JPH04256501A - Cutting device for minute cutting - Google Patents

Cutting device for minute cutting

Info

Publication number
JPH04256501A
JPH04256501A JP3351791A JP3351791A JPH04256501A JP H04256501 A JPH04256501 A JP H04256501A JP 3351791 A JP3351791 A JP 3351791A JP 3351791 A JP3351791 A JP 3351791A JP H04256501 A JPH04256501 A JP H04256501A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tool
cutting
mounting part
preformat
machining
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3351791A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuhiro Hara
宣宏 原
Suguru Motonishi
本西 英
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kobe Steel Ltd filed Critical Kobe Steel Ltd
Priority to JP3351791A priority Critical patent/JPH04256501A/en
Publication of JPH04256501A publication Critical patent/JPH04256501A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Turning (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make machining of a guide groove and a preformat pit possible at the same time at a fixed track pitch by mounting both a tool for guide groove cutting and a tool for format pitch machining on a tool mounting part, and making the distance fixed between both. CONSTITUTION:Both a preformat pit machining tool 3 and a guide groove cutting tool 4 are mounted on a tool mounting part 11 at a fixed interval. Further, to cause this preformat pit machining tool 3 to perform particular displacement action, a vibrator 2 is interposed between the tool mounting part 11 and the preformat pit machining tool 3.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク金型のプリ
フォーマットピットおよび案内溝の加工に用いられる微
小切り込み用切削装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micro-incision cutting device used for machining preformat pits and guide grooves in optical disk molds.

【0002】0002

【従来の技術・発明の解決課題】光ディスクには、深さ
が一定な螺旋状案内溝と、これら案内溝間に形成される
プリフォーマットピットとが必要であり、これらを加工
成形するには、従来ではそれぞれ別の工程を必要として
いた。これらの加工を行える切削装置としては、特開平
1−281848号公報に開示された装置が知られてい
るが、この装置では十分に高い共振周波数が得られない
ため、プリフォーマットピットの加工には膨大な加工時
間を要していた。また、案内溝とプリフォーマットピッ
トとを別工程で加工するので、光ディスクの半径方向に
関する互いの位置(トラックピッチ)を合わせるのが極
めて困難であった。
[Prior Art/Problems to be Solved by the Invention] Optical discs require spiral guide grooves with a constant depth and preformat pits formed between these guide grooves. Previously, each required a separate process. As a cutting device that can perform these processes, the device disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 1-281848 is known, but since this device cannot obtain a sufficiently high resonance frequency, it is not suitable for processing preformatted pits. This required a huge amount of processing time. Furthermore, since the guide grooves and the preformat pits are processed in separate processes, it is extremely difficult to match their positions (track pitch) in the radial direction of the optical disc.

【0003】以下、上記公開公報に開示された切削装置
を、図2および図3を参照して簡単に説明する。図2に
示された微細溝加工用工具Tは、刃部21とシャンク2
2との間に溝部23が形成され、この溝部23内に圧電
素子26が組み込まれている。刃部21は、スリットS
と角穴Aとの組み合わせによって構成された平行板ばね
構造部25を有しており、圧電素子26の伸縮に伴って
切り込み方向へ変位するように構成されている。図中2
4は切刃である。
The cutting device disclosed in the above-mentioned publication will be briefly explained below with reference to FIGS. 2 and 3. The microgrooving tool T shown in FIG. 2 has a blade part 21 and a shank 2.
A groove 23 is formed between the groove 2 and the piezoelectric element 26. The blade part 21 has a slit S
It has a parallel plate spring structure 25 configured by a combination of a square hole A and a square hole A, and is configured to be displaced in the incision direction as the piezoelectric element 26 expands and contracts. 2 in the diagram
4 is a cutting edge.

【0004】工具Tは図3に示された切削装置に取り付
けられ、回転する被加工物Wに螺旋状微細溝を切削加工
していく。図中38はシャンク22に固着された変位計
であり、被加工物Wの回転に伴う面振れを計測する。こ
の変位計38の検出値に基づいて、被加工物Wの面振れ
を補償すべく切り込み量が一定となるように圧電素子2
6への印加電圧が制御される。図中30は防振用エアダ
ンパ、31はベース、32は被加工物Wを取付固定する
エアスピンドル、33はそのモータである。34はエア
スピンドル32を平行且つ同時にスライド移動させるエ
アスライドである。35は門型フレームであり、36は
その柱部、37は梁部である。
The tool T is attached to the cutting device shown in FIG. 3, and cuts a spiral microgroove into a rotating workpiece W. In the figure, numeral 38 is a displacement meter fixed to the shank 22, which measures surface run-out due to rotation of the workpiece W. Based on the detected value of the displacement meter 38, the piezoelectric element 2
The voltage applied to 6 is controlled. In the figure, 30 is an air damper for vibration isolation, 31 is a base, 32 is an air spindle for mounting and fixing the workpiece W, and 33 is its motor. 34 is an air slide that slides the air spindles 32 in parallel and simultaneously. 35 is a gate-shaped frame, 36 is a pillar part thereof, and 37 is a beam part.

【0005】本発明は上述のごとき従来の技術的課題に
鑑み、これを有効に解決すべく創案されたものである。 したがって本発明の目的は、光ディスク金型の加工にお
いて、案内溝とプリフォーマットピットとを一定のトラ
ックピッチで同時に加工できる微小切り込み用切削装置
を提供することにある。
The present invention has been devised in view of the above-mentioned conventional technical problems and to effectively solve them. SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a micro-incision cutting device capable of simultaneously machining guide grooves and preformat pits at a constant track pitch in machining an optical disc mold.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明に係る微小切り込
み用切削装置は、回転する被削材の面振れを補償すべく
、切り込み方向への移動が第1圧電素子により駆動され
る工具取付部と、上記工具取付部に固着された案内溝切
削用バイトと、上記工具取付部に、上記案内溝切削用バ
イトから所定距離隔てた位置に取り付けられたプリフォ
ーマットピット加工用バイトと、上記工具取付部と上記
プリフォーマットピット加工用バイトとの間に介設され
、プリフォーマットピット信号に応じて振動する振動子
とを備えている。
[Means for Solving the Problems] A cutting device for making minute cuts according to the present invention has a tool mounting portion whose movement in the cutting direction is driven by a first piezoelectric element in order to compensate for surface runout of a rotating workpiece. a cutting tool for cutting a guide groove fixed to the tool mounting part, a cutting tool for machining a preformat pit mounted to the tool mounting part at a predetermined distance from the cutting tool for cutting the guide groove, and the tool mounting part. and a vibrator that is interposed between the part and the preformat pit machining tool and vibrates in response to a preformat pit signal.

【0007】また、上記本発明に係る微小切り込み用切
削装置は、上記工具取付部と上記振動子との間に、上記
案内溝切削用バイトとプリフォーマットピット加工用バ
イトとの間の距離を変更する調整手段が介設されていて
もよい。
[0007] Furthermore, in the micro-incision cutting device according to the present invention, the distance between the guide groove cutting tool and the preformat pit processing tool is changed between the tool mounting portion and the vibrator. Adjustment means may also be provided.

【0008】[0008]

【作用および発明の効果】本発明に係る微小切り込み用
切削装置では、案内溝切削用バイトとプリフォーマット
ピット加工用バイトとが共に工具取付部に取り付けられ
ているので、両者の間の距離は一定となり、これを光デ
ィスクのトラックピッチの半分の整数倍に設定すること
により、案内溝とプリフォーマットピットとを一定のト
ラックピッチで同時に加工できる。工具取付部は、圧電
素子によって被削材の面振れを補償するように駆動され
るので、案内溝もプリフォーマットピットも一定深さで
同時に切削される。
[Operation and Effects of the Invention] In the micro-cutting cutting device according to the present invention, the guide groove cutting tool and the preformat pit processing tool are both attached to the tool mounting part, so the distance between them is constant. By setting this to an integral multiple of half the track pitch of the optical disc, the guide groove and preformat pit can be processed simultaneously at a constant track pitch. Since the tool mounting portion is driven by a piezoelectric element to compensate for surface runout of the workpiece, both the guide groove and the preformat pit are simultaneously cut to a constant depth.

【0009】[0009]

【実施例】以下に本発明の一実施例に係る微小切り込み
用切削装置について、図1を参照して説明する。図1に
示すように、本実施例において工具台1の先端の工具取
付部11には、プリフォーマットピット加工用バイト3
と溝入バイト4とが、被削材7の半径方向に、光ディス
クのトラックピッチの大略半分の距離だけ隔てて並ぶよ
うに取り付けられている。光ディスクのトラックピッチ
は1.6μmであるので、その半分は0.8μmである
。工具台1は、シャンクと工具取付部11との間に駆動
用圧電素子10が設けられ、図1には省略しているが、
工具取付部11には平行ばね構造の採用により弾性が付
与されており、圧電素子10の伸縮により可動となって
いる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A micro-incision cutting device according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. As shown in FIG. 1, in this embodiment, a tool mounting part 11 at the tip of the tool stand 1 has a preformat pit machining tool 3.
and a grooving tool 4 are attached to the workpiece 7 so as to be spaced apart from each other in the radial direction of the workpiece 7 by a distance approximately half the track pitch of the optical disk. Since the track pitch of an optical disc is 1.6 μm, half of the track pitch is 0.8 μm. The tool stand 1 is provided with a driving piezoelectric element 10 between the shank and the tool mounting part 11, and although it is omitted in FIG.
The tool attachment part 11 is given elasticity by employing a parallel spring structure, and is movable by expansion and contraction of the piezoelectric element 10.

【0010】プリフォーマットピット加工用バイト3は
、工具台1の先端部11に取り付けられたガイド6に圧
電タイプの振動子2を介して取り付けられており、この
ガイド6も上記工具取付部11と同様の平行ばね構造の
採用により弾性が付与されている。そしてガイド6の側
面には、溝入バイト4に対するプリフォーマットピット
加工用バイト3の位置を決めるための位置決め用圧電素
子5が固着されている。振動子2を伸縮させることによ
りバイト4に対するバイト3の高さを揃え、圧電素子5
を伸縮させることによりバイト3のバイト4からの距離
を調整する。振動子2および圧電素子5への印加電圧は
、第1CPU13からの制御信号により第1アンプ14
から出力される。
The preformat pit machining tool 3 is attached to a guide 6 attached to the tip 11 of the tool stand 1 via a piezoelectric type vibrator 2, and this guide 6 is also connected to the tool attachment part 11. Elasticity is provided by employing a similar parallel spring structure. A positioning piezoelectric element 5 is fixed to the side surface of the guide 6 for determining the position of the preformat pit machining tool 3 with respect to the grooving tool 4. By expanding and contracting the vibrator 2, the height of the cutting tool 3 with respect to the cutting tool 4 is made equal, and the piezoelectric element 5
The distance of bite 3 from bite 4 is adjusted by expanding and contracting. The voltage applied to the vibrator 2 and the piezoelectric element 5 is controlled by the first amplifier 14 based on a control signal from the first CPU 13.
is output from.

【0011】工具台1の工具取付部11の側面には、被
削材7の回転に伴う面振れを補償するため、被削材7の
変位を測定する変位計12が固着されている。この変位
計12により測定された変位信号は第2CPU8に入力
され、この変位信号に応じて面振れを補償する電圧を第
2アンプ9に圧電素子10へ出力させるよう、CPU8
から第2アンプ9へ制御信号が出力される。これにより
、工具取付部11が面振れに追従する。図1において1
5は、変位計12の変位信号を増幅、線形化する変位計
アンプである。
A displacement gauge 12 for measuring the displacement of the workpiece 7 is fixed to the side surface of the tool mounting portion 11 of the tool stand 1 in order to compensate for surface runout caused by rotation of the workpiece 7. The displacement signal measured by the displacement meter 12 is input to the second CPU 8, and the CPU 8 causes the second amplifier 9 to output a voltage for compensating for surface runout to the piezoelectric element 10 in accordance with this displacement signal.
A control signal is output from the second amplifier 9 to the second amplifier 9. As a result, the tool mounting portion 11 follows the surface runout. In Figure 1, 1
5 is a displacement meter amplifier that amplifies and linearizes the displacement signal of the displacement meter 12.

【0012】振動子2には第1CPU13からのプリフ
ォーマット信号に基づく電圧が第1アンプ14から印加
され、プリフォーマット加工用バイト3がプリフォーマ
ットピットを切削する。このとき、工具台1の工具取付
部11が被削材7の面振れに追従しているので、加工さ
れたピットの深さは一定となる。また、溝入バイト4と
プリフォーマットピット加工用バイト3との間の距離も
固定されているので、一定したトラックピッチで案内溝
とプリフォーマットピットとが形成される。
A voltage based on a preformat signal from the first CPU 13 is applied to the vibrator 2 from the first amplifier 14, and the preformat machining tool 3 cuts a preformat pit. At this time, since the tool mounting portion 11 of the tool stand 1 follows the surface runout of the workpiece 7, the depth of the machined pit remains constant. Further, since the distance between the grooving tool 4 and the preformat pit machining tool 3 is also fixed, the guide grooves and preformat pits are formed at a constant track pitch.

【0013】なお、上述の実施例では両バイト間距離を
0.8μmとしたが、次式のnを整数として(0.8+
1.6n)μmとすることも可能である。
[0013] In the above embodiment, the distance between both cutting tools was set to 0.8 μm, but if n in the following equation is an integer, (0.8 +
It is also possible to set it as 1.6n) μm.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】  本発明に係る微小切り込み用切削装置の概
略構成を示す略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a micro-incision cutting device according to the present invention.

【図2】  従来技術における微小切り込み用切削装置
に用いられる工具を示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing a tool used in a micro-incision cutting device in the prior art.

【図3】  図2の工具が用いられる従来技術の微小切
り込み用切削装置を示す斜視図である。
3 is a perspective view showing a prior art micro-incision cutting device in which the tool of FIG. 2 is used; FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2  振動子 3  プリフォーマットピット加工用バイト4  案内
溝切削用バイトとしての溝入バイト5  調整手段とし
ての位置決め用圧電素子6  調整手段としてのガイド 7  被削材 10  圧電素子 11  工具取付部
2 Vibrator 3 Preformat pit machining tool 4 Grooving tool 5 as guide groove cutting tool Positioning piezoelectric element 6 as adjustment means Guide 7 as adjustment means Workpiece 10 Piezoelectric element 11 Tool attachment part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  回転する被削材(7)の面振れを補償
すべく、切り込み方向への移動が第1圧電素子(10)
により駆動される工具取付部(11)と、上記工具取付
部(11)に固着された案内溝切削用バイト(4)と、
上記工具取付部(11)に、上記案内溝切削用バイト(
4)から所定距離隔てた位置に取り付けられたプリフォ
ーマットピット加工用バイト(3)と、上記工具取付部
(11)と上記プリフォーマットピット加工用バイト(
3)との間に介設され、プリフォーマットピット信号に
応じて振動する振動子(2)とを備えたことを特徴とす
る微小切り込み用切削装置。
Claim 1: In order to compensate for the surface runout of the rotating workpiece (7), the first piezoelectric element (10) moves in the cutting direction.
a tool mounting part (11) driven by the tool mounting part (11); a guide groove cutting tool (4) fixed to the tool mounting part (11);
The tool mounting part (11) is equipped with the guide groove cutting tool (
4), a preformat pit machining tool (3) installed at a predetermined distance from the tool mounting part (11) and a preformat pit machining tool (
3) and a vibrator (2) that vibrates in response to a preformat pit signal.
【請求項2】  上記工具取付部(11)と上記振動子
(2)との間に、上記案内溝切削用バイト(4)とプリ
フォーマットピット加工用バイト(3)との間の距離を
変更する調整手段(5,6)が介設された請求項1記載
の微小切り込み用切削装置。
2. The distance between the tool attachment part (11) and the vibrator (2), and the distance between the guide groove cutting tool (4) and the preformat pit processing tool (3) is changed. 2. The micro-incision cutting device according to claim 1, further comprising adjusting means (5, 6) for adjusting the cutting angle.
JP3351791A 1991-02-01 1991-02-01 Cutting device for minute cutting Pending JPH04256501A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3351791A JPH04256501A (en) 1991-02-01 1991-02-01 Cutting device for minute cutting

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3351791A JPH04256501A (en) 1991-02-01 1991-02-01 Cutting device for minute cutting

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04256501A true JPH04256501A (en) 1992-09-11

Family

ID=12388740

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3351791A Pending JPH04256501A (en) 1991-02-01 1991-02-01 Cutting device for minute cutting

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04256501A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005537944A (en) * 2002-09-10 2005-12-15 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Multi-diamond cutting tool assembly for making microreplicated tools
JP2010535639A (en) * 2007-08-06 2010-11-25 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Fly cutting head, system and method, and tool and sheet manufactured using the same
JP2019005830A (en) * 2017-06-21 2019-01-17 デクセリアルズ株式会社 Microfabrication apparatus, microfabrication unit, control apparatus, manufacturing method of original board, and microfabrication method of base material for original board
JP2022058930A (en) * 2017-06-21 2022-04-12 デクセリアルズ株式会社 Microfabrication apparatus, microfabrication unit, control apparatus, manufacturing method of original board, and microfabrication method of base material for original board
JP2022136125A (en) * 2022-02-08 2022-09-15 デクセリアルズ株式会社 Microfabrication apparatus, microfabrication unit, control apparatus, manufacturing method of original board, and microfabrication method of base material for original board

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005537944A (en) * 2002-09-10 2005-12-15 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Multi-diamond cutting tool assembly for making microreplicated tools
JP2010535639A (en) * 2007-08-06 2010-11-25 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Fly cutting head, system and method, and tool and sheet manufactured using the same
US9180524B2 (en) 2007-08-06 2015-11-10 3M Innovative Properties Company Fly-cutting head, system and method, and tooling and sheeting produced therewith
US9937561B2 (en) 2007-08-06 2018-04-10 3M Innovative Properties Company Fly-cutting head, system and method, and tooling and sheeting produced therewith
US10413972B2 (en) 2007-08-06 2019-09-17 3M Innovative Properties Company Fly-cutting head, system and method, and tooling and sheeting produced therewith
JP2019005830A (en) * 2017-06-21 2019-01-17 デクセリアルズ株式会社 Microfabrication apparatus, microfabrication unit, control apparatus, manufacturing method of original board, and microfabrication method of base material for original board
JP2022058930A (en) * 2017-06-21 2022-04-12 デクセリアルズ株式会社 Microfabrication apparatus, microfabrication unit, control apparatus, manufacturing method of original board, and microfabrication method of base material for original board
JP2022136125A (en) * 2022-02-08 2022-09-15 デクセリアルズ株式会社 Microfabrication apparatus, microfabrication unit, control apparatus, manufacturing method of original board, and microfabrication method of base material for original board

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Chern et al. Using two-dimensional vibration cutting for micro-milling
JP5143885B2 (en) Non-contact inspection system with integrated turning center
US3754487A (en) Method and apparatus for controlling a machine tool
JPH03173610A (en) Method of slicing rod-like work piece into sheets using inner periphery blade saw and inner periphery blade saw using said method
JPH06252260A (en) Depth measuring method of dicing trench and equipment
JPS6219986B2 (en)
JPH04256501A (en) Cutting device for minute cutting
CN101190496A (en) Machining apparatus
JP7082517B2 (en) Processing equipment
US4799472A (en) Method of and arrangement for dressing grinding wheels
US2360639A (en) Metalworking apparatus
JPH04226807A (en) Locating device for cutting workpiece
JP2003048129A (en) Stage fixing device and method
JPS59124546A (en) Device for positioning body
US20020040891A1 (en) Disc balancing device, and method thereof
JPS6349285B2 (en)
JPH05337787A (en) Boring diameter correcting device of machine tool
JP3412208B2 (en) Tool cutting machine
JP2607533B2 (en) Processing device and processing method
JPS59192457A (en) Positioner
JPS62208839A (en) Machine tool conducting cutting work
JPH10166204A (en) Machining device
Falter et al. Design and performance of a small—scale diamond turning machine
JP2002187048A (en) Cutting resistance measurement method of machine tool
JPH01281848A (en) Precision cutting device