JPH04229927A - 基板上にパターンを形成する方法、表示装置の製造方法および表示装置 - Google Patents
基板上にパターンを形成する方法、表示装置の製造方法および表示装置Info
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- JPH04229927A JPH04229927A JP3187079A JP18707991A JPH04229927A JP H04229927 A JPH04229927 A JP H04229927A JP 3187079 A JP3187079 A JP 3187079A JP 18707991 A JP18707991 A JP 18707991A JP H04229927 A JPH04229927 A JP H04229927A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/18—Luminescent screens
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- H01J29/32—Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines with adjacent dots or lines of different luminescent material, e.g. for colour television
- H01J29/327—Black matrix materials
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板上にパターンを形成
する方法に関するものである。また、本発明は表示装置
の面上にパターンを形成するステップを含む表示装置の
製造方法に関するものである。さらに、本発明は前述の
方法により製造した表示装置にも関するものである。本
発明のわく組のなかで、そのいくつかについて後述する
若干の利用に対しては、オーバラップさせたパターンを
基板上に形成することが有利であり、一般にこのような
パターンをできるだけ多く与えるに要する時間を限定す
ることをそのねらいとしている。
する方法に関するものである。また、本発明は表示装置
の面上にパターンを形成するステップを含む表示装置の
製造方法に関するものである。さらに、本発明は前述の
方法により製造した表示装置にも関するものである。本
発明のわく組のなかで、そのいくつかについて後述する
若干の利用に対しては、オーバラップさせたパターンを
基板上に形成することが有利であり、一般にこのような
パターンをできるだけ多く与えるに要する時間を限定す
ることをそのねらいとしている。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題および課題を解決するた
めの手段】本発明の目的はオーバラップさせたパターン
を基板上に迅速かつ正確に形成することを可能にした前
述形式のパターン形成方法を提供しようとするものでる
。これがため、前述形式の基板上にパターンを形成する
方法の場合は、露光の結果粘性となる層を該基板面上に
供給し、該層をパターンにしたがって露光し、ついで該
層に粉末粒を与え、粗い粉末粒を除去した後、該層を少
なくとも部分的に第１パターンとオーバラップする次の
パターンにしたがって露光し、その後該層に次の粉末粒
を与え、粗い粉末粒を除去して、基板上に粘着粉末粒を
固着させるようにしたことを特徴とする。また、本発明
の他の目的はオーバラップされたパターンを表示装置の
面上に迅速かつ正確に形成することを可能にした前述形
式の表示装置の製造方法を提供しようとするものである
。これがため、前述形式の表示装置製造方法の場合は、
露光の結果粘性となる層を該面上に供給し、該層をパタ
ーンにしたがって露光し、ついで該層に粉末粒を与え、
粗い粉末粒を除去した後、該層を少なくとも部分的に第
１パターンとオーバラップする次のパターンにしたがっ
て露光し、その後該層に次の粉末粒を与え、粗い粉末粒
を除去して、基板上に粘着粉末粒を固着させるようにし
たことを特徴とする。
めの手段】本発明の目的はオーバラップさせたパターン
を基板上に迅速かつ正確に形成することを可能にした前
述形式のパターン形成方法を提供しようとするものでる
。これがため、前述形式の基板上にパターンを形成する
方法の場合は、露光の結果粘性となる層を該基板面上に
供給し、該層をパターンにしたがって露光し、ついで該
層に粉末粒を与え、粗い粉末粒を除去した後、該層を少
なくとも部分的に第１パターンとオーバラップする次の
パターンにしたがって露光し、その後該層に次の粉末粒
を与え、粗い粉末粒を除去して、基板上に粘着粉末粒を
固着させるようにしたことを特徴とする。また、本発明
の他の目的はオーバラップされたパターンを表示装置の
面上に迅速かつ正確に形成することを可能にした前述形
式の表示装置の製造方法を提供しようとするものである
。これがため、前述形式の表示装置製造方法の場合は、
露光の結果粘性となる層を該面上に供給し、該層をパタ
ーンにしたがって露光し、ついで該層に粉末粒を与え、
粗い粉末粒を除去した後、該層を少なくとも部分的に第
１パターンとオーバラップする次のパターンにしたがっ
て露光し、その後該層に次の粉末粒を与え、粗い粉末粒
を除去して、基板上に粘着粉末粒を固着させるようにし
たことを特徴とする。
【０００３】前述の感光層はまた“光粘性層（フォトタ
キィ層）”とも呼ばれる。これは光（光子）の影響によ
り層が粘性（ｔａｃｋｙ ）となることを意味するもの
と理解すべきである。以下、簡単のため、この種層を光
粘性層（フォトタキィ層）と呼ぶことにする。また、本
発明の定義において、“パターン（ｐａｔｔｅｒｎ ）
”なる語は均一層を意味するものと理解すべきである。 本発明は、単一の光粘性層上に２つ（またはそれ以上の
）オーバラップしたパターンを与えることができるとい
う洞察にもとづきなされたものである。第２露光ステッ
プの間には、充分な光粘性層の材料が最初に供給された
粉末層を通して拡散し前記粉末層の上面を粘性化させて
、最初の粉末層に次の粉末層を粘着させるものと仮定す
る。本発明方法によるときは、２つ（またはそれ以上の
）粉末層が同時に固着されるので、２つの粉末層を次々
に固着させる方法より早く済み、さらに、粉末パターン
を固着させる前に、粉末パターンの相互位置をチェック
できるという利点を有する。また、本発明方法の一実施
例によるときは、該面を表示ウインドウとするほか、次
の粉末を蛍光体粒子により形成し、最初の粉末をカラー
フィルタ粒子により形成している。これは、表示ウ
インドウと蛍光体層の間に迅速かつ正確にカラー フ
ィルタ層を与えることを可能にする。これは、特に、使
用する蛍光体粒子が低エネルギー蛍光体、すなわち、約
５ＫｅＶ より小さい運動エネルギーを有する電子の影
響下で発光する蛍光体の場合、重要である。
キィ層）”とも呼ばれる。これは光（光子）の影響によ
り層が粘性（ｔａｃｋｙ ）となることを意味するもの
と理解すべきである。以下、簡単のため、この種層を光
粘性層（フォトタキィ層）と呼ぶことにする。また、本
発明の定義において、“パターン（ｐａｔｔｅｒｎ ）
”なる語は均一層を意味するものと理解すべきである。 本発明は、単一の光粘性層上に２つ（またはそれ以上の
）オーバラップしたパターンを与えることができるとい
う洞察にもとづきなされたものである。第２露光ステッ
プの間には、充分な光粘性層の材料が最初に供給された
粉末層を通して拡散し前記粉末層の上面を粘性化させて
、最初の粉末層に次の粉末層を粘着させるものと仮定す
る。本発明方法によるときは、２つ（またはそれ以上の
）粉末層が同時に固着されるので、２つの粉末層を次々
に固着させる方法より早く済み、さらに、粉末パターン
を固着させる前に、粉末パターンの相互位置をチェック
できるという利点を有する。また、本発明方法の一実施
例によるときは、該面を表示ウインドウとするほか、次
の粉末を蛍光体粒子により形成し、最初の粉末をカラー
フィルタ粒子により形成している。これは、表示ウ
インドウと蛍光体層の間に迅速かつ正確にカラー フ
ィルタ層を与えることを可能にする。これは、特に、使
用する蛍光体粒子が低エネルギー蛍光体、すなわち、約
５ＫｅＶ より小さい運動エネルギーを有する電子の影
響下で発光する蛍光体の場合、重要である。
【０００４】パターンを与えるのに“光粘性”層を使用
することについては既知であり、また表示装置の面上に
パターンを与えるのに、このような光粘性層を使用する
ことに関しても欧州特許第１９２，３０１号により公知
である。前記特許出願には、層が紫外線光に曝された際
光分解（ｐｈｏｔｏｌｙｓｉｓ）により該層の粘性が増
加するような感光層を表示装置の表示ウインドウ上に与
える方法につき記載されている。この場合には、表示ウ
インドウ上に感光層を配置した後、該層をマスクにより
部分的に被覆して該層を紫外線に曝らし、次に、例えば
、蛍光体粒子を含む粉末層を該層に供給して、蛍光体粒
子を該感光層の露光部分に粘着させ、粗い粉末粒、すな
わち、該層に付着しない粉末粒を除去した後、該層に粘
着する粉末粒を基板上に固着させる。このようにして基
板上に単一層を与えるようにしている。
することについては既知であり、また表示装置の面上に
パターンを与えるのに、このような光粘性層を使用する
ことに関しても欧州特許第１９２，３０１号により公知
である。前記特許出願には、層が紫外線光に曝された際
光分解（ｐｈｏｔｏｌｙｓｉｓ）により該層の粘性が増
加するような感光層を表示装置の表示ウインドウ上に与
える方法につき記載されている。この場合には、表示ウ
インドウ上に感光層を配置した後、該層をマスクにより
部分的に被覆して該層を紫外線に曝らし、次に、例えば
、蛍光体粒子を含む粉末層を該層に供給して、蛍光体粒
子を該感光層の露光部分に粘着させ、粗い粉末粒、すな
わち、該層に付着しない粉末粒を除去した後、該層に粘
着する粉末粒を基板上に固着させる。このようにして基
板上に単一層を与えるようにしている。
【０００５】
【実施例】以下図面により本発明を説明する。ただし、
添付図面は正確な一定の比率による図ではなく、また図
示実施例において同じ構成素子に関しては同一符号数字
を用いて表示してあることを留意すべきである。
添付図面は正確な一定の比率による図ではなく、また図
示実施例において同じ構成素子に関しては同一符号数字
を用いて表示してあることを留意すべきである。
【０００６】図１は本発明方法により製造した表示装置
（本実施例の場合は陰極線管）の断面図を示す。表示ウ
インドウ２、円錐部（コーン部）３および頸部（ネック
部）４よりなるガラス エンベロープ１内には該ネッ
ク部４に３つの電子ビーム９，１０および１１を生成す
る電子銃８を配置する。また、表示ウインドウ２の内面
上には表示スクリーン５を設ける。前記表示スクリーン
は本実施例の場合、複数個の３つ組の蛍光体素子を含む
。前記蛍光体素子はラインまたはドットにより形成する
を可とする。各３つ組は緑色で発光する蛍光体を有する
ライン、青色で発光する蛍光体を有するラインおよび赤
色で発光する蛍光体を有するラインを含む。本実施例の
場合、蛍光ラインは図の面に対して横方向に伸長する。 また、表示スクリーンの前方にはシャドウマスク６を配
置し、前記シャドウマスク内には、それを通して電子ビ
ーム９，１０および１１を通過させる複数の伸長形開口
部を形成させる。作動時には、電子ビームは偏向コイル
系１２により表示スクリーン５を横切って偏向させるよ
うにする。図中７はアノード電極引出口である。
（本実施例の場合は陰極線管）の断面図を示す。表示ウ
インドウ２、円錐部（コーン部）３および頸部（ネック
部）４よりなるガラス エンベロープ１内には該ネッ
ク部４に３つの電子ビーム９，１０および１１を生成す
る電子銃８を配置する。また、表示ウインドウ２の内面
上には表示スクリーン５を設ける。前記表示スクリーン
は本実施例の場合、複数個の３つ組の蛍光体素子を含む
。前記蛍光体素子はラインまたはドットにより形成する
を可とする。各３つ組は緑色で発光する蛍光体を有する
ライン、青色で発光する蛍光体を有するラインおよび赤
色で発光する蛍光体を有するラインを含む。本実施例の
場合、蛍光ラインは図の面に対して横方向に伸長する。 また、表示スクリーンの前方にはシャドウマスク６を配
置し、前記シャドウマスク内には、それを通して電子ビ
ーム９，１０および１１を通過させる複数の伸長形開口
部を形成させる。作動時には、電子ビームは偏向コイル
系１２により表示スクリーン５を横切って偏向させるよ
うにする。図中７はアノード電極引出口である。
【０００７】図２は図１に示す表示装置用の表示ウイン
ドウ２の断面図を示す。図示のように、表示ウインドウ
２上には表示スクリーンを配置する。前記表示スクリー
ンは、それらに電子が射突した際、それぞれ赤色、緑色
および青色に発光する蛍光体素子２０，２１および２２
を含み、前記蛍光体素子２０，２１および２２と表示ウ
インドウ２との間にはカラー フィルタ層２３，２４
および２５を介挿させる。前記カラー フィルタ層は
蛍光体により放射される光を濾波する。また、青色光放
射蛍光体は、例えば緑色光成分をも放射するを可とする
。表示装置により放射される光の色純度は、青色光に対
しては透明であるが、赤色光および緑色光を吸収するカ
ラー フィルタ層により改善される。前記カラー
フィルタ層は蛍光体層と表示ウインドウとの間に配置す
る。これは、蛍光体粒子間にカラー フィルタ粒子が
存在するような状況のもとにおいて、蛍光体粒子上に多
数の電子が射突するという利点を有し、画像のコントラ
ストおよび輝度の改善に役立つ。これは、特に、作動に
際し、５ＫｅＶ 以下のような低い運動エネルギーを有
する電子により蛍光体粒子を励振する場合、重要であり
、なかんずく、ある種の形式の平形陰極線管の場合に起
る。
ドウ２の断面図を示す。図示のように、表示ウインドウ
２上には表示スクリーンを配置する。前記表示スクリー
ンは、それらに電子が射突した際、それぞれ赤色、緑色
および青色に発光する蛍光体素子２０，２１および２２
を含み、前記蛍光体素子２０，２１および２２と表示ウ
インドウ２との間にはカラー フィルタ層２３，２４
および２５を介挿させる。前記カラー フィルタ層は
蛍光体により放射される光を濾波する。また、青色光放
射蛍光体は、例えば緑色光成分をも放射するを可とする
。表示装置により放射される光の色純度は、青色光に対
しては透明であるが、赤色光および緑色光を吸収するカ
ラー フィルタ層により改善される。前記カラー
フィルタ層は蛍光体層と表示ウインドウとの間に配置す
る。これは、蛍光体粒子間にカラー フィルタ粒子が
存在するような状況のもとにおいて、蛍光体粒子上に多
数の電子が射突するという利点を有し、画像のコントラ
ストおよび輝度の改善に役立つ。これは、特に、作動に
際し、５ＫｅＶ 以下のような低い運動エネルギーを有
する電子により蛍光体粒子を励振する場合、重要であり
、なかんずく、ある種の形式の平形陰極線管の場合に起
る。
【０００８】図３ないし図８は本発明方法の実施例を示
す図である。図示のように、例えば、表示装置の表示ウ
インドウのような基板３０には、層が露光されるとその
層の光粘性が増大するような光粘性層（フォトタキィ層
）３１を付着させる。このような層の実例に関しては、
欧州特許出願１９２，３０１号に記載されている。 前記光粘性層は紫外線ソース（源）３２により放射され
る紫外線に曝されるようにし、紫外線ソース３２と光粘
性層３１との間にはマスク３３を配置する。かくすれば
、光粘性層３１の露光部分３４は粘性（ｔａｃｋｙ ）
となる（図３参照）。本発明の一実施例の場合、約５な
いし２５ミリジュール／ｃｍ２ 線量を使用して部分３
４を露光するようにし、光粘性層の厚みは約数ミクロン
としている。次に、例えば、カラー フィルタ粉末粒
を含む粉末層を与え、前記粉末層の厚みを例えば数十ミ
クロンないし数ミクロンとする。かくして、光粘性層３
１の露光部分３４にカラー フィルタ粉末を粘着させ
、ついで目の粗いカラー フィルタ粒子を除去した後
、露光部分３４をカラー フィルタ粒子のパターン３
５で被覆する（図４参照）。
す図である。図示のように、例えば、表示装置の表示ウ
インドウのような基板３０には、層が露光されるとその
層の光粘性が増大するような光粘性層（フォトタキィ層
）３１を付着させる。このような層の実例に関しては、
欧州特許出願１９２，３０１号に記載されている。 前記光粘性層は紫外線ソース（源）３２により放射され
る紫外線に曝されるようにし、紫外線ソース３２と光粘
性層３１との間にはマスク３３を配置する。かくすれば
、光粘性層３１の露光部分３４は粘性（ｔａｃｋｙ ）
となる（図３参照）。本発明の一実施例の場合、約５な
いし２５ミリジュール／ｃｍ２ 線量を使用して部分３
４を露光するようにし、光粘性層の厚みは約数ミクロン
としている。次に、例えば、カラー フィルタ粉末粒
を含む粉末層を与え、前記粉末層の厚みを例えば数十ミ
クロンないし数ミクロンとする。かくして、光粘性層３
１の露光部分３４にカラー フィルタ粉末を粘着させ
、ついで目の粗いカラー フィルタ粒子を除去した後
、露光部分３４をカラー フィルタ粒子のパターン３
５で被覆する（図４参照）。
【０００９】その後で、パターン３５を有する光粘性層
３１を再度光に曝らし、既に露光した部分３４が少なく
とも部分的に再度露光されるようにする（図５参照）。 この第２ステップにおいては、部分３４は、例えば、約
１００ミリジュール／ｃｍ２ ないし約３００ミリジュ
ール／ｃｍ２ の線量を使用して、前述の第１露光ステ
ップより強力な露光を与えることが好ましい。また、第
２露光ステップ後に与えられる次の粉末もパターン３５
は粘着することが分っており、この場合、次の粉末層は
例えば、数ミクロンの厚みを有する。
３１を再度光に曝らし、既に露光した部分３４が少なく
とも部分的に再度露光されるようにする（図５参照）。 この第２ステップにおいては、部分３４は、例えば、約
１００ミリジュール／ｃｍ２ ないし約３００ミリジュ
ール／ｃｍ２ の線量を使用して、前述の第１露光ステ
ップより強力な露光を与えることが好ましい。また、第
２露光ステップ後に与えられる次の粉末もパターン３５
は粘着することが分っており、この場合、次の粉末層は
例えば、数ミクロンの厚みを有する。
【００１０】図３および図５は、光粘性層３１で被覆さ
れた基板３０の面が光源に対向した配置を示しているが
、本発明はこれに限定されるものと解すべきではない。 上記の１つまたは双方の露光ステップにおいて、光粘性
層３１は基板３０を通して露光させることも可能である
。
れた基板３０の面が光源に対向した配置を示しているが
、本発明はこれに限定されるものと解すべきではない。 上記の１つまたは双方の露光ステップにおいて、光粘性
層３１は基板３０を通して露光させることも可能である
。
【００１１】第２露光ステップの間には、充分な光粘性
層の材料あるいは充分な量の光粘性層の成分がパターン
３５の粉末層を通して拡散し、パターン３５の上面を粘
性化させて、パターン３５に次の粉末を粘着させるもの
と仮定する。本実施例の場合次の粉末は蛍光体粒子を含
む。次に、粗い蛍光体粒子を取除く、かくすれば、光粘
性層３１の部分３４はカラー フィルタ粒子のパター
ン３５で被覆され、その上に蛍光粒子のパターン３６が
配置されることになる（図６参照）。この場合、双方の
層は、例えば、ＥＰ１９２，３０１号に単一の層につい
て記載されているように一工程ステップで基板３０上に
固着される（図７参照）。
層の材料あるいは充分な量の光粘性層の成分がパターン
３５の粉末層を通して拡散し、パターン３５の上面を粘
性化させて、パターン３５に次の粉末を粘着させるもの
と仮定する。本実施例の場合次の粉末は蛍光体粒子を含
む。次に、粗い蛍光体粒子を取除く、かくすれば、光粘
性層３１の部分３４はカラー フィルタ粒子のパター
ン３５で被覆され、その上に蛍光粒子のパターン３６が
配置されることになる（図６参照）。この場合、双方の
層は、例えば、ＥＰ１９２，３０１号に単一の層につい
て記載されているように一工程ステップで基板３０上に
固着される（図７参照）。
【００１２】本発明はここに記載の実施例に限定される
ものでないこと明らかである。例えば、第１ステップに
おいて、赤色カラー フィルタ パターン与え、そ
こに赤色蛍光体パターンを供給した後、赤色カラー
フィルタ パターンの次に青色カラー フィルタ
パターンを与え、前記青色カラー フィルタ パ
ターン上に青色蛍光体パターンを供給した後、赤色およ
び青色カラー フィルタ パターンの次に緑色カラ
ー フィルタ パターンを与え、前記緑色カラー
フィルタ パターン上に緑色蛍光体パターンを供給
し、ついで、すべてのカラー フィルタ パターン
および蛍光体パターンを一工程ステップで固着させるこ
ともできる。また、３つの隣接したカラー フィルタ
パターンを与え、そこに均一な白色光放射蛍光層を
供給することも可能である。第１粉末層はカラー フ
ィルタ層に限定されるものでなく、第１粉末層を蛍光層
とすることもできる。また、例えば、異なる粒の大きさ
を有する種々のカラーまたは成分の蛍光層を積み重ねる
こともできる。さらに、第１の層をカラー フィルタ
層により形成し、第２の層をガラス粒子により形成する
こともでき、表示ウインドウをガラス粒子の流出温度以
上の温度で加熱することにより粉末粒を固着させること
もできる。この場合には、そのなかにカラー粒子を固着
させたガラス層を形成させた後、蛍光体パターン（例え
ば、陰極線管−表示装置の場合）または電極パターン（
例えば、ＬＣＤ（液晶表示）−装置の場合）をガラス層
上に配置することができる。また、表示装置の面は、例
えば、その上に二重層を配置したシャドウマスクとする
こともでき、例えばインデックス蛍光体パターンを具え
たガラス層とすることもできる。本発明の範囲内では、
種々の変形例が可能である。
ものでないこと明らかである。例えば、第１ステップに
おいて、赤色カラー フィルタ パターン与え、そ
こに赤色蛍光体パターンを供給した後、赤色カラー
フィルタ パターンの次に青色カラー フィルタ
パターンを与え、前記青色カラー フィルタ パ
ターン上に青色蛍光体パターンを供給した後、赤色およ
び青色カラー フィルタ パターンの次に緑色カラ
ー フィルタ パターンを与え、前記緑色カラー
フィルタ パターン上に緑色蛍光体パターンを供給
し、ついで、すべてのカラー フィルタ パターン
および蛍光体パターンを一工程ステップで固着させるこ
ともできる。また、３つの隣接したカラー フィルタ
パターンを与え、そこに均一な白色光放射蛍光層を
供給することも可能である。第１粉末層はカラー フ
ィルタ層に限定されるものでなく、第１粉末層を蛍光層
とすることもできる。また、例えば、異なる粒の大きさ
を有する種々のカラーまたは成分の蛍光層を積み重ねる
こともできる。さらに、第１の層をカラー フィルタ
層により形成し、第２の層をガラス粒子により形成する
こともでき、表示ウインドウをガラス粒子の流出温度以
上の温度で加熱することにより粉末粒を固着させること
もできる。この場合には、そのなかにカラー粒子を固着
させたガラス層を形成させた後、蛍光体パターン（例え
ば、陰極線管−表示装置の場合）または電極パターン（
例えば、ＬＣＤ（液晶表示）−装置の場合）をガラス層
上に配置することができる。また、表示装置の面は、例
えば、その上に二重層を配置したシャドウマスクとする
こともでき、例えばインデックス蛍光体パターンを具え
たガラス層とすることもできる。本発明の範囲内では、
種々の変形例が可能である。
【００１３】図８は、例えば、表示ウインドウ３０上に
カラー フィルタ パターン３５ａ，３５ｂおよび
３５ｃを配置した実施例を示す。カラー フィルタ
パターン３５ａは青色光を通過させて、赤色光および
緑色光を吸収し、カラー フィルタパターン３５ｂは
赤色光を通過させて青色光および緑色光を吸収し、カラ
ー フィルタ パターン３５ｃは緑色光を通過させ
て赤色光および青色光を吸収する。前記カラー フィ
ルタ パターン上には、蛍光体パターン３６ａ（青色
で発光する蛍光体により形成）、３６ｂ（赤色蛍光体）
および３６ｃ（緑色蛍光体）を配置する。カラー フ
ィルタ パターンは場所（ロケーション）３９におい
て相互にオーバラップさせ、その結果としていわゆるマ
トリックス効果（ｍａｔｒｉｘｅｆｆｅｃｔ）が得られ
る。蛍光体（場所３９における）の間にはすべての光を
吸収するストリップ（条片）を配置する。かくすれば、
個々のマトリックス パターンを与える必要はなくな
る。
カラー フィルタ パターン３５ａ，３５ｂおよび
３５ｃを配置した実施例を示す。カラー フィルタ
パターン３５ａは青色光を通過させて、赤色光および
緑色光を吸収し、カラー フィルタパターン３５ｂは
赤色光を通過させて青色光および緑色光を吸収し、カラ
ー フィルタ パターン３５ｃは緑色光を通過させ
て赤色光および青色光を吸収する。前記カラー フィ
ルタ パターン上には、蛍光体パターン３６ａ（青色
で発光する蛍光体により形成）、３６ｂ（赤色蛍光体）
および３６ｃ（緑色蛍光体）を配置する。カラー フ
ィルタ パターンは場所（ロケーション）３９におい
て相互にオーバラップさせ、その結果としていわゆるマ
トリックス効果（ｍａｔｒｉｘｅｆｆｅｃｔ）が得られ
る。蛍光体（場所３９における）の間にはすべての光を
吸収するストリップ（条片）を配置する。かくすれば、
個々のマトリックス パターンを与える必要はなくな
る。
【００１４】このように、図８は１つの側上に少なくと
も２つのカラー フィルタ パターンを与え、該カ
ラー フィルタ パターンのオーバラップがマトリ
ックス パターンを形成するよう該カラー フィル
タ パターンを相互にオーバラップさせるよう形成し
た表示装置の表示ウインドウを示している。また、オー
バラップさせたカラー フィルタ パターンは、例
えば真空蒸着のような異なる方法を用いて表示ウインド
ウ上に配置することもできることに留意すべきである。 かくして、本発明方法によるときは、迅速かつ正確にオ
ーバラップしたカラー フィルタパターンを得ること
が可能となる。
も２つのカラー フィルタ パターンを与え、該カ
ラー フィルタ パターンのオーバラップがマトリ
ックス パターンを形成するよう該カラー フィル
タ パターンを相互にオーバラップさせるよう形成し
た表示装置の表示ウインドウを示している。また、オー
バラップさせたカラー フィルタ パターンは、例
えば真空蒸着のような異なる方法を用いて表示ウインド
ウ上に配置することもできることに留意すべきである。 かくして、本発明方法によるときは、迅速かつ正確にオ
ーバラップしたカラー フィルタパターンを得ること
が可能となる。
【図１】本発明方法により製造した表示装置の断面図
【
図２】図１に示す表示装置用表示ウインドウの断面図
図２】図１に示す表示装置用表示ウインドウの断面図
【
図３】ないし
図３】ないし
【図８】本発明方法の実施例を示す図
【図４】本発明方法の実施例を示す図
【図５】本発明方法の実施例を示す図
【図６】本発明方法の実施例を示す図
【図７】本発明方法の実施例を示す図
【図８】本発明方法の実施例を示す図である。
１ ガラス エンベロープ
２ 表示ウインドウ
３ 円錐部（コーン部）
４ 頸部（ネック部）
５ 表示スクリーン
６ シャドウマスク
７ アノード電極の引出口
８ 電子銃
９，１０，１１ 電子ビーム
１２ 偏向コイル系
２０，２１，２２ 蛍光体素子
２３，２４，２５ カラー フィルタ層３０ 基
板 ３１ 光粘性層（フォトタキィ層） ３２ 紫外線源 ３３ マスク ３４ 露光部分 ３５，３５ａ〜３５ｃ，３６，３６ａ〜３６ｃ カラ
ー フィルタ パターン ３９ ロケーション（場所）
板 ３１ 光粘性層（フォトタキィ層） ３２ 紫外線源 ３３ マスク ３４ 露光部分 ３５，３５ａ〜３５ｃ，３６，３６ａ〜３６ｃ カラ
ー フィルタ パターン ３９ ロケーション（場所）
Claims (7)
- 【請求項１】基板上に材料を供給して、パターンを形成
する方法において、露光の結果粘性となる層を該基板上
に供給し、該層をパターンにしたがって露光し、ついで
、該層に粉末粒を与え、粗い粉末粒を除去した後、該層
を少なくとも部分的に第１パターンとオーバラップする
次のパターンにしたがって露光し、その後該層に次の粉
末粒を与え、粗い粉末粒を除去して、基板上に粘着粉末
粒を固着させるようにしたことを特徴とする基板上にパ
ターンを形成する方法。 - 【請求項２】表示装置の面上にパターンを形成するステ
ップを含む表示装置の製造方法において、露光の結果粘
性となる層を該基板面上に供給し、該層をパターンにし
たがって露光し、ついで該層に粉末粒を与え、粗い粉末
粒を除去した後、該層を少なくとも部分的に第１パター
ンとオーバラップする次のパターンにしたがって露光し
、その後該層に次の粉末粒を与え、粗い粉末粒を除去し
て、基板面に粘着粉末粒を固着させるようにしたことを
特徴とする表示装置の製造方法。 - 【請求項３】該基板面を表示ウインドウとしたこと、次
の粉末を蛍光体粒子により形成し、第１粉末をカラー
フィルタ粒子により形成したことを特徴とする請求項
２記載の方法。 - 【請求項４】蛍光体粒子を低エネルギー蛍光体により形
成したことを特徴とする請求項３記載の方法。 - 【請求項５】次の粉末をガラス粒子により形成し、第１
粉末をカラー フィルタ粒子により形成したことを特
徴とする請求項２記載の方法。 - 【請求項６】第１粉末をカラー フィルタ粒子により
形成し、次の粉末を異なる色のカラーフィルタ粒子によ
り形成したことを特徴とする請求項２記載の方法。 - 【請求項７】請求項２ないし６のいずれか１項に記載の
方法により製造した表示装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL9001530 | 1990-07-05 | ||
| NL9001530A NL9001530A (nl) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | Werkwijze voor het vormen van een patroon op een substraat, werkwijze voor het vervaardigen van een beeldweergave-inrichting, beeldweergave-inrichting. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04229927A true JPH04229927A (ja) | 1992-08-19 |
Family
ID=19857365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3187079A Pending JPH04229927A (ja) | 1990-07-05 | 1991-07-02 | 基板上にパターンを形成する方法、表示装置の製造方法および表示装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5391444A (ja) |
| EP (1) | EP0464936B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04229927A (ja) |
| DE (1) | DE69113336T2 (ja) |
| NL (1) | NL9001530A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011049095A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Futaba Corp | 蛍光表示装置及びその製造方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5674554A (en) * | 1996-01-22 | 1997-10-07 | Industrial Technology Research Institute | Method for forming a phosphor layer |
| KR19980036683A (ko) * | 1996-11-19 | 1998-08-05 | 손욱 | 음극선관의 형광막 제조방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3726678A (en) * | 1970-08-24 | 1973-04-10 | Zenith Radio Corp | Method of screening a color picture tube |
| US3695871A (en) * | 1970-11-27 | 1972-10-03 | Howard G Lange | Method of screening a color image reproducing device |
| US4263385A (en) * | 1980-03-06 | 1981-04-21 | Rca Corporation | Method for the manufacture of multi-color microlithographic displays |
| US4407916A (en) * | 1981-03-19 | 1983-10-04 | Hitachi, Ltd. | Process for forming fluorescent screen |
| GB2171529A (en) * | 1985-02-18 | 1986-08-28 | Philips Electronic Associated | Method of manufacturing an adherent pattern of particles of a substance on a substrate method of manufacturing a display screen of a colour display picture tube and a colour display picture tube having a display screen manufactured by the method |
| US5028501A (en) * | 1989-06-14 | 1991-07-02 | Rca Licensing Corp. | Method of manufacturing a luminescent screen assembly using a dry-powdered filming material |
-
1990
- 1990-07-05 NL NL9001530A patent/NL9001530A/nl not_active Application Discontinuation
-
1991
- 1991-06-03 US US07/709,684 patent/US5391444A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-28 DE DE69113336T patent/DE69113336T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-28 EP EP91201666A patent/EP0464936B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-02 JP JP3187079A patent/JPH04229927A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011049095A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Futaba Corp | 蛍光表示装置及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5391444A (en) | 1995-02-21 |
| NL9001530A (nl) | 1992-02-03 |
| DE69113336D1 (de) | 1995-11-02 |
| EP0464936B1 (en) | 1995-09-27 |
| DE69113336T2 (de) | 1996-05-09 |
| EP0464936A1 (en) | 1992-01-08 |
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