JPH04243303A - 電子的に同調したｖｈｆ／ｕｈｆ整合回路網 - Google Patents
電子的に同調したｖｈｆ／ｕｈｆ整合回路網Info
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- JPH04243303A JPH04243303A JP3181043A JP18104391A JPH04243303A JP H04243303 A JPH04243303 A JP H04243303A JP 3181043 A JP3181043 A JP 3181043A JP 18104391 A JP18104391 A JP 18104391A JP H04243303 A JPH04243303 A JP H04243303A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32211—Means for coupling power to the plasma
- H01J37/32247—Resonators
- H01J37/32256—Tuning means
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
- H03H7/38—Impedance-matching networks
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- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
- H01P5/04—Coupling devices of the waveguide type with variable factor of coupling
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- Plasma Technology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、第１電気回路（発信源
）と第２電気回路（負荷）との間で最大電力伝送を行う
ように、整合回路網を使用している、第１電気回路と第
２電気回路の結合に関する。
）と第２電気回路（負荷）との間で最大電力伝送を行う
ように、整合回路網を使用している、第１電気回路と第
２電気回路の結合に関する。
【０００２】
【従来の技術】発信源の出力インピーダンスが、負荷の
入力インピーダンスの複合共役である場合、最大電力が
発信源から負荷へ伝送される。大抵の場合、発信源の出
力インピーダンスは、負荷の入力インピーダンスの複合
共役に本来等しくない。従って、電力制御と効率が臨界
値に近い場合、整合回路網が発信源と負荷との間に配置
される。整合回路網の入力インピーダンスが、発信源の
出力インピーダンスの複合共役であるとき、整合回路網
は適切に作動する。このようにして、電力反射、熱放散
などによる電力損失を最小にして、電力が発信源から整
合回路網を経て負荷へ伝送される。
入力インピーダンスの複合共役である場合、最大電力が
発信源から負荷へ伝送される。大抵の場合、発信源の出
力インピーダンスは、負荷の入力インピーダンスの複合
共役に本来等しくない。従って、電力制御と効率が臨界
値に近い場合、整合回路網が発信源と負荷との間に配置
される。整合回路網の入力インピーダンスが、発信源の
出力インピーダンスの複合共役であるとき、整合回路網
は適切に作動する。このようにして、電力反射、熱放散
などによる電力損失を最小にして、電力が発信源から整
合回路網を経て負荷へ伝送される。
【０００３】負荷の入力インピーダンスが動作中に変化
する場合には、整合回路網を調節して、発信源から負荷
への最大電力伝送を維持することが、必要である。一般
に、整合回路網は、負荷の入力インピーダンスの変動に
より、整合回路網のインピーダンスが変化するように、
設計されており、整合回路網の入力インピーダンスは一
定に維持される。さらに、多くの使用例では、発信源の
出力インピーダンスは、無視出来る虚数成分を有する出
力抵抗である。従って、従来技術の使用例のなかには、
インピーダンスの大きさとインピーダンスの位相角が、
整合回路網の入力側で測定されるものがある。整合回路
網の入力インピーダンスが発信源回路網の出力インピー
ダンスに整合するまで、すなわち、インピーダンス位相
角がゼロになり、また、インピーダンスの大きさが発信
源の出力抵抗の大きさと整合するまで、整合回路網内の
可変コンデンサあるいは誘導子が変化する。負荷の入力
インピーダンスのすべての予測された変動について、整
合回路網の入力毎にインピーダンス位相角がゼロであり
またインピーダンスの大きさが発信源の出力抵抗の大き
さと整合する値に、可変コンデンサが設定されるという
一つの解があるように、可変コンデンサあるいは誘導子
が、整合回路網内に配置されている。
する場合には、整合回路網を調節して、発信源から負荷
への最大電力伝送を維持することが、必要である。一般
に、整合回路網は、負荷の入力インピーダンスの変動に
より、整合回路網のインピーダンスが変化するように、
設計されており、整合回路網の入力インピーダンスは一
定に維持される。さらに、多くの使用例では、発信源の
出力インピーダンスは、無視出来る虚数成分を有する出
力抵抗である。従って、従来技術の使用例のなかには、
インピーダンスの大きさとインピーダンスの位相角が、
整合回路網の入力側で測定されるものがある。整合回路
網の入力インピーダンスが発信源回路網の出力インピー
ダンスに整合するまで、すなわち、インピーダンス位相
角がゼロになり、また、インピーダンスの大きさが発信
源の出力抵抗の大きさと整合するまで、整合回路網内の
可変コンデンサあるいは誘導子が変化する。負荷の入力
インピーダンスのすべての予測された変動について、整
合回路網の入力毎にインピーダンス位相角がゼロであり
またインピーダンスの大きさが発信源の出力抵抗の大き
さと整合する値に、可変コンデンサが設定されるという
一つの解があるように、可変コンデンサあるいは誘導子
が、整合回路網内に配置されている。
【０００４】米国特許出願Ｎｏ． ０７／３９２，８７
４ 、ケンネス・コリンズ（Ｋｅｎｎｅｔｈ Ｃｏｌｌ
ｉｎｓ）他の発明による、名称“自動整合回路網用同調
法と制御装置において、いくつかの方法が説明されてお
り、この方法では可変インピーダンス要素が、可変コン
デンサと可変誘導子に代って使用されている。可変イン
ピーダンス要素は、非線形強磁性コアの回りに巻かれた
１次と２次巻線より成る変圧器などの、磁気飽和リアク
トルにより構成されている。
４ 、ケンネス・コリンズ（Ｋｅｎｎｅｔｈ Ｃｏｌｌ
ｉｎｓ）他の発明による、名称“自動整合回路網用同調
法と制御装置において、いくつかの方法が説明されてお
り、この方法では可変インピーダンス要素が、可変コン
デンサと可変誘導子に代って使用されている。可変イン
ピーダンス要素は、非線形強磁性コアの回りに巻かれた
１次と２次巻線より成る変圧器などの、磁気飽和リアク
トルにより構成されている。
【０００５】反射性電力は、“ディザリング”（ｄｉｔ
ｈｅｒｉｎｇ）によって除去される。ディザリングが意
味するものは、第１可変インピーダンス要素によりイン
ピーダンスを、また、第２可変インピーダンス要素によ
りインピーダンスを、既知の一つ以上の周波数で変化す
ることである。制御回路は、第１可変インピーダンス要
素のディザリングによる反射した電力の変化成分を、第
２可変インピーダンス要素のディザリングによる反射し
た電力の変化から分離する。この変化成分により、制御
回路は、第１可変インピーダンスの定常状態のインピー
ダンスと、第２可変インピーダンスの定常状態のインピ
ーダンスとを、反射した電力を最小にする方向に連続的
に変化する。同調と制御のディザード（ｄｉｔｈｅｒｅ
ｄ） 法は、非線形動的負荷の場合でも、単一の整合解
へ常に収れんする。 収れんは、高いディザー周波数と磁気ディザーとにより
非常に速く行われる。飽和リアクトルを使用すると、整
合回路網のインピーダンスは、部品を動かすことなく、
敏速に変化する。
ｈｅｒｉｎｇ）によって除去される。ディザリングが意
味するものは、第１可変インピーダンス要素によりイン
ピーダンスを、また、第２可変インピーダンス要素によ
りインピーダンスを、既知の一つ以上の周波数で変化す
ることである。制御回路は、第１可変インピーダンス要
素のディザリングによる反射した電力の変化成分を、第
２可変インピーダンス要素のディザリングによる反射し
た電力の変化から分離する。この変化成分により、制御
回路は、第１可変インピーダンスの定常状態のインピー
ダンスと、第２可変インピーダンスの定常状態のインピ
ーダンスとを、反射した電力を最小にする方向に連続的
に変化する。同調と制御のディザード（ｄｉｔｈｅｒｅ
ｄ） 法は、非線形動的負荷の場合でも、単一の整合解
へ常に収れんする。 収れんは、高いディザー周波数と磁気ディザーとにより
非常に速く行われる。飽和リアクトルを使用すると、整
合回路網のインピーダンスは、部品を動かすことなく、
敏速に変化する。
【０００６】米国特許出願Ｎｏ． ０７／３９２，８７
４ は、ラジオ周波数域（３０メガヘルツ以下の周波数
）の信号、高周波（ＶＨＦ）域（３０〜３００メガヘル
ツの大電力信号、あるいは超高周波（ＵＨＦ）域（３０
０〜３０００メガヘルツ）の大電流信号に関して、良好
に動作するが、磁気飽和リアクトル内の寄生的インピー
ダンスは、非理想的動作特性を生ずる程、かなり大きい
。
４ は、ラジオ周波数域（３０メガヘルツ以下の周波数
）の信号、高周波（ＶＨＦ）域（３０〜３００メガヘル
ツの大電力信号、あるいは超高周波（ＵＨＦ）域（３０
０〜３０００メガヘルツ）の大電流信号に関して、良好
に動作するが、磁気飽和リアクトル内の寄生的インピー
ダンスは、非理想的動作特性を生ずる程、かなり大きい
。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ＶＨＦあるいはＵＨＦ
帯域の大電力信号を処理する整合回路網のもう一つの方
法は、分配変数法を使用することである。分配変数法で
は、伝送線路の小部分またはスタブ（ｓｔｕｂ） がイ
ンピーダンス整合に使用されている。従来の技術では、
各伝送線路スタブのインピーダンスは、伝送線路スタブ
へ接続した短絡路またはタップを機械的に動かすことに
より変化する。しかし、整合回路網のインピーダンスを
ディザリング過程などで急速に変えることが望まれる場
合、このような機械的移動は、遅く、信頼性がなく、満
足出来るものではない。
帯域の大電力信号を処理する整合回路網のもう一つの方
法は、分配変数法を使用することである。分配変数法で
は、伝送線路の小部分またはスタブ（ｓｔｕｂ） がイ
ンピーダンス整合に使用されている。従来の技術では、
各伝送線路スタブのインピーダンスは、伝送線路スタブ
へ接続した短絡路またはタップを機械的に動かすことに
より変化する。しかし、整合回路網のインピーダンスを
ディザリング過程などで急速に変えることが望まれる場
合、このような機械的移動は、遅く、信頼性がなく、満
足出来るものではない。
【０００８】
【課題を解決する手段】本発明の好適な実施例により、
整合回路網が提供されている。整合回路網は、発信源の
出力インピーダンスを負荷の入力インピーダンスと整合
させる。整合回路網は、複数の伝送線路スタブより成っ
ている。各伝送線路スタブは、第１伝送線路導電体、第
１伝送線路導電体と電気的に接触していないが平行に並
んでいる第２伝送線、及び第１伝送線路導電体と第２伝
送線路導電体との間にあるフェライト誘電体とより成っ
ている。磁界は、フェライト誘電体の比透磁率を変化す
るために使用される。本発明の説明を通して、用語フェ
ライト誘電体は、強磁性あるいは反強磁性誘電体を意味
する。
整合回路網が提供されている。整合回路網は、発信源の
出力インピーダンスを負荷の入力インピーダンスと整合
させる。整合回路網は、複数の伝送線路スタブより成っ
ている。各伝送線路スタブは、第１伝送線路導電体、第
１伝送線路導電体と電気的に接触していないが平行に並
んでいる第２伝送線、及び第１伝送線路導電体と第２伝
送線路導電体との間にあるフェライト誘電体とより成っ
ている。磁界は、フェライト誘電体の比透磁率を変化す
るために使用される。本発明の説明を通して、用語フェ
ライト誘電体は、強磁性あるいは反強磁性誘電体を意味
する。
【０００９】本発明の好適な実施例において、第１伝送
線路の導電体と第２伝送線路の導電体とは、同軸である
。これらは、ほかの導電体の内側に配置された導電性の
管により具体化される。脱イオン水が内側の管を通って
流れ、伝送線路スタブにより発生した熱を除去する。 あるいは、空気などのほかの流体も、伝送線路スタブに
より発生した熱を除去するために、内側の管を通って流
すことが出来る。同様に、空気（あるいは、脱イオン水
などのほかの流体）は、外側の導電性の管の外側に流す
ことも出来る。
線路の導電体と第２伝送線路の導電体とは、同軸である
。これらは、ほかの導電体の内側に配置された導電性の
管により具体化される。脱イオン水が内側の管を通って
流れ、伝送線路スタブにより発生した熱を除去する。 あるいは、空気などのほかの流体も、伝送線路スタブに
より発生した熱を除去するために、内側の管を通って流
すことが出来る。同様に、空気（あるいは、脱イオン水
などのほかの流体）は、外側の導電性の管の外側に流す
ことも出来る。
【００１０】伝送線路スタブは、いろいろな形態で構成
することが出来る。例えば、第１伝送線路スタブは、発
信源から負荷へ伸張し、第２伝送線路スタブは、発信源
に接続した一つの端部と、端末となっているほかの端部
とを有している。または、二つ以上の伝送線路スタブが
、発信源と負荷との間で直列に接続することも出来る。 各伝送線路スタブの接続していない端部は、短絡路、開
放路、あるいは、既知のアドミッタンスのほかの回路に
よって、端末となっている。
することが出来る。例えば、第１伝送線路スタブは、発
信源から負荷へ伸張し、第２伝送線路スタブは、発信源
に接続した一つの端部と、端末となっているほかの端部
とを有している。または、二つ以上の伝送線路スタブが
、発信源と負荷との間で直列に接続することも出来る。 各伝送線路スタブの接続していない端部は、短絡路、開
放路、あるいは、既知のアドミッタンスのほかの回路に
よって、端末となっている。
【００１１】本発明の好適な実施例により設計された整
合回路網は、ここで説明されているように、位相と大き
さの誤差を最小眼にすることにより、同調することが出
来るか、あるいは、前に引用した米国特許出願Ｎｏ．
０７／３９２，８７４ に記載されたディザリング法に
あるように、整合回路網の入力側から発信源へ向って反
射した電力を最小限にすることにより、同調することが
出来る。
合回路網は、ここで説明されているように、位相と大き
さの誤差を最小眼にすることにより、同調することが出
来るか、あるいは、前に引用した米国特許出願Ｎｏ．
０７／３９２，８７４ に記載されたディザリング法に
あるように、整合回路網の入力側から発信源へ向って反
射した電力を最小限にすることにより、同調することが
出来る。
【００１２】
【実施例】図１において、発信源２１は、電子的に同調
したＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を経て、負荷２２へ接続
して、示されている。電子同調したＶＨＦ／ＵＨＦ整合
回路網は、図示された形態で配置されている、伝送線路
スタブ４５と伝送線路スタブ４６とで構成されている。
したＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を経て、負荷２２へ接続
して、示されている。電子同調したＶＨＦ／ＵＨＦ整合
回路網は、図示された形態で配置されている、伝送線路
スタブ４５と伝送線路スタブ４６とで構成されている。
【００１３】一般に、伝送線路スタブ４５は、フェライ
ト誘電体によって分離された二つの導電体を有する、い
かなるタイプの伝送線路でもよい。本発明の説明をとお
して、用語フェライト誘電体は、強磁性あるいは反強磁
性誘電体を意味する。例えば、伝送線路スタブは、対の
各リード線の間のフェライト誘電体を有する対のリード
線である。あるいは、伝送線路スタブは同軸でもよい。
ト誘電体によって分離された二つの導電体を有する、い
かなるタイプの伝送線路でもよい。本発明の説明をとお
して、用語フェライト誘電体は、強磁性あるいは反強磁
性誘電体を意味する。例えば、伝送線路スタブは、対の
各リード線の間のフェライト誘電体を有する対のリード
線である。あるいは、伝送線路スタブは同軸でもよい。
【００１４】図１において、伝送線路スタブは、フェラ
イト誘電体に分離された、伝送線路導電体２９と伝送線
路導電体３０より成っていることが示されている。磁界
が、伝送線路スタブ４５に巻かれた導線４１を経てＤＣ
電源４４により送られた電流によって、伝送線路スタブ
４５へ加えられる。導線４１に流れる電流を変化すると
、伝送線路スタブ４５へ加えられた磁界は、伝送線路ス
タブ４５の比透磁率を変える。
イト誘電体に分離された、伝送線路導電体２９と伝送線
路導電体３０より成っていることが示されている。磁界
が、伝送線路スタブ４５に巻かれた導線４１を経てＤＣ
電源４４により送られた電流によって、伝送線路スタブ
４５へ加えられる。導線４１に流れる電流を変化すると
、伝送線路スタブ４５へ加えられた磁界は、伝送線路ス
タブ４５の比透磁率を変える。
【００１５】伝送線路スタブ４６は、フェライト誘電体
により分離された、伝送線路導電体３１と伝送線路導電
体３２とより成っている。磁界が、伝送線路スタブ４６
に巻かれた導線４２を経てＤＣ電源４３により送られた
電流によって、伝送線路スタブ４６へ加えられる。導線
４２に流れる電流を変化すると、伝送線路スタブ４６へ
加えられた磁界は、伝送線路スタブ４６の比透磁率を変
える。伝送線路スタブ４６の端末３３は、短絡路、開放
路、あるいは所定のアドミッタンスを有するほかの回路
などである。端末３３のアドミッタンスは、ここでは、
終端アドミッタンスと呼ばれる。入力アドミッタンスを
計算するため、端末スタブ４５の終端アドミッタンスは
、負荷２２のアドミッタンスである。また、次の説明の
全般について、説明に使用される式を単純化するため、
値は、その逆数（インピーダンス）よりはむしろ、アド
ミッタンスの用語で設定されている。
により分離された、伝送線路導電体３１と伝送線路導電
体３２とより成っている。磁界が、伝送線路スタブ４６
に巻かれた導線４２を経てＤＣ電源４３により送られた
電流によって、伝送線路スタブ４６へ加えられる。導線
４２に流れる電流を変化すると、伝送線路スタブ４６へ
加えられた磁界は、伝送線路スタブ４６の比透磁率を変
える。伝送線路スタブ４６の端末３３は、短絡路、開放
路、あるいは所定のアドミッタンスを有するほかの回路
などである。端末３３のアドミッタンスは、ここでは、
終端アドミッタンスと呼ばれる。入力アドミッタンスを
計算するため、端末スタブ４５の終端アドミッタンスは
、負荷２２のアドミッタンスである。また、次の説明の
全般について、説明に使用される式を単純化するため、
値は、その逆数（インピーダンス）よりはむしろ、アド
ミッタンスの用語で設定されている。
【００１６】整合回路網の線路３３と線路３４との間の
アドミッタンス（Ｙｉｎ）が、発信源２１の出力アドミ
ッタンス（Ｙｇ ）と等しいように、整合回路網が調節
される。これは、二つの段階で行われる。第１段階では
、伝送スタブ４５へ加えられた磁界は、線路３３と３４
の間の伝送スタブ４５のアドミッタンスがＹｇ ＋／−
ｊＢに等しいように、変化する。ここで、Ｂは定数であ
り、ｊは虚数（−１）１／２ である。第２段階では、
伝送スタブ４６へ加えれた磁界は、線路３３と３４の間
の伝送スタブ４６のアドミッタンスが−／＋ｊＢに等し
いように、変化する。従って、伝送スタブ４６のアドミ
ッタンスは、伝送線路４５のアドミッタンスの虚数成分
を消去し、整合回路網の全アドミッタンスをＹｇ であ
るように残す。
アドミッタンス（Ｙｉｎ）が、発信源２１の出力アドミ
ッタンス（Ｙｇ ）と等しいように、整合回路網が調節
される。これは、二つの段階で行われる。第１段階では
、伝送スタブ４５へ加えられた磁界は、線路３３と３４
の間の伝送スタブ４５のアドミッタンスがＹｇ ＋／−
ｊＢに等しいように、変化する。ここで、Ｂは定数であ
り、ｊは虚数（−１）１／２ である。第２段階では、
伝送スタブ４６へ加えれた磁界は、線路３３と３４の間
の伝送スタブ４６のアドミッタンスが−／＋ｊＢに等し
いように、変化する。従って、伝送スタブ４６のアドミ
ッタンスは、伝送線路４５のアドミッタンスの虚数成分
を消去し、整合回路網の全アドミッタンスをＹｇ であ
るように残す。
【００１７】図２は、プラズマ室２の内部でプラズマ処
理を行うために使用する装置に適用された図１の整合回
路網である。装置の負荷は、プラズマ室２の電極５と壁
７との間の電圧により発生し、これらは分離した電極と
して動作する。コンデンサ６は、一般に、１０〜１００
ピコファラッドであり、電極５のＤＣ電圧成分を整合回
路から分離する。整合回路網は、電源１の線路１３と線
路１４の間の出力アドミッタンスと整合する。整合回路
網の第１伝送線路スタブは、同軸伝送線路導電体８によ
り囲まれた同軸伝送線路導電体９を有している。整合回
路網の第２伝送線路スタブは、同軸伝送線路導電体１０
により囲まれた同軸伝送線路導電体１１を有する。図２
に示されているように、同軸伝送線路導電体９は、コン
デンサ６、同軸伝送線路導電体１１、及び電源１の線路
１３へ電気的に接続している。また、同軸伝送線路導電
体８は、同軸伝送線路導電体１０、電源１の線路１４、
及びプラズマ室２の壁７へ電気的に接続している。ディ
スク１２などの短絡回路は、同軸伝送線路導電体１１を
同軸伝送線路導電体１０へ図示のように電気的に接続す
るために使用されている。真空ポンプ３は、プラズマ室
２内のガスを導管４を通して排気するために使用される
。
理を行うために使用する装置に適用された図１の整合回
路網である。装置の負荷は、プラズマ室２の電極５と壁
７との間の電圧により発生し、これらは分離した電極と
して動作する。コンデンサ６は、一般に、１０〜１００
ピコファラッドであり、電極５のＤＣ電圧成分を整合回
路から分離する。整合回路網は、電源１の線路１３と線
路１４の間の出力アドミッタンスと整合する。整合回路
網の第１伝送線路スタブは、同軸伝送線路導電体８によ
り囲まれた同軸伝送線路導電体９を有している。整合回
路網の第２伝送線路スタブは、同軸伝送線路導電体１０
により囲まれた同軸伝送線路導電体１１を有する。図２
に示されているように、同軸伝送線路導電体９は、コン
デンサ６、同軸伝送線路導電体１１、及び電源１の線路
１３へ電気的に接続している。また、同軸伝送線路導電
体８は、同軸伝送線路導電体１０、電源１の線路１４、
及びプラズマ室２の壁７へ電気的に接続している。ディ
スク１２などの短絡回路は、同軸伝送線路導電体１１を
同軸伝送線路導電体１０へ図示のように電気的に接続す
るために使用されている。真空ポンプ３は、プラズマ室
２内のガスを導管４を通して排気するために使用される
。
【００１８】図３は、図２に示された整合回路網の実現
可能な実施例の側断面図を示す。同軸伝送線路導電体９
は、約０．００９５メートルの外半径と以下に計算され
た長さとを有する銅細管４９により実施される。同軸伝
送線路導電体８は、約０．０１５９メートルの内半径と
以下に計算された長さを有する銅管５０により実施され
る。 フェライト誘電体５３が銅細管４９と銅管５０との間に
設けられている。フェライト誘電体５３は、例えば、複
数のフェライト環状コアであり、ナショナル・マグネッ
クスグループ会社、住所２５０サウス・ストリート、ニ
ューワーク、ニュージャージ州０７１１４から部品番号
Ｍ３−６６５として入手出来る。フェライト誘電体５３
の比透磁率を変えるために使用される磁界は、図示のよ
うに、銅管５０に巻かれたソレノイド・コイル５５を流
れる電流により発生する。ソレノイド・コイル５５は、
エナメル絶縁被覆の８ＡＷＧ銅線などで製作されている
。動作中に、伝送スタブは、銅細管４９の中心領域内を
流れる脱イオン水と、銅管５０とソレノイド・コイル５
５との間の開放領域５７を流れる空気とにより冷却され
る。ソレノイド・コイル５５は、銅管５０の上に直接に
置かれているが、好適な実施例では、開放領域５７は、
ソレノイド・コイル５５と銅管５０との間を通過して流
れるように設けられている。
可能な実施例の側断面図を示す。同軸伝送線路導電体９
は、約０．００９５メートルの外半径と以下に計算され
た長さとを有する銅細管４９により実施される。同軸伝
送線路導電体８は、約０．０１５９メートルの内半径と
以下に計算された長さを有する銅管５０により実施され
る。 フェライト誘電体５３が銅細管４９と銅管５０との間に
設けられている。フェライト誘電体５３は、例えば、複
数のフェライト環状コアであり、ナショナル・マグネッ
クスグループ会社、住所２５０サウス・ストリート、ニ
ューワーク、ニュージャージ州０７１１４から部品番号
Ｍ３−６６５として入手出来る。フェライト誘電体５３
の比透磁率を変えるために使用される磁界は、図示のよ
うに、銅管５０に巻かれたソレノイド・コイル５５を流
れる電流により発生する。ソレノイド・コイル５５は、
エナメル絶縁被覆の８ＡＷＧ銅線などで製作されている
。動作中に、伝送スタブは、銅細管４９の中心領域内を
流れる脱イオン水と、銅管５０とソレノイド・コイル５
５との間の開放領域５７を流れる空気とにより冷却され
る。ソレノイド・コイル５５は、銅管５０の上に直接に
置かれているが、好適な実施例では、開放領域５７は、
ソレノイド・コイル５５と銅管５０との間を通過して流
れるように設けられている。
【００１９】同軸伝送線路導電体は、約０．００９５メ
ートルの外半径と以下に計算された長さを有する銅細管
５１により実施される。同軸伝送線路導電体１０は、約
０．０１９５メートルの内半径と以下計算された長さを
有する銅管５２により実施される。フェライト誘電体５
４は、銅細管５１と銅管５２との間に配置されている。 フェライト誘電体５４は、例えば、複数のフェライト環
状コアであり、ナショナル・マグネチックス・グループ
会社、住所上記から部品番号Ｍ３−６６５として入手出
来る。磁界は、フェライト誘電体５４の比透磁率を変え
るために使用され、図示のように、銅管５２に巻かれた
ソレノイド・コイル５６に流れる電流により発生する。 ソレノイド・コイルは、エナメル絶縁被覆の８ＡＷＧ銅
線などで製作されている。動作中に、伝送線路スタブは
、銅細管５１の中心領域６０内を流れる脱イオン水（あ
るいは、空気などのほかの流動体）と、銅管５２とソレ
ノイド・コイル５６との間の開放領域５８を通る空気の
流れ（あるいは、脱イオン水などのほかの流動体の流れ
）とにより冷却される。ソレノイド・コイル５６は、銅
管５２の上に直接に置かれているが、好適な実施例では
、開放領域５８は、ソレノイド・コイル５６と銅管５２
との間を通って流れるように設けられている。
ートルの外半径と以下に計算された長さを有する銅細管
５１により実施される。同軸伝送線路導電体１０は、約
０．０１９５メートルの内半径と以下計算された長さを
有する銅管５２により実施される。フェライト誘電体５
４は、銅細管５１と銅管５２との間に配置されている。 フェライト誘電体５４は、例えば、複数のフェライト環
状コアであり、ナショナル・マグネチックス・グループ
会社、住所上記から部品番号Ｍ３−６６５として入手出
来る。磁界は、フェライト誘電体５４の比透磁率を変え
るために使用され、図示のように、銅管５２に巻かれた
ソレノイド・コイル５６に流れる電流により発生する。 ソレノイド・コイルは、エナメル絶縁被覆の８ＡＷＧ銅
線などで製作されている。動作中に、伝送線路スタブは
、銅細管５１の中心領域６０内を流れる脱イオン水（あ
るいは、空気などのほかの流動体）と、銅管５２とソレ
ノイド・コイル５６との間の開放領域５８を通る空気の
流れ（あるいは、脱イオン水などのほかの流動体の流れ
）とにより冷却される。ソレノイド・コイル５６は、銅
管５２の上に直接に置かれているが、好適な実施例では
、開放領域５８は、ソレノイド・コイル５６と銅管５２
との間を通って流れるように設けられている。
【００２０】図４は、図３に示す整合回路のほかの側断
面図を示している。図４の断面図は、図３に示された断
面図の軸に垂直な軸に沿って表されている。一般に、図
３に示された各伝送線路スタブに関して、伝送線路の特
性アドミッタンス（Ｙｏ ）は、次の式により計算され
る。すなわち、 Ｙｏ ＝２π／（（（μ＊μｏ ）／（ε＊εｏ
））１／２ Ｉｎ〔ｒｏ ／ｒｉ 〕）ここで、 μｏ ＝自由空間の透磁率（４π×１０−７ヘンリー）
。
面図を示している。図４の断面図は、図３に示された断
面図の軸に垂直な軸に沿って表されている。一般に、図
３に示された各伝送線路スタブに関して、伝送線路の特
性アドミッタンス（Ｙｏ ）は、次の式により計算され
る。すなわち、 Ｙｏ ＝２π／（（（μ＊μｏ ）／（ε＊εｏ
））１／２ Ｉｎ〔ｒｏ ／ｒｉ 〕）ここで、 μｏ ＝自由空間の透磁率（４π×１０−７ヘンリー）
。
【００２１】μ ＝内側と外側の導電体の間のフェラ
イト誘電体の比透磁率。 εｏ ＝自由空間の誘電率（８．８６×１０−１２ フ
ァラッド／メートル） ε ＝内側と外側の導電体の間のフェライト誘電体の
比誘電率（誘電定数） ｒｏ ＝外側導電体の半径（メートル）ｒｉ ＝内側導
電体の半径（メートル）伝送線路スタブの特性アドミッ
タンスが計算されると、伝送線路スタブの入力アドミッ
タンス（Ｙｉｎ）は、次の式により計算される。
イト誘電体の比透磁率。 εｏ ＝自由空間の誘電率（８．８６×１０−１２ フ
ァラッド／メートル） ε ＝内側と外側の導電体の間のフェライト誘電体の
比誘電率（誘電定数） ｒｏ ＝外側導電体の半径（メートル）ｒｉ ＝内側導
電体の半径（メートル）伝送線路スタブの特性アドミッ
タンスが計算されると、伝送線路スタブの入力アドミッ
タンス（Ｙｉｎ）は、次の式により計算される。
【００２２】
Ｙｉｎ＝Ｙｏ 〔Ｙｒ ＋ｊＹｏ ｔａｎ
（ａ）） ／（Ｙｏ ＋ｊＹｒ ｔａｎ（ａ）） 〕こ
こで、 Ｙｒ ＝伝送線路スタブの終端アドミッタンス（ジーメ
ンス）。 ｊ ＝（−１）１／２ ａ ＝２π（μ＊ε）１／２ （ｄ／λ）ｄ ＝伝
送線路スタブの長さ（メートル）。
（ａ）） ／（Ｙｏ ＋ｊＹｒ ｔａｎ（ａ）） 〕こ
こで、 Ｙｒ ＝伝送線路スタブの終端アドミッタンス（ジーメ
ンス）。 ｊ ＝（−１）１／２ ａ ＝２π（μ＊ε）１／２ （ｄ／λ）ｄ ＝伝
送線路スタブの長さ（メートル）。
【００２３】
λ ＝伝送線路スタブを通過する信号の自由空間波長
（ｃ／ｆ）（メートル） ｃ ＝光の自由空間速度（３００×１０６ メートル
／秒）。 ｆ ＝伝送線路スタブを通過する信号の共振周波数（
ヘルツ）。 ３段階の式が、図３に示すような整合回路網の設計に使
用される。第１段階では、フェライト誘電体５３とフェ
ライト誘電体５４とを構成するフェライト誘電材が選択
される。フェライト誘電材の選択に際しては、整合回路
網の動作周波数帯域において、損失が低く、比透磁率が
高い材料を選択することが、重要である。ソレノイド・
コイル５５とソレノイド５６は、それぞれ、フェライト
誘電体５３とフェライト誘電体５４を、最小比透磁率（
μｍｉｎ ）と最大比透磁率（μｍａｘ ）との間で、
変化させる。
（ｃ／ｆ）（メートル） ｃ ＝光の自由空間速度（３００×１０６ メートル
／秒）。 ｆ ＝伝送線路スタブを通過する信号の共振周波数（
ヘルツ）。 ３段階の式が、図３に示すような整合回路網の設計に使
用される。第１段階では、フェライト誘電体５３とフェ
ライト誘電体５４とを構成するフェライト誘電材が選択
される。フェライト誘電材の選択に際しては、整合回路
網の動作周波数帯域において、損失が低く、比透磁率が
高い材料を選択することが、重要である。ソレノイド・
コイル５５とソレノイド５６は、それぞれ、フェライト
誘電体５３とフェライト誘電体５４を、最小比透磁率（
μｍｉｎ ）と最大比透磁率（μｍａｘ ）との間で、
変化させる。
【００２４】第２段階では、第１伝送線路スタブのＹｉ
ｎの実数成分が、ソレノイド・コイル５５がフェライト
誘電体５３の比透磁率を変える範囲で、Ｙｇ に等しく
設定されるように、第１伝送線路スタブの銅細管４９と
銅管５０の長さが反復して決定される。次に、第１伝送
線路スタブの虚数成分が、ソレノイド・コイル５６がフ
ェライト誘電体５４の比透磁率を変える範囲で、消去さ
れるように、第２伝送線路スタブの銅細管５１と銅管５
２の長さが反復して決定される。
ｎの実数成分が、ソレノイド・コイル５５がフェライト
誘電体５３の比透磁率を変える範囲で、Ｙｇ に等しく
設定されるように、第１伝送線路スタブの銅細管４９と
銅管５０の長さが反復して決定される。次に、第１伝送
線路スタブの虚数成分が、ソレノイド・コイル５６がフ
ェライト誘電体５４の比透磁率を変える範囲で、消去さ
れるように、第２伝送線路スタブの銅細管５１と銅管５
２の長さが反復して決定される。
【００２５】第１伝送線路スタブの長さ（ｄ１ ）を反
復して決定する場合、最初の好適な推定値は、フェライ
ト誘電体５３の比透磁率が最大値であるとき、第１伝送
線路スタブを通過する信号の波長の３／４である。すな
わち、次の場合である。 ｄ１ ＝３／４（λ／（ε＊μｍａｘ ）１／２ （メ
ートル）第２伝送線路スタブの長さ（ｄ２ ）を反復し
て決定する場合、最初の好適な推定値は、フェライト誘
電体５４の比透磁率が最大値であるとき、第２伝送線路
スタブを通過する波長の１／２である。すなわち、次の
場合である。
復して決定する場合、最初の好適な推定値は、フェライ
ト誘電体５３の比透磁率が最大値であるとき、第１伝送
線路スタブを通過する信号の波長の３／４である。すな
わち、次の場合である。 ｄ１ ＝３／４（λ／（ε＊μｍａｘ ）１／２ （メ
ートル）第２伝送線路スタブの長さ（ｄ２ ）を反復し
て決定する場合、最初の好適な推定値は、フェライト誘
電体５４の比透磁率が最大値であるとき、第２伝送線路
スタブを通過する波長の１／２である。すなわち、次の
場合である。
【００２６】
ｄ２ ＝１／２（λ／（ε＊μｍａｘ ）１／２ （メ
ートル）。 第３の段階では、十分な強度の磁界が発生して、フェラ
イト誘電体５３とフェライト誘電体５４の所望の最小比
透磁率に到達するように、ソレノイド・コイル５５の巻
数、ソレノイド５６の巻数、ソレノイド・コイル５５に
流れる最大電流、ソレノイド・コイル５６に流れる最大
電流が決定される。
ートル）。 第３の段階では、十分な強度の磁界が発生して、フェラ
イト誘電体５３とフェライト誘電体５４の所望の最小比
透磁率に到達するように、ソレノイド・コイル５５の巻
数、ソレノイド５６の巻数、ソレノイド・コイル５５に
流れる最大電流、ソレノイド・コイル５６に流れる最大
電流が決定される。
【００２７】次の事例は、Ｙｇ ＝０．０２ジーメンス
である代表的装置の設計例である。最大信号周波数が１
００メガヘルツで、負荷アドミッタンスは、０．０５ジ
ーメンスから０．５ジーメンスに変化する実数成分だけ
を有している。第１伝送線路スタブと第２伝送線路スタ
ブのいずれにも関して、ｒｏ は０．０１５９メートル
であるように選択され、ｒｉ は０．０９５メートルで
あるように選択される。
である代表的装置の設計例である。最大信号周波数が１
００メガヘルツで、負荷アドミッタンスは、０．０５ジ
ーメンスから０．５ジーメンスに変化する実数成分だけ
を有している。第１伝送線路スタブと第２伝送線路スタ
ブのいずれにも関して、ｒｏ は０．０１５９メートル
であるように選択され、ｒｉ は０．０９５メートルで
あるように選択される。
【００２８】フェライト誘電体５３とフェライト誘電体
５４は、複数のフェライト環状コアから製作されるよう
に選択されるが、これらは、ナショナル・マグネチック
ス・グループ会社から部品番号Ｍ３−６６５として入手
出来る。この材料は、磁界が加えられていない場合、最
大透磁率（μｍａｘ ）が２０であり、１０００ガウス
の外部磁束密度（Ｂ）が加えられている場合、最小透磁
率（μｍｉｎ ）が５である。
５４は、複数のフェライト環状コアから製作されるよう
に選択されるが、これらは、ナショナル・マグネチック
ス・グループ会社から部品番号Ｍ３−６６５として入手
出来る。この材料は、磁界が加えられていない場合、最
大透磁率（μｍａｘ ）が２０であり、１０００ガウス
の外部磁束密度（Ｂ）が加えられている場合、最小透磁
率（μｍｉｎ ）が５である。
【００２９】第１伝送線路スタブの長さは、フェライト
誘電体５３の比透磁率が最大値（μｍａｘ ＝２０）に
ある場合、第１伝送線路スタブを通過する信号の波長の
３／４であるように選定される。この場合、長さは０．
１８５メートルである。点検が行われて、最大周波数（
１００メガヘルツ）において、また、負荷のアドミッタ
ンスの変動範囲に関して、フェライト誘電体５３の透磁
率がμｍａｘ （２０）とμｍｉｎ （５）の間で変化
して、Ｙｇ （０．０２ジーメンス）に等しい第１伝送
線路スタブの実数成分Ｙｉｎを発生することが確かめら
れる。この点検は、この長さが、次の理由から容認出来
ることを確認する。すなわち、０．０５ジーメンスの最
小負荷アドミッタンスにおいて、フェライト誘電体５３
の透磁率（μ）が１３．５である場合、Ｙｉｎは０．０
１９−ｊ（ ．０１５）に等しく、また、０．５ジーメ
ンスの最大負荷アドミッタンスにおいて、フェライト誘
電体５３の透磁率（μ）が１０．３である場合、Ｙｉｎ
が０．０１９−ｊ（ ．０９２）に等しい。
誘電体５３の比透磁率が最大値（μｍａｘ ＝２０）に
ある場合、第１伝送線路スタブを通過する信号の波長の
３／４であるように選定される。この場合、長さは０．
１８５メートルである。点検が行われて、最大周波数（
１００メガヘルツ）において、また、負荷のアドミッタ
ンスの変動範囲に関して、フェライト誘電体５３の透磁
率がμｍａｘ （２０）とμｍｉｎ （５）の間で変化
して、Ｙｇ （０．０２ジーメンス）に等しい第１伝送
線路スタブの実数成分Ｙｉｎを発生することが確かめら
れる。この点検は、この長さが、次の理由から容認出来
ることを確認する。すなわち、０．０５ジーメンスの最
小負荷アドミッタンスにおいて、フェライト誘電体５３
の透磁率（μ）が１３．５である場合、Ｙｉｎは０．０
１９−ｊ（ ．０１５）に等しく、また、０．５ジーメ
ンスの最大負荷アドミッタンスにおいて、フェライト誘
電体５３の透磁率（μ）が１０．３である場合、Ｙｉｎ
が０．０１９−ｊ（ ．０９２）に等しい。
【００３０】次に、第２伝送線路スタブの長さは、フェ
ライト誘電体５４の比透磁率が最大値（μｍａｘ ＝２
０）にある場合、第２伝送線路スタブを通過する信号の
波長の１／２であるように選定される。この場合、この
長さは０．１２５メートルに等しい。点検が行われて、
最大周波数（１００メガヘルツ）において、また、負荷
アドミッタンスの変動範囲に関して、フェライト誘電体
５４の透磁率がμｍａｘ （２０）とμｍｉｎ （５）
との間で変化して、第１伝送線路の虚数成分Ｙｉｎを消
去する第２伝送線路スタブの虚数成分Ｙｉｎを発生する
ことが確かめられる。この点検は、長さが容認出来るこ
とを確認する。第１伝送線路の虚数成分Ｙｉｎは、負荷
アドミッタンスが０．０５ジーメンスのときの−ｊ（
．０１５）と、負荷アドミッタンスが０．５ジーメンス
のときの−ｊ（ ．０９２）との間で変化する。この範
囲は包含される。特に、フェライト誘電体５４の透磁率
（μ）が７．０の場合、第２伝送線路のＹｉｎは＋ｊ（
０．０１２）である。同様に、フェライト誘電体５４の
透磁率（μ）が１６．５の場合、第２伝送線路のＹｉｎ
は＋ｊ（０．１０３）である。このようにして、第１伝
送線路スタブと第２伝送線路スタブの長さは、容認され
る。
ライト誘電体５４の比透磁率が最大値（μｍａｘ ＝２
０）にある場合、第２伝送線路スタブを通過する信号の
波長の１／２であるように選定される。この場合、この
長さは０．１２５メートルに等しい。点検が行われて、
最大周波数（１００メガヘルツ）において、また、負荷
アドミッタンスの変動範囲に関して、フェライト誘電体
５４の透磁率がμｍａｘ （２０）とμｍｉｎ （５）
との間で変化して、第１伝送線路の虚数成分Ｙｉｎを消
去する第２伝送線路スタブの虚数成分Ｙｉｎを発生する
ことが確かめられる。この点検は、長さが容認出来るこ
とを確認する。第１伝送線路の虚数成分Ｙｉｎは、負荷
アドミッタンスが０．０５ジーメンスのときの−ｊ（
．０１５）と、負荷アドミッタンスが０．５ジーメンス
のときの−ｊ（ ．０９２）との間で変化する。この範
囲は包含される。特に、フェライト誘電体５４の透磁率
（μ）が７．０の場合、第２伝送線路のＹｉｎは＋ｊ（
０．０１２）である。同様に、フェライト誘電体５４の
透磁率（μ）が１６．５の場合、第２伝送線路のＹｉｎ
は＋ｊ（０．１０３）である。このようにして、第１伝
送線路スタブと第２伝送線路スタブの長さは、容認され
る。
【００３１】ｒｏ が０．０１５９メートルで、ｒｉ
が０．０９５メートルの場合、１０００ガウスの磁束密
度を生成するために、ソレノイド・コイル５５とソレノ
イド・コイル５６とは、９６，０００アンペア・ターン
／メートルの最大磁界強度を生成することが必要とされ
る。これは、例えば、最大値４０アンペアを有するよう
に、ソレノイド・コイル５５とソレノイド・５６に流れ
る電流を設定し、また、２４０００ターン／メートルを
有するように、ソレノイド・コイル５５とソレノイド・
コイル５６とを構成することにより、達成される。
が０．０９５メートルの場合、１０００ガウスの磁束密
度を生成するために、ソレノイド・コイル５５とソレノ
イド・コイル５６とは、９６，０００アンペア・ターン
／メートルの最大磁界強度を生成することが必要とされ
る。これは、例えば、最大値４０アンペアを有するよう
に、ソレノイド・コイル５５とソレノイド・５６に流れ
る電流を設定し、また、２４０００ターン／メートルを
有するように、ソレノイド・コイル５５とソレノイド・
コイル５６とを構成することにより、達成される。
【００３２】出願者の発明は、多様な形態の整合回路網
に適用することが出来る。一例として、図５では、並列
に接続された伝送線路スタブ１０１と伝送線路スタブ１
０２とより成っている整合回路網が、発信源１２１と負
荷１２２との間に示されている。伝送線路スタブ１０１
は、伝送線路導電体１３１、伝送線路導電体１３２、及
び端末１３３を有する。伝送線路スタブ１０２は、伝送
線路導電体１２９、伝送線路導電体１０３、及び端末１
２８を有している。伝送線路１３５は、発信源１２１を
負荷１２２へ接続している。
に適用することが出来る。一例として、図５では、並列
に接続された伝送線路スタブ１０１と伝送線路スタブ１
０２とより成っている整合回路網が、発信源１２１と負
荷１２２との間に示されている。伝送線路スタブ１０１
は、伝送線路導電体１３１、伝送線路導電体１３２、及
び端末１３３を有する。伝送線路スタブ１０２は、伝送
線路導電体１２９、伝送線路導電体１０３、及び端末１
２８を有している。伝送線路１３５は、発信源１２１を
負荷１２２へ接続している。
【００３３】図５に示された二つのスタブ装置が最適に
動作するためには、発信源１２１からスタブ１０１の接
合部に伸長している伝送線路の部分は、発信源の出力ア
ドミッタンスに等しい特有のアドミッタンスを有してい
なければならない。さらに、最適な同調範囲に関しては
、スタブ１０１の接合部からスタブ１０２の接合部へ測
定した伝送線路１３５の長さは、発信源１２１により発
生した信号の波長の３／８でなければならず、また、ス
タブ１０２の接合部から負荷１２２へ測定した伝送線路
１３５の長さは、発信源１２１により発生した信号の波
長の３／８でなければならない。
動作するためには、発信源１２１からスタブ１０１の接
合部に伸長している伝送線路の部分は、発信源の出力ア
ドミッタンスに等しい特有のアドミッタンスを有してい
なければならない。さらに、最適な同調範囲に関しては
、スタブ１０１の接合部からスタブ１０２の接合部へ測
定した伝送線路１３５の長さは、発信源１２１により発
生した信号の波長の３／８でなければならず、また、ス
タブ１０２の接合部から負荷１２２へ測定した伝送線路
１３５の長さは、発信源１２１により発生した信号の波
長の３／８でなければならない。
【００３４】あるいは、図６において、直列に接続した
伝送線路スタブ２０１と伝送線路スタブ２０２とより構
成されている整合回路網が、発信源２２１と負荷２２２
との間に示されている。伝送線路スタブ２０１は、伝送
線路導電体２３１と伝送線路導電体２３２とを有してい
る。伝送線路スタブ２０２は、伝送線路導電体２２９と
伝送線路導電体２３０を有する。
伝送線路スタブ２０１と伝送線路スタブ２０２とより構
成されている整合回路網が、発信源２２１と負荷２２２
との間に示されている。伝送線路スタブ２０１は、伝送
線路導電体２３１と伝送線路導電体２３２とを有してい
る。伝送線路スタブ２０２は、伝送線路導電体２２９と
伝送線路導電体２３０を有する。
【図１】本発明の好適な実施例による、電子的に同調し
たＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を示す。
たＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を示す。
【図２】本発明の好適な実施例により、プラズマ処理へ
電力を送る装置で使用される、図１に示された電子同調
の整合回路網を示す。
電力を送る装置で使用される、図１に示された電子同調
の整合回路網を示す。
【図３】本発明の好適な実施例による、図２の電子同調
の整合回路網の設計実施例の断面図を示す。
の整合回路網の設計実施例の断面図を示す。
【図４】本発明の好適な実施例による、図２の電子同調
の整合回路網の設計実施例の断面図を示す。
の整合回路網の設計実施例の断面図を示す。
【図５】本発明のほかの好適な実施例による、電子同調
のＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を示す。
のＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を示す。
【図６】本発明のもう一つのほかの好適実施例による、
電子同調のＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を示す。
電子同調のＶＨＦ／ＵＨＦ整合回路網を示す。
２１ 発信源
２２ 負荷
２９，３０，３２ 伝送線路導電体
４１ 導線
４３，４４ ＤＣ電源
４５，４６ 伝送線路スタブ
Claims (24)
- 【請求項１】 整合回路網の伝送線路スタブにして、
第１伝送線路導電体と、第１伝送線路導電体と並列に配
列している第２伝送線路導電体と、第１伝送線路導電体
と第２伝送線路導電体との間にあるフェライト誘電体と
、フェライト誘電体の比透磁率を変える変動手段とより
成ることを特徴とする伝送線路スタブ。 - 【請求項２】 前記変動手段が、第１伝送線路導電体
、第２伝送線路導電体、及びフェライト誘電体の回りに
巻かれた導線と、導線に流れる電流を発生する電流発生
手段とより成る磁界発生器を有することを特徴とする請
求項１に記載の伝送線路スタブ。 - 【請求項３】 第１伝送線路導電体と第２伝送線路導
電体が、対のリード線であることを特徴とする請求項１
に記載の伝送線路スタブ。 - 【請求項４】 第１伝送線路導電体と第２伝送線路導
電体が、同軸であることを特徴とする請求項１に記載の
伝送線路スタブ。 - 【請求項５】 第１伝送線路導電体が第１導電管であ
り、また、第２伝送線路導電体が第１導電管の内側にあ
る第２導電管であることを特徴とする請求項４に記載の
伝送線路スタブ。 - 【請求項６】 さらに、第２導電管内を流れる流体よ
り成ることを特徴とする請求項５に記載の伝送線路スタ
ブ。 - 【請求項７】 変動手段が、第１導電管の回りに巻か
れた導線と、導線に流れる電流を発生する電流発生手段
とより成っている磁界発生器を有することを特徴とする
請求項５に記載の伝送線路スタブ。 - 【請求項８】 導線と第１導電管との間に流体を流す
流動手段を有することを特徴とする請求項７に記載の伝
送線路スタブ。 - 【請求項９】 各伝送線路スタブが、第１伝送線路導
電体と、第１伝送線路導電体と並列に配列している第２
伝送線路導電体と、第１伝送線路導電体と第２伝送線路
導電体との間にあるフェライト誘電体と、フェライト誘
電体の比透磁率を変える変動手段とより成っていること
を特徴とする複数の伝送線路スタブを有する整合回路網
。 - 【請求項１０】 変動手段が、第１伝送線路導電体、
第２伝送線路導電体、及びフェライト誘電体の回りに巻
かれた導線と、導線に流れる電流を発生する電流発生手
段とより成る磁界発生器を有することを特徴とする請求
項９に記載の整合回路網。 - 【請求項１１】 整合回路網が発信源と負荷との間に
接続し、複数の伝送線路スタブから分離した第１伝送線
路スタブが発信源と負荷との間に接続し、複数の伝送線
路スタブから分離した第２伝送線路スタブの第１端部が
発信源に接続しまた第２伝送線路スタブの第２端部が終
端に接続していることを特徴とする請求項９に記載の整
合回路網。 - 【請求項１２】 終端が、第２伝送線路スタブの第１
伝送線路導電体を第２伝送線路スタブの第２伝送線路導
電体へ電気的に接続している短絡路であることを特徴と
する請求項１１に記載の整合回路網。 - 【請求項１３】 発信源が電源より成り、また、負荷
がプラズマ処理に使用される電極より成ることを特徴と
する請求項１１に記載の整合回路網。 - 【請求項１４】 整合回路網が発信源と負荷との間に
接続し、複数の伝送線路スタブから分離した第１伝送線
路スタブと複数の伝送線路スタブから分離した第２伝送
線路とが発信源と負荷との間に直列に接続していること
を特徴とする請求項９に記載の整合回路網。 - 【請求項１５】 整合回路網が発信源と負荷との間に
接続し、複数の伝送線路スタブから分離した第１伝送線
路スタブの第１端部が発信源を負荷へ接続する接続伝送
線路へ接続しまた第１伝送線路スタブの第２端部が第１
終端へ接続し、複数の伝送線路スタブから分離した第２
伝送線路スタブの第１端部が接続伝送線路へ接続しまた
第２伝送線路スタブの第２端部が第２終端であることを
特徴とする請求項９に記載の整合回路網。 - 【請求項１６】 整合回路網が電源とプラズマ処理に
使用される電極との間に接続していることを特徴とする
請求項９に記載の整合回路網。 - 【請求項１７】 複数の伝送線路スタブを有する整合
回路網のアドミッタンスを変化する方法にして、各伝送
線路スタブが二つの伝送線路導電体を有し、（ａ） 各
伝送線路スタブの二つの伝送線路導電体の間にフェライ
ト誘電体を配置し、（ｂ） 前記フェライト誘電体の透
磁率を変化する段階より成ることを特徴とする前記の方
法。 - 【請求項１８】 段階（ｂ）が、各伝送線路スタブの
周囲に形成された磁界を変化することにより行われるこ
とを特徴とする請求項１７に記載の方法。 - 【請求項１９】 複数の伝送線路スタブの各伝送線路
スタブの伝送線路導電体が、同軸であることを特徴とす
る請求項１７に記載の方法。 - 【請求項２０】 各伝送線路導電体の第１導電体が第
１の導電管であり、各伝送線路導電体の第２導電体が第
１の導電管内の第２の導電管であることを特徴とする請
求項１９に記載の方法。 - 【請求項２１】 さらに、（ｃ）流体を冷却用の第２
導電管を通して流動する段階より成ることを特徴とする
請求項２０に記載の方法。 - 【請求項２２】 前記流体が脱イオン化された水であ
ることを特徴とする請求項２１に記載の方法。 - 【請求項２３】 さらに、（ｄ）流体を冷却用の第１
導電管全体に流動する段階より成ることを特徴とする請
求項２０に記載の方法。 - 【請求項２４】 前記流体が空気であることを特徴と
する請求項２３に記載の方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/558,290 US5065118A (en) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | Electronically tuned VHF/UHF matching network |
| US558290 | 1990-07-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04243303A true JPH04243303A (ja) | 1992-08-31 |
| JP2571882B2 JP2571882B2 (ja) | 1997-01-16 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP2571882B2 (ja) |
| KR (1) | KR920003631A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008160785A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-07-10 | Kyocera Corp | 整合回路、送信器、受信器、送受信器およびレーダ装置 |
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| DE4122290C1 (ja) * | 1991-07-05 | 1992-11-19 | Ant Nachrichtentechnik Gmbh, 7150 Backnang, De | |
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-
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- 1991-07-25 EP EP19910112528 patent/EP0468509A3/en not_active Withdrawn
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