JPH0424960A - 半導体装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ＲＯＭを有する半導体装置に関する。

〔発明の概要〕

この発明は、ＲＯＭを有する半導体装置において、ＲＯ
Ｍの内容を電気抵抗として測定できるようにしたもので
ある。

〔従来の技術〕

従来、ＲＯＭの内容を表示する方法は、エツチングによ
りＩＤコードをチップ内に表示する方法、あるいはウェ
ハに７Ｄコードを印字する方法が知られていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来のエンチングによりＲＯＭのＩＤコードを
印す方法は、工程数の増加となり、またウェハにＩＤコ
ードを印字する方法では、チップになった場合に、ＲＯ
ＭのＴＤがわからなくなるという欠点があった。

そこで、この発明は従来のこのような欠点を解決するた
め、工程数を増加させることなく、チップにてＲＯＭの
ＩＤコードを判別することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点を解決するために、この発明はＲＯＭの内容
をＩＤとして電気抵抗で測定できるようにした。

〔作用〕

上記のように、ＲＯＭの内容をＩＤとして抵抗を作成す
ると、二つのパッド間の電気抵抗を測定することにより
ＲＯＭの内容を知ることができる。

〔実施例〕

以下に、この発明の半導体装置の実施例を図面に基づい
て説明する。第１図においてＰ−基板６中にｎ−抵抗４
を形成する。ｎ″領域３上のコンタクトホール５を介し
、パッド電極１を形成し、ｎ−抵抗４の抵抗値が測定で
きるようになっている。ＲＯＭをイオンインプラ法等に
より作成する際に、ｎ−抵抗４上にＲＯＭの内容に応し
て、０１層２の長さを変化させてインプラすることによ
り、ｎ−抵抗４とｎ１層２のトータルの抵抗値を変える
ことができる。この抵抗値の違いによりＲＯＭの内容を
知ることができる。

〔発明の効果〕

この発明は、以上説明したようにＲＯＭの内容に応して
抵抗値を変化させた抵抗を測定できるようにすることに
より、ＲＯＭの内容をチップで判別できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかるＲＯＭの内容を電気抵抗とし
て測定できる抵抗の千面閾である。 ・・電気パッド ・・ｎ１部 ・・ｎ゛部 ・・ｎ一部 ・・コンタクトホール ・・Ｐ一部 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社 代理人　弁理士　林　　敬　之　助

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ＲＯＭを有する半導体装置において、ＲＯＭの内容を電
   気抵抗として測定できるパッドを有することを特徴とす
   る半導体装置。