JPH04231185A - Method and device for selectively removing metallic thin film of metallized film - Google Patents

Method and device for selectively removing metallic thin film of metallized film

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JPH04231185A
JPH04231185A JP2408695A JP40869590A JPH04231185A JP H04231185 A JPH04231185 A JP H04231185A JP 2408695 A JP2408695 A JP 2408695A JP 40869590 A JP40869590 A JP 40869590A JP H04231185 A JPH04231185 A JP H04231185A
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JP
Japan
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film
drum
thin film
metallized
metallized film
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Application number
JP2408695A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motoyuki Suzuki
基之 鈴木
Yukichi Deguchi
出口 雄吉
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH04231185A publication Critical patent/JPH04231185A/en
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Abstract

PURPOSE:To selectively remove the metallic thin film by irradiating the laser beam on the metallized film running while being wound on the rotating metallic drum. CONSTITUTION:The metallic thin film is removed selectively by winding the metallized film 7a whose thin film surface is made to the outer side on the circular column like metallic drum 1 having the roughness <=0.4S of the front surface and being rotationable, and irradiating the laser beam 8 while running to the metallized film 7a running on the drum. Therefore, for example, the metallized film of the thickness <=1.2mum being set the non-metallic belt of extra fine width <=0.2mm width which is required for manufacturing the extra small size film capacitor can be easily manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、フィルムコンデンサを
製造する時などに必要な、金属薄膜の任意の一部分が除
去された金属化フィルムを得る方法、すなわち金属化フ
ィルムの金属薄膜を選択的に除去する方法およびその装
置に関する。
[Industrial Application Field] The present invention relates to a method for obtaining a metallized film from which any part of the metal thin film is removed, which is necessary when manufacturing film capacitors, etc. The present invention relates to a method and apparatus for removing the same.

【0002】0002

【従来の技術】金属薄膜の任意の一部分が除去された金
属化フィルムを得る方法として、フィルムを金属化する
際に、テープやオイルなどでフィルムをマスクしておき
金属化することによって得ることが知られているが、幅
0.2mm以下の非金属化帯を得るなど精密な加工がで
きないという問題があった。
[Prior Art] A method for obtaining a metallized film from which any part of a thin metal film has been removed is to mask the film with tape or oil before metallizing it. However, there is a problem in that precise processing such as obtaining a non-metalized band with a width of 0.2 mm or less cannot be performed.

【0003】また最近では、フィルムを金属化してから
、不要な部分を除去する方法もいくつか開発されている
。その例としては、特開昭59−103,324号など
に示されるような放電によって除去する方法、また米国
特許第4,533,813号などに示されるようなレー
ザー光を照射して除去する方法などがあるが、厚さ1.
2μm以下といった極薄の、あるいは多少それより厚い
が耐熱性のないフィルムに形成された金属薄膜を除去し
ようとすると放電あるいはレーザーのエネルギーによる
フィルムの損傷が避けられず、融解によるフィルムの変
形、穴開き、さらには破断といった問題が生じていた。
[0003] Recently, several methods have also been developed in which a film is metallized and then unnecessary portions are removed. Examples include removal by electric discharge as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-103,324, and removal by irradiation with laser light as shown in U.S. Pat. No. 4,533,813. There are various methods, but the thickness is 1.
When attempting to remove a thin metal film formed on an ultra-thin film of 2 μm or less, or somewhat thicker but not heat resistant, damage to the film due to discharge or laser energy is unavoidable, resulting in deformation and holes in the film due to melting. Problems such as opening and even breaking occurred.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】本発明は、フィルムが
極薄であったり、耐熱性のないものであったりする場合
においても、フィルムに損傷を与えず、精密な加工をす
ることが可能となる金属化フィルムの金属薄膜を選択的
に除去する方法およびその装置を提供することにある。
[Problems to be Solved by the Invention] The present invention enables precise processing without damaging the film even when the film is extremely thin or has no heat resistance. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for selectively removing a metal thin film of a metallized film.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題に対
して、精密な加工が可能であるレーザー光を金属化フィ
ルムに照射して選択的に金属薄膜を除去する方法を改良
し、レーザー光が照射される点において、ドラム上に金
属化フィルムを把持することと該ドラムの表面状態を適
正化することによって解決できることを見出し、発明を
完成したものである。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, the present invention improves a method of selectively removing a metal thin film by irradiating a metallized film with a laser beam that enables precise processing, and The inventors completed the invention by discovering that the problem of light irradiation can be solved by holding a metalized film on a drum and optimizing the surface condition of the drum.

【0006】すなわち、本発明は、 (1)表面が0.4S以下の粗さを持つ回転可能な円柱
状の金属ドラムに、少なくとも片面に金属薄膜が形成さ
れた金属化フィルムを該金属薄膜面を外側にして巻き付
けて走行させながら、レーザービームを該ドラム上の走
行する金属化フィルムに照射して金属薄膜を除去するこ
とを特徴とする金属化フィルムの金属薄膜を選択的に除
去する方法。
That is, the present invention provides the following features: (1) A metallized film having a metal thin film formed on at least one side is attached to a rotatable cylindrical metal drum having a surface roughness of 0.4S or less. A method for selectively removing a metal thin film on a metallized film, the method comprising: irradiating the metallized film running on the drum with a laser beam to remove the metal thin film while the metallized film is wound on the outside and traveling.

【0007】(2)表面が0.4S以下の粗さを持つ金
属ドラムと、該ドラム上で金属薄膜を除去するためのレ
ーザー光源とレーザー光集光装置からなる金属薄膜除去
装置と、金属化フィルムを該金属ドラムに巻き付けなが
ら走行させるためのフィルム走行装置とを備えたことを
特徴とする金属化フィルムの金属薄膜を選択的に除去す
る装置。
(2) A metal thin film removal device consisting of a metal drum whose surface has a roughness of 0.4S or less, a laser light source and a laser beam concentrator for removing the metal thin film on the drum, and a metallization 1. An apparatus for selectively removing a metal thin film from a metallized film, comprising a film running device for running the film while being wound around the metal drum.

【0008】としたものである。[0008]

【0009】本発明において、金属化フィルム(以下、
単にフィルムということがある)とはプラスティックフ
ィルムの少なくとも一方の表面に金属薄膜を形成したも
のである。該金属薄膜を形成する方法は、真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーチング法などがある。 また、該金属薄膜を形成する金属としては、アルミニウ
ム、銅、ニッケル、亜鉛などが用いられている。
[0009] In the present invention, a metallized film (hereinafter referred to as
A plastic film (sometimes simply referred to as a film) is a plastic film with a thin metal film formed on at least one surface. The method for forming the metal thin film includes vacuum evaporation method,
Examples include sputtering method and ion plating method. Further, aluminum, copper, nickel, zinc, etc. are used as the metal for forming the metal thin film.

【0010】該金属薄膜の厚さは100オングストロー
ム以上2000オングストローム以下であることが好ま
しい。
[0010] The thickness of the metal thin film is preferably 100 angstroms or more and 2000 angstroms or less.

【0011】またここでプラスティックフィルムとは、
ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリ
エチレンテレフタレートフィルム、ポリフェニレンスル
フィドフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエチレ
ンナフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、
ポリエーテルイミドフィルム、ポリエーテルエーテルケ
トンフィルム、ナイロンフィルムなどをはじめとする有
機高分子を主たる成分とするフィルムである。これらの
うち熱可塑性樹脂組成物からなるフィルムであるとき本
発明の効果が大きく、特に二軸配向ポリプロピレンフィ
ルム、二軸配向ポリエチレンテレフタレートフィルム、
二軸配向ポリエチレンナフタレートフィルム、二軸配向
ポリフェニレンスルフィドフィルムのとき効果が大きい
[0011] Also, what is meant by plastic film here?
Polyethylene film, polypropylene film, polyethylene terephthalate film, polyphenylene sulfide film, polyarylate film, polyethylene naphthalate film, polycarbonate film,
Films whose main component is organic polymers, such as polyetherimide film, polyetheretherketone film, and nylon film. Among these, the effects of the present invention are great when the film is made of a thermoplastic resin composition, particularly biaxially oriented polypropylene film, biaxially oriented polyethylene terephthalate film,
The effect is great when using biaxially oriented polyethylene naphthalate film or biaxially oriented polyphenylene sulfide film.

【0012】該プラスティックフィルムの厚さは0.5
μm以上3.5μm以下のとき本発明の効果が大きく、
融点が250℃を超える熱可塑性樹脂組成物からなるフ
ィルムのときは0.5μm以上1.2μm以下のとき、
特に効果が大きい。
[0012] The thickness of the plastic film is 0.5
The effect of the present invention is large when the diameter is not less than μm and not more than 3.5 μm.
In the case of a film made of a thermoplastic resin composition with a melting point exceeding 250 ° C., when it is 0.5 μm or more and 1.2 μm or less,
Especially effective.

【0013】本発明の金属化フィルムの金属薄膜を選択
的に除去する方法において、該金属化フィルムの裏面、
すなわち金属薄膜を選択的に除去しようとする面の反対
の面の表面粗さRaは0.003μm以上0.08μm
以下であることが好ましい。Raが0.003μm未満
であるとドラムに巻き付けようとした時などに発生する
シワを取ることが難しくなるため精密な加工が困難にな
り、またRaが0.08μmより大きいとレーザー光を
照射した時にフィルムが損傷を受け易くなる。
[0013] In the method of selectively removing a metal thin film of a metallized film of the present invention, the back side of the metallized film,
That is, the surface roughness Ra of the surface opposite to the surface from which the metal thin film is to be selectively removed is 0.003 μm or more and 0.08 μm.
It is preferable that it is below. If Ra is less than 0.003 μm, it will be difficult to remove wrinkles that occur when winding the film around a drum, making precise processing difficult, and if Ra is greater than 0.08 μm, it will be difficult to irradiate with laser light. Sometimes the film becomes susceptible to damage.

【0014】本発明は、このような金属化フィルムを金
属薄膜が形成された面を外側にして金属ドラムに巻き付
けて走行させながら金属薄膜を除去する方法およびその
装置である。
The present invention provides a method and an apparatus for removing the metal thin film while winding such a metallized film around a metal drum with the surface on which the metal thin film is formed facing outward and running the film.

【0015】本発明において金属ドラム(以下、単にド
ラムということがある)とは、回転可能な金属製の円柱
状のものであり、金属ロール、金属ローラーと呼ばれる
こともある。
[0015] In the present invention, the metal drum (hereinafter sometimes simply referred to as drum) is a rotatable cylindrical metal drum, and is also called a metal roll or metal roller.

【0016】ここで金属製とは、少なくとも金属化フィ
ルムと接する部分(ドラムの外周部分)が金属製である
ことをいう。該部分が金属製でなければレーザー光によ
るフィルムの損傷を抑えることができない。
[0016] The term "made of metal" as used herein means that at least the portion that comes into contact with the metallized film (the outer peripheral portion of the drum) is made of metal. Unless the part is made of metal, damage to the film caused by laser light cannot be suppressed.

【0017】該ドラムの直径は150mm以上であるこ
とが、正確な位置にフィルムを搬送しやすい点で好まし
い。また、フィルムの走行はどのような方法によっても
よいが、該ドラムは駆動されていることが、正確な速度
でフィルムを走行させやすい点で好ましい。
[0017] It is preferable that the diameter of the drum is 150 mm or more, since it is easy to convey the film to an accurate position. Furthermore, although any method may be used to run the film, it is preferable that the drum be driven, since this makes it easier to run the film at an accurate speed.

【0018】本発明は、該ドラムの表面を0.4S以下
の粗さを持つ鏡面仕上げにすることが必要である。好ま
しくは0.3S以下、より好ましくは0.2S以下であ
る。
In the present invention, it is necessary to give the surface of the drum a mirror finish with a roughness of 0.4S or less. Preferably it is 0.3S or less, more preferably 0.2S or less.

【0019】また、ドラム表面の温度を5℃以下に冷却
することが好ましい。ドラム表面を冷却する方法として
は、ドラム内部に冷媒を循環させる方法や、外部から冷
風を吹き付けて冷却する方法などがある。
[0019] Furthermore, it is preferable to cool the temperature of the drum surface to 5°C or less. Methods for cooling the drum surface include a method of circulating a refrigerant inside the drum, and a method of cooling the drum surface by blowing cold air from the outside.

【0020】ここで、ドラムの表面とは、ドラムの金属
化フィルムと接する面のことをいう。このような鏡面に
する、あるいは表面を冷却することでレーザー光による
フィルムの損傷を抑えることができる。
[0020] Here, the surface of the drum refers to the surface of the drum that comes into contact with the metallized film. By creating such a mirror surface or by cooling the surface, damage to the film caused by laser light can be suppressed.

【0021】本発明は、上記のような金属ドラム上に、
金属化フィルムを該金属ドラムに巻き付けながら走行さ
せるためのフィルム走行装置によって走行する金属化フ
ィルムの、金属薄膜をレーザー光によって選択的に除去
する方法およびその装置である。
[0021] The present invention provides the above-mentioned metal drum with
A method and an apparatus for selectively removing a thin metal film of a metalized film running by a film running device for running the metalized film while being wound around the metal drum using a laser beam.

【0022】ここで「巻き付ける」とは、金属ドラムの
外周表面の少なくとも一部に、金属薄膜を除去しようと
する金属化フィルムが密着していることをいう。
Here, "wrapping" means that the metallized film from which the metal thin film is to be removed is in close contact with at least a portion of the outer peripheral surface of the metal drum.

【0023】密着とは、金属化フィルムがドラム表面で
滑らないことをいうが、金属化フィルムをドラムに密着
させる方法としては、金属化フィルムに張力を与えてド
ラムに巻き付ける方法が一般的であるが、金属化フィル
ムが薄い時など張力をできるだけ軽減したい時は、金属
化フィルムに電荷を与えて静電気で密着させる方法や、
金属化フィルムとドラムの間に水などの液体を介在させ
て密着させる方法を採用または併用することもできる。
[0023] Adhesion means that the metallized film does not slip on the drum surface, and a common method for making the metallized film adhere to the drum is to apply tension to the metallized film and wind it around the drum. However, when you want to reduce the tension as much as possible, such as when the metallized film is thin, you can apply an electric charge to the metallized film and make it adhere with static electricity.
It is also possible to adopt or use a method in which a liquid such as water is interposed between the metallized film and the drum to bring them into close contact.

【0024】また、フィルム走行装置とは、動力によっ
て駆動されるロール、ドラム、フィルム巻取装置など、
フィルムを所望の速度でフィルムの長手方向に移動させ
ることができる装置をいう。
[0024]Film running devices include rolls, drums, film winding devices, etc. driven by power.
A device that can move the film at a desired speed in the longitudinal direction of the film.

【0025】レーザー光によって金属薄膜を除去する技
術は、公知の技術をそのまま適用することができる。す
なわち、レーザー光源と、該光源から出た光線を金属化
フィルムの金属薄膜に集光させる集光装置を必須の要件
とし、必要に応じてレーザー光分割装置、フィルム位置
検出装置、集光装置移動機構などが組み合わせることが
できる。
[0025] As the technique for removing the metal thin film using laser light, known techniques can be applied as they are. In other words, a laser light source and a condensing device that condenses the light beam emitted from the light source onto the metal thin film of the metallized film are essential requirements, and a laser beam splitting device, a film position detection device, and a condensing device movement are required as necessary. Mechanisms can be combined.

【0026】レーザー光源としてはYAGレーザーが一
般的であり、これにQスイッチを組み合わせて必要なエ
ネルギーを得ることができる。また、炭酸ガスレーザー
、半導体レーザー、エキシマレーザーなどを光源として
用いることもできる。
A YAG laser is generally used as a laser light source, and the necessary energy can be obtained by combining this with a Q switch. Further, a carbon dioxide laser, a semiconductor laser, an excimer laser, etc. can also be used as a light source.

【0027】このような光源から発せられた光線を、集
光装置によって金属化フィルムの金属薄膜部分に集光し
て金属薄膜を除去する。
The light beam emitted from such a light source is focused on the metal thin film portion of the metallized film by a condensing device to remove the metal thin film.

【0028】このとき、レーザー光を固定して、フィル
ムを走行させればフィルムの長手方向に走る帯状の非金
属化部分を形成することができる。また、周期的にレー
ザー光の位置をフィルム幅方向に移動したり、レーザー
光の照射を断続的に照射、停止を繰り返せば周期的に非
金属化帯が移動した、あるいは不連続な非金属化帯が形
成された金属化フィルムを得ることができる。さらに前
後左右にレーザー光の位置を移動すれば、任意の形状で
非金属化部分が形成された金属化フィルムを得ることが
できる。
At this time, if the laser beam is fixed and the film is run, a band-shaped non-metalized portion running in the longitudinal direction of the film can be formed. In addition, if the position of the laser beam is periodically moved in the width direction of the film, or if the laser beam is irradiated intermittently and then stopped repeatedly, the non-metalized band may move periodically or the non-metalized band may be discontinuous. A banded metallized film can be obtained. Further, by moving the position of the laser beam back and forth and left and right, it is possible to obtain a metallized film in which a non-metalized portion is formed in an arbitrary shape.

【0029】[0029]

【実施例】以下、本発明を実施例を挙げて具体的に説明
する。
[Examples] The present invention will be specifically explained below with reference to Examples.

【0030】実施例 図1は、本発明の一つの実施例による装置の概略図を示
したものである。ここでは、本発明の重要な構成要件で
ある金属ドラム1をはさんで、加工前の金属化フィルム
7aを供給するフィルム巻出装置2と加工後の金属化フ
ィルム7bを巻き取るフィルム巻取装置3を示している
。フィルム巻出装置2とフィルム巻取装置3は、本発明
のレーザー光による選択的に金属薄膜を除去する工程の
前および/または後に連続して他の工程がある場合には
、それらの工程を実施する装置に置き換えることができ
る。
Embodiment FIG. 1 shows a schematic diagram of an apparatus according to one embodiment of the invention. Here, a film unwinding device 2 that supplies an unprocessed metallized film 7a and a film winding device that winds a processed metallized film 7b sandwiching a metal drum 1, which is an important component of the present invention. 3 is shown. The film unwinding device 2 and the film winding device 3 are capable of performing other steps before and/or after the step of selectively removing a metal thin film using a laser beam according to the present invention. It can be replaced with the equipment to be implemented.

【0031】ここでは、金属ドラム1が速度制御可能に
駆動され、フィルム巻出装置2およびフィルム巻取装置
3は、フィルムの張力が調整できるようサーボモータ(
図示せず)が接続されて、フィルム走行装置が構成され
ている。
[0031] Here, the metal drum 1 is driven in a speed controllable manner, and the film unwinding device 2 and film winding device 3 are driven by a servo motor (
(not shown) are connected to constitute a film transport device.

【0032】図1において鉄製の金属ドラム1は、表面
が全周にわたってクロムメッキされ0.2Sの粗さに鏡
面仕上げされている。ドラム直径は600mm、幅10
0mmである。
In FIG. 1, the surface of a metal drum 1 made of iron is plated with chrome over the entire circumference and has a mirror finish with a roughness of 0.2S. Drum diameter is 600mm, width 10
It is 0mm.

【0033】また、レーザー光源4はYAGレーザー(
200W)であり、Qスイッチ(10kHz)を組み合
わせてパルス波が得られるようにしてある。光源より発
せられた光線はハーフミラー5a、全反射ミラー5b、
および全反射ミラー5cからなる光線分割装置を経て、
集光装置6に導かれ、ドラム1上を搬送される金属化フ
ィルムの表面に到達する。なお図中4本の集光装置6は
、金属化フィルムの幅方向に等間隔の距離をもって配置
されている。
Further, the laser light source 4 is a YAG laser (
200W) and is combined with a Q switch (10kHz) to obtain a pulse wave. The light beam emitted from the light source passes through a half mirror 5a, a total reflection mirror 5b,
After passing through a beam splitting device consisting of a total reflection mirror 5c,
It is guided by a light concentrator 6 and reaches the surface of the metallized film conveyed on the drum 1. Note that the four condensing devices 6 in the figure are arranged at equal distances in the width direction of the metallized film.

【0034】金属化フィルムは、厚さ0.9μmのポリ
エチレンテレフタレートフィルムに、250オングスト
ロームの厚さでアルミニウムを片方の面の全面に蒸着し
たものであり、幅75mmにスリットされたものである
。この金属化フィルムの非金属化面の表面粗さRaは0
.03μmであった。
The metallized film was a polyethylene terephthalate film with a thickness of 0.9 μm, with aluminum vapor-deposited on the entire surface of one side to a thickness of 250 angstroms, and was slit to a width of 75 mm. The surface roughness Ra of the non-metalized surface of this metalized film is 0
.. It was 03 μm.

【0035】図1の装置に、この金属化フィルムを通し
、100m/分で走行させながら、レーザー光を照射し
た。レーザー光のパワーを調節することによって、平均
幅0.15mmの連続した非金属化帯が形成された金属
化フィルムを得ることができた。
This metallized film was passed through the apparatus shown in FIG. 1 and irradiated with laser light while traveling at 100 m/min. By adjusting the power of the laser beam, it was possible to obtain a metallized film in which continuous non-metalized bands with an average width of 0.15 mm were formed.

【0036】比較例 図1の装置のドラムを従来のもの(大きさは実施例1の
ものと同一であるが、表面にはレーザー光が乱反射しな
いよう全周にわたって不織布が貼付けられている)に替
えて実施例1と同様にして金属化フィルムを走行させ、
レーザー光を照射した。しかし、実施例と同一の条件で
レーザー光を照射すると、フィルムに、照射されたレー
ザー光のエネルギーでフィルムの一部が溶融し、レーザ
ー光のパルスの中心部分に穴開きが発生していた。そこ
で、順次レーザーのパワーを落としていくと穴開きがあ
る一方で非金属化部分が不連続になりはじめ、穴開きの
なくなる点までパワーを落とした時には、金属薄膜はレ
ーザー光のパルスが照射された中心部分のみが点々と蒸
発しているのみであった。すなわち、レーザー光のパワ
ーをどのように調節してもフィルムに損傷を与えること
なく連続した非金属化帯が形成された品質の良い金属化
フィルムを得ることはできなかった。
Comparative Example The drum of the apparatus shown in FIG. 1 was replaced with a conventional drum (the size is the same as that of Example 1, but a nonwoven fabric was pasted on the surface all around to prevent diffuse reflection of laser light). Instead, run the metallized film in the same manner as in Example 1,
irradiated with laser light. However, when the film was irradiated with laser light under the same conditions as in the example, part of the film melted due to the energy of the irradiated laser light, and a hole was formed at the center of the laser light pulse. Therefore, when the power of the laser is gradually reduced, the metal thin film is irradiated with pulses of laser light, and when the power is reduced to the point where there are no holes, the non-metalized part begins to become discontinuous while there are holes. Only the central part of the evaporated area was evaporated in spots. That is, no matter how the power of the laser beam was adjusted, it was not possible to obtain a high-quality metallized film in which continuous non-metalized bands were formed without damaging the film.

【0037】以上のように、本発明によれば金属化極薄
フィルムの金属薄膜を選択的に除去することができる。
As described above, according to the present invention, the metal thin film of the metallized ultra-thin film can be selectively removed.

【0038】[0038]

【発明の効果】上記の構成とすることによって、金属化
フィルムの金属薄膜を選択的に除去する方法において従
来よりの精密、正確、微細な加工ができるというレーザ
ー光による除去方法の特長をそのままに、従来、フィル
ムがレーザー光のエネルギーによって損傷を受けて穴開
き、破断などを引き起こすため適用できなかった金属化
極薄フィルムに対しても金属薄膜の除去が可能となった
。本発明は、例えば超小型フィルムコンデンサを製造す
るために求められる0.2mm幅以下といった極細幅の
非金属化帯が設けられた厚さ1.2μm以下の金属化フ
ィルムなどを容易に製造することを可能にする。
[Effects of the Invention] With the above structure, the feature of the removal method using laser light, which allows for more precise, accurate, and fine processing than conventional methods, is maintained in the method of selectively removing the metal thin film of the metallized film. The metal thin film can now be removed even from metallized ultra-thin films, which could not be applied in the past because the film would be damaged by the energy of the laser beam, causing holes and breakage. The present invention enables the easy production of a metallized film having a thickness of 1.2 μm or less and provided with a non-metalized band having an extremely narrow width of 0.2 mm or less, which is required for manufacturing ultra-small film capacitors, for example. enable.

【0039】[0039]

【作用】本発明は、金属化フィルムが接しているドラム
の表面が鏡面状に仕上げられていることことによって、
金属化フィルムとドラムの接触面積が増大し、レーザー
光を吸収して発熱、蒸発した金属薄膜の余熱をフィルム
内部に畜熱せずにドラムに発散することができるように
なるため、フィルムの損傷を抑えることが可能になった
ものと考えられる。従来、厚手のフィルムで損傷を受け
なかったのはフィルムの厚さ方向に余熱を分散させるこ
とができたためと考えられる。
[Operation] The present invention has a mirror finish on the surface of the drum that is in contact with the metallized film.
The contact area between the metallized film and the drum increases, and the remaining heat from the metal thin film that absorbs laser light and evaporates can be dissipated to the drum without being stored inside the film, reducing damage to the film. It is thought that this could be suppressed. The reason why thick films were not damaged in the past is thought to be because residual heat could be dispersed in the thickness direction of the film.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の実施例1にかかる装置の概略図である
FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus according to Example 1 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  ・・・  金属ドラム 2  ・・・  金属化フィルム巻出装置3  ・・・
  金属化フィルム巻取装置4  ・・・  レーザー
光源 5a・・・  ハーフミラー 5b・・・  全反射ミラー 5c・・・  全反射ミラー 6  ・・・  集光装置 7a・・・  金属化フィルム(加工前)7b・・・ 
 金属化フィルム(加工後)8  ・・・  レーザー
ビーム
1... Metal drum 2... Metallized film unwinding device 3...
Metallized film winding device 4... Laser light source 5a... Half mirror 5b... Total reflection mirror 5c... Total reflection mirror 6... Concentrator 7a... Metallized film (before processing) 7b...
Metallized film (after processing) 8 ... Laser beam

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  表面が0.4S以下の粗さを持つ回転
可能な円柱状の金属ドラムに、少なくとも片面に金属薄
膜が形成された金属化フィルムを該金属薄膜面を外側に
して巻き付けて走行させながら、レーザービームを該ド
ラム上の走行する金属化フィルムに照射して金属薄膜を
除去することを特徴とする金属化フィルムの金属薄膜を
選択的に除去する方法。
Claim 1: A metallized film having a metal thin film formed on at least one side is wound around a rotatable cylindrical metal drum having a surface roughness of 0.4S or less with the metal thin film surface facing outward, and the drum is run. A method for selectively removing a metal thin film of a metallized film, the method comprising: irradiating the metallized film running on the drum with a laser beam to remove the metal thin film while moving the metallized film.
【請求項2】  表面が0.4S以下の粗さを持つ金属
ドラムと、該ドラム上で金属薄膜を除去するためのレー
ザー光源とレーザー光集光装置からなる金属薄膜除去装
置と、金属化フィルムを該金属ドラムに巻き付けながら
走行させるためのフィルム走行装置とを備えたことを特
徴とする金属化フィルムの金属薄膜を選択的に除去する
装置。
2. A metal thin film removal device comprising a metal drum having a surface roughness of 0.4S or less, a laser light source and a laser beam concentrator for removing the metal thin film on the drum, and a metallized film. 1. A device for selectively removing a metal thin film from a metallized film, comprising: a film running device for running the film while being wound around the metal drum.
JP2408695A 1990-12-28 1990-12-28 Method and device for selectively removing metallic thin film of metallized film Pending JPH04231185A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012060161A (en) * 2011-12-06 2012-03-22 Sabic Innovative Plastics Japan Kk Polyetherimide film for capacitor

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