JPH04273405A - 磁気ヘッド用非磁性基板 - Google Patents
磁気ヘッド用非磁性基板Info
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- JPH04273405A JPH04273405A JP3055767A JP5576791A JPH04273405A JP H04273405 A JPH04273405 A JP H04273405A JP 3055767 A JP3055767 A JP 3055767A JP 5576791 A JP5576791 A JP 5576791A JP H04273405 A JPH04273405 A JP H04273405A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 20
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 229960004643 cupric oxide Drugs 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 235000012255 calcium oxide Nutrition 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940108928 copper Drugs 0.000 description 1
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(I) oxide Inorganic materials [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N cuprous oxide Chemical compound [O-2].[Cu+].[Cu+] KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940112669 cuprous oxide Drugs 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属性磁性膜を蒸着す
るための非磁性の磁気ヘッド用非磁性基板に関するもの
である。
るための非磁性の磁気ヘッド用非磁性基板に関するもの
である。
【0002】
【従来技術】従来この種の用途のものとしては、チタン
酸バリウム、チタン酸カルシウム、アルミナ等が使用さ
れていた。しかしながら、その熱膨張率が磁性膜構造体
と大きく異なっていたため、蒸着した磁性膜構造体が剥
離しやすく、また熱膨張率の差により応力が発生しクラ
ックが発生することがあった。
酸バリウム、チタン酸カルシウム、アルミナ等が使用さ
れていた。しかしながら、その熱膨張率が磁性膜構造体
と大きく異なっていたため、蒸着した磁性膜構造体が剥
離しやすく、また熱膨張率の差により応力が発生しクラ
ックが発生することがあった。
【0003】さらに、従来の材料は硬さが低く、特に高
保磁力テ−プ(いわゆるメタルテ−プ)が使用された場
合には、非磁性基板が磁性膜構造体と硬度及び耐摩耗性
が異なり、磁気テ−プとの摺動により発生する摩擦のた
めに偏摩耗等を引き起こし、磁気特性に変化をきたすと
いう問題があった。特に硬度が低い場合には、磁気ヘッ
ドの寿命が短くなること、あるいは非磁性基板の変形や
割れ及び剥離を引き起こすといった欠点が顕著であった
。
保磁力テ−プ(いわゆるメタルテ−プ)が使用された場
合には、非磁性基板が磁性膜構造体と硬度及び耐摩耗性
が異なり、磁気テ−プとの摺動により発生する摩擦のた
めに偏摩耗等を引き起こし、磁気特性に変化をきたすと
いう問題があった。特に硬度が低い場合には、磁気ヘッ
ドの寿命が短くなること、あるいは非磁性基板の変形や
割れ及び剥離を引き起こすといった欠点が顕著であった
。
【0004】本発明者等は上記の欠点を解決すべく酸化
物系セラミックスについて研究を進め、CoO及びNi
OまたはNiOを基本組成とした酸化物が有効であると
して既に開示した。(特開平01−287811、特開
平02−168602、特願平01−214206)さ
らに硬度や密度の向上を図るための添加材を検討し、C
oO、NiOを基本組成として、酸化マンガン、二酸化
チタン、アルミナ、カルシアのうち1種以上を0.1〜
5wt%添加した場合、及び1〜5wt%のイットリア
、0.1〜1%の窒化チタン、0.3〜2wt%の酸化
ホウ素のうち1種以上を添加した場合、あるいは1〜5
wt%の二酸化ケイ素を添加した場合の有効性を確認し
これらを開示した。(特開平02−94408、特願平
01−159622、特願平01−214208)
物系セラミックスについて研究を進め、CoO及びNi
OまたはNiOを基本組成とした酸化物が有効であると
して既に開示した。(特開平01−287811、特開
平02−168602、特願平01−214206)さ
らに硬度や密度の向上を図るための添加材を検討し、C
oO、NiOを基本組成として、酸化マンガン、二酸化
チタン、アルミナ、カルシアのうち1種以上を0.1〜
5wt%添加した場合、及び1〜5wt%のイットリア
、0.1〜1%の窒化チタン、0.3〜2wt%の酸化
ホウ素のうち1種以上を添加した場合、あるいは1〜5
wt%の二酸化ケイ素を添加した場合の有効性を確認し
これらを開示した。(特開平02−94408、特願平
01−159622、特願平01−214208)
【0
005】
005】
【問題点を解決するための手段】以上の問題点を解決す
るために、本発明者等はCoO及びNiOあるいはNi
Oを基本組成とした添加材の検討を更に続けた結果、該
組成物に対してCuの酸化物を0.1〜5wt%添加し
た場合に、上記の特性を満たすことを見い出した。従っ
て、本発明の目的は、具体的には蒸着した磁性膜構造体
に近い熱膨張率を有し、ビッカ−ス硬度が高く、さらに
他のヘッド構成材料間で過度の化学的侵食反応を起こさ
ない材料を提供することである。
るために、本発明者等はCoO及びNiOあるいはNi
Oを基本組成とした添加材の検討を更に続けた結果、該
組成物に対してCuの酸化物を0.1〜5wt%添加し
た場合に、上記の特性を満たすことを見い出した。従っ
て、本発明の目的は、具体的には蒸着した磁性膜構造体
に近い熱膨張率を有し、ビッカ−ス硬度が高く、さらに
他のヘッド構成材料間で過度の化学的侵食反応を起こさ
ない材料を提供することである。
【0006】
【発明の構成】即ち、本発明は、CoO及びNiOある
いはNiOを基本組成として、該組成物に対してCuの
酸化物を0.1〜5wt%添加したことを特徴とする磁
気ヘッド用非磁性基板を提供する。
いはNiOを基本組成として、該組成物に対してCuの
酸化物を0.1〜5wt%添加したことを特徴とする磁
気ヘッド用非磁性基板を提供する。
【0007】
【発明の具体的説明】本発明の理解を容易にするため具
体的かつ詳細に説明する。基本組成は、NiO単独の酸
化物あるいはNiOとCoOの複合酸化物を意味し、例
えば、CoO/NiO(モル比)=0/100〜80/
20で、より好ましくは、CoO/NiO(モル比)=
3/97〜60/40である。
体的かつ詳細に説明する。基本組成は、NiO単独の酸
化物あるいはNiOとCoOの複合酸化物を意味し、例
えば、CoO/NiO(モル比)=0/100〜80/
20で、より好ましくは、CoO/NiO(モル比)=
3/97〜60/40である。
【0008】上記組成物に対して、本発明では、Cuの
酸化物を0.1〜5wt%添加する。 Cuの酸化物
は、たとえば、酸化第一銅、酸化第二銅および三二酸化
銅あるいはこれらの混合物である。Cuの酸化物は酸化
コバルトと固溶体を作るため焼結促進効果があり、0.
1wt%以上の添加により緻密化を進行させる。このた
め相対密度が高く硬度も向上する。しかしながら熱膨張
率がNiO、CoOより低く、添加量が5wt%を超え
ると熱膨張率の調整が困難となる。添加は、単独あるい
は既に開示している添加材との組み合わせも有効である
。所望の硬度、熱膨張率に対応した組み合わせを採用す
るのが望ましい。
酸化物を0.1〜5wt%添加する。 Cuの酸化物
は、たとえば、酸化第一銅、酸化第二銅および三二酸化
銅あるいはこれらの混合物である。Cuの酸化物は酸化
コバルトと固溶体を作るため焼結促進効果があり、0.
1wt%以上の添加により緻密化を進行させる。このた
め相対密度が高く硬度も向上する。しかしながら熱膨張
率がNiO、CoOより低く、添加量が5wt%を超え
ると熱膨張率の調整が困難となる。添加は、単独あるい
は既に開示している添加材との組み合わせも有効である
。所望の硬度、熱膨張率に対応した組み合わせを採用す
るのが望ましい。
【0009】次に、基板の製造方法について記す。市販
の各酸化物を原料として、所望組成になるよう秤量し、
ボ−ルミルにより混合する。混合は例えばエタノ−ル中
湿式ボ−ルミルで10〜30時間行なう。乾燥後、CI
P成形し、例えばAr中850〜1100℃で仮焼し、
次いで粗砕機を用いて粉砕し、100〜200μmの篩
で篩分けを行なう。仮焼粉はさらに例えばエタノ−ル中
湿式ボ−ルミルで20〜72時間処理し、1μm以下に
微粉砕する。これを造粒後、CIP成形し、例えば酸素
中1230〜1400℃で焼結し、その後、HIP処理
を行なう。HIP処理条件は、80〜120MPa、1
200〜1350℃、1〜2時間が望ましい。
の各酸化物を原料として、所望組成になるよう秤量し、
ボ−ルミルにより混合する。混合は例えばエタノ−ル中
湿式ボ−ルミルで10〜30時間行なう。乾燥後、CI
P成形し、例えばAr中850〜1100℃で仮焼し、
次いで粗砕機を用いて粉砕し、100〜200μmの篩
で篩分けを行なう。仮焼粉はさらに例えばエタノ−ル中
湿式ボ−ルミルで20〜72時間処理し、1μm以下に
微粉砕する。これを造粒後、CIP成形し、例えば酸素
中1230〜1400℃で焼結し、その後、HIP処理
を行なう。HIP処理条件は、80〜120MPa、1
200〜1350℃、1〜2時間が望ましい。
【0010】このようにして得られた焼結体は、緻密で
岩塩型構造を有し、テ−プの摺動による摩擦やエッヂ部
の欠けが少なく従来の材料よりも優れていることが確認
できた。
岩塩型構造を有し、テ−プの摺動による摩擦やエッヂ部
の欠けが少なく従来の材料よりも優れていることが確認
できた。
【0011】以下、本発明の実施例について説明する。
【実施例1】CoO、NiOを原料にCoO/NiO(
モル比)=35/65組成となるように調整し、これに
添加材として酸化第二銅を表1のように混合した。混合
は、エタノ−ル中湿式ボ−ルミルで20時間行なった。 この混合粉をAr中1000℃で仮焼後、エタノ−ルの
湿式ボ−ルミルで40時間粉砕した。この粉砕粉をCI
P成形後酸素中1350℃で焼結した。これを1250
℃、100MPa、1時間のHIP処理を行なった。焼
結体の相対密度は、99%を超える値であった。
モル比)=35/65組成となるように調整し、これに
添加材として酸化第二銅を表1のように混合した。混合
は、エタノ−ル中湿式ボ−ルミルで20時間行なった。 この混合粉をAr中1000℃で仮焼後、エタノ−ルの
湿式ボ−ルミルで40時間粉砕した。この粉砕粉をCI
P成形後酸素中1350℃で焼結した。これを1250
℃、100MPa、1時間のHIP処理を行なった。焼
結体の相対密度は、99%を超える値であった。
【0012】この実施例による焼結体の物性値を表1に
示す。物性値としては、熱膨張率(α:μm/m℃)と
ビッカース硬度(Hv)を選択した。
示す。物性値としては、熱膨張率(α:μm/m℃)と
ビッカース硬度(Hv)を選択した。
【0013】比較例として、従来の材料であるチタン酸
バリウムと基本組成は同じで添加材の量を変えた場合の
物性値を併記した。
バリウムと基本組成は同じで添加材の量を変えた場合の
物性値を併記した。
【表1】
*は比較例である。熱膨張率は、基本組成でほぼ決定さ
れ、本実施例の範囲では13.8±0.2μm/m℃で
ある。この値は磁性膜構造体とほぼ等価の値である。従
って、表1より添加量は5wt%以内とすることが必要
である。
れ、本実施例の範囲では13.8±0.2μm/m℃で
ある。この値は磁性膜構造体とほぼ等価の値である。従
って、表1より添加量は5wt%以内とすることが必要
である。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように、(1)本組成の非
磁性基板は、熱膨張率、硬度とも磁性膜構造体とほぼ同
等の特性を得ることができる。このため、磁性膜構造体
の剥離やクラックの発生を著しく防止できる。
磁性基板は、熱膨張率、硬度とも磁性膜構造体とほぼ同
等の特性を得ることができる。このため、磁性膜構造体
の剥離やクラックの発生を著しく防止できる。
【0015】(2)さらに、硬度を高めることにより磁
気ヘッドの短寿命化や非磁性基板の変形、割れ等を抑え
ることができ、ヘッドの耐摩耗性、耐久性に特にすぐれ
ている利点がある。
気ヘッドの短寿命化や非磁性基板の変形、割れ等を抑え
ることができ、ヘッドの耐摩耗性、耐久性に特にすぐれ
ている利点がある。
Claims (1)
- 【請求項1】 CoO及びNiOあるいはNiOを基
本組成として、該組成物に対してCuの酸化物を0.1
〜5wt%添加したことを特徴とする磁気ヘッド用非磁
性基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3055767A JPH04273405A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 磁気ヘッド用非磁性基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3055767A JPH04273405A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 磁気ヘッド用非磁性基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04273405A true JPH04273405A (ja) | 1992-09-29 |
Family
ID=13008018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3055767A Pending JPH04273405A (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 磁気ヘッド用非磁性基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04273405A (ja) |
-
1991
- 1991-02-28 JP JP3055767A patent/JPH04273405A/ja active Pending
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