JPH0424960A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH0424960A JPH0424960A JP2125059A JP12505990A JPH0424960A JP H0424960 A JPH0424960 A JP H0424960A JP 2125059 A JP2125059 A JP 2125059A JP 12505990 A JP12505990 A JP 12505990A JP H0424960 A JPH0424960 A JP H0424960A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rom
- contents
- resistor
- resistance
- resistance value
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000002513 implantation Methods 0.000 abstract 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ROMを有する半導体装置に関する。
この発明は、ROMを有する半導体装置において、RO
Mの内容を電気抵抗として測定できるようにしたもので
ある。
Mの内容を電気抵抗として測定できるようにしたもので
ある。
従来、ROMの内容を表示する方法は、エツチングによ
りIDコードをチップ内に表示する方法、あるいはウェ
ハに7Dコードを印字する方法が知られていた。
りIDコードをチップ内に表示する方法、あるいはウェ
ハに7Dコードを印字する方法が知られていた。
しかし、従来のエンチングによりROMのIDコードを
印す方法は、工程数の増加となり、またウェハにIDコ
ードを印字する方法では、チップになった場合に、RO
MのTDがわからなくなるという欠点があった。
印す方法は、工程数の増加となり、またウェハにIDコ
ードを印字する方法では、チップになった場合に、RO
MのTDがわからなくなるという欠点があった。
そこで、この発明は従来のこのような欠点を解決するた
め、工程数を増加させることなく、チップにてROMの
IDコードを判別することを目的としている。
め、工程数を増加させることなく、チップにてROMの
IDコードを判別することを目的としている。
上記問題点を解決するために、この発明はROMの内容
をIDとして電気抵抗で測定できるようにした。
をIDとして電気抵抗で測定できるようにした。
上記のように、ROMの内容をIDとして抵抗を作成す
ると、二つのパッド間の電気抵抗を測定することにより
ROMの内容を知ることができる。
ると、二つのパッド間の電気抵抗を測定することにより
ROMの内容を知ることができる。
以下に、この発明の半導体装置の実施例を図面に基づい
て説明する。第1図においてP−基板6中にn−抵抗4
を形成する。n″領域3上のコンタクトホール5を介し
、パッド電極1を形成し、n−抵抗4の抵抗値が測定で
きるようになっている。ROMをイオンインプラ法等に
より作成する際に、n−抵抗4上にROMの内容に応し
て、01層2の長さを変化させてインプラすることによ
り、n−抵抗4とn1層2のトータルの抵抗値を変える
ことができる。この抵抗値の違いによりROMの内容を
知ることができる。
て説明する。第1図においてP−基板6中にn−抵抗4
を形成する。n″領域3上のコンタクトホール5を介し
、パッド電極1を形成し、n−抵抗4の抵抗値が測定で
きるようになっている。ROMをイオンインプラ法等に
より作成する際に、n−抵抗4上にROMの内容に応し
て、01層2の長さを変化させてインプラすることによ
り、n−抵抗4とn1層2のトータルの抵抗値を変える
ことができる。この抵抗値の違いによりROMの内容を
知ることができる。
この発明は、以上説明したようにROMの内容に応して
抵抗値を変化させた抵抗を測定できるようにすることに
より、ROMの内容をチップで判別できる効果がある。
抵抗値を変化させた抵抗を測定できるようにすることに
より、ROMの内容をチップで判別できる効果がある。
第1図はこの発明にかかるROMの内容を電気抵抗とし
て測定できる抵抗の千面閾である。 ・・電気パッド ・・n1部 ・・n゛部 ・・n一部 ・・コンタクトホール ・・P一部 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助
て測定できる抵抗の千面閾である。 ・・電気パッド ・・n1部 ・・n゛部 ・・n一部 ・・コンタクトホール ・・P一部 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助
Claims (1)
- ROMを有する半導体装置において、ROMの内容を電
気抵抗として測定できるパッドを有することを特徴とす
る半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2125059A JPH0424960A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2125059A JPH0424960A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0424960A true JPH0424960A (ja) | 1992-01-28 |
Family
ID=14900805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2125059A Pending JPH0424960A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0424960A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100372580B1 (ko) * | 2000-08-31 | 2003-02-19 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치용 컬러필터 기판 및 그 제조방법 |
CN105803581A (zh) * | 2015-01-02 | 2016-07-27 | 中原工学院 | 气流成网法制备石墨烯纤维的方法 |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP2125059A patent/JPH0424960A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100372580B1 (ko) * | 2000-08-31 | 2003-02-19 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 장치용 컬러필터 기판 및 그 제조방법 |
CN105803581A (zh) * | 2015-01-02 | 2016-07-27 | 中原工学院 | 气流成网法制备石墨烯纤维的方法 |
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