JPH04283396A - ヒートパイプの検査方法 - Google Patents
ヒートパイプの検査方法Info
- Publication number
- JPH04283396A JPH04283396A JP7051291A JP7051291A JPH04283396A JP H04283396 A JPH04283396 A JP H04283396A JP 7051291 A JP7051291 A JP 7051291A JP 7051291 A JP7051291 A JP 7051291A JP H04283396 A JPH04283396 A JP H04283396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat pipe
- temperature
- container
- chamber
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 18
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- -1 for example Chemical compound 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N phenylbenzene Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ヒートパイプの良否
を検査する方法に関するものである。
を検査する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】周知のようにヒートパイプは密閉したコ
ンテナの内部に、作動流体を封入したものであるから、
外観からはその良否を直ちに知ることはできない。また
特に、非凝縮性ガスの僅かな混入によっても熱輸送特性
に影響を受けるので、その良否の判定は、実用状態と同
様な状態に置くことによって行なっている。
ンテナの内部に、作動流体を封入したものであるから、
外観からはその良否を直ちに知ることはできない。また
特に、非凝縮性ガスの僅かな混入によっても熱輸送特性
に影響を受けるので、その良否の判定は、実用状態と同
様な状態に置くことによって行なっている。
【0003】すなわち、例えば銅・水ヒートパイプ等で
は、完成品のヒートパイプの一端を温水等の熱源によっ
て加熱して昇温試験を実施し、正しくヒートパイプ作動
する否かを検査する。そして、ヒートパイプの他端の凝
縮部側の温度が上昇しなかったり、温度が上昇するのに
時間がかかったりした場合には、そのヒートパイプは亀
裂や孔が生じて作動流体(水など)が流出したり、ヒー
トパイプ内に非凝縮性の気体が混入して、正常に作動し
ない欠陥品と判定している。
は、完成品のヒートパイプの一端を温水等の熱源によっ
て加熱して昇温試験を実施し、正しくヒートパイプ作動
する否かを検査する。そして、ヒートパイプの他端の凝
縮部側の温度が上昇しなかったり、温度が上昇するのに
時間がかかったりした場合には、そのヒートパイプは亀
裂や孔が生じて作動流体(水など)が流出したり、ヒー
トパイプ内に非凝縮性の気体が混入して、正常に作動し
ない欠陥品と判定している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】水やアルコールなどの
蒸気圧が常温で負圧となる流体を作動流体としたヒート
パイプでは、コンテナ内を真空引きするもののヒートパ
イプの内外の差圧は、最大でも約1Kg/cm2 以内
である。
蒸気圧が常温で負圧となる流体を作動流体としたヒート
パイプでは、コンテナ内を真空引きするもののヒートパ
イプの内外の差圧は、最大でも約1Kg/cm2 以内
である。
【0005】したがって、ヒートパイプのコンテナの欠
陥として微細なピンホールが生じている場合には、外部
の空気がコンテナ内に流入しにくい。そのため、大気圧
下に長期間放置した後にヒートパイプを検査すれば、コ
ンテナ内に比較的大量の空気が侵入しているため、昇温
試験で非凝縮性の気体の有無や、リークの有無等を比較
的容易に検査できるが、多くの場合は、製造直後のヒー
トパイプに対して検査を行なうため、微細なピンホール
から流入した空気の量は少なく、したがって通常の昇温
試験ではこの種の欠陥を検出することが困難であった。
陥として微細なピンホールが生じている場合には、外部
の空気がコンテナ内に流入しにくい。そのため、大気圧
下に長期間放置した後にヒートパイプを検査すれば、コ
ンテナ内に比較的大量の空気が侵入しているため、昇温
試験で非凝縮性の気体の有無や、リークの有無等を比較
的容易に検査できるが、多くの場合は、製造直後のヒー
トパイプに対して検査を行なうため、微細なピンホール
から流入した空気の量は少なく、したがって通常の昇温
試験ではこの種の欠陥を検出することが困難であった。
【0006】また、水素ガスやヘリウムガスなどの分子
量あるいは原子量の小さい気体中でで使用するヒートパ
イプにあっては、空気の侵入の殆んどないピンホールで
あっても、使用時には外気の侵入を招く欠陥となるが、
このようなピンホールは、通常の検査方法では見出すこ
とができない。
量あるいは原子量の小さい気体中でで使用するヒートパ
イプにあっては、空気の侵入の殆んどないピンホールで
あっても、使用時には外気の侵入を招く欠陥となるが、
このようなピンホールは、通常の検査方法では見出すこ
とができない。
【0007】この発明は、上記の事情に鑑みなされたも
ので、微細なピンホール等の欠陥を早期かつ容易に検出
できる検査方法を提供することを目的とするものである
。
ので、微細なピンホール等の欠陥を早期かつ容易に検出
できる検査方法を提供することを目的とするものである
。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの手段としてこの発明は、沸点が常温より高い作動流
体をコンテナに封入したヒートパイプの検査方法におい
て、前記ヒートパイプを、気体を充満させたチャンバ内
に収容し、このチャンバ内を一定時間高圧に保持した後
、このヒートパイプを取出し、その一端を加熱してヒー
トパイプ作動させ、前記コンテナの温度分布を測定する
ことを特徴としている。
めの手段としてこの発明は、沸点が常温より高い作動流
体をコンテナに封入したヒートパイプの検査方法におい
て、前記ヒートパイプを、気体を充満させたチャンバ内
に収容し、このチャンバ内を一定時間高圧に保持した後
、このヒートパイプを取出し、その一端を加熱してヒー
トパイプ作動させ、前記コンテナの温度分布を測定する
ことを特徴としている。
【0009】
【作用】この発明の方法においては、沸点が常温より高
い作動流体をコンテナ内に封入したヒートパイプを、気
体を充満させたチャンバ内に収容し、このチャンバ内を
高圧にすることにより、コンテナの内外の差圧が増大す
る。その結果、大気圧下では空気などの気体が侵入しに
くい微細なピンホールや微小亀裂等の有るヒートパイプ
のコンテナ内に、チャンバ内の気体が短時間で比較的大
量に流入する。
い作動流体をコンテナ内に封入したヒートパイプを、気
体を充満させたチャンバ内に収容し、このチャンバ内を
高圧にすることにより、コンテナの内外の差圧が増大す
る。その結果、大気圧下では空気などの気体が侵入しに
くい微細なピンホールや微小亀裂等の有るヒートパイプ
のコンテナ内に、チャンバ内の気体が短時間で比較的大
量に流入する。
【0010】したがって、このヒートパイプをチャンバ
から取出して、その一端を温水に漬ける等によって加熱
すると、微細なピンホールや微小亀裂等の有るヒートパ
イプは、流入した非凝縮性の気体がそのコンテナ内に存
在するため、ヒートパイプ作動中に、この非凝縮性の気
体が凝縮部側に滞溜して、その部分への熱輸送が阻害さ
れる。その結果、ヒートパイプの均熱特性に反して、凝
縮部側に周囲より低温の部分が生じるため、低温部の存
在によって非凝縮性の気体の流入が確認でき、このよう
なヒートパイプには微細なピンホールや微小亀裂等の欠
陥が有ると判断することができる。
から取出して、その一端を温水に漬ける等によって加熱
すると、微細なピンホールや微小亀裂等の有るヒートパ
イプは、流入した非凝縮性の気体がそのコンテナ内に存
在するため、ヒートパイプ作動中に、この非凝縮性の気
体が凝縮部側に滞溜して、その部分への熱輸送が阻害さ
れる。その結果、ヒートパイプの均熱特性に反して、凝
縮部側に周囲より低温の部分が生じるため、低温部の存
在によって非凝縮性の気体の流入が確認でき、このよう
なヒートパイプには微細なピンホールや微小亀裂等の欠
陥が有ると判断することができる。
【0011】
【実施例】以下、この発明のヒートパイプの検査方法の
一実施例を図1および図2に基づいて説明する。
一実施例を図1および図2に基づいて説明する。
【0012】ヒートパイプ1は、真空中での沸点が常温
より高い作動流体として、例えば、所定量の水がコンテ
ナ1a内に封入されている。このヒートパイプ1のコン
テナ1aに、微細のピンホールや微小亀裂等が有るか無
いかを調べる際には、先ず、ヒートパイプ1をチャンバ
2内に収容し、非凝縮性の気体として例えば窒素ガス(
N2 )をチャンバ2内に注入して、そのチャンバ内圧
を例えば10Kg/cm2 近くまで高める(図1参照
)チャンバ2内が高圧となると、内部に収容されている
ヒートパイプ1の内圧との差が約10Kg/cm2 ま
で増大する。そのため、ヒートパイプ1のコンテナ1a
に微細なピンホール等が有ると、チャンバ2内の窒素ガ
スが、微細なピンホール等を通過してコンテナ1a内に
流入する。この時間当りの流入量は、ヒートパイプ1の
内外圧力差が大きい程多くなるため、コンテナ1aが圧
潰しない範囲でチャンバ2内が高圧であればある程、短
時間で多量の窒素ガスを流入させることができる。
より高い作動流体として、例えば、所定量の水がコンテ
ナ1a内に封入されている。このヒートパイプ1のコン
テナ1aに、微細のピンホールや微小亀裂等が有るか無
いかを調べる際には、先ず、ヒートパイプ1をチャンバ
2内に収容し、非凝縮性の気体として例えば窒素ガス(
N2 )をチャンバ2内に注入して、そのチャンバ内圧
を例えば10Kg/cm2 近くまで高める(図1参照
)チャンバ2内が高圧となると、内部に収容されている
ヒートパイプ1の内圧との差が約10Kg/cm2 ま
で増大する。そのため、ヒートパイプ1のコンテナ1a
に微細なピンホール等が有ると、チャンバ2内の窒素ガ
スが、微細なピンホール等を通過してコンテナ1a内に
流入する。この時間当りの流入量は、ヒートパイプ1の
内外圧力差が大きい程多くなるため、コンテナ1aが圧
潰しない範囲でチャンバ2内が高圧であればある程、短
時間で多量の窒素ガスを流入させることができる。
【0013】次に、高圧のチャンバ2内に一定時間入れ
ておいた後、チャンバ2から取出して昇温試験を行なう
。
ておいた後、チャンバ2から取出して昇温試験を行なう
。
【0014】昇温試験では、例えば80℃程度の温水中
に、ヒートパイプ1の一端側を浸漬して加熱すると、微
細なピンホールのあるヒートパイプ1は、そのコンテナ
1a内に非凝縮性の気体である窒素ガスが存在するため
、この窒素ガスが正常なヒートパイプ作動を阻害する。
に、ヒートパイプ1の一端側を浸漬して加熱すると、微
細なピンホールのあるヒートパイプ1は、そのコンテナ
1a内に非凝縮性の気体である窒素ガスが存在するため
、この窒素ガスが正常なヒートパイプ作動を阻害する。
【0015】すなわち、コンテナ1a内の窒素ガスは、
加熱されて沸騰する作動流体の蒸気とともにヒートパイ
プの上方の凝縮部3へ移動し、ここで作動流体の蒸気は
、熱を奪われて凝縮するが、非凝縮性の気体である窒素
ガスは、気体のまま凝縮部3に滞溜する。
加熱されて沸騰する作動流体の蒸気とともにヒートパイ
プの上方の凝縮部3へ移動し、ここで作動流体の蒸気は
、熱を奪われて凝縮するが、非凝縮性の気体である窒素
ガスは、気体のまま凝縮部3に滞溜する。
【0016】そのため、ヒートパイプ1の凝縮部3で、
作動流体の蒸気がコンテナ1aの内面に接触して凝縮す
る部分には、作動流体の蒸気が運んできた熱が放出され
るため高温部3aが形成される。しかし、窒素ガスが滞
溜している部分に対しては、作動流体の蒸気が熱輸送し
ないため高温とはならず、低温部3bが形成される(図
2参照)。
作動流体の蒸気がコンテナ1aの内面に接触して凝縮す
る部分には、作動流体の蒸気が運んできた熱が放出され
るため高温部3aが形成される。しかし、窒素ガスが滞
溜している部分に対しては、作動流体の蒸気が熱輸送し
ないため高温とはならず、低温部3bが形成される(図
2参照)。
【0017】したがって、昇温試験を行なって、ヒート
パイプ1の凝縮部3の温度分布を調べ、低温部3bが発
生していれば、微細なピンホール等によるものを含めて
欠陥品と判定することができる。
パイプ1の凝縮部3の温度分布を調べ、低温部3bが発
生していれば、微細なピンホール等によるものを含めて
欠陥品と判定することができる。
【0018】以上のように、昇温試験を行なう前に、窒
素ガスが注入された高圧のチャンバ2内にヒートパイプ
1を入れて、コンテナ1aに微細なピンホール等の欠陥
があれば、ある程度まとまった量の窒素ガスが流入する
ので、通常のリーク検査と同様の昇温試験によって、製
造直後のような早期には検出が困難であった、微細なピ
ンホールや微小亀裂等の欠陥の有るヒートパイプを短時
間で確実に検出し、排除することができる。
素ガスが注入された高圧のチャンバ2内にヒートパイプ
1を入れて、コンテナ1aに微細なピンホール等の欠陥
があれば、ある程度まとまった量の窒素ガスが流入する
ので、通常のリーク検査と同様の昇温試験によって、製
造直後のような早期には検出が困難であった、微細なピ
ンホールや微小亀裂等の欠陥の有るヒートパイプを短時
間で確実に検出し、排除することができる。
【0019】なお、沸点が常温より高い作動流体として
適している他の物質として、例えばアルコール、ジフェ
ニール、ナフタレン、水銀、ナトリウム、カリウム、リ
チウム、セレンなどがある。
適している他の物質として、例えばアルコール、ジフェ
ニール、ナフタレン、水銀、ナトリウム、カリウム、リ
チウム、セレンなどがある。
【0020】また、チャンバ内に充満させる非凝縮性の
気体としては、窒素(N2 ) の外に、例えば水素(
H2 )やヘリウム(He )等の分子量あるいは原子
量が小さい気体を用いれば、より小さな微細ピンホール
の検出が可能となる。
気体としては、窒素(N2 ) の外に、例えば水素(
H2 )やヘリウム(He )等の分子量あるいは原子
量が小さい気体を用いれば、より小さな微細ピンホール
の検出が可能となる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明のヒートパ
イプの検査方法は、沸点が常温より高い作動流体をコン
テナに封入したヒートパイプを、気体を充満させたチャ
ンバ内に収容し、このチャンバ内を一定時間高圧に保持
した後、このヒートパイプを取出し、一端を加熱してヒ
ートパイプ作動させ、前記コンテナの温度分布に基づい
て判定するので、微細なピンホールの有るヒートパイプ
を、簡単な装置で、早期にかつ容易に、しかも確実に検
出することができる。また、チャンバの内圧をより高く
することによって検査に用する時間をより短縮すること
ができる。
イプの検査方法は、沸点が常温より高い作動流体をコン
テナに封入したヒートパイプを、気体を充満させたチャ
ンバ内に収容し、このチャンバ内を一定時間高圧に保持
した後、このヒートパイプを取出し、一端を加熱してヒ
ートパイプ作動させ、前記コンテナの温度分布に基づい
て判定するので、微細なピンホールの有るヒートパイプ
を、簡単な装置で、早期にかつ容易に、しかも確実に検
出することができる。また、チャンバの内圧をより高く
することによって検査に用する時間をより短縮すること
ができる。
【図1】チャンバ内で加圧する工程を示す説明図である
。
。
【図2】昇温試験の際の欠陥の有るヒートパイプの凝縮
部を示す説明図である。
部を示す説明図である。
1 ヒートパイプ
2 チャンバ
3 凝縮部
3a 高温部
3b 低温部
Claims (1)
- 【請求項1】 沸点が常温より高い作動流体をコンテ
ナに封入したヒートパイプの検査方法において、前記ヒ
ートパイプを、気体を充満させたチャンバ内に収容し、
このチャンバ内を一定時間高圧に保持した後、このヒー
トパイプを取出し、その一端を加熱してヒートパイプ作
動させ、前記コンテナの温度分布を測定することを特徴
とするヒートパイプの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7051291A JPH04283396A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | ヒートパイプの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7051291A JPH04283396A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | ヒートパイプの検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04283396A true JPH04283396A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=13433661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7051291A Pending JPH04283396A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | ヒートパイプの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04283396A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5837493A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-03-04 | ウエスチングハウス・エレクトリツク・コ−ポレ−シヨン | 熱交換器 |
-
1991
- 1991-03-11 JP JP7051291A patent/JPH04283396A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5837493A (ja) * | 1981-08-17 | 1983-03-04 | ウエスチングハウス・エレクトリツク・コ−ポレ−シヨン | 熱交換器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8291748B2 (en) | Heat exchanger leak testing method and apparatus | |
EP1130668A1 (en) | Battery sealing inspection method | |
EP0168972B1 (en) | Hermeticity testing method and system | |
JP2007501947A (ja) | 密封品における大規模漏れの検出方法および装置 | |
US4199975A (en) | Method and apparatus for locating a defective tube of a liquid metal-to-water tube type heat exchanger | |
US3939695A (en) | Apparatus for detecting leaks | |
JPH04283396A (ja) | ヒートパイプの検査方法 | |
CN112924444A (zh) | 一种变压器油绝缘纸的老化评估方法及装置 | |
JP3897860B2 (ja) | 密閉品のリークテスト方法 | |
JPH0672830B2 (ja) | ヒートパイプの試験方法 | |
JPH0719767A (ja) | アンモニアヒートパイプのリーク検査方法 | |
CN113567071A (zh) | 一种快速真空检漏系统与方法 | |
JP4002148B2 (ja) | ヒートパイプのリーク検査方法およびその検査装置 | |
JP2011002162A (ja) | 復水器の冷却管の漏洩位置の検索方法及び検索装置 | |
CN107785090A (zh) | 一种去除测量传感器六氟化铀污沾物的装置及方法 | |
TWI708049B (zh) | 樣品之洩漏偵測方法 | |
JPH01287440A (ja) | ヒートパイプの検査方法 | |
JPWO2022054169A5 (ja) | ||
JPH01314934A (ja) | 試験用ガス回収装置 | |
JP4186763B2 (ja) | プロセスチューブのリーク検査方法 | |
Niemeyer | Leak testing encapsulated radioactive sources | |
JPH01287439A (ja) | ヒートパイプの検査方法 | |
JPS58147628A (ja) | 冷却ユニツトのガスリ−ク検査装置 | |
JPS6353487B2 (ja) | ||
JPH0849990A (ja) | ヒートパイプの検査方法 |