JPH04230875A

JPH04230875A - 試験装置

Info

Publication number: JPH04230875A
Application number: JP3119349A
Authority: JP
Inventors: Andre P Letourneau; アンドレ・ピー・リトニアウ
Original assignee: John Fluke Manufacturing Co Inc
Current assignee: Fluke Corp
Priority date: 1990-04-24
Filing date: 1991-04-23
Publication date: 1992-08-19
Also published as: EP0454347A3; US5027063A; CA2040311A1; EP0454347A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品用の真空作動
型試験装置、特に、個別の電子部品を試験する真空作動
型試験装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路基板及びこの基板上の部品
の機能を試験する方法や試験装置には、「固定台（ｂｅ
ｄ　ｏｆ　ｎａｉｌｓ）」型テスタから、集積回路の如
き部品を上から挟む装置まで、多くのものがある。しか
し、基板及びその上の部品が物理的に一層小形化してい
るので、従来の方法を適用するのは困難になってきてい
る。特に、マイクロプロセッサや、プログラマブル・ロ
ジック・アレイや、その他のピン・グリッド配列パッケ
ージ等の如き表面実装集積回路やその他の小形化パッケ
ージの出現により、クリップ・オン型試験装置を利用す
るのが不可能でないとしても、その利用が困難になって
きている。その理由は、信号ピン又は部品のリードを基
板の部品側でアクセスできないからである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】回路基板をクランプし
たり保持する種々の形式の機械的機構が提案されている
。しかし、この分野の初期の技術調査によれば、真空作
動試験装置を利用することは、回路基板を保持し、裏側
の回路の爪（端子）にプローブを当てるのに効果的な方
法であった。かかる従来の真空作動型試験装置は、典型
的には、回路基板アッセンブリーを試験ピン、即ちプロ
ーブの上に引っ張るので、加わる点負荷が不均一に配分
される。その結果、不適切なストレスが加わったり、基
板が歪められて、しばしば回路基板が破損する。

【０００４】従来の真空作動型試験装置に関連した他の
問題は、基板と試験プローブとのアライメント（相互位
置調整）である。いくつかの試験装置では、二重基板技
法を用いて、所定パターンに配置された１組の試験プロ
ーブを下側の基板に配置し、上側の基板を所謂ツール・
ピンと共に配置し、回路基板アッセンブリーの穴と一致
させる。そして、回路の試験ノードをプローブに合わせ
る、即ち、レジストレーションする。アライメント問題
の他の解決法は、所謂ユニバーサル試験装置を用いる。この装置では、下側基板では、試験プローブがマトリッ
クスになっている。また、上側基板では、所定パターン
で穴があけられており、不要なプローブをマスクすると
共に、所望のプローブ・ピンを回路基板アセンブリーの
回路試験ノードに通過させる。これらの取付技法は、そ
の実施や維持が高価であり、また、各回路基板アセンブ
リーに対して専用の試験ヘッド又は基板を必要とする。

【０００５】したがって、本発明の目的は、プリント回
路基板上に配置された個々の部品又は回路を試験する小
型真空作動型の試験装置の提供にある。

【０００６】本発明の他の目的は、被試験ユニットのピ
ンに一致した穴のパターンによるか、装置の透明ウィン
ドウによって、視覚的にアライメントを調整して、被試
験ユニットのピン又はリードとプローブ・ピンとの間を
正確に位置決めできる真空作動型試験装置の提供にある
。

【０００７】本発明の更に他の目的は、不均一に配分さ
れた点負荷による基板歪を最小にするため、サイズを最
小とした真空作動型試験装置の提供にある。

【０００８】本発明の他の目的は、夫々分離され、真空
作動されるレジストレーション（位置決め合わせ）モジ
ュール及びプローブ・モジュールを有する真空作動型試
験装置の提供にある。

【０００９】本発明の他の目的は、小形軽量であり、動
作に大形の真空ポンプを必要としない真空作動型試験装
置の提供にある。

【００１０】本発明の他の目的は、モジュール形式で、
任意所望のプローブ構成に容易に適合できる真空作動型
試験装置の提供にある。

【００１１】さらに、本発明の目的は、大幅な熱膨張、
回路基板歪、広範囲にわたる累積変動の影響がなく、レ
ジストレーション及びアライメントを維持できる真空作
動型試験装置の提供にある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、回路基板上に
配置された部品又は回路領域を試験する小形の真空作動
型試験装置であり、分離されたレジストレーション・モ
ジュール及びプローブ・モジュールを具えている。レジ
ストレーション・モジュールは、部品又は回路上に視覚
的に配置され、プローブ・ピンが基板に常に接触する前
に、真空によりその位置を維持される。非常に柔軟なシ
ールにより、このシールの領域内に他の部品や配線があ
っても、レジストレーション・モジュールを回路基板に
取り付けることができる。次に、プローブ・モジュール
をレジストレーション・モジュールに対して位置決めし
、真空によりこの位置を確実にする。この真空により、
ピストンを上側に引っ張って、プローブ・ピンを部品又
は回路に接触させる。

【００１３】本発明の試験装置は、２個の独立した真空
源、又は分離供給弁（バルブ）を用いた単一の真空源に
より真空作動される。さらに、１個以上の真空ポンプの
代わりに、小形圧力真空変換器を用いる工場エア圧力ラ
インにより、この試験装置を動作させてもよい。

【００１４】本発明の試験装置は、プラスチックの如き
材料で作成してもよい。また、プローブ・ピンを配置す
るために、モジューラ・ユニバーサル・グリッド・パタ
ーンを含んでもよい。このモジューラ・ユニバーサル・
グリッド・パターンは、標準部品構成及びピン空間で利
用可能であるし、また、「打ち抜き」機能により所望の
プローブ・パターンを設けてもよい。さらに、用途に応
じて、未使用のレジストレーション・モジュール及びプ
ローブ・モジュールに穴をあけ、任意所望のプローブ・
パターンを作ることもできる。

【００１５】本発明の他の目的、特徴及び利点は、添付
図を参照した以下の説明より、当業者には、明らかであ
ろう。

【００１６】

【実施例】図１は、本発明による真空作動型試験装置を
含む試験システムの図である。プローブ・モジュール１
０及びレジストレーション・モジュール１２は、適切な
真空供給ホース、即ち、導管１８及び２０を介して、第
１真空源１４及び第２真空源１６と夫々接続する。プロ
ーブ・モジュール１０内にあるプローブ・ピン又は簡易
プローブの配列を、プリント回路基板２２に電気的に接
続する。このプリント回路基板は、ソケット２４、プラ
グ２６及びケーブル２８を介して、試験及び測定装置３
０に電気的に接続する。真空源１４及び１６は、制御線
３２として示された１個以上の配線により、試験及び測
定装置３０に接続する。試験装置の条件に応じて、真空
源１４及び１６は、異なる圧力の別々の真空源であって
もよいし、また、図２に示す如く、プローブ・モジュー
ル１０及びレジストレーション・モジュール１２に真空
を供給するように接続された分離バルブを有する単一の
真空源１４’に置き換えてもよい。

【００１７】試験及び測定装置３０は、一般には、自動
試験システムであり、図１では被試験部品３８が取り付
けられたプリント回路基板３６である特定の被試験ユニ
ット（ＵＵＴ）に適する試験を行うようにプログラムさ
れている。部品３８は、マイクロプロセッサ、プログラ
マブル・ロジック・アレイ、又は他のピン・グリッド・
アレイ・パッケージの如き表面実装集積回路などの任意
の装置でよい。部品３８のリード、ピン又は試験パター
ンが回路基板３６の下面側に現れ、これらは、プローブ
・モジュール１０内のプローブ配列と電気的に結合する
。試験及び測定装置の市販例としては、ジョン・フルー
ク・マニュファクチャリング・カンパニー・インコーポ
レイテッド製の９１００Ａ型デジタル試験システムがあ
る。

【００１８】図３は、本発明による試験装置の斜視図で
あり、詳細が判るように大きな構成要素を分解している
。これらの図は任意のスケールではなく、試験装置の実
際の物理的大きさは、被試験部品及びその領域の大きさ
や、真空圧力の大きさにより決まる。領域に関する物理
的サイズを決定するのに役立つ数式を後述する。

【００１９】レジストレーション・モジュール１２の上
面図を図４に示し、その断面側面図を図５に示す。この
レジストレーション・モジュール１２は、普通の平板５
０であり、その縁の周囲に外側柔軟シール５２を配置す
る。また、平板５０を通過する案内穴５６のパターンの
周囲に内側柔軟シール５４を配置する。案内穴５６は、
非常に多くの典型的なピン・パターン又は集積回路装置
の「フットプリント（ｆｏｏｔｐｒｉｎｔ　）」に適合
する「ユニバーサル」パターンとして配置してもよい。また、このパターンは、特定素子のフットプリントに適
合する「パーソナリティ・プレート」として配置しても
よい。ＵＵＴ（図１の３６〜３８）を有するレジストレ
ーション・モジュール１２のレジストレーションには多
くの方法があり、例えば、穴パターン５６を素子３８の
フットプリントと視覚的に一致させ、真空をこのレジス
トレーション・モジュール１２に加える。平板５０、又
は穴５６のパターンを含むその平板５０の少なくとも内
側部分は、プレキシガラスの如き透明材料で作って、透
明窓を設け、レジストレーション・モジュール１２の素
子３８に対する視覚的アライメントを助けてもよい。外
側柔軟シール５２及び内側柔軟シール５４がＵＵＴの比
較的平坦な表面に接触するとき、これらシール５２及び
５４間の隙間が、真空室５８を形成して、レジストレー
ション・モジュール１２をＵＵＴに密閉する。柔軟シー
ル５２及び５４の材料は、ソフト混合物又はその均等物
の高密度組織発泡ウレタンが適切であるので、真空室５
８を排気した際、多くの部品の周囲を密封したり、機密
のシールを形成する。真空入力ポート６０は、平板５０
を介して、真空供給部品６２と結合する。この真空供給
部品６２に真空導管１８を取り付ける。第２真空室６４
が内側柔軟シール５４内に形成され、後述の如く、その
後、案内穴５６を介しての空気移動により排気される。

【００２０】プローブ・モジュール１０は、筒状部屋７
２を有する本体７０を具えている。この筒状部屋７２は
、その上部がカバー板７４により覆われており、その底
部にピストン保持板７６を有する。スプリングで偏倚さ
れる接触プローブ８０の配列をピストン８２により支持
する。このピストン８２は、筒状部屋７２内を軸方向に
移動する。ピストン８２の側部に設けたピストン・キー
（図示せず）は、シリンダ壁内の長手方向の溝内を移動
し、ピストンが回転するのを防ぐ。ピストン８２が上方
向に引っ張られるまで、戻りスプリング８４は、ピスト
ン保持板７６に対してピストン８２をその引っ込んだ位
置に維持する。よって、導管２０、真空供給部品９０及
び真空ポート９２を介して結合した真空源を作用させる
ことにより、スプリング偏倚された接触ピンは、カバー
板７４内の穴の配列８６を通過する。なお、真空ポート
９２は、本体７０の壁を介して穴あけされたものである
。筒状部屋７２の上側周辺に沿った環状溝９４は、ピス
トン移動期間中、自由な空気の流れを確実にする。ピス
トン８２は、Ｏリング・シール９６に適合した円周状溝
を具えており、真空下において、空気が筒状部屋７２に
漏れるのを防止する。さらに、カバー板７４は、ガスケ
ット又はＯリング・シール９８に適合した環状溝を有し
、レジストレーション・モジュール１２がその位置で真
空が供給されたとき、プローブ・モジュール１０を密封
する。

【００２１】レジストレーション・モジュール１２の両
端に配置されたレジストレーション・ピン１００は、プ
ローブ・モジュール１０の両端のスロット１０２と合わ
さり、穴５６及び８６のアライメントを確実にする。よ
って、スプリング偏倚された接触プローブ８０が、かか
る穴５６及び８６を通過して、ＵＵＴの回路ノードと電
気的に結合する。本体７０の両側に旋回するように取り
付けられた１対の保持つめ１０４は、その末端にラッチ
用指１０６を有し、レジストレーション・モジュール１
２の両側の縁１０８と結合する。そして、排気力が試験
装置のプローブ・モジュール１０の部分内に作用して、
これらユニットを一体に保持する主要保持力が与えられ
るまで、保持つめ１０４がプローブ・モジュール１０を
適切なアライメントに維持する。

【００２２】任意の多くの標準技術を用いて、スプリン
グ偏倚された接触プローブを回路基板２２に接続できる
。

【００２３】上述の電気的に制御する独立した真空源の
代わりとして、図３は、１対の手動操作真空ゲート・バ
ルブ１１４及び１１６を内蔵し、真空供給導管１８、２
０及び１２０が取り付けられる真空供給部品１１８を具
えた本体１１２から成る真空制御モジュール１１０を簡
単に示している。真空ゲート・バルブ１１４及び１１６
は、プローブ・モジュール１０及びレジストレーション
・モジュール１２への真空の流れを夫々制御し、独立に
操作できる。

【００２４】可能な試験シーケンスは、以下の通りであ
る。真空源を真空制御モジュール１１０に適用し、制御
器１１４及び１１６の両方を「オフ」位置と仮定し、レ
ジストレーション・モジュール１２を被試験部品３８の
フットプリント上の所望の方向に視覚的に位置決めする
。そして、制御器１１６を「オン」位置に設定し、導管
１８及び真空入力ポート６０を介して真空を部屋５８に
与え、回路基板３６に対して外側柔軟シール５２及び内
側柔軟シール５４を夫々圧縮する。次に、プローブ・モ
ジュール１０をレジストレーション・モジュール１２上
に配置し、レジストレーション・ピン１００をスロット
１０２に合せ、保持つめ１０４により密封して、機械的
に安定させる。そして、スイッチ１１４を「オン」位置
にして、導管２０及び真空入力ポート９２を介して部屋
７２に真空を与え、案内穴５６及び８６を介して部屋６
４に真空を与え、ピストン８２を上方向に引く。よって
、案内穴８６及び５６を介してスプリング偏倚された接
触プローブが上方向に移動して、部品３８のピン又はリ
ードとの電気的接触を行う一方、戻りスプリング８４を
カバー板７４に対して圧縮する。部屋６４への真空は、
回路基板３６に対して試験装置を保持するのを助け、プ
ローブ・モジュール１０及びレジストレーション・モジ
ュール１２を互いに保持する。

【００２５】図６は、本発明の他の実施例の断面図を示
すが、接触プローブ及び戻りスプリングを省略して理解
しやすくしている。上述と同様な部分は、同じ参照番号
で示し、異なる部分のみ説明する。プローブ・モジュー
ル１０の本体７０、カバー板７４及びピストン８２は、
好適には、従来の射出成形技術を用いたプラスチックの
モールドであり、非常に軽量であるが、耐久性のある試
験装置を提供する。カバー板７４及び本体７０が一体に
なるので、第１のＯリング・シール１２０を縁１２２及
び表面１２４間に納め、第２のＯリング・シール１２６
を突起１２８及び肩１３０間に納めて、二重に密封し、
部屋７２への空気漏れを防ぐ。ピストン８２は、好適に
は、ステンレス・スティールの如き滑らかな金属であり
、耐久性のある周辺肩１３２を有する。よって、摩擦を
減らし、プラスチック部分の摩耗を減らし、Ｏリング・
シール１２６の摩損を減らすことにより、ピストン８２
の滑らかで長寿命の動作を容易にしている。

【００２６】レジストレーション・モジュール１２の平
板５０は、好適には、透明プラスチックをモールドした
ものである。カバー板７４全体を本体７０の肩１４２に
適合させ、動作期間中、Ｏリング・シール１２０に対し
て確実に適合する突起１４０を、平板５０が有する。上
述の如く、透明プラスチックは透明な窓となり、視覚に
より、穴５６のパターンと被試験素子のピンとをアライ
メントできる。非常に柔軟なシール５２及び５４は、こ
れらシールの領域内に他の部品があっても、レジストレ
ーション・モジュール１２、即ち、試験装置を回路基板
に取り付けることができる。組立て試験した試作品での
シール５２及び５４の高さの公称値は、約１６分の３イ
ンチ（約４．８ミリ）であるが、これは、ほとんどの表
面実装部品に対して充分なゆとりがある。部品のばらつ
きが大きい場合、大きなシールを用いればよく、同様に
、部品のばらつきが問題ない場合、小さなシールを用い
ればよい。空気室（真空室）５８を上述の如く排気して
、レジストレーション・モジュール１２を回路基板に取
り付ける。小さなサイズの試験装置と気密シール１２０
及び１２６とにより、図６の実施例は、その動作に大形
の真空ポンプを必要としない。太い矢印は、真空が真空
供給部品９０に与えられた場合の部屋７２から入力ポー
ト９２への空気経路と、部屋６４から穴５６及び８６を
介し入力ポート９２への空気経路とを示す。真空源は、
専用真空ポンプの代わりに、単位平方インチ当たり約５
０〜１００ポンド（ｐｓｉ）の公称圧力の工場圧力ライ
ンで動作する簡単で小形の圧力真空変換器でもよい。図
３に示す如く、真空制御モジュールとして表した小形の
トグル型真空スイッチを用いてもよい。

【００２７】本発明の他の重要な特徴は、プローブ・ピ
ンを探すモジュールの「打ち抜き」ユニバーサル・グリ
ッドである。典型的には、柔軟シール５４の反対側間の
距離、即ち、シール５４が円ならばその直径は、約２イ
ンチ（約５．０８センチ）である。穴５６のユニバーサ
ル・グリッドは、０．１００インチ（０．２５４センチ
）及び０．５０インチ（１．７７センチ）の両方の直径
であっても利用可能であり、集積回路のピン間隔に一致
する。また、このユニバーサル・グリッドは、標準ピン
・パターンで与えられてもよいし、キットとして非標準
構成で与えてもよい。これは、未使用のレジストレーシ
ョン・モジュール板を設けることにより達成できる。なお、このレジストレーション・モジュール板は、用途
により穴あけしてもよいし、特別に穴あけした穴５６’
を有してもよい。レジストレーション・モジュール板を
、簡単な道具により打ち抜き、開口を設け、所望の部品
リード構成に一致させてもよい。同様な操作を穴８６’
に対しても行い、カバー板７４に開口を設けると共に、
ピストン８２に穴１４６’を設ける。次に、接触プロー
ブ８０を穴１４６に設けて固定する。プローブ・ピンの
接続は、標準ワイヤ巻き接点、半田付けなどのいくつか
の従来技法や、集積端子コネクタを有するモジュール・
プラグにより行える。

【００２８】試験装置が適切に動作する範囲内で、この
試験装置の最小サイズを決定する一般的な規則として、
プリント回路基板アセンブリーの真空にさらされる領域
は、（評価された変位において）柔軟シールの圧縮力と
、ピストン／スプリング偏倚されたプローブ・アセンブ
リーの圧縮力とに耐えるのに充分でなければならない。式で示すと、回路基板アセンブリーの領域ＡＰＣＡ　は
次のようになる。

【数１】なお、Ａは、単位が平方インチの領域（ＡＳＥＡＬはシ
ールの領域、ＡＰＩＳＴＯＮはピストンの領域）を表し
、Ｐは、単位がｐｓｉ（Ｐｏｕｎｄｓｐｅｒ　Ｓｑｕａ
ｒｅ　Ｉｎｃｈ）の圧力（ＰＳＥＡＬはシールの圧力、
ＰＶＡＣＵＵＭ　は真空の圧力）を表す。同様に、ピス
トンの領域は、総べてのスプリング偏倚されたプローブ
をそれらの位置まで圧縮するのに充分でなければならな
い。式で示すと、ピストンの領域ＡＰＩＳＴＯＮは、次
式となる。

【数２】なお、Ｆは、単位がオンス（ＯＵＮＣＥ）であり、定格
速度で移動の際のプローブの力を表す。上述の２つの式
において、ＰＶＡＣＵＵＭは、両方の場合でほぼ同じで
あり、真空室において測定したものである。

【００２９】本発明の好適な実施例について上述したが
、当業者には、本発明の要旨を逸脱することなく、種々
の変形変更が可能なことが明らかであろう。

【００３０】

【発明の効果】上述の如く本発明の試験装置によれば、
被試験ユニットのピンに一致した穴のパターンを介して
か、装置の透明ウィンドウを介して、視覚でアライメン
ト調整を行い、被試験ユニットのピン又はリードとプロ
ーブ・ピンとの間を正確に定めることができる。また、
サイズが最小なので、不均一に配分された点負荷による
基板歪を最小にできる。さらに、本発明の真空作動型試
験装置は、小形で軽量であり、動作に大形の真空ポンプ
を必要としない。また、大幅な熱膨張、回路基板歪、広
範囲にわたる累積変動の影響がなく、レジストレーショ
ン及びアライメントを維持できる。

【図面の説明】

【図１】本発明による真空作動型試験装置を有する試験
システムを示す図である。

【図２】図１の試験装置用の別の真空源を示す図である
。

【図３】詳細に示すために主な部品を分解した本発明の
試験装置の斜視図である。

【図４】本発明の試験装置の上面図である。

【図５】図４の線５−５に沿う拡大断面図である。

【図６】本発明による試験装置の他の実施例の拡大断面
図である。

【符号の説明】

１０　　プローブ・モジュール（プローブ手段）１２　
　レジストレーション・モジュール（レジストレーショ
ン手段）１４　　真空源１６　　真空源３０　　試験及び測定装置３８　　被試験部品５０　　平板５２　　外側柔軟シール５４　　内側柔軟シール５６、８６　　穴７０　　本体８０　　接触プローブ８２　　ピストン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　回路基板上の個別部品を含む回路の特
定領域を試験する試験装置であって、上記回路基板上の
選択点と電気的接触を行うプローブ手段と、上記プロー
ブ手段に対して正確な関係で、上記回路基板上の上記選
択点を視覚的に位置決めするレジストレーション手段と
、該レジストレーション手段を上記回路基板に保持し、
上記プローブ手段を上記選択点に接触させる手段とを具
えた試験装置。
【請求項２】　　上記レジストレーション手段を上記回
路基板に保持し、上記プローブ手段を上記選択点に接触
させる手段は、真空を上記レジストレーション手段及び
上記プローブ手段に独立に与える手段であることを特徴
とする請求項１の試験装置。
【請求項３】　　上記真空を与える手段は、１対の独立
した制御可能なバルブを介して上記レジストレーション
手段及び上記プローブ手段と結合された真空源であるこ
とを特徴とする請求項２の試験装置。
【請求項４】　　上記真空源は、圧力真空変換器である
ことを特徴とする請求項３記載の試験装置。
【請求項５】　　上記真空を与える手段は、１対の制御
可能な真空源であることを特徴とする請求項２の試験装
置。
【請求項６】　　上記プローブ手段は、排気可能な部屋
と、該部屋内で移動可能なピストンとを有するプローブ
本体を具え、上記ピストンは、ほぼまっすぐに配置され
た所定数のプローブを有することを特徴とする請求項１
の試験装置。
【請求項７】　　上記レジストレーション手段は、上記
プローブ手段から分離可能なことを特徴とする請求項１
記載の試験装置。
【請求項８】　　上記レジストレーション手段は、上記
プローブ手段を通過させて上記回路基板上の上記選択点
に接触させる所定パターンの穴を有するほぼ平坦な板と
、上記所定パターンの穴の周囲に配置された内側柔軟シ
ールと、該内側柔軟シールから分離して間に排気可能な
部屋を形成する外側柔軟シールとを具えることを特徴と
する請求項７の試験装置。
【請求項９】　　上記板の少なくとも一部は透明である
ことを特徴とする請求項８の試験装置。
【請求項１０】　　上記所定パターンの穴は、上記個別
部品の所定のフットプリントと一致するユニバーサル・
グリッドを具えることを特徴とする請求項８の試験装置
。
【請求項１１】　　回路基板上の個別部品を含む回路の
特定領域を試験する真空作動型試験装置であって、真空
が与えられると移動可能なピストンにより支持された電
気プローブの配列を有するプローブ本体を含むプローブ
・モジュールと、真空が与えられると上記回路基板に取
り付けられ、上記プローブ・モジュールと分離しており
、上記回路基板の選択したノードと視覚的にアライメン
ト可能であり上記プローブの配列を通過させて上記選択
したノードと電気的に接触させる穴の配列を有するレジ
ストレーション・モジュールと、真空を上記プローブ・
モジュール及び上記レジストレーション・モジュールに
選択的に与える真空供給手段とを具えた真空作動型試験
装置。
【請求項１２】　　上記レジストレーション・モジュー
ルは、上記穴の配列の周囲に配置された内側柔軟シール
と、該内側柔軟シールから分離して間に排気可能な部屋
を形成して上記回路基板に取り付ける外側柔軟シールと
を有する比較的平坦な板を具えたことを特徴とする請求
項１１の真空作動型試験装置。
【請求項１３】　　上記平坦な板の少なくとも一部は透
明であることを特徴とする請求項１２の真空作動型試験
装置。
【請求項１４】　　上記真空供給手段は、上記プローブ
・モジュール及び上記レジストレーション・モジュール
に独立に結合した単一の真空源を具えることを特徴とす
る請求項１１の真空作動型試験装置。