JPH04285481A - リニアステップモータ - Google Patents
リニアステップモータInfo
- Publication number
- JPH04285481A JPH04285481A JP3073921A JP7392191A JPH04285481A JP H04285481 A JPH04285481 A JP H04285481A JP 3073921 A JP3073921 A JP 3073921A JP 7392191 A JP7392191 A JP 7392191A JP H04285481 A JPH04285481 A JP H04285481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- compressed air
- step motor
- clamper
- linear step
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 241000256247 Spodoptera exigua Species 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
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- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/023—Inchworm motors
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[発明の目的]
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、尺取り虫方式のリニア
ステップモータに係り、特に、圧縮空気によるクランプ
機構を備えたリニアステップモータに関する。
ステップモータに係り、特に、圧縮空気によるクランプ
機構を備えたリニアステップモータに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、マイクロリソグラフィなどの分野
で、高分解能、例えば10nm以下の位置決め精度で再
現性の良い位置決め機構が要求され始め、このような要
求を満たすものとしてリニアステップモータの開発が進
んでいる。
で、高分解能、例えば10nm以下の位置決め精度で再
現性の良い位置決め機構が要求され始め、このような要
求を満たすものとしてリニアステップモータの開発が進
んでいる。
【0003】図5は圧電素子を用いたリニアステップモ
ータの原理を示す図である。同図に示すように、積層型
圧電素子1,2,3 を3個組み合わせたもので、まず
、平板4,5の間を圧電素子1 を伸ばして平板4,5
を押しやって固定し(図5(a) )、次いで圧電素
子2 を伸ばして圧電素子3 を前進させ(図5(b)
)、続いて、圧電素子3を伸ばし平板4,5 間に固
定するとともに(図5(c) )、圧電素子1 を縮ま
せた後圧電素子2 を縮ませることにより、圧電素子1
を前進させる(図5(d) )。上記動作を繰り返すこ
とにより、圧電素子2 の変位分ずつのステッピング運
動を得、高分解能の位置決め精度を実現するものである
。
ータの原理を示す図である。同図に示すように、積層型
圧電素子1,2,3 を3個組み合わせたもので、まず
、平板4,5の間を圧電素子1 を伸ばして平板4,5
を押しやって固定し(図5(a) )、次いで圧電素
子2 を伸ばして圧電素子3 を前進させ(図5(b)
)、続いて、圧電素子3を伸ばし平板4,5 間に固
定するとともに(図5(c) )、圧電素子1 を縮ま
せた後圧電素子2 を縮ませることにより、圧電素子1
を前進させる(図5(d) )。上記動作を繰り返すこ
とにより、圧電素子2 の変位分ずつのステッピング運
動を得、高分解能の位置決め精度を実現するものである
。
【0004】図6は図5に示すリニアステップモータの
原理を実用化した例の構造を示すものであるが、図6に
示すように、積層型圧電素子6,7,8 の伸縮する方
向が平行なレール9,10と平行になるように配設する
とともに、左右の積層型圧電素子6,8 に連結した可
動部11,12 を設け、左右の積層型圧電素子6,8
が可動部11,12 とレール9,10をクランプす
る方式となっている。例えば、圧電素子6 が伸びると
、可動部11の先端がレール9,10を押し付けるよう
に圧縮され、可動部11の先端がレール9,10に固定
される。また、圧電素子6 が縮んだ場合には、可動部
11の先端の押し付ける力が弱まり、可動部11の先端
ははレール9,10上を滑動する。この図6に示すリニ
アステップモータは、図5に示すものと同様の動作原理
でに動作する。
原理を実用化した例の構造を示すものであるが、図6に
示すように、積層型圧電素子6,7,8 の伸縮する方
向が平行なレール9,10と平行になるように配設する
とともに、左右の積層型圧電素子6,8 に連結した可
動部11,12 を設け、左右の積層型圧電素子6,8
が可動部11,12 とレール9,10をクランプす
る方式となっている。例えば、圧電素子6 が伸びると
、可動部11の先端がレール9,10を押し付けるよう
に圧縮され、可動部11の先端がレール9,10に固定
される。また、圧電素子6 が縮んだ場合には、可動部
11の先端の押し付ける力が弱まり、可動部11の先端
ははレール9,10上を滑動する。この図6に示すリニ
アステップモータは、図5に示すものと同様の動作原理
でに動作する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たリニアステップモータにおいては、次のような問題点
が存在する。すなわち、 (1) 積層圧電素子を最低3個使用するので、それら
を駆動する駆動装置が複雑となり、かつ高価である(2
) 一連の動作において、クランプのオン・オフには高
い位置決め分解能や必要以上に高い発生力は要求されな
い。また、この種のリニアステップモータは、駆動の高
速化よりも大ストロークを高分解能に位置決めすること
を目的として作られたものが多い。したがって、クラン
プ部分に限っては圧電素子の高分解能、高発生力、高速
応答といった特長が十分に生かし切れていない(3)
圧電素子の使用個数が多いため、高い周波数で駆動する
と、圧電素子から発生する発熱が問題となるなどである
。
たリニアステップモータにおいては、次のような問題点
が存在する。すなわち、 (1) 積層圧電素子を最低3個使用するので、それら
を駆動する駆動装置が複雑となり、かつ高価である(2
) 一連の動作において、クランプのオン・オフには高
い位置決め分解能や必要以上に高い発生力は要求されな
い。また、この種のリニアステップモータは、駆動の高
速化よりも大ストロークを高分解能に位置決めすること
を目的として作られたものが多い。したがって、クラン
プ部分に限っては圧電素子の高分解能、高発生力、高速
応答といった特長が十分に生かし切れていない(3)
圧電素子の使用個数が多いため、高い周波数で駆動する
と、圧電素子から発生する発熱が問題となるなどである
。
【0006】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、クランプ動作のオン・オフ・ストロークを高分解能
に位置決めすることができるリニアステップモータを提
供することを目的とする。
で、クランプ動作のオン・オフ・ストロークを高分解能
に位置決めすることができるリニアステップモータを提
供することを目的とする。
【0007】[発明の構成]
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、尺取り虫方式のステッピング運動を行な
うリニアステップモータにおいて、ガイドと、このガイ
ドに沿って所定のタイミングで伸縮運動を行なう電気ひ
ずみ材料からなるアクチュエータと、このアクチュエー
タを挾持するとともに圧縮空気を案内する静圧案内面を
有するたわみ変形部を備え所定タイミングで供給される
圧縮空気でたわみ変形部がたわみ変形することにより上
記ガイドへのクランプ動作を行なうクランプ機構部と、
このクランプ機構部への上記圧縮空気の供給を制御する
制御部とを具備したことを特徴とする。
成するために、尺取り虫方式のステッピング運動を行な
うリニアステップモータにおいて、ガイドと、このガイ
ドに沿って所定のタイミングで伸縮運動を行なう電気ひ
ずみ材料からなるアクチュエータと、このアクチュエー
タを挾持するとともに圧縮空気を案内する静圧案内面を
有するたわみ変形部を備え所定タイミングで供給される
圧縮空気でたわみ変形部がたわみ変形することにより上
記ガイドへのクランプ動作を行なうクランプ機構部と、
このクランプ機構部への上記圧縮空気の供給を制御する
制御部とを具備したことを特徴とする。
【0009】また、本発明は、たわみ変形部は傾斜を有
して形成されるとともにガイドに対向する面に弾性体が
貼付されこの弾性体の一端側近傍に切欠部が形成されて
いることを特徴とする。
して形成されるとともにガイドに対向する面に弾性体が
貼付されこの弾性体の一端側近傍に切欠部が形成されて
いることを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明は上記のように構成したので、アクチュ
エータを挾持するクランプ機構部は所定タイミングで供
給される圧縮空気でたわみ変形部がたわみ変形すること
によりガイドへのクランプ動作を行なうので、リニアス
テップモータ本体が前進する。したがって、使用される
電気ひずみ材料はアクチュエータに使用される1個のみ
で済み、高速・高精度に位置決めを行なうことができる
。
エータを挾持するクランプ機構部は所定タイミングで供
給される圧縮空気でたわみ変形部がたわみ変形すること
によりガイドへのクランプ動作を行なうので、リニアス
テップモータ本体が前進する。したがって、使用される
電気ひずみ材料はアクチュエータに使用される1個のみ
で済み、高速・高精度に位置決めを行なうことができる
。
【0011】また、本発明はたわみ変形部を上記のよう
に構成したので、たわみ変形部を傾斜を有して形成する
ことにより、たわみ変形時のガイドとの接触面積が大き
く得られ貼付される弾性体の面積も大きくなり、安定し
たクランプ状態が得られる。また、切欠部を形成するこ
とにより、たわみ変形がの発生しやすくなる。
に構成したので、たわみ変形部を傾斜を有して形成する
ことにより、たわみ変形時のガイドとの接触面積が大き
く得られ貼付される弾性体の面積も大きくなり、安定し
たクランプ状態が得られる。また、切欠部を形成するこ
とにより、たわみ変形がの発生しやすくなる。
【0012】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【0013】図1は、本発明の一実施例のリニアステッ
プモータの構成を示す図である。
プモータの構成を示す図である。
【0014】同図に示すように、ガイド20とレール2
1によって拘束された空間に、圧縮空気により浮上する
クランパ22,23 が、電気ひずみ材料の一つである
電歪素子24を挾持する形態で配設されている。この電
歪素子24はリニアステップモータにおける前進用のア
クチュエータとして動作する。また、各クランパ22,
23 には、クランパ22,23 を浮上させるための
圧縮空気が配管25を介してそれぞれ供給され、さらに
、各クランパ22,23 をたわみ変形させるための圧
縮空気が配管26から供給される。このクランパ22,
23 をたわみ変形させる圧縮空気は、クランパ22,
23 に断続的にかつ交互に供給されるようにサーボバ
ルブ27,28 で制御された後、配管26a,26b
を介して各クランパ22,23 にそれぞれ供給され
る。
1によって拘束された空間に、圧縮空気により浮上する
クランパ22,23 が、電気ひずみ材料の一つである
電歪素子24を挾持する形態で配設されている。この電
歪素子24はリニアステップモータにおける前進用のア
クチュエータとして動作する。また、各クランパ22,
23 には、クランパ22,23 を浮上させるための
圧縮空気が配管25を介してそれぞれ供給され、さらに
、各クランパ22,23 をたわみ変形させるための圧
縮空気が配管26から供給される。このクランパ22,
23 をたわみ変形させる圧縮空気は、クランパ22,
23 に断続的にかつ交互に供給されるようにサーボバ
ルブ27,28 で制御された後、配管26a,26b
を介して各クランパ22,23 にそれぞれ供給され
る。
【0015】また、図2にA−A断面図、およびそのB
部拡大図を図3に示すように、クランパ23は、配管2
5b,26b を介して供給される圧縮空気の充填され
る充填室23a とこの充填室23a に圧縮空気を案
内する静圧案内面が内部表面に形成された、例えば金属
製の外壁部23b からなり、この外壁部23b はガ
イド20の側壁に固定された断面H形状のレール21の
一方の突起部21a を上下から包み込む構成となって
いる。また、クランパ23の外壁部23b の先端側に
は所定角度の傾斜を有してたわみ変形部23c,23c
が形成されており、この径斜面上にはガイド20の上
面と下面に対向して弾性体29,29 の薄板が貼付さ
れている。さらに、この弾性体29,29 の一端側近
傍には、配管26b から圧縮空気が供給されたときに
たわみ変形部23c,23cがたわみ変形を起こしやす
いように、外面側に切欠部23d,23d が形成され
ている。
部拡大図を図3に示すように、クランパ23は、配管2
5b,26b を介して供給される圧縮空気の充填され
る充填室23a とこの充填室23a に圧縮空気を案
内する静圧案内面が内部表面に形成された、例えば金属
製の外壁部23b からなり、この外壁部23b はガ
イド20の側壁に固定された断面H形状のレール21の
一方の突起部21a を上下から包み込む構成となって
いる。また、クランパ23の外壁部23b の先端側に
は所定角度の傾斜を有してたわみ変形部23c,23c
が形成されており、この径斜面上にはガイド20の上
面と下面に対向して弾性体29,29 の薄板が貼付さ
れている。さらに、この弾性体29,29 の一端側近
傍には、配管26b から圧縮空気が供給されたときに
たわみ変形部23c,23cがたわみ変形を起こしやす
いように、外面側に切欠部23d,23d が形成され
ている。
【0016】次に、上記構成のクランパ23の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【0017】サーボバルブ28がオフされ、配管26b
から圧縮空気が供給されないときには、クランパ23
は図2および図3の実線で示す状態を維持し、たわみ変
形部23c はたわみ変形を起こしていない。
から圧縮空気が供給されないときには、クランパ23
は図2および図3の実線で示す状態を維持し、たわみ変
形部23c はたわみ変形を起こしていない。
【0018】ところで、サーボバルブ28がオンされ、
配管26b から圧縮空気が供給され外壁部23b の
静圧案内面に案内されて充填室23a に圧縮空気が充
填すると、たわみ変形部23c は、切欠部23d,2
3d の存在によりたわみ変形を起こしやすくなってい
るので、図3の破線で示すように矢印C方向にたわみ変
形する。たわみ変形部23cがたわみ変形すると、弾性
体29,29 はガイド20の上面と下面を押しやり、
クランパ23がガイド20に固定される。このとき、た
わみ変形部23c には傾斜が形成されているので、弾
性体29,29 とガイド20の接触面積が大きくなり
、クランパ23はより安定した状態でガイド20に固定
される。
配管26b から圧縮空気が供給され外壁部23b の
静圧案内面に案内されて充填室23a に圧縮空気が充
填すると、たわみ変形部23c は、切欠部23d,2
3d の存在によりたわみ変形を起こしやすくなってい
るので、図3の破線で示すように矢印C方向にたわみ変
形する。たわみ変形部23cがたわみ変形すると、弾性
体29,29 はガイド20の上面と下面を押しやり、
クランパ23がガイド20に固定される。このとき、た
わみ変形部23c には傾斜が形成されているので、弾
性体29,29 とガイド20の接触面積が大きくなり
、クランパ23はより安定した状態でガイド20に固定
される。
【0019】なお、クランパ22も同様に構成されてお
り、同様の動作を行なう。
り、同様の動作を行なう。
【0020】次に、上記構成のリニアステップモータの
尺取り虫方式の動作について、図4を参照し、説明する
。
尺取り虫方式の動作について、図4を参照し、説明する
。
【0021】同図に示すように、まず、クランパ22へ
圧縮空気を供給し、クランパ23への圧縮空気の供給を
停止する。これによって、弾性体30がガイド20と接
触することにより、クランパ22はガイド20に固定さ
れ、一方、クランパ23はガイド20と非接触状態、い
わゆるクランプOFFの状態となる。(図4(a) 参
照)。
圧縮空気を供給し、クランパ23への圧縮空気の供給を
停止する。これによって、弾性体30がガイド20と接
触することにより、クランパ22はガイド20に固定さ
れ、一方、クランパ23はガイド20と非接触状態、い
わゆるクランプOFFの状態となる。(図4(a) 参
照)。
【0022】次いで図示しない駆動装置により電歪素子
24が伸び、クランパ23が前進する。このように電歪
素子24が伸びて変位することにより、リニアステップ
モータ本体が前進する。ここで用いられる電歪素子24
は高速・高精度な位置決めに適したアクチュエータであ
ることが望まれる。(図4(b) 参照)。
24が伸び、クランパ23が前進する。このように電歪
素子24が伸びて変位することにより、リニアステップ
モータ本体が前進する。ここで用いられる電歪素子24
は高速・高精度な位置決めに適したアクチュエータであ
ることが望まれる。(図4(b) 参照)。
【0023】続いて、サーボバルブ28がオンされ圧縮
空気がクランパ23に供給される。これによって、弾性
体29がガイド20と接触し、クランパ23がガイド2
0に固定される、いわゆるクランプONの状態となる。 (図4(c) 参照)。
空気がクランパ23に供給される。これによって、弾性
体29がガイド20と接触し、クランパ23がガイド2
0に固定される、いわゆるクランプONの状態となる。 (図4(c) 参照)。
【0024】クランパ23がクランプONの状態となる
と、サーボバルブ27がオフ制御されてクランパ22へ
の圧縮空気の供給が停止され、クランパ22はクランプ
OFFの状態となる。このとき、クランパ22がクラン
プOFFとなることにより、電歪素子24が縮み、クラ
ンパ22が前進する。(図4(d) 参照)。
と、サーボバルブ27がオフ制御されてクランパ22へ
の圧縮空気の供給が停止され、クランパ22はクランプ
OFFの状態となる。このとき、クランパ22がクラン
プOFFとなることにより、電歪素子24が縮み、クラ
ンパ22が前進する。(図4(d) 参照)。
【0025】続いて、再びクランパ22へ圧縮空気が供
給される。クランパ22はガイド20に固定されクラン
プONの状態となる。このとき、クランパ23はクラン
プON状態を持続する。(図4(e) 参照)。
給される。クランパ22はガイド20に固定されクラン
プONの状態となる。このとき、クランパ23はクラン
プON状態を持続する。(図4(e) 参照)。
【0026】以上の動作を繰り返すことにより、電歪素
子24の変位分ずつのステッピング運動が得られ、高精
度な位置決めが行なわれる。
子24の変位分ずつのステッピング運動が得られ、高精
度な位置決めが行なわれる。
【0027】なお、上記実施例では、電気ひずみ素子と
して電歪素子を適用したが、これに限ることはなく、圧
電素子を適用してもよい。
して電歪素子を適用したが、これに限ることはなく、圧
電素子を適用してもよい。
【0028】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形
可能であることは勿論である。
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形
可能であることは勿論である。
【0029】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明のリニアス
テップモータによれば、アクチュエータを挾持するクラ
ンプ機構部はたわみ変形部がたわみ変形することにより
クランプ動作を行なう構成としたので、アクチュエータ
に使用される電歪素子などの電気ひずみ素子が1個で済
み、高速・高精度に位置決めを行なうことができ、また
、アクチュエータの駆動回路が簡略化されるとともに高
周波で駆動したときの発熱量の低下を図ることができる
。
テップモータによれば、アクチュエータを挾持するクラ
ンプ機構部はたわみ変形部がたわみ変形することにより
クランプ動作を行なう構成としたので、アクチュエータ
に使用される電歪素子などの電気ひずみ素子が1個で済
み、高速・高精度に位置決めを行なうことができ、また
、アクチュエータの駆動回路が簡略化されるとともに高
周波で駆動したときの発熱量の低下を図ることができる
。
【0030】また、本発明はたわみ変形によるクランプ
するクランプ機構としたので、装置の大型化が容易とな
り、広範囲の分野での適用が可能となる。
するクランプ機構としたので、装置の大型化が容易とな
り、広範囲の分野での適用が可能となる。
【図1】本発明の一実施例のリニアステップモータの構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図2】本発明の一実施例のリニアステップモータの断
面図である。
面図である。
【図3】本発明の一実施例のリニアステップモータの要
部の拡大図である。
部の拡大図である。
【図4】ステッピング運動の流れの概略を示したフロー
チャートである。
チャートである。
【図5】リニアステップモータの原理を示す図である。
【図6】従来のリニアステップモータを示す図である。
20…ガイド
22…クランパ(クランプ機構部)
23…クランパ(クランプ機構部)
23c …たわみ変形部
23d …切欠部
24…電歪素子(アクチュエータ)
27…サーボバルブ(制御部)
28…サーボバルブ(制御部)
29…弾性体
30…弾性体
Claims (2)
- 【請求項1】 尺取り虫方式のステッピング運動を行
なうリニアステップモータにおいて、ガイドと、このガ
イドに沿って所定のタイミングで伸縮運動を行なう電気
ひずみ材料からなるアクチュエータと、このアクチュエ
ータを挾持するとともに圧縮空気を案内する静圧案内面
を有するたわみ変形部を備え所定タイミングで供給され
る圧縮空気でたわみ変形部がたわみ変形することにより
上記ガイドへのクランプ動作を行なうクランプ機構部と
、このクランプ機構部への上記圧縮空気の供給を制御す
る制御部とを具備したことを特徴とするリニアステップ
モータ。 - 【請求項2】 たわみ変形部は傾斜を有して形成され
るとともにガイドに対向する面に弾性体が貼付されこの
弾性体の一端側近傍に切欠部が形成されていることを特
徴とする請求項1記載のリニアステップモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3073921A JP2607766B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | リニアステップモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3073921A JP2607766B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | リニアステップモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04285481A true JPH04285481A (ja) | 1992-10-09 |
JP2607766B2 JP2607766B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=13532106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3073921A Expired - Lifetime JP2607766B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | リニアステップモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2607766B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5433054U (ja) * | 1977-08-08 | 1979-03-03 | ||
JPH0241670A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-09 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 駆動装置 |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP3073921A patent/JP2607766B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5433054U (ja) * | 1977-08-08 | 1979-03-03 | ||
JPH0241670A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-09 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 駆動装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2607766B2 (ja) | 1997-05-07 |
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