JPH0423743B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0423743B2
JPH0423743B2 JP9142184A JP9142184A JPH0423743B2 JP H0423743 B2 JPH0423743 B2 JP H0423743B2 JP 9142184 A JP9142184 A JP 9142184A JP 9142184 A JP9142184 A JP 9142184A JP H0423743 B2 JPH0423743 B2 JP H0423743B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
video signal
measured
signal processing
image
input
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP9142184A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS60235043A (en
Inventor
Toshiharu Kamya
Michinaga Nagura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NipponDenso Co Ltd filed Critical NipponDenso Co Ltd
Priority to JP9142184A priority Critical patent/JPS60235043A/en
Publication of JPS60235043A publication Critical patent/JPS60235043A/en
Publication of JPH0423743B2 publication Critical patent/JPH0423743B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/952Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、立体的製品の外観の良否を判定する
検査装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an inspection device for determining the quality of the appearance of a three-dimensional product.

本発明は、自動車の点火プラグ等の立体的製品
の欠陥、例えば表面の傷及び欠け等を検出するの
に利用できる。
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used to detect defects in three-dimensional products such as automobile spark plugs, such as surface scratches and chips.

〔従来技術〕[Prior art]

従来の外観不良検査装置は、IC等の平面形状
の製品、部品を検査の対象としていた。又、立体
形状の製品、部品の欠陥を検出するものであつて
も、外形の一部分の良否を判定するにすぎなかつ
た。
Conventional appearance defect inspection equipment inspects planar products and parts such as ICs. Furthermore, even when detecting defects in three-dimensional products or parts, only a portion of the external shape is judged to be good or bad.

従つて、従来装置は、外形形状を一方向からの
み検査しており、表面上の傷、あるいは裏面に存
在する欠損を検出することができず、総合的な外
観不良の検査を行なうことはできなかつた。
Therefore, conventional equipment inspects the external shape only from one direction, and cannot detect scratches on the surface or defects on the back surface, making it impossible to perform a comprehensive inspection for external defects. Nakatsuta.

この様な立体形状の製品の外観不良検査装置に
は、一般にイメージセンサ又はラインセンサを使
用することが考えられるが両センサともに安定し
た画像を得る構成、照明法、あるいは処理の高速
化等に問題があつた。
Image sensors or line sensors are generally considered to be used for visual defect inspection equipment for products with three-dimensional shapes, but both sensors have problems with the configuration to obtain stable images, lighting methods, and processing speed. It was hot.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、従来のかかる欠点を改良するために
成されたものであり、立体形状を有する製品の外
観不良を高速かつ高精度で行なうことを目的とす
る。
The present invention has been made in order to improve the conventional drawbacks, and its object is to quickly and accurately correct the appearance defects of products having three-dimensional shapes.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

本発明は、被測定物体を保持し、これを回転す
る固定台と、 前記被測定物を撮影し、その2次元的平面像に
よる前記被測定物の輪郭情報を得るイメージセン
サと、 前記被測定物の1次元映像信号による前記被測
定物の表面情報を得るラインセンサと、 前記イメージセンサを駆動し、映像信号を出力
する第1の映像信号処理回路と、 前記ラインセンサを駆動し、一次元映像信号を
出力し、前記固定台に回転信号を出力する第2の
映像信号処理回路と、 前記第1の映像信号処理回路及び前記第2の映
像信号回路からの出力信号を記憶する記憶装置
と、 前記第1の映像信号処理回路及び前記第2の映
像信号処理回路に制御信号を出力し、前記記憶装
置からのデータに基づいてデータ処理をする制御
装置とから成る外観不良検査装置に関する。
The present invention provides: a fixed base that holds and rotates an object to be measured; an image sensor that photographs the object to be measured and obtains contour information of the object from a two-dimensional planar image; and the object to be measured. a line sensor that obtains surface information of the object based on a one-dimensional image signal of the object; a first video signal processing circuit that drives the image sensor and outputs a video signal; a second video signal processing circuit that outputs a video signal and outputs a rotation signal to the fixed base; a storage device that stores output signals from the first video signal processing circuit and the second video signal circuit; and a control device that outputs control signals to the first video signal processing circuit and the second video signal processing circuit and performs data processing based on data from the storage device.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明
する。
The present invention will be described below based on specific examples.

第1図は、特に回転体に対する外観不良検査装
置の構成図である。本実施例では、イメージセン
サとしてエリアカメラを使用し、ラインセンサと
してラインカメラを使用した。柱状の被測定物3
は、回転ステージ2の上に配設される。光源1は
被測定物3を照射する。回転ステージ2は、パル
スモータを有し、映像信号処理回路6からの周期
パルスに基づいて所定量回転する。エリアカメラ
4は、被測定物3に対し光源1と反対位置に配置
し被測定物3の輪郭をとらえる。ラインカメラ5
は、光源と被測定物3に対し90°以内の角度に配
置した。その視野は第2図に示すように被測定物
3の回転軸30と平行にし、第3図のように被測
定物の凸部で散乱された光を検出する事により表
面の傷、刻印、文字を同時に検出する様にした。
FIG. 1 is a block diagram of an apparatus for inspecting appearance defects particularly for rotating bodies. In this example, an area camera was used as an image sensor, and a line camera was used as a line sensor. Column-shaped object to be measured 3
is arranged on the rotation stage 2. A light source 1 illuminates an object 3 to be measured. The rotation stage 2 has a pulse motor and rotates by a predetermined amount based on periodic pulses from the video signal processing circuit 6. The area camera 4 is arranged at a position opposite to the light source 1 with respect to the object 3 to be measured, and captures the outline of the object 3 to be measured. line camera 5
was placed at an angle within 90° with respect to the light source and the object to be measured 3. The field of view is parallel to the rotation axis 30 of the object to be measured 3 as shown in FIG. 2, and by detecting the light scattered by the convex parts of the object to be measured as shown in FIG. Characters are now detected at the same time.

ラインカメラ5には、第2の映像信号処理回路
6が接続されており、その回路6の出力は、記憶
装置9に入力する。記憶装置9は、記憶領域をA
とBと2領域有しており、交互に信号をとり込
む。又、エリアカメラ4の出力は、第1の映像信
号処理回路7に入力し、その回路7の出力は同様
に、記憶装置9に入力している。映像信号処理回
路6,7には制御装置であるCPU8からの制御
信号が入力している。
A second video signal processing circuit 6 is connected to the line camera 5, and the output of the circuit 6 is input to a storage device 9. The storage device 9 has a storage area A
It has two areas, 1 and 2, and receives signals alternately. Further, the output of the area camera 4 is input to a first video signal processing circuit 7, and the output of the circuit 7 is similarly input to a storage device 9. A control signal from a CPU 8, which is a control device, is input to the video signal processing circuits 6 and 7.

第1図で、ラインカメラ5を被測定物3の中心
軸30より光源側に配置したのは、被測定物3を
回転させた場合生じた振れによつて被測定物の中
心軸30がラインカメラ5の視野より光源側に移
動し、画像の入力が不可能になるのを防ぐためで
ある。ラインカメラ5と被測定物3の中心軸30
とのずれ量は、回転軸の振れ量や、被測定物3の
形状により決定する。またラインカメラ5と光源
1の角度は傷あるいは文字の種類によつて異な
り、例えば印刷文字の読取りの場合はラインカメ
ラ5と光源1の角度は浅く取り、被測定物3の反
射光を検出すればよい。
In FIG. 1, the line camera 5 is placed closer to the light source than the central axis 30 of the object to be measured 3 because the central axis 30 of the object to be measured is aligned with the line due to the shake that occurs when the object to be measured 3 is rotated. This is to prevent the camera 5 from moving closer to the light source than the field of view, making it impossible to input images. Center axis 30 of line camera 5 and object to be measured 3
The amount of deviation from the measured object 3 is determined by the amount of deflection of the rotating shaft and the shape of the object 3 to be measured. Also, the angle between the line camera 5 and the light source 1 varies depending on the type of scratch or character. For example, when reading printed characters, the angle between the line camera 5 and the light source 1 should be set shallow to detect the reflected light from the object 3. Bye.

欠け、変形等に起因する外形形状の不良検出に
おいては、エリアカメラ4による画像を処理する
のが適しているが、一方向からの画像だけでは裏
面に存在する欠陥は検出できず不十分である。ま
た、被測定物3上の文字の読取りは、エリアカメ
ラ4では画像が歪み非常に困難である。本発明で
は、被測定物3を回転ステージ2上に置き、ライ
ンカメラ5に同期させて回転させ、被測定物3の
表面欠陥や文字を検出する。またラインカメラ5
の入力を中止する事により任意の角度で被測定物
3を静止させることができ、エリアカメラ4によ
つて、静止した被測定物3の画像入力が可能にな
る。エリアカメラ4による画像入力後、再びライ
ンカメラ5と同期して、被測定物3を回転させ、
映像入力を行なう。この様にして任意の角度まで
被測定物3を回転後、ラインカメラ5の入力を中
止し、被測定物3を静止させ、エリアカメラ4に
よる入力を行なう。この様にして連続して被測定
3物が一回転して画像の入力が終了する。被測定
物3が一回転する間にラインカメラ5によつて、
被測定物3の展開図が得られ、表面上の傷と文字
の検出ができる。又、任意の角度において、被測
定物3の輪郭がエリアカメラ4によつて入力され
るので、立体形状を有する物品の総合的な外観不
良検査が可能となる。
In detecting defects in the external shape due to chips, deformations, etc., it is suitable to process images from the area camera 4, but images from only one direction cannot detect defects on the back side and are insufficient. . Further, it is very difficult to read the characters on the object to be measured 3 using the area camera 4 because the image is distorted. In the present invention, the object to be measured 3 is placed on the rotating stage 2 and rotated in synchronization with the line camera 5 to detect surface defects and characters on the object to be measured 3. Also line camera 5
By stopping the input, the object to be measured 3 can be made to stand still at an arbitrary angle, and the area camera 4 can input an image of the object to be measured 3 at rest. After inputting the image by the area camera 4, the object to be measured 3 is rotated again in synchronization with the line camera 5,
Perform video input. After rotating the object to be measured 3 to an arbitrary angle in this manner, input by the line camera 5 is stopped, the object to be measured 3 is kept stationary, and input by the area camera 4 is performed. In this way, the three objects to be measured rotate once in succession, and the image input is completed. While the object to be measured 3 rotates once, the line camera 5
A developed view of the object to be measured 3 can be obtained, and scratches and characters on the surface can be detected. Furthermore, since the contour of the object to be measured 3 is inputted by the area camera 4 at any angle, it is possible to comprehensively inspect the appearance of objects having a three-dimensional shape.

ラインカメラ5は、映像信号の入力に長時間を
必要とし、展開図の画像入力後に処理を開始した
場合は検査時間が非常に長くなる。本発明は、こ
の点を考慮し画像の入力と処理を同時に行ない、
検査時間は画像入力に必要な時間に短縮される。
The line camera 5 requires a long time to input a video signal, and if processing is started after inputting an image of a developed view, the inspection time becomes extremely long. The present invention takes this point into account and simultaneously inputs and processes images,
Inspection time is reduced to the time required for image input.

本実施例装置の動作を第1図に基づいて説明す
る。被測定物3が回転ステージ2にセツトされる
とCPU8はエリアカメラ4に対し、入力すべき
映像信号を記憶する記憶装置9上のアドレス設定
等の条件設定を行なつた後、入力コマンドを発生
する。第1の映像信号処理回路7はコマンド入力
後の1フイールドあるいは1フレームの画像デー
タを記憶装置9へ入力する。入力後、第1の映像
信号処理回路はCPU8へ割込みを発生し、CPU
8は割込み処理を行なう。次にCPUR8は第2の
映像信号処理回路6に対し、入力ライン数、入力
すべき画像メモリのアドレス等の条件設定を行な
つた後、入力コマンドを発生する。このコマンド
によりラインカメラ5により画像の入力が始まり
被測定物3は回転する。所定のライン数入力後、
ラインカメラ5の入力を中止し被測定物3を静止
させる。この回転制御は、ラインカメラ5の同期
信号を回転ステージに取付けられたパルスモータ
に与えることにより容易に実現できる。所定のラ
イン数の信号を入力すると、(例えば90°回転させ
るためには1周200本であれば50本入力後)第2
の映像信号処理回路6はCPU8に対し割込みを
発生する。CPU8はこの割込みによつて割込み
処理ルーチンに入り、第1の映像信号処理回路7
の条件設定を行ない、入力コマンドを発生する。
以上の一連の動作を被測定物3が一回転するまで
連続して行ない、画像の入力を終了する。
The operation of the apparatus of this embodiment will be explained based on FIG. When the object to be measured 3 is set on the rotation stage 2, the CPU 8 sets conditions for the area camera 4, such as setting the address on the storage device 9 that stores the video signal to be input, and then issues an input command. do. The first video signal processing circuit 7 inputs one field or one frame of image data to the storage device 9 after inputting the command. After the input, the first video signal processing circuit generates an interrupt to CPU8, and the
8 performs interrupt processing. Next, the CPU 8 sets conditions for the second video signal processing circuit 6, such as the number of input lines and the address of the image memory to be input, and then generates an input command. In response to this command, the line camera 5 starts inputting images and the object to be measured 3 rotates. After entering the specified number of lines,
The input from the line camera 5 is stopped and the object to be measured 3 is made stationary. This rotation control can be easily realized by applying a synchronization signal from the line camera 5 to a pulse motor attached to the rotation stage. When inputting a predetermined number of lines, the second
The video signal processing circuit 6 generates an interrupt to the CPU 8. The CPU 8 enters the interrupt processing routine by this interrupt, and the first video signal processing circuit 7
Set the conditions and generate the input command.
The above series of operations is continuously performed until the object to be measured 3 rotates once, and then the image input is completed.

一方、記憶装置9は、2ブロツク以上の領域に
分割し、例えば、第1の映像信号処理回路7ある
いは第2の映像信号処理回路6によつて画像メモ
リAに画像データを入力している間、CPU8は
前のサイクルで画像メモリBに入力されたデータ
を処理することができる。画像データ入力終了
後、画像メモリを切替え入力用メモリをB、デー
タ処理用メモリをAとして動作を続ける。データ
処理に要する時間が、画像を入力する時間より短
かければ、サイクルタイムは画像入力時間まで短
縮される。
On the other hand, the storage device 9 is divided into areas of two or more blocks, and for example, while image data is being input to the image memory A by the first video signal processing circuit 7 or the second video signal processing circuit 6. , the CPU 8 can process the data input to the image memory B in the previous cycle. After inputting the image data, the image memory is switched and the operation continues with B as the input memory and A as the data processing memory. If the time required to process the data is less than the time to input the image, the cycle time is reduced to the image input time.

第4図は、一連の動作を示すフローチヤート1
である。初期設定を行ない、最初の画像の入力が
終了した後に、画像メモリを切換えデータ処理を
開始する。データ処理中に次の製品が回転ステー
ジに設定されると、割込みが発生しデータ処理を
中断してエリアカメラ用入力プログラム−が
実行される。次に、データ処理用プログラムに復
帰しデータ処理を続行する。エリアカメラ4に画
像入力終了後、再び第1の映像信号処理回路7か
らCPU8へ割込みが発生する。CPU8は、この
割込みを受け、データ処理を中断し、ラインカメ
ラ用入力プログラム−を実行する。ここで、
所定の角度で停止させる様にラインカメラ5の入
力ライン数を設定し、ラインカメラ入力コマンド
を発生する。その後CPU8は、データ処理を続
ける。被測定物3は、これによつて回転を始め、
所定のライン数の映像を入力した後停止する。入
力後、第2の映像信号処理回路6はCPU8に対
して、割込みを発生し、エリヤカメラ用入力プロ
グラムに移行する。以上の動作を被測定物3が一
回転するまで続け展開図の画像の入力が終了す
る。
Figure 4 is a flowchart 1 showing a series of operations.
It is. After initial settings are made and the input of the first image is completed, the image memory is switched and data processing is started. When the next product is set on the rotation stage during data processing, an interrupt occurs, the data processing is interrupted, and the area camera input program is executed. Next, the program returns to the data processing program and continues data processing. After the image input to the area camera 4 is completed, an interrupt is generated from the first video signal processing circuit 7 to the CPU 8 again. The CPU 8 receives this interrupt, interrupts data processing, and executes the line camera input program. here,
The number of input lines of the line camera 5 is set so that the line camera 5 is stopped at a predetermined angle, and a line camera input command is generated. Thereafter, the CPU 8 continues data processing. The object to be measured 3 thereby begins to rotate,
Stops after inputting a predetermined number of lines of video. After the input, the second video signal processing circuit 6 generates an interrupt to the CPU 8 and shifts to the area camera input program. The above-described operations are continued until the object to be measured 3 rotates once, and the input of the image of the developed view is completed.

このように、本実施例装置では、従来の画像処
理装置では、困難であつた立体形状を有する製品
の欠陥および品名の認識が可能となり、さらにサ
イクルタイムを画像信号の入力時間まで短縮でき
る。すなわち、2つの領域を少なくとも有する記
憶装置を有し、例えば一方の領域に出力信号を入
力し記憶している間に、他方の領域に既に記憶さ
れているデータを処理できるため、サイクルタイ
ムを短縮できる。
In this manner, the apparatus of this embodiment makes it possible to recognize defects and product names of products having three-dimensional shapes, which was difficult to do with conventional image processing apparatuses, and further shortens the cycle time to the input time of image signals. That is, it has a storage device that has at least two areas, and for example, while an output signal is being input and stored in one area, data already stored in the other area can be processed, reducing cycle time. can.

第1図では、特に回転体形状の製部品の場合に
ついて説明したが他の形状の製部品に応用した場
合も制御部は全く同一でよく、カメラの配置、光
源の配置だけで対応できる。第5図は、多角形の
製部品について測定する場合の配置図である。光
源1a,1b,1cを図示の如く配設する。エリ
アカメラ4によつて画像の輪郭を入力し、被測定
物3の表面をラインカメラ5に向けて停止させ、
光源1b,1cによつて、被測定物体3に対し、
ラインカメラ5を平行移動させて画像を入力す
る。入力後、被測定物3を回転(例えば60°)さ
せ再びエリアカメラ4で輪郭画像を入力し、ライ
ンカメラ5を平行移動し表面画像を入力する。こ
れを繰返し被測定物が一回転すると入力が終了す
る。
In FIG. 1, the case of a product in the shape of a rotating body is particularly explained, but even if the invention is applied to a product of other shapes, the control unit may be exactly the same, and the control unit can be handled by simply arranging the camera and the light source. FIG. 5 is a layout diagram when measuring polygonal manufactured parts. Light sources 1a, 1b, and 1c are arranged as shown. The outline of the image is input using the area camera 4, the surface of the object to be measured 3 is stopped facing the line camera 5,
The light sources 1b and 1c illuminate the object to be measured 3,
The line camera 5 is moved in parallel and an image is input. After the input, the object to be measured 3 is rotated (for example, 60 degrees) and the contour image is input again using the area camera 4, and the line camera 5 is moved in parallel to input the surface image. This is repeated and the input ends when the object to be measured rotates once.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上、要するに本発明は、立体的被測定物体の
二次元的画像を得るイメージセンサと立体的被測
定物体の一次元的展開画像を得るラインセンサと
を有し、被測定物体を回転させながらラインセン
サにより二次的展開映像を作ると、同時にイメー
ジセンサによつて二次元的像を撮影することによ
つて、立体製品の表面上の傷、あるいは欠け等を
判定する装置である。従つて、本発明によれば、
ラインセンサを使用しているために映像が歪むこ
となく、高精度で製品の表面のキズ、表面に刻印
されている文字等を読取ることができる。又、イ
メージセンサを使用しているために製品の立体的
欠損を認識することができる。
In summary, the present invention has an image sensor that obtains a two-dimensional image of a three-dimensional measured object and a line sensor that obtains a one-dimensional developed image of the three-dimensional measured object. This device uses a sensor to create a secondary developed image and at the same time captures a two-dimensional image using an image sensor to determine whether there are scratches or chips on the surface of a three-dimensional product. Therefore, according to the present invention:
Because a line sensor is used, the image is not distorted and it is possible to read scratches on the surface of the product, characters engraved on the surface, etc. with high precision. Furthermore, since an image sensor is used, it is possible to recognize three-dimensional defects in the product.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の具体的な実施例にかかる外観
不良検査装置の構成を示したブロツクダイアグラ
ムである。第2図は、同実施例装置で使用された
ラインカメラ5と被測定物体3との位置関係を示
した斜視図である。第3図は、同実施例装置のラ
インカメラによつて被測定物体表面上のキズを検
出する方法を示した構成図である。第4図は、同
実施例装置において使用した計算機の処理を示す
フローチヤートである。第5図は、他の実施例装
置におけるラインカメラ、イメージカメラ、及び
被測定物体3との位置関係を示した配置図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an external defect inspection apparatus according to a specific embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the positional relationship between the line camera 5 and the object to be measured 3 used in the apparatus of the embodiment. FIG. 3 is a configuration diagram showing a method for detecting flaws on the surface of an object to be measured using the line camera of the device of the same embodiment. FIG. 4 is a flowchart showing the processing of the computer used in the apparatus of this embodiment. FIG. 5 is a layout diagram showing the positional relationship between the line camera, the image camera, and the object to be measured 3 in another example device.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 被測定物を保持し、これを回転する固定台
と、 前記被測定物を撮影し、その2次元的平面像に
よる前記被測定物の輪郭情報を得るイメージセン
サと、 前記被測定物を平行移動走査し、1次元映像信
号による前記被測定物の表面情報を得るラインセ
ンサと、 前記イメージセンサを駆動し、前記輪郭情報を
内容とする映像信号を出力する第1の映像信号処
理回路と、 前記ラインセンサを駆動して前記表面情報を内
容とする映像信号を出力するとともに、前記平行
移動走査範囲を決定すべく前記固定台の回転動の
制御を前記一次元映像信号の出力に同期して行う
第2の映像信号処理回路と、 前記第1の映像信号処理回路及び第2の映像信
号処理回路からの各出力信号を、少なくとも2つ
の記憶領域に分けて別々に記憶・読出可能な記憶
装置と、 前記記憶装置の2つの記憶領域に対し記憶処理
とデータ処理を交互に行い、記憶処理を指示した
一方の記憶領域に前記第1及び第2の映像信号処
理回路のうち出力動作中の回路からの信号を記憶
せしめ、データ処理を指示した他方の記憶領域に
は保存データを出力せしめる制御装置とから成る
外観不良検査装置。 2 前記制御装置は、前記イメージセンサにより
得られる前記輪郭情報に基づき外観の凹凸を判定
し、前記ラインセンサにより得られる前記表面情
報に基づき被測定物表面のキズ又は文字を認識す
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
外観不良検査装置。
[Scope of Claims] 1. A fixed base that holds and rotates an object to be measured; an image sensor that photographs the object to be measured and obtains contour information of the object based on a two-dimensional planar image; a line sensor that scans the object to be measured in parallel and obtains surface information of the object using a one-dimensional video signal; and a first line sensor that drives the image sensor and outputs a video signal containing the contour information. a video signal processing circuit that drives the line sensor to output a video signal containing the surface information, and controls rotational movement of the fixed base to determine the parallel scanning range using the one-dimensional video signal; a second video signal processing circuit that performs the processing in synchronization with the output of the video signal processing circuit; and each output signal from the first video signal processing circuit and the second video signal processing circuit is divided into at least two storage areas and stored separately. - A readable storage device; and storage processing and data processing are performed alternately on two storage areas of the storage device, and the first and second video signal processing circuits are placed in one storage area where the storage processing is instructed. An appearance defect inspection device comprising a control device that stores signals from a circuit that is in output operation, and outputs stored data to the other storage area that has instructed data processing. 2. The control device is characterized in that it determines irregularities in the appearance based on the contour information obtained by the image sensor, and recognizes scratches or letters on the surface of the object based on the surface information obtained by the line sensor. An appearance defect inspection device according to claim 1.
JP9142184A 1984-05-08 1984-05-08 Apparatus for inspecting appearance inferiority Granted JPS60235043A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9142184A JPS60235043A (en) 1984-05-08 1984-05-08 Apparatus for inspecting appearance inferiority

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9142184A JPS60235043A (en) 1984-05-08 1984-05-08 Apparatus for inspecting appearance inferiority

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60235043A JPS60235043A (en) 1985-11-21
JPH0423743B2 true JPH0423743B2 (en) 1992-04-23

Family

ID=14025905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9142184A Granted JPS60235043A (en) 1984-05-08 1984-05-08 Apparatus for inspecting appearance inferiority

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60235043A (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0693776B2 (en) * 1987-04-03 1994-11-16 協和醗酵工業株式会社 High-precision appearance video inspection method
JP5610672B2 (en) * 2008-04-11 2014-10-22 キヤノン株式会社 Surface inspection device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60235043A (en) 1985-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60219504A (en) Measuring device for height of circuit element on substrate
JP3181435B2 (en) Image processing apparatus and image processing method
JP2786070B2 (en) Inspection method and apparatus for transparent plate
JPH0423743B2 (en)
JP2921449B2 (en) Golf ball appearance inspection method and appearance inspection device
KR100293698B1 (en) Pattern inspection apparatus for pdp and method thereof
JP3481144B2 (en) Chamfer width measuring device
JPH04236343A (en) Detecting method of defect of glass edge
JPH10300446A (en) Surface defect inspection device
JPH0384441A (en) Inspection method for reticle
JPS6315380A (en) Method and device for inspecting article having repeated pattern
JPH01227910A (en) Optical inspection device
JPH06307829A (en) Screw defect inspection device
JPS6161695B2 (en)
JP2527233Y2 (en) Work position detector
JP2001304836A (en) Semiconductor package appearance inspection apparatus
JP3013255B2 (en) Shape measurement method
JPH11211420A (en) Optical dimension measurement and device therefor
JPS62299704A (en) Inspecting instrument for package parts
JPH0624214B2 (en) Method and apparatus for visual inspection of circuit pattern of chip to be inspected
JPH10202476A (en) Inspection method and inspection device for throw away tip
JPH05240738A (en) Method and device for inspecting screw
JPH0462406A (en) Method and device for inspecting surface state of bearing
JPH03125906A (en) Inspecting apparatus for defect
JPH076774B2 (en) Three-dimensional shape measuring device by optical cutting method

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term