JPH04285157A - 金属の蒸発方法 - Google Patents
金属の蒸発方法Info
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- JPH04285157A JPH04285157A JP4639791A JP4639791A JPH04285157A JP H04285157 A JPH04285157 A JP H04285157A JP 4639791 A JP4639791 A JP 4639791A JP 4639791 A JP4639791 A JP 4639791A JP H04285157 A JPH04285157 A JP H04285157A
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- metal
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- Pending
Links
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 47
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空中で電子ビームによ
り金属を蒸発させる。
り金属を蒸発させる。
【０００２】
【従来の技術】従来の方法は、特開昭６３−１４８５９
号公報に開示のように、蒸発金属表面の蒸気圧ｐと蒸
発金属の密度ρとがｐ／ρ≧０．１ となるように電子
ビーム出力を制御することにより、蒸発金属表面に所望
の凹部を形成して、指向性の良い金属蒸気を発生させて
いた。
号公報に開示のように、蒸発金属表面の蒸気圧ｐと蒸
発金属の密度ρとがｐ／ρ≧０．１ となるように電子
ビーム出力を制御することにより、蒸発金属表面に所望
の凹部を形成して、指向性の良い金属蒸気を発生させて
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、蒸
発面が変化するので、これによる蒸気フラックスの変動
が大きいという問題があった。また、これに伴って、蒸
発面の凹部形状が変化するので金属蒸気の指向性も大き
く変わるという問題があった。更に、蒸発金属の溶融部
での対流による熱損失が大きいという問題があった。
発面が変化するので、これによる蒸気フラックスの変動
が大きいという問題があった。また、これに伴って、蒸
発面の凹部形状が変化するので金属蒸気の指向性も大き
く変わるという問題があった。更に、蒸発金属の溶融部
での対流による熱損失が大きいという問題があった。
【０００４】本発明の目的は、蒸発面変化による蒸気フ
ラックス，蒸気指向性の変動、及び、対流による熱損失
の増大という問題点を解決し、蒸発効率が良く、蒸気フ
ラックス，蒸気指向性の安定した金属蒸気を発生させる
方法を提供することにある。
ラックス，蒸気指向性の変動、及び、対流による熱損失
の増大という問題点を解決し、蒸発効率が良く、蒸気フ
ラックス，蒸気指向性の安定した金属蒸気を発生させる
方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は蒸発金属より融点の高い金属でできた多孔
質るつぼに所望の凹部を設け、このるつぼに予め蒸発金
属を含浸させておき、凹部に電子ビームを照射して金属
蒸気を発生するようにした。
に、本発明は蒸発金属より融点の高い金属でできた多孔
質るつぼに所望の凹部を設け、このるつぼに予め蒸発金
属を含浸させておき、凹部に電子ビームを照射して金属
蒸気を発生するようにした。
【０００６】
【作用】多孔質るつぼに含浸させた蒸発金属は毛管現象
によりるつぼ内を移動し、電子ビームを照射している凹
部に自然供給されるので、蒸発金属の蒸発面を凹部に固
定することができる。
によりるつぼ内を移動し、電子ビームを照射している凹
部に自然供給されるので、蒸発金属の蒸発面を凹部に固
定することができる。
【０００７】また、蒸発金属の溶融部が存在しないので
、対流による熱損失はなくなる。
、対流による熱損失はなくなる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に示した断面
図を用いて説明する。直径ｄの円柱状凹部２を設け、蒸
発金属より融点の高い金属でできた多孔質るつぼ１に、
予め蒸発金属を含浸させた後、電子ビーム３を凹部２の
底部２ｂに照射する。底部２ｂが蒸発金属の融点より高
温になると、底部２ｂからは蒸発金属のみが蒸発する。 るつぼ１内に含浸させた蒸発金属は、毛管現象によりる
つぼ１内を移動し底部２ｂに自然供給されるので、蒸発
面は底部２ｂに固定される。底部２ｂから蒸発した金属
蒸気４は凹部２の最上部２ａでコリメ−トされるので、
指向性の良い金属蒸気４が得られる。従って、必要な金
属蒸気４の広がりに応じて、凹部２の直径ｄを調節すれ
ばよい。
図を用いて説明する。直径ｄの円柱状凹部２を設け、蒸
発金属より融点の高い金属でできた多孔質るつぼ１に、
予め蒸発金属を含浸させた後、電子ビーム３を凹部２の
底部２ｂに照射する。底部２ｂが蒸発金属の融点より高
温になると、底部２ｂからは蒸発金属のみが蒸発する。 るつぼ１内に含浸させた蒸発金属は、毛管現象によりる
つぼ１内を移動し底部２ｂに自然供給されるので、蒸発
面は底部２ｂに固定される。底部２ｂから蒸発した金属
蒸気４は凹部２の最上部２ａでコリメ−トされるので、
指向性の良い金属蒸気４が得られる。従って、必要な金
属蒸気４の広がりに応じて、凹部２の直径ｄを調節すれ
ばよい。
【０００９】蒸発金属をるつぼ１へ含浸させるのは、例
えば、るつぼ１の上に蒸発金属のペレットを載せ、電子
ビーム３でるつぼ１ごとペレットを加熱し、溶融すれば
よい。るつぼ１の材質は蒸発金属よりも十分融点の高い
金属で、蒸発金属の融点付近で蒸発金属と反応しないよ
うな金属を選ぶべきである。一般には、高融点金属が有
用と考えられる。
えば、るつぼ１の上に蒸発金属のペレットを載せ、電子
ビーム３でるつぼ１ごとペレットを加熱し、溶融すれば
よい。るつぼ１の材質は蒸発金属よりも十分融点の高い
金属で、蒸発金属の融点付近で蒸発金属と反応しないよ
うな金属を選ぶべきである。一般には、高融点金属が有
用と考えられる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、蒸発面の変化による蒸
気フラックス，蒸気指向性の変動を抑制することができ
るので、指向性が良く、蒸気フラックスの安定した金属
蒸気を発生させることができる。
気フラックス，蒸気指向性の変動を抑制することができ
るので、指向性が良く、蒸気フラックスの安定した金属
蒸気を発生させることができる。
【００１１】また、対流熱損失がないので、蒸発効率を
向上することもできる。
向上することもできる。
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
１…多孔質るつぼ、２…凹部、３…電子ビーム、４…金
属蒸気。
属蒸気。
Claims (1)
- 【請求項１】真空中で電子ビームを蒸発金属に照射し金
属蒸気を発生させる金属蒸発装置において、所望の凹部
を設けた前記蒸発金属より融点の高い金属でできた多孔
質のるつぼを用い、前記るつぼに予め前記蒸発金属を含
浸させておき、前記凹部に前記電子ビームを照射して前
記蒸発金属を蒸発させることを特徴とする金属の蒸発方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4639791A JPH04285157A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 金属の蒸発方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4639791A JPH04285157A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 金属の蒸発方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04285157A true JPH04285157A (ja) | 1992-10-09 |
Family
ID=12746019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4639791A Pending JPH04285157A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | 金属の蒸発方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04285157A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2733253A1 (fr) * | 1995-04-24 | 1996-10-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif pour deposer un materiau par evaporation sur des substrats de grande surface |
| WO2009014398A3 (en) * | 2007-07-26 | 2009-04-02 | Ceko Corp Ltd | Multipurpose carrier of vacuum vapor deposition material and method thereof |
-
1991
- 1991-03-12 JP JP4639791A patent/JPH04285157A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2733253A1 (fr) * | 1995-04-24 | 1996-10-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif pour deposer un materiau par evaporation sur des substrats de grande surface |
| WO1996034123A1 (fr) * | 1995-04-24 | 1996-10-31 | Commissariat A L'energie Atomique | Dispositif pour deposer un materiau par evaporation sur des substrats de grande surface |
| US6509061B1 (en) | 1995-04-24 | 2003-01-21 | Commissariat A L'energe Atomique | Apparatus for depositing a material by evaporation on large surface substrates |
| WO2009014398A3 (en) * | 2007-07-26 | 2009-04-02 | Ceko Corp Ltd | Multipurpose carrier of vacuum vapor deposition material and method thereof |
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