JPH0427888A

JPH0427888A - Ｘ線内部観察装置

Info

Publication number: JPH0427888A
Application number: JP2132940A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Iwata; 敏岩田; Shinji Suzuki; 伸二鈴木; Moritoshi Ando; 護俊安藤
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-05-23
Filing date: 1990-05-23
Publication date: 1992-01-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［概要］工業の分野において、例えば、多層配線基板における内
部配線の欠陥を検出する場合や、医学の分野において、
例えば、人体の各部位のＸ線透視検査を行う場合に使用
されるＸ線内部観察装置に関し、検査対象の後方に配置されるＸ線検知手段の回転を不要
にし、ＣＴ画像生成時間の短縮化を図ると共に、半永久
的に、精度の高いＣＴ画像を生成できるようにすること
を目的とし、検査対象の前方に配置され、前記検査対象にＸ線を照射
するＸ線照射手段と、Ｘ線蛍光材が封入された複数の光
ファイバを平行に配列してなる複数の光ファイバ配列体
をその光ファイバ配列方向が異なるように積層し、かつ
、前記光ファイバ配列体の光ファイバ配列面がＸ線照射
軸と直交するように前記検査対象の後方に配置されるＸ
線検知手段と、該Ｘ線検知手段を構成する前記光ファイ
バ内に発生する光を電気信号として検出する光検出手段
と、該光検出手段に得られる前記電気信号をＣＴ処理し
て前記検査対象のＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成手段
とを設けて構成する。

［産業上の利用分野］本発明は、工業の分野において、例えば、多層配線基板
における内部配線の欠陥を検出する場合や、医学の分野
において、例えば、人体の各部位のＸ線透視検査を行う
場合に使用されるＸ線内部観察装置に関する。

［従来の技術］従来、Ｘ線内部観察装置として、第４図にその要部を示
すようなものが提案されている。

図中、１はＸ線照射手段（Ｘ線源）、２はＸ線照射手段
１によってＸ線が照射される検査対象、３は検査対象２
を透過したＸ線を検知するＸ線検知手段であって、この
Ｘ線検知手段３は、第５図に示すように、その裏面にＸ
線遮蔽板４を固着されたＸ線透過板５の表面上に光ファ
イバ６を平行に配列して構成されており、光ファイバ６
の配列面がＸ線照射軸７と直交するように配置されてい
る。なお、光ファイバ６は、第６図に示すように、クラ
ッド８とコア９とで構成されており、コア９にはＣａＷ
Ｏ４等、Ｘ線の照射によって蛍光を放つ物質、いわゆる
Ｘ線蛍光材１０が均一に封入されている。また、この光
ファイバ６は、その一端部６ａを全反射面とされ、その
他端部をＣＣＤラインセンサ１１に接続されている。

また、第４図において、１２はＸ線検知手段３を、Ｘ線
照射軸７を中心軸として回転させる回転ステージであっ
て、ＣＰＵ１３及び回転ステージ駆動回路１４によって
、その回転が制御されるように構成されている。

また、１５はＣＣＤラインセンサ１１の出力信号をＣＴ
　（ｃｏｍｐｕｔｅｄ　ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ　）処理
して検査対象２のＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成手段
であって、ＣＰＵ１３の他、Ａ／Ｄコンバータ１６、画
像メモリ１７、表示コントローラ１８、デイスプレィ、
例えば、ＣＲＴ１９を設けて構成されている。

かかる従来のＸ線内部観察装置は、Ｘ線照射手段１によ
って検査対象２にＸ線を照射し、検査対象２を透過した
Ｘ線をＸ線検知手段３に入射させて光ファイバ６のコア
９内に光を発生させ、この光をＣＣＤラインセンサ１１
で検出し、この検出した信号（投影データ）をＣＴ画像
生成手段１５に転送してＣＴ処理し、ＣＲＴ１９に検査
対象２の透視画像を表示しようとするものであるが、検
査対象２のＣＴ画像を生成するためには、Ｘ線検知手段
３を回転させ、必要とされるサンプリング角度ごとにＸ
線を照射して、サンプリング角度ごとの投影データを得
る必要がある。このため、かかる従来のＸ線内部観察装
置においては、回転ステージ１２を設け、Ｘ線検知手段
３を回転させるようにしている。

［発明が解決しようとする課題］このように、従来のＸ線内部観察装置においては、Ｘ線
検知手段３を回転させ、必要とされるサンプリング角度
ごとにＸ線を照射して、サンプリング角度ごとの投影デ
ータを得なければならず、このため、ＣＴ画像を生成す
るのに多くの時間を要してしまうという問題点があった
。

また、従来のＸ線内部観察装置においては、回転ステー
ジ１２を回転させるための回転機構を必要とするが、か
かる回転機構は摩耗などによって消耗してしまう。この
ため、長期間にわたって使用すると、回転ステージ１２
の位置精度、したがって、Ｘ線検知手段３の位置精度が
低下し、精度の高い投影データを得ることができず、こ
のため、精度の高いＣＴ画像を生成することができない
という問題点もあった。

本発明は、かかる点に鑑み、検査対象の後方に配置され
るＸ線検知手段の回転を不要にし、ＣＴ画像生成時間の
短縮化を図ると共に、半永久的に精度の高いＣＴ画像を
生成できるようにしたＸ線内部観察装置を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］本発明によるＸ線内部観察装置は、その構成要素を、例
えば、実施例図面第１図及び第２図に対応させて説明す
ると、検査対象２の前方に配置され、検査対象２にＸ線
を照射するＸ線照射手段１と、Ｘ線蛍光材が封入された
複数の光ファイバ６を平行に配列してなる複数の光ファ
イバ配列体２２をその光ファイバ配列方向が異なるよう
に積層し、かつ、光ファイバ配列体２２の光ファイバ配
列面がＸ線照射軸７と直交するように検査対象２の後方
に配置されるＸ線検知手段２０と、このＸ線検知手段２
０を構成する光ファイバ６内に発生する光を電気信号と
して検出する光検出手段１１と、この光検出手段１１に
得られる電気信号をＣＴ処理して検査対象２の０７画像
を生成するＣＴ画像生成手段１５とを設けて構成される
。

［作用］本発明においては、Ｘ線検知手段２０は、Ｘ線蛍光材が
封入された複数の光ファイバ６を平行に配列してなる複
数の光ファイバ配列体２２をその光ファイバ配列方向が
異なるように積層し、かつ、光ファイバ配列体２２の光
ファイバ配列面がＸ線照射軸７と直交するように検査対
象２の後方に配置されるので、Ｘ線検知手段２０を回転
させ、検査対象２に対して複数回のＸ線照射を行わなく
とも、−回のＸ線照射で、０７画像を生成するのに必要
な投影データを得ることができる。

また、Ｘ線検知手段２０を回転させる必要がないので、
長期間にわたる使用によっても、Ｘ線検知手段２０の位
置精度は低下せず、半永久的に、精度の高い投影データ
を得ることができる。

［実施例コ以下、第１図〜第３図を参照して、本発明の一実施例に
ついて説明する。但し、第１図〜第３図において第４図
〜第６図に対応する部分には同一符号を付し、その重複
説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例の要部を示す図であって、
本実施例が第４図従来例と異なる点は、■構造の異なる
Ｘ線検知手段２０を設けている点、■ＣＣＤラインセン
サ１１の数が多い点、■回転ステージ１２及び回転ステ
ージ駆動回路１６を設けていない点、■多入力のＡ／Ｄ
コンバータ２３を設けている点であり、その他について
は、第４図従来例の場合と同様に構成されている。

ここに、Ｘ線検知手段２０は、第１図及び第２図に示す
ように、基板２１上に光ファイバ配列体２２を積層して
構成されており、光ファイバ配列体２２は、第３図に示
すように、平面形状を長方形とするＸ線透過板２４上に
、Ｘ線蛍光材が封入された光ファイバ６を平行、かつ、
密着するように配列して構成されている。なお、光ファ
イバ６の他端部はＣＣＤラインセンサ１１に接続されて
いる。

また、このＸ線検知手段２０は、各光ファイバ配列体２
２を、光ファイバ配列方向が異なるように積層して構成
されており、がっ、光ファイバ配列体２２の光ファイバ
配列面がＸ線照射軸７と直交するように配置されている
６また、図では、Ｘ線検知手段２０は、４枚の光ファイバ
配列体２２を積層して構成されているが、実際には、０
７画像を生成するに必要なサンプリング角度ごとに１枚
の光ファイバ配列体２２が配置されるように構成される
。

なお、光ファイバ配列体２２ごとに設けられているＣＣ
Ｄラインセンサ１１の出力信号は、それぞれ多入力のＡ
／Ｄコンバータ２３に転送され、ＣＴ画像生成手段１５
によるＣＴ処理を受けるようになされている。

このように構成された本実施例によれば、Ｘ線検知手段
２０を回転させ、検査対象２に対して複数回にわたるＸ
線照射を行わなくとも、−回のＸ線照射で、０７画像を
生成するのに必要なサンプリング角度ごとの投影データ
を得ることができる。

したがって、ＣＴ画像生成時間の短縮化を図ることがで
きる。

また、Ｘ線検知手段２０を回転させる必要がないので、
長期間にわたる使用によっても、Ｘ線検知手段２０の位
置精度は低下せず、半永久的に、精度の高い投影データ
を得ることができる。したがって、半永久的に、精度の
高い０７画像を生成することができる。

なお、上述の実施例においては、各光ファイバ配列体２
２ごとにＣＣＤラインセンサ１１を設けるようにした場
合につき述べたが、この代わりに、複数の光ファイバ配
列体２２で１個のＣＣＤラインセンサ１１を共有するよ
うに構成することもできる。

［発明の効果コ以上のように、本発明によれば、検査対象の後方に配置
されるＸ線検知手段を、Ｘ線蛍光材が封入された複数の
光ファイバを平行に配列してなる複数の光ファイバ配列
体をその光ファイバ配列方向が異なるように積層し、か
つ、光ファイバ配列体の光ファイバ配列面がＸ線照射軸
と直交するように構成したことにより、Ｘ線検知手段を
回転させ、検査対象に対して複数回のＸ線照射を行わな
くとも、−回のＸ線照射で、０７画像を生成するのに必
要な投影データを得ることができる。

また、本発明によれば、Ｘ線検知手段を回転させる必要
がないため、長期間にわたる使用によってもＸ線検知手
段の位置精度は低下せず、半永久的に、精度の高い投影
データを得ることができるので、半永久的に精度の高い
０７画像を生成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部を概略的に示す図、第２図は本発明の一実施例で使用されているＸ線検知手
段の要部を示す平面図、第３図は本発明の一実施例で使用されているＸ線検知手
段を構成する光ファイバ配列体を示す斜視図、第４図は従来のＸ線内部観察装置の要部を概略的に示す
図、第５図は従来のＸ線内部観察装置において使用されてい
るＸ線検知手段を示す斜視図、第６図は光ファイバを示
す斜視図である。１・・・Ｘ線照射手段２・・・検査対象６・・・光ファイバ７・・・Ｘ線照射軸１１・・・ＣＣＤラインセンサ１５・・・ＣＴ画像生成手段２０・・・Ｘ線検知手段２２・・・光ファイバ配列体（光検出手段）本発明の一実施例の要部第１図Ｘ線検知手段の要部本発明の一実施例で使用されているＸ線検知手段を構成する光ファイバ配列体第３図従来のＸ線内部観察装置の要部第４図使用されているＸ＆！検知手段第５図光ファイバ第６図

Claims

【特許請求の範囲】検査対象（２）の前方に配置され、前記検査対象（２）
にＸ線を照射するＸ線照射手段（１）と、Ｘ線蛍光材が
封入された複数の光ファイバ（６）を平行に配列してな
る複数の光ファイバ配列体（２２）をその光ファイバ配
列方向が異なるように積層し、かつ、前記光ファイバ配
列体（２２）の光ファイバ配列面がＸ線照射軸（７）と
直交するように前記検査対象（２）の後方に配置される
Ｘ線検知手段（２０）と、該Ｘ線検知手段（２０）を構成する前記光ファイバ（６
）内に発生する光を電気信号として検出する光検出手段
（１１）と、該光検出手段（１１）に得られる前記電気信号をＣＴ処
理して前記検査対象（２）のＣＴ画像を生成するＣＴ画
像生成手段（１５）とを設けて構成されていることを特徴とするＸ線内部観察装
置。