JPH04262240A - 分光分析における多成分定量分析方法 - Google Patents

分光分析における多成分定量分析方法

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JPH04262240A
JPH04262240A JP3044444A JP4444491A JPH04262240A JP H04262240 A JPH04262240 A JP H04262240A JP 3044444 A JP3044444 A JP 3044444A JP 4444491 A JP4444491 A JP 4444491A JP H04262240 A JPH04262240 A JP H04262240A
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JP
Japan
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spectrum
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matrix
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JP3044444A
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English (en)
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Yutaka Yamagishi
豊 山岸
Masayuki Adachi
正之 足立
Ko Inoue
香 井上
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Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N2021/3595Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using FTIR

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定試料に対して例え
ば赤外光を照射し、そのとき得られる吸収スペクトル中
の複数の指定された波数ポイントにおける吸光度に基づ
いて測定試料中に含まれる多成分を定量分析する方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】上記多成分を分析する方法として、例え
ば本願出願人に係る平成2年10月13日付けの特許出
願(特願平2−274204号)があり、その概要は、
吸収スペクトル中の複数の波数ポイントにおける局所的
ピーク値と局所的バレー値との差である相対吸光度の和
を用いて得られる成分スペクトルから、複数成分につい
ての参照スペクトルより得られるそれぞれの成分スペク
トルに基づいて、前記各成分の濃度を各別に得ると云う
ものである。
【0003】上記構成によれば、周波数スペクトルの予
め定められた領域における局所的ピーク値と局所的バレ
ー値との差である相対吸光度の和を各成分毎に求めて得
られる成分スペクトルと、各成分ついての参照成分スペ
クトルとに基づいて、各成分をそれぞれ個別に分析して
いるので、ノイズおよび成分同士の干渉影響を受けるこ
となく、正確に定量することができる、といった優れた
効果を発揮するに至っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記方法を
用いて測定試料中の多成分を同時に定量分析する場合、
複数の測定対象成分の吸収スペクトルを予め測定してお
き、これを参照スペクトルとして例えば分析装置内部の
コンピュータに記憶させることが考えられる。ところが
、この場合は、未知濃度の測定試料中の多成分を求める
際、その都度、上記参照スペクトルから校正行列をコン
ピュータ内部で作成し、定量分析を行う必要がある。
【0005】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、簡便にしかも精度よ
く分析することができる定量分析方法を提供することに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明に係る分光分析における多成分定量分析方法は
、既知濃度の複数成分における参照スペクトルの組合わ
せから得られる仮定濃度演算行列を予め作成し、この濃
度演算行列を用いることによって各測定対象成分の濃度
計算を行うようにした点に特徴がある。
【0007】
【作用】上記方法によれば、測定対象成分から予想され
る濃度演算行列を予め作成しておくため、複数成分の参
照スペクトルを例えば分析装置に記憶させる必要がなく
、そのうえ、濃度演算行列を装置内部で作成する必要が
ないため、短時間で、且つ、高精度に定量分析を行うこ
とができる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
【0009】図1は本発明に係る分光分析における多成
分定量方法を実施するための一例としてのFTIR(フ
ーリエ変換赤外分光分析装置)aを概略的に示すもので
、この図において、1は分析部、2はこの分析部1の出
力であるインターフェログラムを処理するデータ処理部
、3は既知濃度の複数成分における参照スペクトル群5
の組合わせから得られる仮定濃度演算行列Ωをメモリー
する記憶部、4はガス濃度を算出する演算部、6はガス
濃度などを表示する表示部である。
【0010】分析部1は、図2に示すように、平行な赤
外光を発するように構成された赤外光源7と、ビームス
プリッタ8,固定ミラー9,図外の駆動機構によって例
えばX−Y方向に平行移動する可動ミラー10からなる
干渉機構11と、測定試料などを収容し、干渉機構11
を介して赤外光源7からの赤外光が照射されるセル12
と、半導体検出器13とから構成されている。
【0011】そして、データ処理部2は、インターフェ
ログラムを加算平均し、その加算平均出力を高速でフー
リエ変換し、さらに、このフーリエ変換出力に基づいて
測定対象成分に関するスペクトル演算を行うように構成
されている。
【0012】記憶部4は、m個の既知濃度の参照スペク
トルαm 群5から、測定対象成分の構成によって予測
される任意(k個)のガスの波数ポイント群を指定して
、成分スペクトルΨk を得た後、校正行列を用いて仮
定濃度演算行列Ωとして記憶されている。
【0013】而して、このように構成されたFTIRに
よれば、セル12に比較試料または測定試料をそれぞれ
収容して赤外光源7からの赤外光をセル12に照射し、
比較試料または測定試料のインターフェログラムを測定
する。これらのインターフェログラムをデータ処理部2
において、それぞれフーリエ変換してパワースペクトル
を得た後、バックグラウンドのパワースペクトルに対す
る測定試料のパワースペクトルの比を求め、これを吸光
度スケールに変換することにより吸収スペクトルを得る
【0014】今、例えば、3つのガス種X,Y,Zにつ
いて考えると、記憶部3に入力された参照成分スペクト
ルによる仮定濃度演算行列Ωは、
【0015】
【数1】 となる。なお、X1,X2,X3,Y1,Y2,Y3,
Z1,Z2,Z3 はそれぞれガス種X,Y,Zにおけ
る相対吸光度の和である。
【0016】そして、データ処理部2において得られた
未知濃度のガスの吸収スペクトルも同様にして得ること
ができ、この場合、成分スペクトルΨu は、
【001
7】
【数2】 となり、これを行列を用いて書き換えると、
【0018
【数3】 と表すことができ、未知濃度を推定することができる。 なお、X4,Y4,Z4 はそれぞれガス種X,Y,Z
における相対吸光度の和である。
【0019】ここで、Cは未知の濃度からなるベクトル
、ΩはΨk を行とする行列で、これを成分スペクトル
領域における校正行列と云い、ここでは仮定濃度演算行
列として使用する。
【0020】従って、ガス種X,Y,Zの濃度をCX 
, CY , CZ とすると、
【0021】
【数4】 として、演算部4においてガス濃度CX , CY ,
 CZ 、即ち、測定試料中の多成分を同時に求めるこ
とができる。
【0022】また、測定対象成分の構成の組み合わせに
対して、それぞれ専用の仮定濃度演算行列Ωを作成し、
これを記憶部3のメモリに記憶させておき、任意にまた
随時入替えできるようにしてもよい。
【0023】なお、本発明は上述の実施例のみに限定さ
れるものではなく、例えば吸収スペクトルを得る手段と
して、FTIR以外の装置を用いてもよい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
測定対象成分から予想される濃度演算行列を予め作成し
ておくため、複数成分の参照スペクトルを例えば分析装
置に記憶させる必要がなく、そのうえ、濃度演算行列を
装置内部で作成する必要がないため、短時間で、且つ、
高精度に定量分析を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法を実施するためのFTIRの一例を
概略的に示す図である。
【図2】FTIRの要部を示す図である。
【符号の説明】 7  光源

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  測定試料に対して光源から光を照射し
    、そのとき得られる吸収スペクトル中の複数の指定され
    た波数ポイントにおける吸光度に基づいて測定試料中に
    含まれる多成分を定量分析する方法において、既知濃度
    の複数成分における参照スペクトルの組合わせから得ら
    れる仮定濃度演算行列を予め作成し、この濃度演算行列
    を用いることによって各測定対象成分の濃度計算を行う
    ようにしたことを特徴とする分光分析における多成分定
    量分析方法。
JP3044444A 1991-02-15 1991-02-15 分光分析における多成分定量分析方法 Pending JPH04262240A (ja)

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JP3044444A JPH04262240A (ja) 1991-02-15 1991-02-15 分光分析における多成分定量分析方法
DE4203587A DE4203587C2 (de) 1991-02-15 1992-02-07 Quantitatives spektralanalytisches Verfahren
US07/837,235 US5351198A (en) 1991-02-15 1992-02-14 Quantitative analytical method and apparatus for determining a plurality of ingredients with spectrometric analysis

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60502269A (ja) * 1983-09-19 1985-12-26 ベツクマン インスツルメンツ インコ−ポレ−テツド 多成分定量解析方法および装置
JPS6473239A (en) * 1987-09-14 1989-03-17 Fujitsu Ltd Gas concentration measurement for laser type gas sensor
JPH0269639A (ja) * 1988-09-05 1990-03-08 Fujitsu Ltd レーザ方式ガスセンサ

Patent Citations (3)

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