JPH04242911A - Manufacture of electronic parts - Google Patents

Manufacture of electronic parts

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JPH04242911A
JPH04242911A JP41727290A JP41727290A JPH04242911A JP H04242911 A JPH04242911 A JP H04242911A JP 41727290 A JP41727290 A JP 41727290A JP 41727290 A JP41727290 A JP 41727290A JP H04242911 A JPH04242911 A JP H04242911A
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coil
electronic component
manufacturing
conductor pattern
magnetic layer
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稔 高谷
Nobunori Mochizuki
望月 宣典
Hisashi Osara
恒 小更
Satoru Okamoto
悟 岡本
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Abstract

PURPOSE:To enable electronic parts with a coil part where a coil is buried to be manufactured efficiently so that a coil axis is in parallel to a lamination surface at a coil support consisting of a laminated body. CONSTITUTION:A coil 1 is formed by laminating a conductor pattern for coil which is obtained by cutting on a cutting surface which becomes parallel to a lamination surface assuming the coil to be obtained finally. Coil supports 210-213 are formed by lamination while allowing a connection edge portion of a conductor pattern for the coil to be remained.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、コイル部分を含む電子
部品の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an electronic component including a coil portion.

【0002】0002

【従来の技術】コイル支持体の内部にコイルを埋設した
電子部品、特に、コイル部品に関する代表的な従来技術
としては、特公昭57ー39521号公報等に開示され
た技術がある。この従来技術は、フェライト層と、コイ
ル用導体とを交互に印刷して積層し、積層後に、焼成焼
結する製造工程を経て得られる。積層化に当っては、約
半ターン分のコイル用導体を印刷する工程と、印刷され
た導体の端部を残して、その上に磁性層を印刷する工程
と、残された端部に導通するようにしてフェライト層の
上に残りの半ターン分の導体を印刷する工程とを繰返し
て、積層方向に螺旋状に変位するコイル用導体を形成す
る。積層工程を終了した後、焼成することにより、フェ
ライトの内部にコイルを埋設した高密度集積のコイル部
分を含む電子部品が得られる。
2. Description of the Related Art A typical prior art related to electronic components, particularly coil components, in which a coil is embedded within a coil support is disclosed in Japanese Patent Publication No. 57-39521. This conventional technology is obtained through a manufacturing process of alternately printing and laminating ferrite layers and coil conductors, and firing and sintering the laminated layers. Lamination involves the process of printing approximately half a turn of the coil conductor, the process of printing a magnetic layer on top of the printed conductor, leaving the ends of the printed conductor, and the process of creating conductivity at the remaining ends. The process of printing the remaining half turns of the conductor on the ferrite layer is repeated to form a coil conductor that is spirally displaced in the stacking direction. After the lamination process is completed, by firing, an electronic component including a highly densely integrated coil portion in which the coil is embedded inside the ferrite can be obtained.

【0003】図73に従来の製造方法によって得られる
電子部品の例を示す。図73において、1はフェライト
でなるコイル支持体、2はコイル、3、4は端子電極で
ある。Xは積層方向、Yは長さ方向、Oはコイル2のコ
イル軸方向をそれぞれ示している。図示するように、積
層方向Xとコイル2のコイル軸方向Oとが一致している
。換言すれば、コイル軸方向Oはフェライトでなる磁性
層の積層面に対してほぼ垂直となる。電子部品としての
形状は、実装時の設置安定性を確保するため、厚みTが
、積層方向Xと直交する長さ方向Yにとられた長さdよ
りも小さくなるのが普通である。従って、厚みTの方向
がコイル軸方向Oと一致している。
FIG. 73 shows an example of an electronic component obtained by a conventional manufacturing method. In FIG. 73, 1 is a coil support made of ferrite, 2 is a coil, and 3 and 4 are terminal electrodes. X indicates the stacking direction, Y indicates the length direction, and O indicates the coil axis direction of the coil 2. As shown in the figure, the stacking direction X and the coil axial direction O of the coil 2 coincide. In other words, the coil axis direction O is substantially perpendicular to the laminated plane of the magnetic layer made of ferrite. In order to ensure installation stability during mounting, the shape of the electronic component is usually such that the thickness T is smaller than the length d taken in the length direction Y perpendicular to the stacking direction X. Therefore, the direction of the thickness T coincides with the coil axis direction O.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】ところで、インダクタ
のインダクタンス値Lは一般に次の式で求められる。 但し、 K;係数 μ;磁性体の透磁率 a;インダクタ断面の半径 N;コイルの巻き数 n;単位長さ当りの巻き数(n=N/d)d;インダク
タの長さ Kは長岡係数といわれ、(2a/d)の関数である。長
岡係数Kは、(2a/d)が小さくなる程、即ちインダ
クタの長さdが大きくなる程、大きくなるから、インダ
クタンス値Lの増大に当っては、単位長さ当りの巻き数
n(=N/d)が一定の場合、インダクタの長さdを増
大させるのが有利である。
[Problems to be Solved by the Invention] Incidentally, the inductance value L of an inductor is generally determined by the following formula. However, K: Coefficient μ: Magnetic permeability a; Radius of inductor cross section N; Number of coil turns n; Number of turns per unit length (n=N/d) d; Inductor length K is Nagaoka coefficient It is said to be a function of (2a/d). The Nagaoka coefficient K increases as (2a/d) decreases, that is, as the length d of the inductor increases, so when increasing the inductance value L, the number of turns per unit length n (= If N/d) is constant, it is advantageous to increase the length d of the inductor.

【0006】しかし、従来の製造方法によって得られる
電子部品は、図73に示したように、積層方向Xとコイ
ル2のコイル軸方向Oとが一致していて、コイル軸方向
Oが実装上の設置安定性から制限の加わる厚みTの方向
にとられているため、インダクタの長さdを増大させて
、インダクタンス値Lを大きくする上に不利である。
However, in electronic components obtained by conventional manufacturing methods, as shown in FIG. 73, the stacking direction Since the thickness T is set in a direction that is restricted from the viewpoint of installation stability, it is disadvantageous to increase the inductance value L by increasing the length d of the inductor.

【0007】そこで、本発明の課題は、上述する従来の
問題点を解決し、コイル軸方向の方向が長さ方向に一致
していて、インダクタンス値増大に有利な構造を有する
電子部品を能率良く製造し得る製造方法を提供すること
である。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and efficiently produce an electronic component having a structure in which the axial direction of the coil coincides with the length direction and is advantageous for increasing the inductance value. It is an object of the present invention to provide a manufacturing method that enables the manufacturing.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のため
、本発明は、積層体でなるコイル支持体に、積層面に対
してコイル軸が平行となるように、コイルを埋設したコ
イル部分を有する電子部品の製造方法であって、コイル
用導体パターン形成工程と、コイル支持体積層工程とを
含み、前記コイル用導体パターン形成工程は、最終的に
得るべきコイルを想定したとき、前記積層面に対して平
行となる切断面で切断して得られるコイル用導体パター
ンを積重ねる工程であり、前記コイル支持体積層工程は
、前記コイル用導体パターンの接続端部を残して支持体
層を積層する工程であることを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a coil portion in which a coil is embedded in a coil support made of a laminated body so that the coil axis is parallel to the laminated surface. A method for manufacturing an electronic component having a coil conductor pattern formation step and a coil support lamination step, wherein the coil conductor pattern formation step is performed on the lamination surface when assuming a coil to be finally obtained. This is a step of stacking coil conductor patterns obtained by cutting along a cutting plane parallel to the coil support layer, and the coil support layering step includes stacking support layers while leaving the connection end of the coil conductor pattern. The process is characterized by:

【0009】[0009]

【作用】磁性層の積層面に対してコイル軸が平行となる
コイルは、コイル軸方向が積層方向と直交する方向とな
る。積層方向は、一般に、電子部品の厚み方向となり、
それと直交する方向が長さ方向となる。従って、コイル
軸方向が、電子部品の長さ方向に一致するようになるの
で、長さを増大させ、大きなインダクタンス値を得るこ
とができる。
[Operation] In a coil whose coil axis is parallel to the laminated plane of the magnetic layers, the coil axis direction is perpendicular to the laminated direction. The lamination direction is generally the thickness direction of the electronic component,
The direction perpendicular to this is the length direction. Therefore, since the axial direction of the coil coincides with the length direction of the electronic component, the length can be increased and a large inductance value can be obtained.

【0010】コイル用導体パターン形成工程は、最終的
に得るべきコイルを想定したとき、積層面に対して平行
となる切断面で切断して得られるコイル用導体パターン
を積重ねる工程であるので、磁性層の積層面に対してコ
イル軸が平行となるコイルを、能率よく容易に得ること
ができる。
[0010] The process of forming a conductor pattern for a coil is a process of stacking conductor patterns for a coil obtained by cutting with cutting planes parallel to the laminated plane when assuming the final coil to be obtained. A coil in which the coil axis is parallel to the laminated surface of the magnetic layer can be obtained easily and efficiently.

【0011】本発明に係る製造方法によって得られる電
子部品には、コイル部品単独、コンデンサもしくは抵抗
等の受動回路素子と組合せた複合部品、または、これら
と集積回路部品と組合せた混成集積回路部品等が含まれ
る。コイル部品単独の用途例としては、インダクタ、ト
ランス、ロータリートランス、ミキサートランス、もし
くはモータ用ステータ等の磁界発生手段があり、複合部
品の用途例としては、トラップ素子、ローパスフィルタ
、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタ、イコライザ
またはIFT等があり、混成集積回路部品としては、高
集積度、高性能及び超小型のイコライザアンプ、DC/
DCコンバータ、アクティブフィルタ等がある。
Electronic components obtained by the manufacturing method according to the present invention include coil components alone, composite components in combination with passive circuit elements such as capacitors or resistors, and hybrid integrated circuit components in which these are combined with integrated circuit components. is included. Examples of applications for individual coil components include magnetic field generating means such as inductors, transformers, rotary transformers, mixer transformers, or motor stators; examples of applications for composite components include trap elements, low-pass filters, high-pass filters, and bandpass There are filters, equalizers, IFTs, etc., and hybrid integrated circuit components include highly integrated, high performance, and ultra-compact equalizer amplifiers, DC/
There are DC converters, active filters, etc.

【0012】0012

【実施例】図1〜図7は本発明に係る電子部品の製造方
法を示す図である。層または膜の形成手段としては、ス
クリーン印刷もしくはメッキ等の厚膜技術またはスパッ
タもしくは蒸着等の薄膜技術が用いられる。実施例では
、スクリーン印刷手段を適用した場合を例にとって説明
する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIGS. 1 to 7 are diagrams showing a method of manufacturing an electronic component according to the present invention. Thick film techniques such as screen printing or plating, or thin film techniques such as sputtering or vapor deposition are used as means for forming the layer or film. In the embodiment, a case where a screen printing means is applied will be described as an example.

【0013】まず、磁性ペーストを印刷して磁性層21
0を形成(図1)した後、磁性層210の上に導体パタ
ーン110を印刷(図2)する。導体パターン110は
導電性ペーストを印刷することによって形成する。導体
パターン110は、最終的に得るべきコイルを想定した
とき、積層面となる磁性層210の面に対して平行とな
る切断面で切断して得られるコイル用導体パターンとな
るように形成する。以下に説明する導体パターン形成工
程においてもこの原則は守られる。
First, magnetic paste is printed to form the magnetic layer 21.
0 (FIG. 1), a conductive pattern 110 is printed on the magnetic layer 210 (FIG. 2). The conductive pattern 110 is formed by printing conductive paste. The conductor pattern 110 is formed so as to be a coil conductor pattern obtained by cutting along a cutting plane parallel to the surface of the magnetic layer 210, which is the laminated surface, assuming the final coil to be obtained. This principle is also followed in the conductor pattern forming process described below.

【0014】次に、導体パターン110の端部を窓状に
残して、磁性層211を印刷する工程(図3)、導体パ
ターン110の接続端部に導体パターン111を印刷す
る工程(図4)、導体パターン111の端部を窓状に残
して、磁性層212を印刷する工程(図5)を、必要回
数繰返す。そして、磁性層212の上から導体パターン
111の端部に、接続用の導体パターン112を印刷(
図6)し、その上に磁性層213を積層する。この後、
熱処理、端子電極印刷等の必要工程を経て電子部品の完
成品が得られる。
Next, a step of printing a magnetic layer 211 while leaving the end of the conductor pattern 110 in the form of a window (FIG. 3), and a step of printing the conductor pattern 111 on the connection end of the conductor pattern 110 (FIG. 4) , the steps of printing the magnetic layer 212 (FIG. 5) while leaving the ends of the conductor pattern 111 in a window shape are repeated as many times as necessary. Then, a conductive pattern 112 for connection is printed (
(FIG. 6), and then a magnetic layer 213 is laminated thereon. After this,
A finished electronic component is obtained through necessary processes such as heat treatment and terminal electrode printing.

【0015】図8は図1〜図7の製造工程によって得ら
れた電子部品におけるコイルの巻装状態を示す透視図、
図9は同じくその断面図である。1はコイル、11はコ
イル1を構成するコイル導体、2はコイル支持体、31
、32は端子電極である。コイル支持体2は磁性層21
0〜213を積層した構造となっている。コイル1は、
コイル軸方向Oが磁性層210〜213の各積層面に対
して平行となり、積層方向Xと直交する方向となる。積
層方向Xは厚み方向となり、それと直交する方向が長さ
方向Yとなる。従って、コイル軸方向Oの方向が、電子
部品の長さ方向Yに一致するようになるので、長さを増
大させ、大きなインダクタンス値を得ることができる。
FIG. 8 is a perspective view showing the winding state of the coil in the electronic component obtained by the manufacturing process of FIGS. 1 to 7;
FIG. 9 is a sectional view thereof as well. 1 is a coil; 11 is a coil conductor constituting the coil 1; 2 is a coil support; 31
, 32 are terminal electrodes. The coil support 2 has a magnetic layer 21
It has a structure in which 0 to 213 are stacked. Coil 1 is
The coil axis direction O is parallel to each lamination surface of the magnetic layers 210 to 213, and is perpendicular to the lamination direction X. The stacking direction X is the thickness direction, and the direction perpendicular thereto is the length direction Y. Therefore, since the direction of the coil axis O coincides with the length direction Y of the electronic component, the length can be increased and a large inductance value can be obtained.

【0016】次に図10〜図18の製造工程について説
明する。絶縁性磁器ペーストを印刷して絶縁層220を
形成(図10)した後、絶縁層220の上に導体パター
ン110を印刷(図11)する。次に、絶縁層220の
幅方向の略中間部に、長さ方向に沿う磁性層210を印
刷(図12)する。磁性層210は幅方向の両側に導体
パターン110の端部が残るように形成する。
Next, the manufacturing process shown in FIGS. 10 to 18 will be explained. After forming an insulating layer 220 by printing an insulating ceramic paste (FIG. 10), a conductive pattern 110 is printed on the insulating layer 220 (FIG. 11). Next, the magnetic layer 210 along the length direction is printed approximately in the middle part of the insulating layer 220 in the width direction (FIG. 12). The magnetic layer 210 is formed so that the ends of the conductive pattern 110 remain on both sides in the width direction.

【0017】次に、磁性層210の両側の絶縁層220
の上に、導体パターン110の端部が現われるように、
絶縁層221を印刷(図13)した後、導体パターン1
10の上に導体パターン111を印刷(図14)し、中
間部に形成された磁性層210の上に磁性層211を積
層(図15)する。図13〜図15までの工程を必要回
数繰返す。そして、磁性層211の両側の絶縁層221
の上に、導体パターン110の端部が現われるように、
絶縁層222を印刷(図16)した後、絶縁層222及
び磁性層211の上から導体パターン111の端部に、
接続用の導体パターン112を印刷(図17)し、その
上から絶縁層223を印刷する。この後、熱処理、端子
電極印刷等の必要工程を経て電子部品の完成品が得られ
る。
Next, insulating layers 220 on both sides of the magnetic layer 210
so that the end of the conductive pattern 110 appears above the
After printing the insulating layer 221 (FIG. 13), the conductor pattern 1
A conductor pattern 111 is printed on the magnetic layer 10 (FIG. 14), and a magnetic layer 211 is laminated on the magnetic layer 210 formed in the intermediate portion (FIG. 15). The steps from FIG. 13 to FIG. 15 are repeated as many times as necessary. Insulating layers 221 on both sides of the magnetic layer 211
so that the end of the conductive pattern 110 appears above the
After printing the insulating layer 222 (FIG. 16), from above the insulating layer 222 and the magnetic layer 211 to the end of the conductive pattern 111,
A conductor pattern 112 for connection is printed (FIG. 17), and an insulating layer 223 is printed over it. Thereafter, a completed electronic component is obtained through necessary steps such as heat treatment and terminal electrode printing.

【0018】図19は図10〜図18の工程を経て得ら
れた電子部品の断面図である。コイル支持体2は、芯部
に磁性層210、211を積層すると共に、磁性層21
0、211の周りにコイル1を配置し、コイル1の周囲
を絶縁層220〜223で封止した構造となる。コイル
1は、磁性層210〜213の各積層面に対してコイル
軸方向Oが平行となるように配置される。
FIG. 19 is a sectional view of an electronic component obtained through the steps shown in FIGS. 10 to 18. The coil support 2 has magnetic layers 210 and 211 laminated on the core, and a magnetic layer 21.
0 and 211, and the coil 1 is sealed with insulating layers 220 to 223. The coil 1 is arranged so that the coil axis direction O is parallel to each laminated surface of the magnetic layers 210 to 213.

【0019】図20〜図32は本発明に係る電子部品の
製造方法の更に別の実施例を示している。磁性層210
、絶縁層220及び磁性層211を順次積層(図20〜
図22)した後、磁性層211の上にコイルパターンに
従って導体パターン110を印刷(図23)する。次に
、導体パターン110の幅方向の両端側を窓状に残して
、磁性層211の上に磁性層212を印刷(図24)し
た後、磁性層212から窓状に露出している導体パター
ン110の各接続端部上に、導体パターン111を印刷
(図25)する。
FIGS. 20 to 32 show still another embodiment of the electronic component manufacturing method according to the present invention. magnetic layer 210
, the insulating layer 220 and the magnetic layer 211 are sequentially laminated (see FIGS.
22), a conductive pattern 110 is printed on the magnetic layer 211 according to the coil pattern (FIG. 23). Next, a magnetic layer 212 is printed on the magnetic layer 211 (FIG. 24), leaving both widthwise ends of the conductor pattern 110 in the shape of a window, and then the conductor pattern exposed in the window shape from the magnetic layer 212 is printed. A conductor pattern 111 is printed on each connection end of 110 (FIG. 25).

【0020】次に、導体パターン111の各接続端部を
窓状に残して、磁性層212の上に絶縁層221を印刷
(図26)した後、絶縁層221から窓状に露出してい
る導体パターン111の各接続端部上に、導体パターン
112を印刷(図27)する。続いて、導体パターン1
12の各接続端部を窓状に残して、絶縁層221の上に
磁性層213を印刷(図28)した後、磁性層213か
ら窓状に露出している導体パターン112の各接続端部
上に、導体パターン113を印刷(図29)する工程を
、必要回数繰返す。そして、磁性層213の上から導体
パターン113の各接続端部に、接続用の導体パターン
114を印刷(図30)し、その上に磁性層214を積
層(図31)し、その上に絶縁層を積層し、更に磁性層
215を積層(図32)する。この後、熱処理、端子電
極印刷等の必要工程を経て電子部品の完成品が得られる
Next, after printing an insulating layer 221 on the magnetic layer 212 (FIG. 26), leaving each connection end of the conductor pattern 111 in a window shape, the insulating layer 221 is exposed from the insulating layer 221 in a window shape. A conductor pattern 112 is printed on each connection end of the conductor pattern 111 (FIG. 27). Next, conductor pattern 1
After printing the magnetic layer 213 on the insulating layer 221 (FIG. 28), leaving each connection end of the conductor pattern 112 in the shape of a window, each connection end of the conductor pattern 112 exposed in the window shape from the magnetic layer 213 is printed. The process of printing the conductor pattern 113 on top (FIG. 29) is repeated as many times as necessary. Then, a conductor pattern 114 for connection is printed on each connection end of the conductor pattern 113 from above the magnetic layer 213 (FIG. 30), a magnetic layer 214 is laminated on top of it (FIG. 31), and an insulating layer is placed on top of it (FIG. 31). The layers are laminated, and a magnetic layer 215 is further laminated (FIG. 32). Thereafter, a completed electronic component is obtained through necessary steps such as heat treatment and terminal electrode printing.

【0021】図33は図20〜図32の工程によって得
られた電子部品の透視図、図34は同じくその断面図で
ある。コイル支持体2は、磁性層210〜215と、絶
縁層220〜222とを含んで構成されている。磁性層
210〜215は、絶縁層220〜222を間に挟み、
絶縁層220〜222によって区画された磁路を構成し
ている。磁性層210〜215及び絶縁層220〜22
2は交互に積層され、互いの結合力により一体的に結合
されている。
FIG. 33 is a perspective view of the electronic component obtained by the steps shown in FIGS. 20 to 32, and FIG. 34 is a sectional view thereof. The coil support 2 includes magnetic layers 210 to 215 and insulating layers 220 to 222. The magnetic layers 210 to 215 sandwich insulating layers 220 to 222 between them,
A magnetic path partitioned by the insulating layers 220 to 222 is configured. Magnetic layers 210-215 and insulating layers 220-22
2 are stacked alternately and are integrally bonded by mutual bonding force.

【0022】コイル1は、コイル軸方向Oが磁性層21
0〜215及び絶縁層220〜222の積層面と平行と
なるように巻回されている。コイル1の両端部は端子電
極31、32にそれぞれ導通接続させてある。
In the coil 1, the coil axis direction O is the magnetic layer 21.
0 to 215 and the insulating layers 220 to 222 are wound in parallel to the laminated surfaces. Both ends of the coil 1 are electrically connected to terminal electrodes 31 and 32, respectively.

【0023】図に示すように、コイル電流の作る磁束φ
1 が磁性層210〜215を通ると、その周りに渦電
流Ie が発生しようとする。この渦電流Ie の方向
に絶縁層220〜222があるので、渦電流Ie は絶
縁層220〜222によって遮断され、磁性層210〜
215間を流れることができない。このため、渦電流損
失が小さく、低損失、低発熱及び高効率の電子部品が得
られる。 磁性層210〜215の内部では渦電流は流れ得るが、
磁性層210〜215は個々の断面積が小さいから、渦
電流の経路が短くなり、渦電流損失は小さくなる。
As shown in the figure, the magnetic flux φ created by the coil current
1 passes through the magnetic layers 210 to 215, an eddy current Ie tends to occur around it. Since the insulating layers 220-222 are in the direction of this eddy current Ie, the eddy current Ie is blocked by the insulating layers 220-222, and the magnetic layers 210-222 are blocked by the insulating layers 220-222.
It is not possible to flow between 215 and 215. Therefore, an electronic component with low eddy current loss, low loss, low heat generation, and high efficiency can be obtained. Although eddy currents can flow inside the magnetic layers 210 to 215,
Since each of the magnetic layers 210 to 215 has a small cross-sectional area, the path of eddy current becomes short, and eddy current loss becomes small.

【0024】図35〜図54は本発明に係る製造方法の
別の実施例を示している。磁性層210、絶縁層220
及び磁性層211を順次積層(図35〜図37)した後
、磁性層211の上に絶縁膜パターン120をコイルパ
ターンに従って印刷(図38)し、続いて絶縁膜パター
ン120の上に導体パターン110を印刷(図39)し
、この導体パターン110の接続端部を残して、他を絶
縁膜パターン121で覆う(図40)。
FIGS. 35 to 54 show another embodiment of the manufacturing method according to the present invention. Magnetic layer 210, insulating layer 220
After sequentially laminating the magnetic layers 211 and 211 (FIGS. 35 to 37), the insulating film pattern 120 is printed on the magnetic layer 211 according to the coil pattern (FIG. 38), and then the conductive pattern 110 is printed on the insulating film pattern 120. is printed (FIG. 39), and the connecting end of this conductor pattern 110 is left, and the rest is covered with an insulating film pattern 121 (FIG. 40).

【0025】次に、絶縁膜パターン121から露出して
いる導体パターン110の接続端部の上に導体パターン
111を印刷(図41)した後、導体パターン111と
その周囲の絶縁膜パターン121とを窓状に残して、磁
性層212を印刷(図42)し、導体パターン111の
接続端部に導体パターン112を印刷(図43)し、導
体パターン112の周りに絶縁膜パターン122を印刷
(図44)し、導体パターン112とその周囲の絶縁膜
パターン122とを窓状に残して、絶縁層221を印刷
(図45)する。同様に、導体パターン112の接続端
部に導体パターン113を印刷する工程(図46)、導
体パターン113の周りに絶縁膜パターン123を印刷
する工程(図47)、導体パターン113とその周囲の
絶縁膜パターン123とを窓状に残して、磁性層213
を印刷する工程(図48)を、必要回数繰返す。
Next, after printing the conductive pattern 111 on the connection end of the conductive pattern 110 exposed from the insulating film pattern 121 (FIG. 41), the conductive pattern 111 and the surrounding insulating film pattern 121 are printed. The magnetic layer 212 is printed leaving a window shape (FIG. 42), the conductor pattern 112 is printed on the connection end of the conductor pattern 111 (FIG. 43), and the insulating film pattern 122 is printed around the conductor pattern 112 (FIG. 42). 44) Then, the insulating layer 221 is printed (FIG. 45), leaving the conductor pattern 112 and the surrounding insulating film pattern 122 in a window shape. Similarly, a step of printing a conductor pattern 113 on the connection end of the conductor pattern 112 (FIG. 46), a step of printing an insulating film pattern 123 around the conductor pattern 113 (FIG. 47), and a step of insulating the conductor pattern 113 and its surroundings. The magnetic layer 213 is formed while leaving the film pattern 123 in a window shape.
The process of printing (FIG. 48) is repeated as many times as necessary.

【0026】次に、導体パターン113の周りに、コイ
ルパターンに従って絶縁膜パターン124を印刷(図4
9)した後、絶縁膜パターン124の上に、接続用の導
体パターン114を印刷(図50)し、導体パターン1
14を絶縁膜パターン125で覆い(図51)、その上
に磁性膜214、絶縁膜222及び磁性膜215を順次
積層(図52〜図54)する。この後、熱処理、端子電
極印刷等の必要工程を経て完成品が得られる。
Next, an insulating film pattern 124 is printed around the conductor pattern 113 according to the coil pattern (FIG. 4).
9) After that, the conductor pattern 114 for connection is printed on the insulating film pattern 124 (FIG. 50), and the conductor pattern 1
14 is covered with an insulating film pattern 125 (FIG. 51), and a magnetic film 214, an insulating film 222, and a magnetic film 215 are sequentially laminated thereon (FIGS. 52 to 54). Thereafter, a finished product is obtained through necessary steps such as heat treatment and terminal electrode printing.

【0027】図55は図35〜図54の工程を経て得ら
れた電子部品の透視図、図56は同じくその断面図を示
している。12は絶縁膜パターン120〜125によっ
て形成された絶縁被覆膜である。コイル1を構成するコ
イル導体11はこの絶縁被覆膜12によって覆われてい
る。コイル支持体2は、磁性層210〜215と、絶縁
層220〜223とを含んで構成されている。磁性層2
10〜215は、絶縁部分22を間に挟み、絶縁層22
0〜223によって区画された磁路を構成している。磁
性層210〜215及び絶縁層220〜223は交互に
積層され、互いの結合力により一体的に結合されている
FIG. 55 is a perspective view of the electronic component obtained through the steps shown in FIGS. 35 to 54, and FIG. 56 is a sectional view thereof. 12 is an insulating coating film formed by insulating film patterns 120 to 125. A coil conductor 11 constituting the coil 1 is covered with this insulating coating film 12. The coil support 2 includes magnetic layers 210 to 215 and insulating layers 220 to 223. magnetic layer 2
10 to 215 sandwich the insulating portion 22 therebetween, and the insulating layer 22
It constitutes a magnetic path divided by 0 to 223. The magnetic layers 210 to 215 and the insulating layers 220 to 223 are alternately stacked and are integrally bonded by mutual bonding force.

【0028】コイル1は、コイル軸方向Oが磁性層21
0〜215及び絶縁層220〜223の積層面に対して
平行となるように210〜215及び絶縁層220〜2
23の境界面の方向に沿うように巻回されている。コイ
ル1の両端部は、端子電極31、32にそれぞれ導通接
続させてある。
In the coil 1, the coil axis direction O is the magnetic layer 21.
0 to 215 and the insulating layers 220 to 2 so as to be parallel to the laminated plane of the insulating layers 220 to 223.
It is wound along the direction of the boundary surface of 23. Both ends of the coil 1 are electrically connected to terminal electrodes 31 and 32, respectively.

【0029】図55に示すように、コイル電流の作る磁
束φ1 が磁性層210〜215を通ると、その周りに
渦電流Ie が発生しようとする。この渦電流Ie の
方向に絶縁層220〜223があるので、渦電流Ie 
は絶縁層220〜223によって遮断され、磁性層21
0〜215間を流れることができない。このため、渦電
流損失が小さく、低損失、低発熱及び高効率の電子部品
が得られる。磁性層210〜215の内部では渦電流は
流れ得るが、磁性層210〜215は個々の断面積が小
さいから、渦電流の経路が短くなり、渦電流損失は小さ
くなる。
As shown in FIG. 55, when the magnetic flux φ1 produced by the coil current passes through the magnetic layers 210 to 215, an eddy current Ie tends to occur around them. Since the insulating layers 220 to 223 are in the direction of this eddy current Ie, the eddy current Ie
are blocked by the insulating layers 220 to 223, and the magnetic layer 21
It cannot flow between 0 and 215. Therefore, an electronic component with low eddy current loss, low loss, low heat generation, and high efficiency can be obtained. Eddy currents can flow inside the magnetic layers 210 to 215, but since the individual magnetic layers 210 to 215 have small cross-sectional areas, the paths of the eddy currents are shortened, and eddy current losses are reduced.

【0030】必要な磁気特性は磁性層210〜215に
よって確保できる。渦電流は絶縁層220〜223によ
って遮断できるから、磁性層210〜215としては、
渦電流抑制よりも磁気特性の改善に重点をおいて、磁気
特性の優れたものを使用することが可能になる。
The necessary magnetic properties can be ensured by the magnetic layers 210-215. Since eddy currents can be blocked by the insulating layers 220 to 223, the magnetic layers 210 to 215 are
By placing emphasis on improving magnetic properties rather than suppressing eddy currents, it becomes possible to use materials with excellent magnetic properties.

【0031】しかも、コイル1は、導体11の周りを絶
縁被覆膜12によって被覆されているから、コイル支持
体2を、フェライトのみならず、パーマロイ、珪素鋼ま
たはアモルファス合金等を主成分とする他の磁性材料に
よって構成することができる。このため、コイル支持体
2の材料選択の自由度が拡大され、要求される電気的、
磁気的特性を容易に満たし得るようになる。
Moreover, since the coil 1 is coated around the conductor 11 with the insulating coating film 12, the coil support 2 may be made of not only ferrite but also permalloy, silicon steel, amorphous alloy, etc. as a main component. It can be constructed from other magnetic materials. Therefore, the degree of freedom in selecting the material for the coil support 2 is expanded, and the required electrical and
Magnetic properties can be easily satisfied.

【0032】図57〜図69は本発明に係る電子部品の
製造方法の更に別の実施例を示す図である。この実施例
は複数コイルを形成する製造方法例を示している。
FIGS. 57 to 69 are diagrams showing still another embodiment of the method for manufacturing electronic components according to the present invention. This embodiment shows an example of a manufacturing method for forming a plurality of coils.

【0033】磁性層210を印刷(図57)した後、磁
性層210の上に、外側コイルのコイルパターンにした
がって、導体パターン110を印刷(図58)し、導体
パターン110の接続端部を窓状に残して、磁性層21
1を印刷(図59)し、導体パターン110の接続端部
に導体パターン111を印刷(図60)し、導体パター
ン111の端部を窓状に残して、磁性層212を印刷(
図61)する。
After printing the magnetic layer 210 (FIG. 57), a conductor pattern 110 is printed on the magnetic layer 210 according to the coil pattern of the outer coil (FIG. 58), and the connection end of the conductor pattern 110 is formed into a window. The magnetic layer 21
1 (FIG. 59), a conductor pattern 111 is printed at the connection end of the conductor pattern 110 (FIG. 60), and a magnetic layer 212 is printed (FIG. 60), leaving the end of the conductor pattern 111 in a window shape.
Figure 61).

【0034】次に、導体パターン111の接続端部の上
、及び、導体パターン111の間の磁性層212の上に
導体パターン112を印刷(図62)する。導体パター
ン112のうち、導体パターン111の間の磁性層21
2の上に形成された導体パターン112は内側コイルを
構成するパターンである。そして、導体パターン112
の接続端部を窓状に残して、磁性層213を印刷(図6
3)し、窓状に露出している導体パターン112の上に
導体パターン113を印刷(図64)する。
Next, a conductive pattern 112 is printed on the connecting end of the conductive pattern 111 and on the magnetic layer 212 between the conductive patterns 111 (FIG. 62). The magnetic layer 21 between the conductive patterns 111 of the conductive patterns 112
A conductive pattern 112 formed on the inner coil 2 is a pattern constituting an inner coil. And conductor pattern 112
The magnetic layer 213 is printed leaving the connection end of the window in the form of a window (Fig. 6
3) Then, a conductive pattern 113 is printed on the conductive pattern 112 exposed like a window (FIG. 64).

【0035】図63及び図64の工程を必要回数繰返し
、磁性層214の導体パターン113の接続端部を露出
(図65)させたパターンに対し、内側コイルを構成す
る導体パターン113ー113間を接続する導体パター
ン及びその取出パターンを含む導体パターン114を印
刷(図66)する。これにより、内側コイルが完成する
The steps of FIGS. 63 and 64 are repeated as many times as necessary to expose the connection end of the conductor pattern 113 of the magnetic layer 214 (FIG. 65), and to connect the conductor patterns 113 to 113 forming the inner coil. A conductor pattern 114 including a conductor pattern to be connected and its extraction pattern is printed (FIG. 66). This completes the inner coil.

【0036】次に、外側コイル接続用の導体パターン1
14の接続端部のみを窓状に残して、磁性層215を印
刷(図67)した後、磁性層215の上にコイルパター
ンにしたがって外側コイル接続用の導体パターン115
を印刷(図68)し、外側コイルを完成させた後、導体
パターン115を磁性層216で覆う。この後、熱処理
、端子電極付与工程等の必要工程を経て完成する。
Next, conductor pattern 1 for connecting the outer coil
After printing the magnetic layer 215 (FIG. 67), leaving only the connection end of 14 in the form of a window, a conductor pattern 115 for connecting the outer coil is printed on the magnetic layer 215 according to the coil pattern.
After printing (FIG. 68) and completing the outer coil, the conductor pattern 115 is covered with a magnetic layer 216. Thereafter, it is completed through necessary processes such as heat treatment and terminal electrode provision process.

【0037】図70は図57〜図69の工程を経て得ら
れた電子部品の断面図である。コイル支持体2の内部に
複数のコイル101、102が設けられている。コイル
101、102は、同一方向の磁束を生じるように、直
列に接続されている。コイル101、102の数は任意
である。図示は省略したが、複数のコイル101、10
2を誘導結合させてもよい。この場合にはトランスとし
て有用な電子部品が得られる。
FIG. 70 is a sectional view of an electronic component obtained through the steps shown in FIGS. 57 to 69. A plurality of coils 101 and 102 are provided inside the coil support 2. Coils 101 and 102 are connected in series so as to generate magnetic flux in the same direction. The number of coils 101 and 102 is arbitrary. Although not shown, a plurality of coils 101, 10
2 may be inductively coupled. In this case, an electronic component useful as a transformer can be obtained.

【0038】図71は本発明に係る製造方法を経て製造
されたLC複合部品の例を示している。4はインダクタ
部分、5はコンデンサ部分である。インダクタ部分4は
コイル支持体2及びコイル1を含んでいる。インダクタ
部分4は図8、図9、図19、図33、図34、図55
、図56及び図70に示したような構造を有する。
FIG. 71 shows an example of an LC composite part manufactured by the manufacturing method according to the present invention. 4 is an inductor portion, and 5 is a capacitor portion. The inductor section 4 includes a coil support 2 and a coil 1 . The inductor portion 4 is shown in FIGS. 8, 9, 19, 33, 34, and 55.
, has a structure as shown in FIGS. 56 and 70.

【0039】コンデンサ部分5は、誘電体磁器51の内
部にコンデンサネットワーク52を埋設してある。コン
デンサネットワーク52は、誘電体磁器層を介して電極
を対向させて形成されたコンデンサを、所要のコンデン
サ回路を構成するように接続することによって構成され
ている。コンデンサネットワーク52の回路構成は、用
途に応じて任意に選択される。コンデンサ部分5はイン
ダクタ部分4と連続して焼結もしくは接着等の手段によ
って一体化した状態で積層されている。インダクタ部分
4のコイル1及びコンデンサ部分のコンデンサネットワ
ーク52は、所望の回路が得られるように、端子電極3
1、32に接続されている。
The capacitor portion 5 has a capacitor network 52 embedded inside a dielectric ceramic 51. The capacitor network 52 is constructed by connecting capacitors formed with electrodes facing each other via a dielectric ceramic layer to form a required capacitor circuit. The circuit configuration of the capacitor network 52 is arbitrarily selected depending on the application. The capacitor portion 5 is continuously laminated with the inductor portion 4 in an integrated state by means such as sintering or adhesion. The coil 1 of the inductor section 4 and the capacitor network 52 of the capacitor section are connected to the terminal electrode 3 so that the desired circuit is obtained.
1 and 32.

【0040】図示は省略するが、インダクタ部分4の両
側にコンデンサ部分5を設ける構造、または、コンデン
サ部分5の片側もしくは両側にインダクタ部分4を設け
る構造であってもよい。
Although not shown, the capacitor portion 5 may be provided on both sides of the inductor portion 4, or the inductor portion 4 may be provided on one or both sides of the capacitor portion 5.

【0041】図72は混成集積回路部品を示している。 6は集積回路部品である。集積回路部品6は、トランジ
スタ回路等を内蔵するチップとなっていて、コンデンサ
部分の表面側に搭載されている。61はチップ本体、6
2はリード導体である。リード導体62はコンデンサ部
分の表面に形成された導体パターン63、64に半田付
けされ、コンデンサやコイルとともに、所定の回路を構
成するように接続されている。
FIG. 72 shows a hybrid integrated circuit component. 6 is an integrated circuit component. The integrated circuit component 6 is a chip containing a transistor circuit and the like, and is mounted on the surface side of the capacitor portion. 61 is the chip body, 6
2 is a lead conductor. The lead conductor 62 is soldered to conductor patterns 63 and 64 formed on the surface of the capacitor portion, and is connected to the capacitor and the coil to form a predetermined circuit.

【0042】7は抵抗体、71〜73は抵抗体7のため
の導体パターンである。抵抗体7は、インダクタ部分4
の少なくとも一面上に印刷等の手段によって形成されて
いる。実施例の外にも、ミキサートランス、モータ用ス
テータ等の磁界発生装置、トラップ素子、ローパスフィ
ルタ、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタ、イコラ
イザまたはIFT、イコライザアンプ、DC/DCコン
バータまたはアクティブフィルタ等の各種電子部品が実
現できる。
7 is a resistor, and 71 to 73 are conductor patterns for the resistor 7. The resistor 7 is the inductor part 4
is formed by means such as printing on at least one surface of. In addition to the examples, various electronic devices such as mixer transformers, magnetic field generating devices such as motor stators, trap elements, low-pass filters, high-pass filters, band-pass filters, equalizers or IFTs, equalizer amplifiers, DC/DC converters, and active filters are also available. parts can be realized.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上述べたように、本発明に係る電子部
品の製造方法は、コイル用導体パターン形成工程と、コ
イル支持体積層工程とを含み、コイル用導体パターン形
成工程は、最終的に得るべきコイルを想定したとき、積
層面に対して平行となる切断面で切断して得られるコイ
ル用導体パターンを積重ねる工程であり、コイル支持体
積層工程はコイル用導体パターンの接続端部を残して磁
性層を積層する工程であるので、積層体でなるコイル支
持体に、積層面に対してコイル軸が平行となるように、
コイルを埋設し、インダクタンス値増大を図ったコイル
部分を有する電子部品を、能率良く製造することができ
る。
[Effects of the Invention] As described above, the method of manufacturing an electronic component according to the present invention includes a coil conductor pattern forming step and a coil support lamination step, and the coil conductor pattern forming step finally Assuming the coil to be obtained, this is the process of stacking the coil conductor patterns obtained by cutting them with cutting planes parallel to the lamination plane, and the coil support lamination process is the process of stacking the connecting ends of the coil conductor patterns. Since this is the process of laminating the magnetic layer while leaving the remaining magnetic layers, the coil support body made of a laminated body is placed so that the coil axis is parallel to the laminated surface.
It is possible to efficiently manufacture an electronic component having a coil portion in which a coil is embedded and whose inductance value is increased.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図1〜図7本発明に係る電子部品の製造方法を示す図で
ある。
1 to 7 are diagrams showing a method of manufacturing an electronic component according to the present invention.

【図8】図1〜図7に示す製造方法によって得られた電
子部品のコイル巻装状態を示す透視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a coil-wound state of the electronic component obtained by the manufacturing method shown in FIGS. 1 to 7;

【図9】図1〜図7に示す製造方法によって得られた電
子部品の断面図である。図10〜図18本発明に係る電
子部品の他の製造方法を示す図である。
9 is a cross-sectional view of an electronic component obtained by the manufacturing method shown in FIGS. 1 to 7. FIG. 10 to 18 are diagrams showing another method of manufacturing an electronic component according to the present invention.

【図19】図10〜図18に示す製造方法によって得ら
れた電子部品の断面図である。図20〜図32本発明に
係る電子部品の他の製造方法を示す図である。
FIG. 19 is a cross-sectional view of an electronic component obtained by the manufacturing method shown in FIGS. 10 to 18. 20 to 32 are diagrams showing other methods of manufacturing electronic components according to the present invention.

【図33】図20〜図32に示す製造方法によって得ら
れた電子部品のコイル巻装状態を示す透視図である。
FIG. 33 is a perspective view showing a coil-wound state of the electronic component obtained by the manufacturing method shown in FIGS. 20 to 32;

【図34】図20〜図33に示す製造方法によって得ら
れた電子部品の断面図である。図35〜図54本発明に
係る電子部品の他の製造方法を示す図である。
34 is a cross-sectional view of an electronic component obtained by the manufacturing method shown in FIGS. 20 to 33. FIG. 35 to 54 are diagrams showing other methods of manufacturing electronic components according to the present invention.

【図55】図35〜図54に示す製造方法によって得ら
れた電子部品のコイル巻装状態を示す透視図である。
FIG. 55 is a perspective view showing a coil-wound state of the electronic component obtained by the manufacturing method shown in FIGS. 35 to 54;

【図56】図35〜図54に示す製造方法によって得ら
れた電子部品の断面図である。図57〜図69本発明に
係る電子部品の他の製造方法を示す図である。
56 is a cross-sectional view of an electronic component obtained by the manufacturing method shown in FIGS. 35 to 54. FIG. 57 to 69 are diagrams showing other methods of manufacturing electronic components according to the present invention.

【図70】図57〜図69の製造方法によって得られた
電子部品の断面図である。
70 is a cross-sectional view of an electronic component obtained by the manufacturing method of FIGS. 57 to 69. FIG.

【図71】本発明に係る製造方法によって得られたLC
複合型の電子部品の部分断面図である。
FIG. 71: LC obtained by the manufacturing method according to the present invention
FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a composite electronic component.

【図72】本発明に係る製造方法によって得られた混成
集積回路部品としての電子部品の部分断面図である。
FIG. 72 is a partial cross-sectional view of an electronic component as a hybrid integrated circuit component obtained by the manufacturing method according to the present invention.

【図73】従来の製造方法によって得られる電子部品の
例を示す透視図である。
FIG. 73 is a perspective view showing an example of an electronic component obtained by a conventional manufacturing method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1                コイル2    
            コイル支持体110〜115
    コイル用導体パターン210〜215    
磁性層
1 coil 2
Coil supports 110-115
Conductor patterns 210 to 215 for coils
magnetic layer

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  積層体でなるコイル支持体に、積層面
に対してコイル軸が平行となるように、コイルを埋設し
たコイル部分を有する電子部品の製造方法であって、コ
イル用導体パターン形成工程と、コイル支持体積層工程
とを含み、前記コイル用導体パターン形成工程は、最終
的に得るべきコイルを想定したとき、前記積層面に対し
て平行となる切断面で切断して得られるコイル用導体パ
ターンを積重ねる工程であり、前記コイル支持体積層工
程は、前記コイル用導体パターンの接続端部を残して支
持体層を積層する工程であることを特徴とする電子部品
の製造方法。
1. A method for manufacturing an electronic component having a coil part in which a coil is embedded in a coil support made of a laminate so that the coil axis is parallel to the laminate surface, the method comprising forming a conductor pattern for the coil. and a coil support lamination process, and the coil conductor pattern forming process includes a coil that is obtained by cutting with a cutting plane parallel to the lamination plane, assuming the coil to be finally obtained. 1. A method for manufacturing an electronic component, characterized in that the coil support lamination step is a step of laminating support layers while leaving connection ends of the coil conductor patterns.
【請求項2】  前記コイル支持体積層工程は、磁性層
積層工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の電子
部品の製造方法。
2. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the coil support lamination step includes a magnetic layer lamination step.
【請求項3】  前記コイル支持体積層工程は、絶縁層
積層工程を含むことを特徴とする請求項1または2に記
載の電子部品の製造方法。
3. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the coil support lamination step includes an insulating layer lamination step.
【請求項4】  コイル用導体の周りを絶縁被覆する工
程を含むことを特徴とする請求項1、2または3に記載
の電子部品の製造方法。
4. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, further comprising the step of applying insulation coating around the coil conductor.
【請求項5】  前記コイルは、1つであることを特徴
とする請求項1、2、3または4に記載の電子部品の製
造方法。
5. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the number of coils is one.
【請求項6】  前記コイルは、複数であることを特徴
とする請求項1、2、3または4に記載の電子部品の製
造方法。
6. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, wherein the number of coils is plural.
【請求項7】  前記複数のコイルのうち、少なくとも
1組は、誘導結合していることを特徴とする請求項6に
記載の電子部品の製造方法。
7. The method of manufacturing an electronic component according to claim 6, wherein at least one set of the plurality of coils is inductively coupled.
【請求項8】  前記コイル支持体上に、コンデンサ、
抵抗または集積回路の少なくとも1種が備えられている
ことを特徴とする請求項1、2、3、4、5、6または
7に記載の電子部品の製造方法。
8. On the coil support, a capacitor,
8. The method of manufacturing an electronic component according to claim 1, further comprising at least one of a resistor and an integrated circuit.
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