃｄ（ｉ）＋
ρｄａ（ｉ）＝０　　　　・・・式（２１）が成り立つ
。 【０２５０】式（２１）に示す関係が成り立つ場合には
、式（２０）の右辺におけるＡＡＢ（ｔ）がいかなる波
形であっても、すなわち、ＡＡＢ（ｔ）を規定する式（
１８）の右辺における第１の単位信号ｇｓ（ｔ）、第２
の単位信号ｇｕ（ｔ）及びインパルス応答ｈＡＢ（ｔ）
が、いかなる波形であっても、次式が成り立つ。 【０２５１】 　　　　　　ＣＡＢ（ｔ）＝０　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・式（２２）
【０２５２】したがって、妨害エコーの影響は完全に相
殺されて、妨害エコーは、検査結果に全く影響を及ぼさ
ない作用、効果がある。 【０２５３】次に、超音波探触子（１Ｂ）のみから超音
波を送信し、超音波探触子（１Ａ）によりエコーを受信
した場合について、図２９〜図３３を参照しながら考え
てみる。 【０２５４】これらのエコーも、全て妨害エコーであり
、検査の邪魔になるものである。 【０２５５】図２９〜図３２は超音波探触子（１Ａ）で
受信されたエコーの圧縮パルスを示す波形図、図３３は
超音波探触子（１Ａ）で受信されたエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。 【０２５６】超音波探触子（１Ｂ）を第２の送信信号ｓ
ｂ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ａ）により受信したエコーをｒＢＡｂ（ｔ）
で表す。このエコーｒＢＡｂ（ｔ）は、次の式で表わさ
れる。 【０２５７】 　　　　ｒＢＡｂ（ｔ）＝Ｃ３×∫ｓｂ（ｔ１）ｈＢＡ
（ｔ−ｔ０−ｔ１）ｄｔ１　　　　　　　　　　　　　
　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　　　
　　　　　・・・・式（２３）【０２５８】ここで、Ｃ
３は定数を表す。 【０２５９】また、ｈＢＡ（ｔ）は、送信信号発生器（
５）のチャンネル２の出力端子（５Ｂ）から、超音波探
触子（１Ｂ）、試験体（２）の反射体、超音波探触子（
１Ａ）を経由して、相関器（６Ａ）の入力端に至るまで
の信号伝搬経路における周波数応答特性の逆フーリエ変
換を表す。すなわち、前記信号伝搬経路のインパルス応
答を表す。 【０２６０】また、ｔ０は、第２の送信信号ｓｂ（ｔ）
を発生した時間からエコーｒＢＡｂ（ｔ）が受信される
までの時間である。 【０２６１】Ｃ３＝１としても説明上、一般性を失わな
いので、以下Ｃ３＝１として説明する。 【０２６２】前記エコーｒＢＡｂ（ｔ）が受信される送
信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ａ）を第１の送信
信号ｓａ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期に相当する
。したがって、このエコーｒＢＡｂ（ｔ）は、相関器（
６Ａ）において、第１の参照信号ｕａ（ｔ）を用いて相
関処理される。 【０２６３】したがって、このエコーｒＢＡｂ（ｔ）に
関する相関器（６Ａ）の相関演算結果（以下、圧縮パル
スＣＢＡｂａ（ｔ）と呼ぶ。）は、次の式で表わされる
。 【０２６４】 　　　　ＣＢＡｂａ（ｔ）＝∫ｕａ（ｔ２−ｔ）ｒＢＡ
ｂ（ｔ２）ｄｔ２　　　　　　　　　　　　　　［積分
範囲：−∞〜∞］　　　　　　　　　　　　　　　　　
　・・・・式（２４）【０２６５】ところで、この圧縮
パルスＣＢＡｂａ（ｔ）は、第２の系列｛ｂ｝と第１の
系列｛ａ｝の相互相関関数を、ρｂａ（ｉ）、（ｉ＝０
、±１、±２、・・・、±（ｎ−１））で表わし、さら
に、 　　　　ＡＢＡ（ｔ）＝∫∫ｇｓ（ｔ１）ｇｕ（ｔ２）
ｈＢＡ（ｔ＋ｔ２−ｔ１）ｄｔ１ｄｔ２　　　　　　　
　　　　　　　［積分範囲：−∞〜∞］　　　　　　　
　　　　　　　　　　　・・・・式（２５）とおけば、
式（２３）〜式（２５）から次式に等しい。 【０２６６】 　　　　ＣＢＡｂａ（ｔ）＝Σρｂａ（ｉ）［ＡＢＡ（
ｔ−ｔ０＋ｉδ）］　　　　　　　　（和はｉについて
−（ｎ−１）〜（ｎ−１）までとる）・・・式（２６）
　　【０２６７】以下、同様に、超音波探触子（１Ｂ）
を第３、第４及び第１の送信信号で駆動した送信繰り返
し周期において、超音波探触子（１Ａ）により受信され
たエコーについて考えてみる。 【０２６８】ただし、時間原点は、それぞれの送信信号
により超音波探触子（１Ｂ）を駆動した時間に取り直す
。 【０２６９】超音波探触子（１Ｂ）を第３の送信信号ｓ
ｃ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ａ）により受信されたエコーをｒＢＡｃ（ｔ
）で表す。 【０２７０】このエコーｒＢＡｃ（ｔ）が受信される送
信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ａ）を第２の送信
信号ｓｂ（ｔ）で駆動する送信繰り返し周期に相当する
。したがって、このエコーｒＢＡｃ（ｔ）は、相関器（
６Ａ）において、第２の参照信号ｕｂ（ｔ）を用いて相
関処理される。 【０２７１】したがって、前記エコーｒＢＡｃ（ｔ）に
関する相関器（６Ａ）の相関演算結果、以下、圧縮パル
スＣＢＡｃｂ（ｔ）と呼べば、この圧縮パルスＣＢＡｃ
ｂ（ｔ）　は、第３の系列｛ｃ｝と第２の系列｛ｂ｝の
相互相関関数を、ρｃｂ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２
、・・・、±（ｎ−１））で表わすと、式（２６）の右
辺において、ρｂａ（ｉ）をρｃｂ（ｉ）で置き換え式
で表せる。 【０２７２】超音波探触子（１Ｂ）を第４の送信信号ｓ
ｄ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ａ）により受信されたエコーをｒＢＡｄ（ｔ
）で表す。 【０２７３】このエコーｒＢＡｄ（ｔ）が受信される送
信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ａ）を第３の送信
信号ｓｃ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期に相当する
。したがって、このエコーｒＢＡｄ（ｔ）は、相関器（
６Ａ）において、第３の参照信号ｕｃ（ｔ）を用いて相
関処理される。 【０２７４】したがって、前記エコーｒＢＡｄ（ｔ）に
関する相関器（６Ａ）の相関演算結果を、以下、圧縮パ
ルスＣＢＡｄｃ（ｔ）と呼べば、この圧縮パルスＣＢＡ
ｄｃ（ｔ）は、第４の系列｛ｄ｝と第３の系列｛ｃ｝の
相互相関関数を、ρｄｃ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２
、・・・、±（ｎ−１））で表わすと、式（２６）の右
辺において、ρｂａ（ｉ）をρｄｃ（ｉ）で置き換えた
式で表せる。 【０２７５】超音波探触子（１Ｂ）を第１の送信信号ｓ
ａ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期において、超音波
探触子（１Ａ）により受信されたエコーｒＢＡａ（ｔ）
で表す。 【０２７６】このエコーｒＢＡａ（ｔ）が受信される送
信繰り返し周期は、超音波探触子（１Ａ）を第４の送信
信号ｓｄ（ｔ）で駆動した送信繰り返し周期に相当する
。したがって、このエコーｒＢＡａ（ｔ）は、相関器（
６Ａ）において、第４の参照信号ｕｄ（ｔ）を用いて相
関処理される。 【０２７７】したがって、前記エコーｒＢＡａ（ｔ）に
関する相関器（６Ａ）の相関演算結果を、以下、圧縮パ
ルスＣＢＡａｄ（ｔ）と呼べば、この圧縮パルスＣＢＡ
ａｄ（ｔ）は、第１の系列｛ａ｝と第４の系列｛ｄ｝の
相互相関関数を、ρａｄ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、±２
、・・・、±（ｎ−１））で表わすと、式（２６）の右
辺において、ρｂａ（ｉ）　をρａｄ（ｉ）で置き換え
た式で表せる。 【０２７８】したがって、超音波探触子（１Ａ）で受信
された前記４つのエコーに関する前記４つの圧縮パルス
（ＣＢＡｂａ（ｔ）、ＣＢＡｃｂ（ｔ）、ＣＢＡｄｃ（
ｔ）及びＣＢＡａｄ（ｔ））の加算結果である合成圧縮
パルスを、ＣＢＡ（ｔ）で表せば、ＣＢＡ（ｔ）は、次
式に等しい。 【０２７９】 　　　　ＣＢＡ（ｔ）＝ＣＢＡｂａ（ｔ）＋ＣＢＡｃｂ
（ｔ）＋ＣＢＡｄｃ（ｔ）＋ＣＢＡａｄ（ｔ）　　　　
　　　　　　　＝Σ［ρｂａ（ｉ）＋ρｃｂ（ｉ）＋ρ
ｄｃ（ｉ）＋ρａｄ（ｉ）］×　　　　　　　　　　　
　　　　ＡＢＡ［ｔ−ｔ０＋ｉδ）］　　　　（和はｉ
について−（ｎ−１）〜（ｎ−１）までとる）　　・・
・・式（２７）【０２８０】図２９は、式（２６）から
計算により求めた圧縮パルスＢＡｂａＣ（ｔ）である。 【０２８１】図３０、図３１及び図３２は、それぞれ、
同様の計算により求めた圧縮パルスＣＢＡｃｂ（ｔ）　
、ＣＢＡｄｃ（ｔ）　及びＣＢＡａｄ（ｔ）　である。 【０２８２】これらの計算において、第１〜第４の送信
信号として、図３〜図６に示したものを用い、第１〜第
４の参照信号として、図１０〜図１３に示したものを用
いた。 【０２８３】また、ｈＢＡ（ｔ）はデルタ関数とした。 【０２８４】また、ρｂａ（ｉ）＝ρａｂ（−ｉ）、ρ
ｃｂ（ｉ）＝ρｂｃ（−ｉ）、　ρｄｃ（ｉ）＝ρｃｄ
（−ｉ）、ρａｄ（ｉ）＝ρｄａ（−ｉ）であることを
用いた。 【０２８５】また、δＳ＝δｕ＝δ／２とした。 【０２８６】図２９〜図３２において、圧縮パルスＢＡ
ｂａＣ（ｔ）、ＣＢＡｃｂ（ｔ）　、ＣＢＡｄｃ（ｔ）
及びＣＢＡａｄ（ｔ）では、信号の振幅は零にはなって
いない。すなわち、超音波探触子（１Ｂ）から送信され
、超音波探触子（１Ａ）で受信された妨害エコーの影響
が残っている。 【０２８７】しかし、最終結果として、表示器（７）に
表示されるのは、これら４つの妨害エコーに関する相関
演算結果の加算結果であるＣＢＡ（ｔ）である。 【０２８８】図３３において、この加算結果であるＣＢ
Ａ（ｔ）では、前記４つの圧縮パルスＣＢＡｂａ（ｔ）
、ＣＢＡｃｂ（ｔ）、ＣＢＡｄｃ（ｔ）及びＣＢＡａｄ
（ｔ）において残っていた振幅は相殺されて、信号振幅
が完全に零になっている。 【０２８９】なお、この相殺結果は、δＳ＝δｕ＝δ／
２の関係が成り立たない場合でも生じる。つまり、この
相殺結果は、δＳ及びδｕがともに零以上の任意の値の
場合についても生じる。無論、δＳ≠δｕであってもよ
い。 【０２９０】すなわち、この発明の第１実施例において
は、超音波探触子（１Ｂ）から送信され、超音波探触子
（１Ａ）で受信された妨害エコーの影響も、検査結果は
全く影響を及ぼさない作用、効果があることがわかった
。 【０２９１】なお、上記第１実施例で用いた第１から第
４の系列において、第３の系列｛ｃ｝が、第１の系列｛
ａ｝において、符号＋と符号ーを反転させて得られる系
列に等しいこと、また、第４の系列｛ｄ｝が、第２の系
列｛ｂ｝に等しいことから、ｉの値に依存せず常に、次
に示す関係が成り立つ。 【０２９２】 　　ρｂａ（ｉ）＋ρｃｂ（ｉ）＋ρｄｃ（ｉ）＋ρａ
ｄ（ｉ）＝０　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　…式（２８）【０２９３】式（２８）に示す
関係が成り立つ場合には、式（２７）の右辺におけるＡ
ＢＡ（ｔ）がいかなる波形であっても、すなわち、ＡＢ
Ａ（ｔ）を規定する式（２５）の右辺における第１の単
位信号ｇＳ（ｔ）、第２の単位信号ｇＵ（ｔ）及びイン
パルス応答ｈＢＡ（ｔ）が、いかなる波形であっても、
次に示す関係が成り立つ。 【０２９４】 　　ＣＢＡ（ｔ）＝０　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　…式（２９）【０２９５】した
がって、妨害エコーの影響は完全に相殺されて、妨害エ
コーは、検査結果に全く影響を及ぼさない作用、効果が
ある。 【０２９６】さて、最後に、超音波探触子（１Ａ）及び
（１Ｂ）の両方から超音波を送信し、超音波探触子（１
Ａ）及び（１Ｂ）によりエコーを受信した場合について
、図３４及び図３５を参照しながら考えてみる。 【０２９７】図３４（ａ）及び（ｂ）は超音波探触子（
１Ａ）を第１の送信信号で駆動した送信繰り返し周期に
おいて、それぞれ、超音波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）
で受信されるエコーを示す波形図、図３４（ｃ）及び（
ｄ）は超音波探触子（１Ｂ）を第２の送信信号で駆動し
た送信繰り返し周期において、それぞれ、超音波探触子
（１Ｂ）及び（１Ａ）で受信されるエコーを示す波形図
、図３４（ｅ）は、欠陥検出用時間ゲートを示す波形図
である。 【０２９８】なお、図７及び図８に示したように、超音
波探触子（１Ａ）を第１の送信信号で駆動する送信繰り
返し周期は、超音波探触子（１Ｂ）を第２の送信信号で
駆動する送信繰り返し周期に相当する。 【０２９９】図３５（ａ）及び（ｂ）は、超音波探触子
（１Ａ）を４つの送信信号で、第１、第２、第３、第４
、第１、…の順番で順次駆動したとき、それぞれ、超音
波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）で受信されたエコーの合
成圧縮パルスを示す波形図、図３５（ｃ）及び（ｄ）は
、超音波探触子（１Ｂ）を４つの送信信号で、第２、第
３、第４、第１、第２、…の順番で順次駆動したとき、
それぞれ、超音波探触子（１Ｂ）及び（１Ａ）で受信さ
れたエコーの合成圧縮パルスを示す波形図、図３５（ｅ
）は、欠陥検出用時間ゲートを示す波形図である。 【０３００】まず、超音波探触子（１Ａ）を第１の送信
信号で駆動した送信繰り返し周期について考えてみる。 この送信繰り返し周期において、超音波探触子（１Ｂ）
は第２の送信信号で駆動されている。 【０３０１】超音波探触子（１Ａ）を第１の送信信号Ｓ
ａ（ｔ）で駆動したとき、試験体（２）に入射した超音
波パルスは、図１中実線（４Ａ）で示すように、試験体
（２）の外壁で反射し、試験体（２）を一周した後、超
音波探触子（１Ａ）に戻ってくる。 【０３０２】このとき、超音波探触子（１Ａ）で受信さ
れるエコーは、図３４（ａ）に示すようになる。 【０３０３】図３４（ａ）において、第１の送信信号Ｓ
ａ（ｔ）が受信回路側（相関器（６Ａ）側）に漏れ込ん
だパルスＴａの後に、まず、超音波パルスが試験体（２
）の表面に入射した時点で試験体（２）の表面から反射
されて戻ってきた表面エコーＳａが観測される。 【０３０４】次に、超音波パルスが試験体（２）を一周
した後、受信されるエコーＲ１ａが観測される。 【０３０５】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の３周した時点で、欠陥（３）で反射されて
、さらに４分の３周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、
受信される欠陥エコーＦ３ａが観測される。 【０３０６】超音波探触子（１Ｂ）が受信するエコーは
図３４（ｂ）に示すようになる。 【０３０７】まず、超音波探触子（１Ａ）から試験体（
２）内に入射した超音波パルスが、試験体（２）を２分
の１周した時点で、超音波探触子（１Ｂ）で受信される
エコーＲＢ２４ａが観測される。 【０３０８】次に、超音波パルスが、試験体（２）を４
分の３周した時点で、欠陥（３）で反射されて、さらに
４分の１周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、受信され
る欠陥エコーＦ２ａが観測される。 【０３０９】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の６周した時点で、受信されるエコーＦＢ６
４ａが観測される。 【０３１０】超音波探触子（１Ｂ）がを第２の送信信号
Ｓｂ（ｔ）で駆動されたとき、超音波探触子（１Ｂ）が
受信するエコーは図３４（ｃ）に示すようになる。 【０３１１】図３４（ｃ）において、第２の送信信号Ｓ
ｂ（ｔ）が受信回路側に漏れ込んだパルスＴｂの後に、
まず、超音波パルスが試験体（２）の表面に入射した時
点で試験体（２）の表面から反射されて戻ってきた表面
エコーＳｂが観測される。 【０３１２】次に、超音波パルスが試験体（２）を４分
の１周した時点で、欠陥（３）で反射されて、さらに４
分の１周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、受信される
欠陥エコーＦ１ｂが観測される。 【０３１３】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を一周した後、受信されるエコーＲ１ｂが観測され
る。 【０３１４】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の１周した時点で、欠陥（３）で反射されて
、さらに４分の５周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、
受信される欠陥エコーＦ３ｂが観測される。 【０３１５】超音波探触子（１Ａ）が受信するエコーは
図３４（ｄ）に示すようになる。 【０３１６】まず、超音波探触子（１Ｂ）から試験体（
２）内に入射した超音波パルスが、試験体（２）を２分
の１周した時点で、超音波探触子（１Ａ）で受信される
エコーＲＢ２４ｂが観測される。 【０３１７】次に、超音波パルスが、試験体（２）を４
分の１周した時点で、欠陥（３）で反射されて、さらに
４分の３周だけ逆戻りの伝搬経路を通った後、受信され
る欠陥エコーＦ２ｂが観測される。 【０３１８】さらに、その後、超音波パルスが試験体（
２）を４分の６周した時点で、受信されるエコーＦＢ６
４ｂが観測される。 【０３１９】超音波探触子（１Ａ）が第１の送信信号Ｓ
ａ（ｔ）で駆動されている送信繰り返し周期において、
超音波探触子（１Ｂ）は第２の送信信号Ｓｂ（ｔ）で駆
動されている。 【０３２０】したがって、超音波探触子（１Ａ）が受信
するエコーは、図３４（ａ）及び（ｄ）に示すエコー波
形を交流波形レベルで加算した結果となる。 【０３２１】同様に、超音波探触子（１Ｂ）が受信する
エコーは、図３４（ｃ）及び（ｂ）に示すエコー波形を
交流波形レベルで加算した結果となる。 【０３２２】この発明の第１実施例における装置におい
ても、従来の検査装置の場合と同様に、これらのエコー
の交流波形レベルでの加算結果が各超音波探触子（１Ａ
）及び（１Ｂ）から受信される。 【０３２３】一方、欠陥検出用時間ゲートは、図３４（
ｅ）に示すように設定される。したがって、エコーＲＢ
２４ａ及びＲＢ２４ｂが欠陥検出用時間ゲート内に混入
する。このため、これらのエコーは、妨害エコーとなる
。 【０３２４】また、エコーＲＢ６４ａ及びＲＢ６４ｂも
、無い方が望ましいエコーであり、これらのエコーも妨
害エコーである。 【０３２５】超音波探触子（１Ａ）が第２、第３及び第
４の送信信号で駆動された送信繰り返し周期において、
超音波探触子（１Ｂ）は、それぞれ、第３、第４及び第
１の送信信号で駆動されている。 【０３２６】したがって、これら３つの送信繰り返し周
期においても、図３４に示したものと同様の妨害エコー
が生じる。 【０３２７】しかし、この発明の第１実施例においては
、エコーをそのまま表示するのではなく、エコーを相関
処理し、その後、４つの圧縮パルスを加算して得られた
合成圧縮パルスを表示するようにしている。 【０３２８】前述したように、この発明の第１実施例に
おいては、超音波探触子（１Ａ）から超音波を送信し、
超音波探触子（１Ａ）で受信したエコーの合成圧縮パル
スＣＡＡ（ｔ）は、レンジサイドロープの無い鋭いピー
クをもつパルスとなる。 【０３２９】同様に、超音波探触子（１Ｂ）から超音波
を送信し、超音波探触子（１Ｂ）で受信したエコーの合
成圧縮パルスＣＢＢ（ｔ）も、レンジサイドロープの無
い鋭いピークをもつパルスとなる。 【０３３０】一方、超音波探触子（１Ａ）から超音波を
送信し、超音波探触子（１Ｂ）で受信したエコーの合成
圧縮パルスＣＡＢ（ｔ）は、完全に零となる。 【０３３１】同様に、超音波探触子（１Ｂ）から超音波
を送信し、超音波探触子（１Ａ）で受信したエコーの合
成圧縮パルスＣＢＡ（ｔ）は、完全に零となる。 【０３３２】したがって、超音波探触子（１Ａ）を第１
〜第４の４つの送信信号Ｓａ（ｔ）〜Ｓｄ（ｔ）で順次
駆動したとき、超音波探触子（１Ａ）により、４つの表
面エコーＳａ　〜Ｓｄ　、４つのエコーＲ１ａ〜Ｒ１ｄ
、及び４つの欠陥エコーＦ３ａ〜Ｆ３ｄが、順次、受信
されるが、これらの３種類のエコーは、それぞれ、相関
器（６Ａ）で相関処理を施されることにより圧縮された
後、加算器（８Ａ）で加算されて、それぞれ、レンジサ
イドロープの無い鋭いピークをもつ３種類の合成圧縮パ
ルス（以下、Ｓ、Ｒ１及びＦ３で表す）となる。 【０３３３】したがって、これらの合成圧縮パルスＳ、
Ｒ１及びＦ３は、図３５（ａ）に示すようになる。 【０３３４】同様に、超音波探触子（１Ｂ）を第２〜第
１の４つの送信信号Ｓｂ（ｔ）〜Ｓａ（ｔ）で順次駆動
したとき、超音波探触子（１Ｂ）により、４つの表面エ
コーＳｂ〜Ｓａ、４つの欠陥エコーＦ１ｂ〜Ｆ１ａ、４
つのエコーＲ１ｂ〜Ｒ１ａ、及び４つの欠陥エコーＦ３
ｂ〜Ｆ３ａが、順次、受信される。 【０３３５】しかし、これらの４種類のエコーは、相関
器（６Ｂ）で相関処理を施されることにより圧縮された
後、加算器（８Ｂ）で加算されて、レンジサイドロープ
の無い鋭いピークをもつ４種類の合成圧縮パルス（以下
、Ｓ、Ｆ１、Ｒ１及びＦ３で表す）となる。 【０３３６】したがって、これらの合成圧縮パルスＳ、
Ｆ１、Ｒ１及びＦ３は、図３５（ｃ）に示すようになる
。 【０３３７】一方、超音波探触子（１Ａ）を第１〜第４
の４つの送信信号Ｓａ（ｔ）〜Ｓｄ（ｔ）で順次駆動し
たとき、超音波探触子（１Ｂ）により、４つのエコーＲ
Ｂ２４ａ〜ＲＢ２４ｄ　、４つの欠陥エコーＦ２ａ〜Ｆ
２ｄ、及び４つのエコーＲＢ６４ａ〜ＲＢ６４ｄが、順
次、受信される。 【０３３８】しかし、これらの３種類のエコーは、相関
器（６Ｂ）で相関処理を施されることにより圧縮された
後、加算器（８Ｂ）で加算されて、それぞれ、加算後に
は完全に相殺されレベルが零となる。 【０３３９】したがって、これらの合成圧縮パルスは、
図３５（ｂ）に示すようになる。 【０３４０】同様に、超音波探触子（１Ｂ）を第２〜第
１の４つの送信信号Ｓｂ（ｔ）〜Ｓａ（ｔ）で順次駆動
したとき、超音波探触子（１Ａ）により、４つのエコー
ＲＢ２４ｂ〜ＲＢ２４ａ、４つの欠陥エコーＦ２ｂ〜Ｆ
２ａ、及び４つのエコーＲＢ６４ｂ〜ＲＢ６４ａが、順
次、受信される。 【０３４１】しかし、これらの３種類のエコーは、相関
器（６Ａ）で相関処理を施されることにより圧縮された
後、加算器（８Ａ）で加算されて、それぞれ、加算後に
は完全に相殺されレベルが零となる。 【０３４２】したがって、これらの合成圧縮パルスは、
図３５（ｄ）に示すようになる。 【０３４３】超音波探触子（１Ａ）により受信され、相
関処理及び加算処理を施されて表示器（７）に表示され
る信号は、図３５（ａ）及び（ｄ）に示す合成圧縮パル
スの加算結果である。 【０３４４】図３５（ｄ）に示す合成圧縮パルスは零で
あるから、最終的に図３５（ａ）に示す合成圧縮パルス
が表示器（７）に表示されることになる。 【０３４５】同様に、超音波探触子（１Ｂ）により受信
され、相関処理及び加算処理を施されて表示器（７）に
表示される信号は、図３５（ｃ）及び（ｂ）に示す合成
圧縮パルスの加算結果である。 【０３４６】図３５（ｂ）に示す合成圧縮パルスは零で
あるから、最終的に図３５（ｃ）に示す合成圧縮パルス
が表示器（７）に表示されることになる。 【０３４７】したがって、図３５（ｅ）に示す欠陥検出
用ゲート内には、欠陥エコーＦ１に関する合成圧縮パル
スのみ入り、妨害エコーの影響を完全に除去できた検査
が可能となる。 【０３４８】つづいて、この発明の第２実施例について
説明する。 【０３４９】第２実施例では、第１から第４の系列とし
て、第１実施例のものを次のように変えて用いる。すな
わち、第１の系列｛ａ｝及び第２の系列｛ｂ｝として、
上記第１実施例と同じものを用いる。しかし、第３の系
列｛ｃ｝として、第１の系列｛ａ｝と同じものを用い、
第４の系列｛ｄ｝として、第２の系列｛ｂ｝において、
符号＋と符号ーを反転させて得られる系列を用いる。 【０３５０】すなわち、 ｛ａ｝＝｛ａ１，ａ２，ａ３，ａ４｝＝｛＋，＋，＋，
−｝｛ｂ｝＝｛ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４｝＝｛＋，＋，
−，＋｝｛ｃ｝＝｛ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４｝＝｛ａ｝
＝｛＋，＋，＋，−｝ ｛ｄ｝＝｛ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４｝＝｛−，−，＋，
−｝【０３５１】第１から第４の送信信号は、それぞれ
、第１の単位信号と前記第１から第４の系列とから、第
１実施例の場合と同様の手順にしたがって発生させた信
号を用いる。 【０３５２】また、第１から第４の参照信号には、それ
ぞれ、第２の単位信号と前記第１から第４の系列とから
、第１実施例の場合と同様の手順似したがって発生させ
た信号を用いる。 【０３５３】次に、上述したこの発明の第２実施例の動
作原理および効果を説明する。 【０３５４】この発明の第２実施例において、第１の系
列｛ａ｝及び第２の系列｛ｂ｝が相関関係にあること、
かつ、第３の系列｛ｃ｝が第１の系列｛ａ｝と等しいこ
と、かつ、第４の系列｛ｄ｝が、第２の系列｛ｂ｝にお
いて、符号＋と符号ーを反転させて得られる系列に等し
いことから、第１から第４の系列において、次の関係が
成り立つ。 【０３５５】ρａａ（０）＝ρｂｂ（０）＝ρｃｃ（０
）＝ρｄｄ（０）、ρａａ（ｉ）＝−ρｂｂ（ｉ）＝ρ
ｃｃ（ｉ）＝−ρｄｄ（ｉ）、（ｉ＝±１、±２、…、
±（ｎ−１））【０３５６】したがって、式（８）に示
した関係が成り立つので、式（９）及び式（１５）に示
した関係が成立する。したがって、超音波探触子（１Ａ
）から超音波を送信し超音波探触子（１Ａ）によりエコ
ーを受信した場合、及び、超音波探触子（１Ｂ）から超
音波を送信し超音波探触子（１Ｂ）によりエコーを受信
した場合には、レンジサイドローブレベルが零の合成圧
縮パルスが得られる作用、効果がある。 【０３５７】一方、次の関係が成り立つ。ρｂｃ（ｉ）
＝ρｂａ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、…、±（ｎ−１））
ρｃｄ（ｉ）＝−ρａｂ（ｉ）、（ｉ＝０、±１、…、
±（ｎ−１））ρｄａ（ｉ）＝−ρｂａ（ｉ）、（ｉ＝
０、±１、…、±（ｎ−１）） 【０３５８】また、一般に、ρａｂ（ｉ）＝ρｂａ（−
ｉ）が成り立つから、ｉの値に依存せず常に、式（２１
）及び式（２８）に示した関係が成り立つので、式（２
２）及び式（２９）に示した関係が成立する。 【０３５９】したがって、超音波探触子（１Ａ）から超
音波を送信し超音波探触子（１Ｂ）によりエコーを受信
した場合、及び、超音波探触子（１Ｂ）から超音波を送
信し超音波探触子（１Ａ）によりエコーを受信した場合
には、これらの合成圧縮パルスは零となり、妨害エコー
が検査結果に及ぼす悪影響を完全に排除できる作用、効
果がある。 【０３６０】以上にように、この発明の第２実施例にお
いても、上記第１実施例と同様の作用、効果がある。 【０３６１】つづいて、この発明の第３実施例について
説明する。第１実施例及び第２実施例では、２つの超音
波探触子（１Ａ）及び（１Ｂ）を、試験体（２）の円周
上に沿って配した場合について説明した。この発明は、
これに限らず、３つ以上の超音波探触子（１Ａ）、（１
Ｂ）、（１Ｃ）、…を用いる場合にも適用できる。 【０３６２】３つ以上の超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ
）、（１Ｃ）、…を用いた場合についての第３実施例の
構成を、図３６を参照しながら説明する。 【０３６３】図３６は、この発明の第３実施例を示すブ
ロック図であり、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（
１Ｃ）、…は、図３８で示した上記従来の検査装置のも
のと全く同一である。 【０３６４】図３６において、この発明の第３実施例は
、上述した従来装置のものと全く同一のものと、複数個
の出力端子（５Ａ）、（５Ｂ）、（５Ｃ）、…を有する
送信信号発生器（５）と、この送信信号発生器（５）の
出力端子（５Ａ）、（５Ｂ）、（５Ｃ）、…及び超音波
探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、…にそれぞれ接
続された複数個の相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）
、…と、相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）、…にそ
れぞれ接続されメモリ機能を含む複数個の加算器（８Ａ
）、（８Ｂ）、（８Ｃ）、…と、送信信号発生器（５）
に入力側が接続されかつ相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（
６Ｃ）、…にそれぞれ出力側が接続された複数個の参照
信号発生器（９Ａ）、（９Ｂ）、（９Ｃ）、…と、加算
器（８Ａ）、（８Ｂ）、（８Ｃ）、…にそれぞれ接続さ
れた表示器（７）とから構成されている。 【０３６５】なお、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、
（１Ｃ）、…は、それぞれ、送信信号発生器（５）の出
力端子（５Ａ）、（５Ｂ）、（５Ｃ）、…にも接続され
ている。 【０３６６】また、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、
（１Ｃ）、…は、試験体（２）の円周上に沿って配して
ある。 【０３６７】つぎに、上述した第３実施例の動作を、図
３７を参照しながら説明する。 【０３６８】図３７は、この発明の第３実施例における
４つの送信信号の繰り返しを示す波形図である。 【０３６９】送信信号発生器（５）は、第１実施例と同
一の第１〜第４の送信信号Ｓａ（ｔ）〜Ｓｄ（ｔ）を発
生する。 【０３７０】送信信号発生器（５）は、上記第１から第
４の４つの送信信号を、図３７に示すように、出力端子
（５Ａ）からは第１、第２、第３、第４、第１、…の順
番にしたがって、出力端子（５Ｂ）からは第２、第３、
第４、第１、第２、…の順番にしたがって、出力端子（
５Ｃ）からは第３、第４、第１、第２、第３、…の順番
にしたがって、出力端子（５Ｄ）からは第４、第１、第
２、第３、第４、…の順番にしたがって、出力端子（５
Ｅ）からは第１、第２、第３、第４、第１、…の順番に
したがって、（以下、同様）ある一定の送信繰り返し周
期Ｔｒで順次繰り返して発生し、出力端子（５Ａ）、（
５Ｂ）、（５Ｃ）、…から、それぞれ、超音波探触子（
１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、…に伝達する。 【０３７１】超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ
）、…は、上記４つの送信信号により、それぞれ上述し
た順番にしたがって順次駆動されて、超音波パルスを試
験体（２）へ送信する。 【０３７２】そして、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）
、（１Ｃ）、…は、試験体（２）内の欠陥（３）などの
反射体により反射されたエコーを受信する。 【０３７３】超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ
）、…により受信されたエコーは、それぞれ、相関器（
６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）、…に伝達される。 【０３７４】一方、参照信号発生器（９Ａ）、（９Ｂ）
、（９Ｃ）、…は、それぞれ、超音波探触子（１Ａ）、
（１Ｂ）、（１Ｃ）、…により受信されたエコーの相関
処理に用いられる第１、第２、第３及び第４の参照信号
を発生する。 【０３７５】これら第１〜第４の参照信号ｕａ（ｔ）〜
ｕｄ（ｔ）は、上記第１実施例と同一である。 【０３７６】参照信号発生器（９Ａ）、（９Ｂ）、（９
Ｃ）、…は、上記４つの参照信号を、参照信号発生器（
９Ａ）では、第１、第２、第３、第４、第１、…の順番
にしたがって、参照信号発生器（９Ｂ）では、第２、第
３、第４、第１、第２、…の順番にしたがって、参照信
号発生器（９Ｃ）では、第３、第４、第１、第２、第３
、…の順番にしたがって、参照信号発生器（９Ｄ）では
、第４、第１、第２、第３、第４、…の順番にしたがっ
て、参照信号発生器（９Ｅ）では、第１、第２、第３、
第４、第１、…の順番にしたがって、（以下、同様）発
生し、それぞれ、相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）
、…に伝達する。 【０３７７】相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）、…
では、ｉを１〜４として、それぞれ、第ｉ番目の送信信
号を発生した送信繰り返し周期で受信されたエコーと第
ｉ番目の参照信号との間で相関演算を実行する。 【０３７８】超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ
）、…でそれぞれ受信されたエコーの前記４つの相関演
算結果は、それぞれ加算器（８Ａ）、（８Ｂ）、（８Ｃ
）、…に伝達され、記憶される。 【０３７９】加算器（８Ａ）、（８Ｂ）、（８Ｃ）、…
では、前記４つの相関演算結果を加算する。 【０３８０】この加算結果を、それぞれ、超音波探触子
（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、…で受信されたエコー
の合成圧縮パルスと呼ぶことにする。 【０３８１】これらの合成圧縮パルスは、それぞれ、加
算器（８Ａ）、（８Ｂ）、（８Ｃ）、…から表示器（７
）に伝達され、従来と同様に表示される。 【０３８２】次に、上述したこの発明の第３実施例の動
作原理および効果を説明する。 【０３８３】第１実施例と同様に考えていけば、超音波
探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、…から、それぞ
れ単独で超音波を送受信した場合には、第１の系列｛ａ
｝と第２の系列｛ｂ｝とが相補関係にあること、及び、
第３の系列｛ｃ｝が第１の系列｛ａ｝において符号＋と
符号−とを反転させて得られる系列に等しいこと、及び
、第４の系列｛ｄ｝が第２の系列に等しいことから、次
式が成立する。ＣＡＡ（ｔ）＝４ρａａ（０）ＡＡＡ（
ｔ−ｔ０）、ＣＢＢ（ｔ）＝４ρａａ（０）ＡＢＢ（ｔ
−ｔ０）、ＣＣＣ（ｔ）＝４ρａａ（０）ＡＣＣ（ｔ−
ｔ０）、（以下、同様）【０３８４】ここで、ＣＡＡ（
ｔ）、ＣＢＢ（ｔ）、ＣＣＣ（ｔ）、…は、それぞれ、
超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、…で受信
されたエコーの合成圧縮パルスである。 また、ＡＡＡ（ｔ）、ＡＢＢ（ｔ）、ＡＣＣ（ｔ）、…
は、それぞれ、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１
Ｃ）、…について、式（５）と同様に定まる関数である
。 【０３８５】したがって、超音波探触子（１Ａ）、（１
Ｂ）、（１Ｃ）、…から、それぞれ、単独で超音波を送
受信した場合には、レンジサイドローブレベルが零の合
成圧縮パルスが得られる作用、効果がある。 【０３８６】また、第１実施例と同様に考えていけば、
１つの超音波探触子から超音波を送信し、その隣の超音
波探触子で超音波を受信した場合、上記送信用超音波探
触子を一般に１Ｌとし、上記受信用の超音波探触子を一
般に１Ｍとすれば、次式が成立する。ＣＬＭ（ｔ）＝０
ここで、ＣＬＭ（ｔ）は、超音波探触子（１Ｌ）から送
信し超音波探触子（１Ｍ）で受信した４つのエコーをそ
れぞれ相関処理して得られた４つの圧縮パルスの加算結
果である。 【０３８７】したがって、妨害エコーの影響は完全に相
殺されて、妨害エコーは、検査結果に全く影響を及ぼさ
ない作用、効果がある。 【０３８８】すなわち、１つの超音波探触子から送信さ
れその両隣の超音波探触子で受信されたエコーは、相関
処理、及び加算処理を通した後では零になるので、欠陥
検出用ゲート内に入る妨害エコーを排除した検査が可能
となる。 【０３８９】なお、第２実施例の４つの送信信号及び４
つの参照信号を、第３実施例に適用しても同様の作用、
効果が得られる。 【０３９０】以上説明した各実施例においては、相補系
列を基本とした４つの系列を用いた場合について説明し
た。しかし、この発明はこれに限らず、特願平１−２０
３９０９号）に示されている複数補系列を基本とした４
つあるいは４つ以外の個数の系列を用いてもよい。以下
、複数補系列を用いた実施例を説明する。 【０３９１】つづいて、この発明の第４実施例について
説明する。第４実施例においては、第１から第４の系列
として、上述した第３実施例におけるものに代えて、長
さｎが８の次のものを用いる。 【０３９２】 ｛ａ｝＝｛＋、−、＋、＋、＋、＋、−、＋｝｛ｂ｝＝
｛＋、＋、＋、−、−、−、＋、−｝｛ｃ｝＝｛＋、＋
、−、＋、＋、−、＋、＋｝｛ｄ｝＝｛＋、−、＋、＋
、＋、−、−、−｝【０３９３】これら４つの系列から
、どのような組合わせで２つの系列を選び出しても、そ
れらは相補系列にはならない。 【０３９４】しかし、これら４つの系列は、複数補系列
である。したがって、式（３０）に示した関係が成立す
る。 【０３９５】一方、上記第１から第４の系列においては
、式（３１）に示した関係が成立することが計算により
確かめられる。 【０３９６】すなわち、第４実施例においても、第３実
施例の場合と同様の作用、効果がある。 【０３９７】なお、４つの系列からなる複数補系列とし
て、第４実施例と同様の作用、効果を奏するものには、
例えば、 ｛ａ｝＝｛＋、−、−、−、＋、＋、＋、−｝｛ｂ｝＝
｛＋、＋、＋、−、＋、＋、−、＋｝｛ｃ｝＝｛＋、＋
、＋、−、＋、−、−、−｝｛ｄ｝＝｛＋、−、＋、＋
、−、＋、＋、＋｝や、 ｛ａ｝＝｛−、＋、−｝ ｛ｂ｝＝｛＋、−、−｝ ｛ｃ｝＝｛＋、＋、−｝ ｛ｄ｝＝｛−、−、−｝ などがある。また、これら以外にも多数存在する。 【０３９８】なお、上記第４実施例で示した４つの系列
からなる複数補系列を、第１実施例及び第２実施例に適
用すれば、これらの実施例と同様の作用、効果がある。 【０３９９】つづいて、この発明の第５実施例について
説明する。この第５実施例では、第３実施例における４
つの系列の代りに、４Ｍ個の系列を用いる。Ｍを整数と
する、長さ２Ｍの複数補系列を、｛ａ１｝、｛ａ２｝、
｛ａ３｝、・・・｛ａ２Ｍ｝で表す。以下、簡単のため
、ある系列｛ａ｝において、符号＋と符号−を反転して
得られる系列を｛−ａ｝で表すことにする。 【０４００】第５実施例では、送信信号発生器（５）に
より、次の第１から第４Ｍの系列を発生する。 【０４０１】第１の系列｛ａ１｝、第２の系列｛ａ２｝
、第３の系列｛ａ３｝、第４の系列｛ａ４｝、・・・、
第（２Ｍ−１）の系列｛ａ２Ｍ−１｝、第２Ｍの系列｛
ａ２Ｍ｝、第（２Ｍ＋１）の系列｛−ａ１｝、第（２Ｍ
＋２）の系列｛ａ２｝、第（２Ｍ＋３）の系列｛−ａ３
｝、第（２Ｍ＋４）の系列｛ａ４｝、・・・、第（４Ｍ
−１）の系列｛−−ａ２Ｍ−１｝、第４Ｍの系列｛ａ２
Ｍ｝。 【０４０２】送信信号発生器（５）では、上述した第１
実施例の場合と同様の手順にしたがって、前記第１から
第４Ｍの系列にそれぞれ基づいて生成した第１から第４
Ｍの送信信号を、出力端子（５Ａ）からは、第１、第２
、・・・、第４Ｍ、第１、・・・の順番にしたがって、
出力端子（５Ｂ）からは、第２、第３、・・・、第４Ｍ
、第１、第２、・・・の順番にしたがって、出力端子（
５Ｃ）からは、第３、第４、・・・、第４Ｍ、第１、第
２、第３、・・・の順番にしたがって、出力端子（５Ｄ
）からは、第４、第５、・・・、第４Ｍ、第１、第２、
第３、第４、・・・の順番にしたがって、出力端子（５
Ｅ）からは、第５、第６、・・・、第４Ｍ、第１、第２
、第３、第４、第５、・・・の順番にしたがって、（以
下、同様）ある一定の送信繰り返し周期で順次繰り返し
て発生し、それぞれ、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）
、（１Ｃ）、・・・に伝達する。 【０４０３】一方、参照信号発生器（９Ａ）、（９Ｂ）
、（９Ｃ）、・・・は、それぞれ、超音波探触子（１Ａ
）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、・・・により受信されたエコ
ーの相関処理に用いられる第１から第４Ｍの参照信号を
発生する。これらの第１から第４Ｍの参照信号は、上述
した第１実施例の場合と同様の手順にしたがって、前記
第１から第４Ｍの系列にそれぞれ基づいて生成しもので
ある。 【０４０４】参照信号発生器（９Ａ）、（９Ｂ）、（９
Ｃ）、・・・は、上記４Ｍ個の参照信号を、参照信号発
生器（９Ａ）では、第１、第２、・・・、第４Ｍ、第１
、・・・の順番にしたがって、参照信号発生器（９Ｂ）
では、第２、第３、・・・、第４Ｍ、第１、第２、・・
・の順番にしたがって、参照信号発生器（９Ｃ）では、
第３、第４、・・・、第４Ｍ、第１、第２、第３・・・
の順番にしたがって、参照信号発生器（９Ｄ）では、第
４、第５、・・・、第４Ｍ、第１、第２、第３、第４、
・・・の順番にしたがって、参照信号発生器（９Ｅ）で
は、第５、第６、・・・、第４Ｍ、第１、第２、第３、
第４、第５、・・・の順番にしたがって、（以下、同様
）発生し、それぞれ、相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（６
Ｃ）、・・・に伝達する。 【０４０５】相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（６Ｃ）、・
・・では、ｉを１〜４Ｍとして、第ｉ番目の送信信号を
発生した送信繰り返し周期で受信されたエコーと第ｉ番
目の参照信号との間で相関演算を行って第ｉ番目の圧縮
パルスを求め、それぞれ、加算器（８Ａ）、（８Ｂ）、
（８Ｃ）、・・・に伝達する。 【０４０６】加算器（８Ａ）、（８Ｂ）、（８Ｃ）、・
・・では、それぞれ、相関器（６Ａ）、（６Ｂ）、（６
Ｃ）、・・・から伝達されてきた４Ｍ個の圧縮パルスを
加算して合成圧縮パルスを求め、表示器（７）に伝達す
る。 【０４０７】次に、上述した第５実施例の作用、効果に
ついて説明する。 【０４０８】第１から第２Ｍの系列は複数補系列であり
、かつ、第（２Ｍ＋１）から第４Ｍの系列も複数補系列
となることが簡単な計算により確かめられるから、第１
から第４Ｍの系列の自己相関関数を加算すると、レンジ
サイドローブが相殺されて零となる。 【０４０９】これを考慮して、第１実施例と同様の検討
を行えば、第５実施例においても、超音波探触子（１Ａ
）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、・・・から、それぞれ、単独
で超音波を送受信した場合には、レンジサイドローブレ
ベルが零の合成圧縮パルスが得られる作用、効果がある
ことがわかる。 【０４１０】一方、前記第１から第４Ｍの系列において
、第ｉ番目の系列と第（ｉ＋１）番目の系列の相互相関
関数を計算し、これらをｉについて１から４Ｍまで加算
した結果（以下、合成相互相関関数と呼ぶ）を計算して
みると、合成相互相関関数は完全に零となることが確か
められる。 【０４１１】但、ここで、ｉ及びｊを整数として、系列
の番号を表す数値に関する加算（ｉ＋ｊ）は、４Ｍを法
として行っている。例えば、４Ｍ＋５は、４Ｍを法とす
ると５に等しい。系列の番号に関してこの数え方は、前
記第１から第４Ｍの系列を順次繰り返して配列し、この
ようにして生成した無限長の周期系列において、第ｉ番
目からｊだけ後に現れる系列の番号を数えていることに
等しい。以下、系列の番号を表す数値に関する加算は同
様に４Ｍを法として行うものとする。 【０４１２】同様に、ｐを奇数として、第ｉ番目の系列
と第（ｉ＋ｐ）番目の系列の相互相関関数を計算し、こ
れらをｉについて１から４Ｍまで加算した合成相互相関
関数も完全に零となる。 【０４１３】これらのことを考慮して、第１実施例と同
様の検討を行えば、第５実施例においても、１つの超音
波探触子（１Ｌ）から超音波を送信し、そのｐ個隣の超
音波探触子（１Ｍ）で超音波を受信した場合、ＣＬＭ（
ｔ）＝０、となることがわかる。ここで、ＣＬＭ（ｔ）
は、超音波探触子（１Ｌ）から送信し、超音波探触子（
１Ｍ）で受信した４Ｍ個のエコーをそれぞれ相関処理し
て得られた４Ｍ個の圧縮パルスの加算結果である。また
、ｐは奇数であり、とくに、ｐが１の場合は、超音波探
触子（１Ｍ）は、超音波探触子（１Ｌ）の両隣である。 したがって、第３実施例と同様に妨害エコーの影響を排
除した検査が可能である。 【０４１４】なお、これらの作用、効果は、第１実施例
と第２実施例との間の関係の場合と同様に、第１から第
４Ｍの系列として、第１の系列｛ａ１｝、第２の系列｛
ａ２｝、第３の系列｛ａ３｝、第４の系列｛ａ４｝、・
・・、第（２Ｍ−１）の系列｛ａ２Ｍ−１｝、第２Ｍの
系列｛ａ２Ｍ｝、第（２Ｍ＋１）の系列｛ａ１｝、第（
２Ｍ＋２）の系列｛−ａ２｝、第（２Ｍ＋３）の系列｛
ａ３｝、第（２Ｍ＋４）の系列｛−ａ４｝、・・・、第
（４Ｍ−１）の系列｛ａ２Ｍ−１｝、第４Ｍの系列｛−
ａ２Ｍ｝を用いても同様である。 【０４１５】ところで、上述した各実施例では、第１及
び第２の単位信号が矩形波形で、インパルス応答がデル
タ関数の場合について説明したが、第１及び第２の単位
信号の波形、及び、インパルス応答の波形は、矩形に近
い波形や、正弦波形や、滑らかな曲線部を有する波形や
、振幅や零クロス点の間隔が一定でない振動波形などを
含む任意の波形でも良い。これらの場合についても、上
述した各実施例の場合と同様の作用、効果がある。 【０４１６】さらに、参照信号として、エコーの波形と
同一、又は、これに類似の波形を有する信号を用いれば
、この発明と関連する特願平１−４５３１６号及び特願
平１−８６３８３号からわかるように、エコーの信号処
理は、エコーを整合フィルタ又は近似的整合フィルタに
通す信号処理を行うことに相当するので、Ｓ／Ｎ比をよ
り改善できる効果が、上述した作用、効果に奏上するこ
とが期待できる。これらの参照信号は、試験体の表面エ
コーや底面エコーの測定から求めてもよいし、検査対象
としている試験体とは別の試験体を用いた測定結果から
求めてもよいし、信号伝搬経路の周波数応答特性に基づ
いて算出しても構わない。 【０４１７】さらに、上述した各実施例では、試験体（
２）が丸棒で、その外周に沿って超音波探触子（１Ａ）
、（１Ｂ）、（１Ｃ）、・・・を配した場合について説
明したが、試験体（２）の形状がどんな任意の形をして
いても、その形状に沿って配列した超音波探触子（１Ａ
）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、・・・の間で、１つの超音波
探触子（１Ｌ）から送信され、他の超音波探触子（１Ｍ
）で受信されたエコーの相関処理結果の加算結果は零に
なるので、上述した各実施例と同様の作用、効果がある
。また、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、
・・・は斜角探触子でなく、垂直探触子であっても同様
である。 【０４１８】この発明の各実施例は、上述したように、
レンジサイドローブの無い合成圧縮パルスが得られ、ま
た、１つの超音波探触子（１Ｌ）から送信され他の超音
波探触子（１Ｍ）により受信された妨害エコーの影響を
排除できるという効果を奏する。 【０４１９】ところで、上記説明では、超音波探傷装置
に利用する場合について述べたが、その他の例えば超音
波診断装置などにも利用できることはいうまでもない。 【０４２０】また、上記説明では、超音波探触子（１Ａ
）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、・・・を試験体（２）に接触
させている場合について述べたが、超音波探触子（１Ａ
）、（１Ｂ）、（１Ｃ）、・・・は接触させなくてもよ
い。この場合、超音波探触子（１Ａ）、（１Ｂ）、（１
Ｃ）、・・・と試験体（２）との間の超音波の送受信は
、水などのカップリング媒体を介して行えばよい。 【０４２１】さらに、上記説明では、波動として、超音
波を用いる場合について述べたが、超音波以外の波動、
例えば、電磁波を用いるシステムの送受信回路系に適用
しても構わない。 【０４２２】 【発明の効果】この発明は、以上説明した通り、複数個
の出力端子を有し、Ｎを自然数、ｉを１からＮまでの整
数、ｊを１から（Ｎ−１）までの整数とすると、第１か
ら第ＮまでのＮ個の系列を順次繰り返して配列したとき
、ｊを固定して、第ｉ番目の系列と第（ｉ＋ｊ）番目の
系列の相互相関関数をｉが１からＮまで加算すると加算
結果が零になり、かつ、上記第１から第Ｎまでの系列の
自己相関関数を加算するとサイドローブレベルが零とな
る第１から第Ｎまでの系列を発生するとともに、上記第
１から第Ｎまでの系列に基づいてそれぞれ生成される第
１から第Ｎまでの送信信号を発生し、上記第１から第Ｎ
の送信信号を、第ｋ番目の上記出力端子から、第ｋ、第
（ｋ＋１）、第（ｋ＋２）、・・・、第Ｎ、第１、第２
、・・・、第（ｋ−１）、第ｋ、・・・の順番にしたが
って順次繰り返して発生する送信信号発生手段と、上記
複数個の出力端子に対してそれぞれ設けられ、上記出力
端子からの上記送信信号により励振されて波動を対象物
に送信する複数個の送信手段と、上記対象物からのエコ
ーを受信する複数個の受信手段と、上記複数個の受信手
段のそれぞれに対して設けられ、上記第１から第Ｎまで
の系列にそれぞれ基づいて生成される第１から第Ｎまで
の参照信号を用いて、それぞれ、上記第１から第Ｎまで
の送信信号に対応する第１から第Ｎまでの上記エコーを
相関処理する複数個の相関手段と、上記複数個の相関手
段に対してそれぞれ設けられ、上記第１から第Ｎまでの
エコーに対応する上記相関手段の出力を加算する複数個
の加算手段とを備えたので、サイドローブレベルが零の
合成圧縮パルスを得られるとともに、妨害エコーが検査
結果に及ぼす影響を排除できる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例を示すブロック図である
。

【図２】この発明の第１実施例の第１の単位信号を示す
波形図である。

【図３】この発明の第１実施例の第１の送信信号を示す
波形図である。

【図４】この発明の第１実施例の第２の送信信号を示す
波形図である。

【図５】この発明の第１実施例の第３の送信信号を示す
波形図である。

【図６】この発明の第１実施例の第４の送信信号を示す
波形図である。

【図７】この発明の第１実施例の４つの送信信号の繰り
返しを示す波形図である。

【図８】この発明の第１実施例の４つの送信信号の繰り
返しを示す波形図である。

【図９】この発明の第１実施例の第２の単位信号を示す
波形図である。

【図１０】この発明の第１実施例の第１の参照信号を示
す波形図である。

【図１１】この発明の第１実施例の第２の参照信号を示
す波形図である。

【図１２】この発明の第１実施例の第３の参照信号を示
す波形図である。

【図１３】この発明の第１実施例の第４の参照信号を示
す波形図である。

【図１４】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図１５】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図１６】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図１７】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図１８】この発明の第１実施例のエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。

【図１９】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２０】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２１】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２２】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２３】この発明の第１実施例のエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。

【図２４】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２５】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２６】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２７】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図２８】この発明の第１実施例のエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。

【図２９】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図３０】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図３１】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図３２】この発明の第１実施例のエコーの圧縮パルス
を示す波形図である。

【図３３】この発明の第１実施例のエコーの合成圧縮パ
ルスを示す波形図である。

【図３４】この発明の第１実施例の作用、効果を説明す
るための波形図である。

【図３５】この発明の第１実施例の作用、効果を説明す
るための波形図である。

【図３６】この発明の第３実施例を示すブロック図であ
る。

【図３７】この発明の第３実施例の４つの送信信号の繰
り返しを示す波形図である。

【図３８】従来の検査装置の構成を示す説明図である。

【図３９】従来の検査装置の動作を示す波形図である。

【符号の説明】

（１Ａ）〜（１Ｈ）　　　　超音波探触子（２）　　　
　試験体 （３）　　　　欠陥 （５）　　　　送信信号発生器 （５Ａ）〜（５Ｈ）　　　　出力端子 （６Ａ）〜（６Ｈ）　　　　相関器 （７）　　　　表示器 （８Ａ）〜（８Ｈ）　　　　加算器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　複数個の出力端子を有し、Ｎを自然数
   、ｉを１からＮまでの整数、ｊを１から（Ｎ−１）まで
   の整数とすると、第１から第ＮまでのＮ個の系列を順次
   繰り返して配列したとき、ｊを固定して、第ｉ番目の系
   列と第（ｉ＋ｊ）番目の系列の相互相関関数をｉが１か
   らＮまで加算すると加算結果が零になり、かつ、上記第
   １から第Ｎまでの系列の自己相関関数を加算するとサイ
   ドローブレベルが零となる第１から第Ｎまでの系列を発
   生するとともに、上記第１から第Ｎまでの系列に基づい
   てそれぞれ生成される第１から第Ｎまでの送信信号を発
   生し、上記第１から第Ｎまでの送信信号を、第ｋ番目の
   上記出力端子から、第ｋ、第（ｋ＋１）、第（ｋ＋２）
   、・・・、第Ｎ、第１、第２、・・・、第（ｋ−１）、
   第ｋ、・・・の順番にしたがって順次繰り返して発生す
   る送信信号発生手段、上記複数個の出力端子に対してそ
   れぞれ設けられ、上記出力端子からの上記送信信号によ
   り励振されて波動を対象物に送信する複数個の送信手段
   、上記対象物からのエコーを受信する複数個の受信手段
   、これらの複数個の受信手段のそれぞれに対して設けら
   れ、上記第１から第Ｎまでの系列にそれぞれ基づいて生
   成される第１から第Ｎまでの参照信号を用いて、それぞ
   れ、上記第１から第Ｎまでの送信信号に対応する第１か
   ら第Ｎまでの上記エコーを相関処理する複数個の相関手
   段、及びこれらの複数個の相関手段に対してそれぞれ設
   けられ、上記第１から第Ｎまでのエコーに対応する上記
   相関手段の出力を加算する複数個の加算手段を備えたこ
   とを特徴とする検査装置。
2. 【請求項２】　　上記第１から第Ｎまでの系列を相補系
   列に基づいて生成したことを特徴とする請求項１記載の
   検査装置。
3. 【請求項３】　　上記第１から第Ｎまでの系列を複数補
   系列に基づいて生成したことを特徴とする請求項１記載
   の検査装置。