JPH04252408A - 垂直薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は垂直磁化記録方式の磁気
ディスク装置等に用いられる垂直薄膜磁気ヘッドに関す
るものである。垂直磁化記録方式の磁気ディスク装置等
において、磁気記録媒体に高密度で情報を記録・再生す
る薄膜磁気ヘッドとして、記録媒体対向面に露出する主
磁極先端と非磁性絶縁層を隔てて該主磁極に対する磁束
のリターンヨークとして機能し、かつスライダを兼ねる
軟磁性部材を同様に露出するように設けた単磁極型の垂
直薄膜磁気ヘッドが既に提案されている。

【０００２】そのような垂直薄膜磁気ヘッドでは再生時
の信号波形に、主磁極による再生波形とは別に、該主磁
極と対向する磁束リターンヨークとして機能し、かつス
ライダを兼ねる軟磁性部材の側面と記録媒体対向面との
エッジ部に対応する時間位置に、該再生波形とは反対方
向のエッジノイズ、即ち、負のエッジノイズが発生して
再生信号を劣化させる傾向がある。このため、そのよう
な負のエッジノイズの発生を防止して再生特性を向上さ
せるヘッド構造が必要とされている。

【０００３】

【従来の技術】従来の垂直薄膜磁気ヘッドは図３の要部
側断面と再生波形との関係図で示すように、磁束リター
ンヨークとして機能し、かつスライダを兼ねるＭｎ−Ｚ
ｎなどのフェライトからなる軟磁性基板１１上に、Ａｌ
２Ｏ３，ＳｉＯ２などからなる厚い絶縁層１２を介して
熱硬化性樹脂材等からなる層間絶縁層１３で挟まれた記
録再生用の薄膜コイル１４とその上面にパーマロイ（Ｎ
ｉ−Ｆｅ）　からなる主磁極１６が、その後端部は前記
絶縁層１２に予め埋設した接続磁極層１５を介して前記
軟磁性基板１１に磁気的に接続し、先端部は記録媒体と
対向する面１９（以下媒体対向面１９と称する）　に露
出するように配設されている。

【０００４】また、その主磁極１６上の先端部以外の領
域は　Ｎｉ−Ｆｅからなる厚い盛り上げ磁性層１７を積
層して該主磁極１６の磁気抵抗を低くすると共に、これ
ら主磁極１６上の先端部を含む盛り上げ磁極層１７及び
薄膜コイル１４の上にＡｌ２Ｏ３　などの絶縁保護膜１
８が被覆され、これらはスライダ形状に加工されて前記
主磁極１６の先端部及び軟磁性基板１１が露出する媒体
対向面１９を形成している。

【０００５】そしてこのような構成の垂直薄膜磁気ヘッ
ドは、記録・再生時に対向する二層膜構造の垂直磁気記
録媒体（図示省略）におけるディスク基板と垂直記録層
との間に介在した高透磁率な軟磁性層を、該磁気ヘッド
の主磁極１６と磁束リターンヨークとして機能する軟磁
性基板１１との磁束の閉磁路の一部とすることにより、
前記記録媒体の垂直記録層に対して垂直方向に高密度な
磁気記録・再生を可能としている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで上記したよう
な従来の垂直薄膜磁気ヘッドでは、図３に示すように媒
体対向面１９に露出する前記主磁極１６の先端部と絶縁
層１２を介して対向する磁束リターンヨークとして機能
し、かつスライダを兼ねる軟磁性基板１１の側面が該媒
体対向面１９に対して直角に切り立つているため、その
直角なエッジ部１１ａ　に再生時の前記垂直磁気記録媒
体からの磁束が集中し易くなる。

【０００７】従って、それに起因して該主磁極１６によ
り再生される再生波形２１とは別に、前記軟磁性基板１
１のエッジ部１１ａ　に対応する時間位置に、該再生波
形２１とは反対方向のエッジノイズ、即ち、負のノイズ
波形２２が発生する。このノイズ波形２２の発生は前記
再生波形２１のピークシフトを招き易く、このシフト量
が大きくなると該再生波形２１が劣化して再生信号にエ
ラーが発生し、再生特性が著しく低下するという欠点が
あった。

【０００８】本発明は上記した従来の欠点に鑑み、磁束
リターンヨークとして機能し、かつスライダを兼ねる軟
磁性基板の主磁極先端部分と対向するエッジ部への磁束
の集中を防止してエッジノイズの発生を解消し、再生特
性の向上を図った新規な垂直薄膜磁気ヘッドを提供する
ことを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、表面に絶縁層を設けた磁束リターンヨー
クとして機能する軟磁性基板の該絶縁層上に、層間絶縁
層により挟まれた薄膜コイルと主磁極とを積層して設け
、該主磁極は後端部を前記絶縁層を通して軟磁性基板と
磁気的に接続し、先端部を該軟磁性基板の記録媒体対向
面に露出してなるヘッド構成において、前記主磁極の先
端部分と対向する軟磁性基板面に、前記主磁極の幅方向
にバイアス磁界を印加する手段を設けた構成とする。

【００１０】また、前記主磁極の幅方向にバイアス磁界
を印加する手段として反強磁性薄膜を用いた構成とする
。更に、前記主磁極の幅方向にバイアス磁界を印加する
手段である反強磁性薄膜と前記軟磁性基板との間に軟磁
性薄膜を設けた構成とする。

【００１１】

【作用】本発明の垂直薄膜磁気ヘッドにおいては、主磁
極の先端部と絶縁層を介して対向する磁束リターンヨー
クとして機能し、かつスライダを兼ねる磁性基板の切り
立つたエッジ部の側面に例えば反強磁性薄膜、または軟
磁性薄膜を介して反強磁性薄膜を設けた構成とすること
により、その磁性基板の側面及びエッジ部に前記主磁極
の幅方向のバイアス磁界が有効に印加された状態となり
、その側面及びエッジ部での透磁率が交換バイアス磁界
によって低下する。

【００１２】その結果、該エッジ部への垂直磁気記録媒
体からの磁束の集中が減少することから、再生時におけ
るエッジノイズの発生を著しく低減することが可能とな
り、再生波形が劣化する恐れがなく再生特性が向上する
。

【００１３】

【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図１は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッド
の一実施例の要部側断面と再生波形との関係を示す図で
あり、図３と同等部分には同一符号を付している。この
図で示す本実施例が図３の例と異なる点は、パーマロイ
（Ｎｉ−Ｆｅ）　等からなる主磁極１６の先端部とＡｌ
２Ｏ３，ＳｉＯ２などからなる厚い絶縁層１２を介して
対向する磁束リターンヨークとして機能し、かつスライ
ダを兼ねるＭｎ−Ｚｎ，　Ｎｉ−Ｚｎなどのフェライト
からなる軟磁性基板１１の切り立つたエッジ部１１ａ　
の側面に、例えば　０．２〜０．３　μｍの膜厚のＦｅ
−Ｍｎ　等からなる反強磁性薄膜３１を設けた構成とし
たことである。

【００１４】かかる反強磁性薄膜３１は、前記軟磁性基
板１１の切り立つたエッジ部１１ａ　の側面に、Ａｌ２
Ｏ３，　ＳｉＯ２　などからなる厚い絶縁層１２を形成
するに先立つて、該主磁極１６の幅方向の磁界中でスパ
ッタリング法、或いは電子ビーム蒸着法などにより成膜
し、フォトリソグラフィ工程により所定形状にパターニ
ングするか、或いは前記成膜後か、成膜後に所定形状に
パターニングした後に前記主磁極１６の幅方向の磁場中
処理を行うことにより容易に形成することができる。

【００１５】このような構成とすることにより、前記軟
磁性基板１１の切り立つた側面及びエッジ部１１ａ　の
側面に前主磁極１６の幅方向のバイアス磁界が常に印加
された状態となるので、その側面及びエッジ部１１ａで
の透磁率が交換バイアス磁界によって低下する。従って
、該エッジ部１１ａ　への垂直磁気記録媒体からの磁束
の集中が減少し、再生時におけるエッジノイズの発生を
著しく低減する。即ち、図示のように再生波形２１とは
別に、軟磁性基板１１のエッジ部１１ａ　に対応する時
間位置に、発生する該再生波形とは反対方向のエッジノ
イズ、即ち、負のノイズ波形２２が著しく低減され、再
生波形が劣化する恐れもなくなり再生特性が向上する。

【００１６】図２は本発明に係る垂直薄膜磁気ヘッドの
他の実施例を示す要部側断面図であり、図１と同等部分
には同一符号を付している。この図で示す本実施例が図
１の例と異なる点は、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）　等か
らなる主磁極１６の先端部とＡｌ２Ｏ３，ＳｉＯ２など
からなる厚い絶縁層１２を介して対向する磁束リターン
ヨークとして機能し、かつスライダを兼ねるＭｎ−Ｚｎ
，　Ｎｉ−Ｚｎなどのフェライトからなる軟磁性基板１
１の切り立つたエッジ部１１ａ　の側面に、例えば　５
００Å程度の膜厚の　Ｎｉ−Ｆｅ等からなる軟磁性薄膜
３２を介して　０．２〜０．３　μｍの膜厚のＦｅ−Ｍ
ｎ　等からなる反強磁性薄膜３１を設けた構成としたこ
とである。

【００１７】なお、前記軟磁性基板１１の切り立つたエ
ッジ部１１ａ　の側面に軟磁性薄膜３２を介して反強磁
性薄膜３１を設ける所以は、軟磁性基板１１の表面に反
強磁性薄膜３１を直接被着した場合、下地となる軟磁性
基板１１の結晶構造によってはその表面に成膜した反強
磁性薄膜により該軟磁性基板１１の表面に交換バイアス
磁界が発生する場合と発生しない場合とが生じる恐れが
ある。

【００１８】このため、本実施例では前記軟磁性基板１
１の切り立つたエッジ部１１ａ　の側面に対して、反磁
性薄膜とは結晶構造的にも比較的整合性のよい例えば　
Ｎｉ−Ｆｅ等からなる軟磁性薄膜３２を介在して反強磁
性薄膜３１を設けることによって、記軟磁性基板１１の
切り立つた側面及びエッジ部１１ａ　に前記主磁極１６
の幅方向のバイアス磁界が確実に、かつ常に印加された
状態となり、その側面及びエッジ部１１ａ　での透磁率
が交換バイアス磁界によって低下する。

【００１９】従って、この実施例構成によっても前記図
１の実施例と同様、或いはより顕著なる効果が得られる
。

【００２０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る垂直薄膜磁気ヘッドによれば、主磁極の先端部と
絶縁層を介して対向する磁束リターンヨークとして機能
し、かつスライダを兼ねる軟磁性基板の切り立つたエッ
ジ部の側面に、反強磁性薄膜、または軟磁性薄膜を介し
て反強磁性薄膜を設けた構成とすることにより、該エッ
ジ部への垂直磁気記録媒体からの磁束の集中が減少し、
再生時におけるエッジノイズの発生が著しく低減される
。

【００２１】従って、再生波形にエッジノイズの発生に
起因するピークシフトの恐れがなくなり、再生特性が向
上する等、実用上優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の垂直薄膜磁気ヘッドの一実施例の
要部側断面と再生波形との関係を示す図である。

【図２】　　本発明の垂直薄膜磁気ヘッドの他の実施例
を示す要部側断面図である。

【図３】　　従来の垂直薄膜磁気ヘッドの要部側断面と
再生波形との関係を示す図である。

【符号の説明】

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　表面に絶縁層（１２）を設けた磁束リ
   ターンヨークとして機能する軟磁性基板（１１）の該絶
   縁層（１２）上に、層間絶縁層（１３）により挟まれた
   薄膜コイル（１４）と主磁極（１６）とを積層して設け
   、該主磁極（１６）は後端部を前記絶縁層（１２）を通
   して軟磁性基板（１１）と磁気的に接続し、先端部を軟
   磁性基板（１１）の記録媒体対向面（１９）に露出して
   なるヘッド構成において、前記主磁極（１６）の先端部
   分と対向する軟磁性基板面に、前記主磁極（１６）の幅
   方向にバイアス磁界を印加する手段を設けたことを特徴
   とする垂直薄膜磁気ヘッド。
2. 【請求項２】　　前記主磁極（１６）の幅方向にバイア
   ス磁界を印加する手段は、反強磁性薄膜（３１）からな
   ることを特徴とする請求項１の垂直薄膜磁気ヘッド。
3. 【請求項３】　　前記主磁極（１６）の幅方向にバイア
   ス磁界を印加する手段である反強磁性薄膜（３１）と、
   前記軟磁性基板（１１）との間に軟磁性薄膜（３２）を
   設けてなることを特徴とする請求項２の垂直薄膜磁気ヘ
   ッド。