JPH04269646A - 赤外分光々度計の試料ステージ - Google Patents
赤外分光々度計の試料ステージInfo
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- JPH04269646A JPH04269646A JP3030762A JP3076291A JPH04269646A JP H04269646 A JPH04269646 A JP H04269646A JP 3030762 A JP3030762 A JP 3030762A JP 3076291 A JP3076291 A JP 3076291A JP H04269646 A JPH04269646 A JP H04269646A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 5
- 239000003973 paint Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 3
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 abstract description 2
- WATVKUKXTKWHRP-UHFFFAOYSA-N [K].[Br] Chemical compound [K].[Br] WATVKUKXTKWHRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフーリェ変換方式の赤外
分光々度計において、試料が光透過率の良い試料である
場合において、精度の低い集光装置であっても測定可能
とするものである。
分光々度計において、試料が光透過率の良い試料である
場合において、精度の低い集光装置であっても測定可能
とするものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、フーリェ変換方式の赤外分光
々度計に関する技術は、多数の公報が公開されているの
である。例えば特開昭６１−１８１９４１号公報や、特
開昭５８−２１１４２号公報や、特開昭５８−１７６５
２８号公報や、特開昭６０−６７８２８号公報に記載の
技術の如くである。
々度計に関する技術は、多数の公報が公開されているの
である。例えば特開昭６１−１８１９４１号公報や、特
開昭５８−２１１４２号公報や、特開昭５８−１７６５
２８号公報や、特開昭６０−６７８２８号公報に記載の
技術の如くである。
【０００３】
【発明が解決すべき課題】従来から、赤外分光々度計の
試料ステージには、細い光路の上に、試料を正確に配置
する為に、試料は細かく裁断した上で、ＫＢｒ（臭素カ
リ）フィルタにより該試料を支持した状態で、光路に配
置するということが行われていたのである。このように
ＫＢｒ（臭素カリ）の固まりにより支持することにより
、該ＫＢｒ（臭素カリ）は光の通過を妨げない性質を具
備しているので、このＫＢｒ（臭素カリ）により支持さ
れた試料が空中に浮いた状態で支持されたと同じ状態が
発生するので、光路を遮断することなく、試料のみに光
を当てることが出来ていたのである。本発明はこのよう
なＫＢｒ（臭素カリ）フィルタにより試料の支持や、試
料の微小化を行うことなく、簡単にかつ簡易的に試料の
分析を可能とせんとするものである。
試料ステージには、細い光路の上に、試料を正確に配置
する為に、試料は細かく裁断した上で、ＫＢｒ（臭素カ
リ）フィルタにより該試料を支持した状態で、光路に配
置するということが行われていたのである。このように
ＫＢｒ（臭素カリ）の固まりにより支持することにより
、該ＫＢｒ（臭素カリ）は光の通過を妨げない性質を具
備しているので、このＫＢｒ（臭素カリ）により支持さ
れた試料が空中に浮いた状態で支持されたと同じ状態が
発生するので、光路を遮断することなく、試料のみに光
を当てることが出来ていたのである。本発明はこのよう
なＫＢｒ（臭素カリ）フィルタにより試料の支持や、試
料の微小化を行うことなく、簡単にかつ簡易的に試料の
分析を可能とせんとするものである。
【０００４】
【課題を解決する手段】本発明の解決すべき課題は以上
の如くであり、次に該課題を解決する手段を説明する。 即ち、フーリェ変換方式の赤外分光々度計において、光
源１３と検出器１４との間の光路上に配置する試料ステ
ージを、左右間隔絞り板２ａ・２ｂと上下間隔絞り板３
ａ・３ｂにより構成し、光の通過域を上下から制限して
絞るべく構成したものである。
の如くであり、次に該課題を解決する手段を説明する。 即ち、フーリェ変換方式の赤外分光々度計において、光
源１３と検出器１４との間の光路上に配置する試料ステ
ージを、左右間隔絞り板２ａ・２ｂと上下間隔絞り板３
ａ・３ｂにより構成し、光の通過域を上下から制限して
絞るべく構成したものである。
【０００５】
【作用】次に本発明の作用を説明する。従来の赤外分光
々度計においては、干渉光の通過率の悪い、物質や厚手
の試料を試料ステージＳに配置して、該物質のスペクト
ルを得ていたので、干渉光の全体を細く収束して試料１
に通過させないと、通過後に再度放物面鏡１７や集光レ
ンズ３１により集光して検出器１４に入力しても、充分
なスペクトルが得られなかったのである。しかし本発明
の場合には、樹脂膜や塗料膜等のような、干渉光の透過
率の良い物質の成分分析を行う場合であるから、それ程
の一点集光をしなくとも、通過後の光だけを集光するこ
とにより充分なスペクトルが得られるのである。故に、
平行光線ででてくる干渉光を、本発明の試料ステージＳ
により絞って、試料１を通過させて、これを放物面鏡１
７や集光レンズ３１により集光し、検出器１４により簡
易的に検出可能としたものである。
々度計においては、干渉光の通過率の悪い、物質や厚手
の試料を試料ステージＳに配置して、該物質のスペクト
ルを得ていたので、干渉光の全体を細く収束して試料１
に通過させないと、通過後に再度放物面鏡１７や集光レ
ンズ３１により集光して検出器１４に入力しても、充分
なスペクトルが得られなかったのである。しかし本発明
の場合には、樹脂膜や塗料膜等のような、干渉光の透過
率の良い物質の成分分析を行う場合であるから、それ程
の一点集光をしなくとも、通過後の光だけを集光するこ
とにより充分なスペクトルが得られるのである。故に、
平行光線ででてくる干渉光を、本発明の試料ステージＳ
により絞って、試料１を通過させて、これを放物面鏡１
７や集光レンズ３１により集光し、検出器１４により簡
易的に検出可能としたものである。
【０００６】
【実施例】赤外分光々度計について説明すると。光源１
３から発光された赤外光を周知のマイケルソン干渉計１
５に入射させる。該マイケルソン干渉計１５はビームス
プリッタ３０と、固定鏡１９と一定速度で走査される可
動鏡１６とにより構成されており、赤外光がビームスプ
リッタ３０に入射され、ここで２分されてその一方は固
定鏡１９に、他方は可動鏡１６に入射され、固定鏡１９
からの反射光と可動鏡１６からの反射光とを干渉させる
ことにより、全周波数領域にわたる干渉光が得られる。 この干渉光を検出器１４により測定し、これをフーリェ
変換することにより、目的とするスペクトルを検出する
。該スペクトルの分析により物質の性質を測定すること
が出来るのである。
３から発光された赤外光を周知のマイケルソン干渉計１
５に入射させる。該マイケルソン干渉計１５はビームス
プリッタ３０と、固定鏡１９と一定速度で走査される可
動鏡１６とにより構成されており、赤外光がビームスプ
リッタ３０に入射され、ここで２分されてその一方は固
定鏡１９に、他方は可動鏡１６に入射され、固定鏡１９
からの反射光と可動鏡１６からの反射光とを干渉させる
ことにより、全周波数領域にわたる干渉光が得られる。 この干渉光を検出器１４により測定し、これをフーリェ
変換することにより、目的とするスペクトルを検出する
。該スペクトルの分析により物質の性質を測定すること
が出来るのである。
【０００７】図４は試料透過型の赤外分光々度計の光路
を示した図面である。赤外光源１３からの赤外光をマイ
ケルソン干渉計１５内に設けたビームスプリッタ３０に
入射し、該ビームスプリッタ３０により固定鏡１９の方
向と、可動鏡１６に分岐している。そして該固定鏡１９
からの反射光と、可動鏡１６からの反射光を干渉させた
干渉光の光路として、放物面鏡１７により集光し、細い
光路にした上で、試料ステージＳに配置した試料の中心
を通過させている。そして該試料ステージＳを通過後に
再度拡散した干渉光を、対称の位置に配置した、他の放
物面鏡１７により集光し、別のフィルタ１８を通過させ
て、有害な短波長成分をカットし、検出器１４により検
出させている。
を示した図面である。赤外光源１３からの赤外光をマイ
ケルソン干渉計１５内に設けたビームスプリッタ３０に
入射し、該ビームスプリッタ３０により固定鏡１９の方
向と、可動鏡１６に分岐している。そして該固定鏡１９
からの反射光と、可動鏡１６からの反射光を干渉させた
干渉光の光路として、放物面鏡１７により集光し、細い
光路にした上で、試料ステージＳに配置した試料の中心
を通過させている。そして該試料ステージＳを通過後に
再度拡散した干渉光を、対称の位置に配置した、他の放
物面鏡１７により集光し、別のフィルタ１８を通過させ
て、有害な短波長成分をカットし、検出器１４により検
出させている。
【０００８】図５は、他の赤外分光々度計の試料ステー
ジの実施例を示す図面であり、検出器１４により検出し
たスペクトル検出値を増幅器２０で増幅し、Ａ／Ｄ変換
部２１を通過して、コンピュータシステム部２７に投入
し、該制御信号を制御部２３にフィードバックすること
により、可動鏡１６と試料ステージＳを微妙に移動させ
て、より正確なスペクトル値を得ることが出来るように
構成している。該ドライバ装置２５は可動鏡１６を自動
制御により移動させる微小移動機構であり、ドライバ装
置２６は試料ステージＳを自動制御により移動させる微
小移動機構である。また図５においては、干渉光の集光
を集光レンズ３１により行い、対称位置に拡散した干渉
光を再度、他の集光レンズ３１により集光することによ
り、検出器１４に入射させている。
ジの実施例を示す図面であり、検出器１４により検出し
たスペクトル検出値を増幅器２０で増幅し、Ａ／Ｄ変換
部２１を通過して、コンピュータシステム部２７に投入
し、該制御信号を制御部２３にフィードバックすること
により、可動鏡１６と試料ステージＳを微妙に移動させ
て、より正確なスペクトル値を得ることが出来るように
構成している。該ドライバ装置２５は可動鏡１６を自動
制御により移動させる微小移動機構であり、ドライバ装
置２６は試料ステージＳを自動制御により移動させる微
小移動機構である。また図５においては、干渉光の集光
を集光レンズ３１により行い、対称位置に拡散した干渉
光を再度、他の集光レンズ３１により集光することによ
り、検出器１４に入射させている。
【０００９】以上のような構成において、従来は正確な
物質分析を行う為には、放物面鏡１７や集光レンズ３１
により、干渉光を微小な点に集光して試料を通過させる
必要があり、精度の高い放物面鏡１７や集光レンズ３１
を具備した赤外分光々度計を用いる必要があったのであ
る。しかし、試料の種類によってはそれ程の集光精度を
上げる必要の無い場合があり、干渉光の通過しさえすれ
ば、それほどの光量が無くても検出器１４により、充分
に検出出来る場合があるのである。本発明はこのような
場合の為に、それほどの精度の放物面鏡１７や集光レン
ズ３１がなくとも、試料ステージＳの部分で干渉光を細
い光路に絞ることが出来るような試料ステージＳを提供
するものである。
物質分析を行う為には、放物面鏡１７や集光レンズ３１
により、干渉光を微小な点に集光して試料を通過させる
必要があり、精度の高い放物面鏡１７や集光レンズ３１
を具備した赤外分光々度計を用いる必要があったのであ
る。しかし、試料の種類によってはそれ程の集光精度を
上げる必要の無い場合があり、干渉光の通過しさえすれ
ば、それほどの光量が無くても検出器１４により、充分
に検出出来る場合があるのである。本発明はこのような
場合の為に、それほどの精度の放物面鏡１７や集光レン
ズ３１がなくとも、試料ステージＳの部分で干渉光を細
い光路に絞ることが出来るような試料ステージＳを提供
するものである。
【００１０】図１は本発明の試料ステージＳの斜視図、
図２は左右間隔絞り板２ａ・２ｂと上下間隔絞り板３ａ
・３ｂの部分を離した状態の試料ステージＳの斜視図、
図３は本発明の試料ステージＳの光路を絞った状態の正
面図である。本発明の赤外分光々度計の試料ステージは
、前段に配置した左右間隔絞り板２ａ・２ｂと、後段に
配置した上下間隔絞り板３ａ・３ｂにより構成されてい
る。該左右間隔絞り板２ａ・２ｂは摺動ガイド板４に沿
って、左右に摺動を可能としており、摺動ガイド板４の
中央部に開口した光通過孔７の内部を、左右から狭める
ことが出来るように構成されている。該左右間隔絞り板
２ａ・２ｂから摺動ガイド片１０・１０が突出されてお
り、該摺動ガイド片１０・１０が摺動ガイド板４を抱持
した状態で、左右に摺動すべく構成されている。該左右
間隔絞り板２ａ・２ｂの摺動状態で固定する固定螺子１
２・１２が、第３図に示す如く配置されている。
図２は左右間隔絞り板２ａ・２ｂと上下間隔絞り板３ａ
・３ｂの部分を離した状態の試料ステージＳの斜視図、
図３は本発明の試料ステージＳの光路を絞った状態の正
面図である。本発明の赤外分光々度計の試料ステージは
、前段に配置した左右間隔絞り板２ａ・２ｂと、後段に
配置した上下間隔絞り板３ａ・３ｂにより構成されてい
る。該左右間隔絞り板２ａ・２ｂは摺動ガイド板４に沿
って、左右に摺動を可能としており、摺動ガイド板４の
中央部に開口した光通過孔７の内部を、左右から狭める
ことが出来るように構成されている。該左右間隔絞り板
２ａ・２ｂから摺動ガイド片１０・１０が突出されてお
り、該摺動ガイド片１０・１０が摺動ガイド板４を抱持
した状態で、左右に摺動すべく構成されている。該左右
間隔絞り板２ａ・２ｂの摺動状態で固定する固定螺子１
２・１２が、第３図に示す如く配置されている。
【００１１】図２に示す如く、左右間隔絞り板２ａ・２
ｂの後段に位置に、摺動ガイド板５に沿って上下に摺動
可能な上下間隔絞り板３ａ・３ｂが配置されている。該
摺動ガイド板５にも光通過孔７が開口されており、該光
通過孔７の間隔を上下から狭めることの出来る、上下間
隔絞り板３ａ・３ｂが設けられているのである。そして
左右間隔絞り板２ａ・２ｂが左右から光通過孔７を絞り
、上下間隔絞り板３ａ・３ｂが上下から光通過孔７を絞
ることにより、干渉光の通過間隔を狭くして、干渉光の
光路を細く絞っているのである。そして該摺動ガイド板
４の前面に、試料１である変質した樹脂やポリエチレン
フィルムや塗料膜を貼った帆布等を貼るのである。該細
く絞った干渉光の光路では、検出器１４に入射される光
の量が少ないのであるが、透過干渉光の量が多い場合に
は、前部を放物面鏡１７や集光レンズ３１により集光し
て、通過させた場合と略同じ光量を得ることが出来るの
で、充分に検出器１４によりスペクトルの検出が出来る
のである。
ｂの後段に位置に、摺動ガイド板５に沿って上下に摺動
可能な上下間隔絞り板３ａ・３ｂが配置されている。該
摺動ガイド板５にも光通過孔７が開口されており、該光
通過孔７の間隔を上下から狭めることの出来る、上下間
隔絞り板３ａ・３ｂが設けられているのである。そして
左右間隔絞り板２ａ・２ｂが左右から光通過孔７を絞り
、上下間隔絞り板３ａ・３ｂが上下から光通過孔７を絞
ることにより、干渉光の通過間隔を狭くして、干渉光の
光路を細く絞っているのである。そして該摺動ガイド板
４の前面に、試料１である変質した樹脂やポリエチレン
フィルムや塗料膜を貼った帆布等を貼るのである。該細
く絞った干渉光の光路では、検出器１４に入射される光
の量が少ないのであるが、透過干渉光の量が多い場合に
は、前部を放物面鏡１７や集光レンズ３１により集光し
て、通過させた場合と略同じ光量を得ることが出来るの
で、充分に検出器１４によりスペクトルの検出が出来る
のである。
【００１２】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成したので、次の
ような効果を奏するものである。即ち、従来の赤外分光
々度計の如く、干渉光を一点集中させる為に、精度の良
い放物面鏡１７や集光レンズ３１を使用する必要がなく
、本発明の試料ステージＳにより、適当に干渉光の平行
光を絞って試料１を通過させることにより、通過後の干
渉光を放物面鏡１７や集光レンズ３１により集光して、
検出器１４に入射することにより、或る程度精度の高い
スペクトル分析を行うことが出来るのである。故に、そ
れほど精度の高い赤外分光々度計を用いることなくに、
簡単に成分分析が出来るのである。
ような効果を奏するものである。即ち、従来の赤外分光
々度計の如く、干渉光を一点集中させる為に、精度の良
い放物面鏡１７や集光レンズ３１を使用する必要がなく
、本発明の試料ステージＳにより、適当に干渉光の平行
光を絞って試料１を通過させることにより、通過後の干
渉光を放物面鏡１７や集光レンズ３１により集光して、
検出器１４に入射することにより、或る程度精度の高い
スペクトル分析を行うことが出来るのである。故に、そ
れほど精度の高い赤外分光々度計を用いることなくに、
簡単に成分分析が出来るのである。
【図１】本発明の試料ステージＳの斜視図である。
【図２】左右間隔絞り板２ａ・２ｂと上下間隔絞り板３
ａ・３ｂの部分を離した状態の試料ステージＳの斜視図
である。
ａ・３ｂの部分を離した状態の試料ステージＳの斜視図
である。
【図３】本発明の試料ステージＳの光路を絞った状態の
正面図である。
正面図である。
【図４】試料透過型の赤外分光々度計の光路を示した図
面である。
面である。
【図５】他の赤外分光々度計の試料ステージの実施例を
示す図面である。
示す図面である。
１ 試料
２ａ・２ｂ 左右間隔絞り板
３ａ・３ｂ 上下間隔絞り板
４，５ 摺動ガイド板
１７ 放物面鏡
３１ 集光レンズ
Claims (1)
- 【請求項１】 フーリェ変換方式の赤外分光々度計に
おいて、光源１３と検出器１４との間の光路上に配置す
る試料ステージを、左右間隔絞り板２ａ・２ｂと上下間
隔絞り板３ａ・３ｂにより構成し、光の通過域を上下か
ら制限して絞るべく構成したことを特徴とする赤外分光
々度計の試料ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3030762A JPH04269646A (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 赤外分光々度計の試料ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3030762A JPH04269646A (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 赤外分光々度計の試料ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269646A true JPH04269646A (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=12312698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3030762A Pending JPH04269646A (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 赤外分光々度計の試料ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04269646A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017102064A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | 信越半導体株式会社 | フォトルミネッセンス測定治具及びこれを用いたフォトルミネッセンス測定方法 |
-
1991
- 1991-02-26 JP JP3030762A patent/JPH04269646A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017102064A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | 信越半導体株式会社 | フォトルミネッセンス測定治具及びこれを用いたフォトルミネッセンス測定方法 |
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