JPH04220530A - 質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】発明は質量流量計に係り、特にコ
リオリの力を利用して流体の質量流量を測定する質量流
量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体の流量は流体の種類、物性（密度、
粘度等）、プロセス条件（温度、圧力）によって影響を
受けない質量で表されることが望ましい。

【０００３】流体の質量流量を計測する質量流量計とし
ては、例えば流体の体積流量を計測しこの計測値を質量
流量に換算する所謂間接型質量流量計と、流体の質量流
量を直接計測し間接型質量流量計より高精度に計測でき
る直接型質量流量計がある。この直接型質量流量計とし
ては振動するセンサチューブ内に流体を流し、この時に
生ずるコリオリの力を利用して質量流量を直接計測する
ものがある。

【０００４】この種のコリオリ式の質量流量計において
は、例えば特開昭　５４−４１６８号公報に記載されて
いる如く、一対の略Ｕ字状のセンサチューブに流体を流
し、この一対のセンサチューブを互いに近接、離間する
方向に振動させる。コリオリの力は各センサチューブの
振動方向に働き、かつその入口側と出口側とで逆向きで
あるのでセンサチューブに捩れが生じ、この捩れ角は質
量流量に比例する。

【０００５】従って、一対のセンサチューブの入口側及
び出口側夫々の捩れる位置にその捩れに基づくセンサチ
ューブの変位を検出するセンサを設け、両センサの出力
検出信号の時間差を計測して上記センサチューブの捩れ
、即ち、質量流量を測定している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のコ
リオリ式の質量流量計においては、一対のセンサチュー
を位相をずらして共振状態とし、しかもこれらのセンサ
チューブ間の相対振幅が一定となるようにセンサチュー
ブを加振している。

【０００７】しかるに、一対のセンサチューブの一方が
詰まったりあるいは破損したりして流体が漏れる等の異
常が生じ一方のセンサチューブが正常に振動しなくなる
と、他方のセンサチューブは振幅が正常時の２倍となる
ように加振されて異常振動となってしまう。この異常振
動はセンサチューブの破損等を引き起こし問題となって
いた。

【０００８】そして、このセンサチューブの破損により
センサチューブを覆うカバー内に被測流体が溜り、カバ
ー内の内圧が高まってカバーが破裂すると、被測定流体
が飛散し被測定流体が危険物であった場合には危険な状
態となるおそれがあった。

【０００９】そこで、本発明は上記課題に鑑みてなされ
たもので、センサチューブに異常が発生したときセンサ
チューブに流体を流さない質量流量計を提供することを
目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、流入口から流
入した被測流体が流れる流路を有するマニホールドと、
該マニホールドの流路に接続されたセンサチューブと、
を有し、該センサチューブを振動させ流量に比例したコ
リオリ力による該センサチューブの変位を測定する質量
流量計において、前記マニホールドの流路より分岐する
バイパス管路と、該バイパス管路と前記マニホールドの
流路との分岐点に設けられ被測流体の流れ方向を前記セ
ンサチューブ又は前記バイパス管路のいずれかへ切換え
る切換弁と、を備えてなる。

【００１１】又、本発明は、流入口から流入した被測流
体が流れる流路を有するマニホールドと、該マニホール
ドの流路に接続されたセンサチューブと、を有し、該セ
ンサチューブを振動させ流量に比例したコリオリ力によ
る該センサチューブの変位を測定する質量流量計におい
て、前記マニホールドの流路に開閉弁を設け、前記セン
サチューブで異常が発生したとき、前記開閉弁を閉弁し
て前記マニホールドの流路を遮断しうる。

【００１２】

【作用】センサチューブで異常が発生し、正確な流量計
測ができず、あるいは流体漏れが生じたとき、マニホー
ルドに設けられた切換弁を切換える。これにより、流入
口から流入した流体は、切換弁を介してバイパス管路に
流れ、センサチューブを通過せずに下流側に供給される
。

【００１３】又、マニホールド内に開閉弁を設けて、セ
ンサチューブで異常が発生したとき、開閉弁を閉じるこ
とにより誤計測及びセンサチューブからの漏れが防止さ
れる。

【００１４】

【実施例】図１乃至図３に本発明になる質量流量計の第
１実施例を示す。尚、図１は質量流量計の構成をわかり
やすくするため模式的に表してある。

【００１５】各図中、質量流量計１０は一対のセンサチ
ューブ１１，１２がマニホールド１３に取付けられてい
る。マニホールド１３は流入管１４と流出管１５との間
に設けられ、流入管１４に接続された流入路１３ａと流
出管１５に接続された流出路１３ｂとを有する。

【００１６】なお、流入路１３ａは左右に分岐するマニ
ホールド１３の接続口１３ａ１　と１３ａ２　に連通し
ている。流出路１３ｂも流入路１３ａと同様に、マニホ
ールド１３の分岐した接続口１３ｂ１　と１３ｂ２　に
連通している。

【００１７】又、一対のセンサチューブ１１，１２は図
１においては簡略したＵ字状となっているが、実際には
図２に示す如く、上方から見るとＵ字状チューブの先端
を折り返すように曲げたＪ字状に形成されている。

【００１８】一方のセンサチューブ１１は、流入路１３
ａの接続口１３ａ１に接続され、配管方向に延在する直
管部１１ａと、流出路１３ｂの接続口１３ｂ１　に接続
され配管方向に延在する直管部１１ｂと直管部１１ａ，
１１ｂの先端でおり返すように曲げられた曲部１１ｃと
１１ｄとを接続するＵ字状の接続部１１ｅとからなる。

【００１９】他方のセンサチューブ１２は、上記センサ
チューブ１１と同一形状に形成され、直管部１２ａ，１
２ｂが直管部１１ａ，１１ｂと平行となるようにセンサ
チューブ１１と左右対称に設置されている。なお、セン
サチューブ１１，１２の接続部１１ｅ，１２ｅは流出管
１５の周囲に遊嵌するリング１６ｃに固定されたブラケ
ット１６ａ，１６ｂに支持されている。

【００２０】一対のセンサチューブ１１，１２の直管部
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂは支持板１７を貫通し
、支持板１７に溶接で固定されるとともに、その端部は
マニホールド１３の各接続口１３ａ１　，１３ａ２　，
１３ｂ１　，１３ｂ２　に接続固定されている。

【００２１】又、マニホールド１３には流入口１４ａと
接続口１３ａ１　，１３ａ２　とを連通する流路１３ｃ
が設けられている。この流路１３ｃの途中には電磁弁よ
りなる切換弁２６が組込まれており、比較的コンパクト
な構成となっている。

【００２２】切換弁２６は、ボール弁構造の弁体２６ａ
と、弁本体２６ｂとよりなり、弁本体２６ｂには流路１
３ｃに連通する主ポート２６ｃと、マニホールド１３に
設けられたバイパス流路１３ｄに連通する副ポート２６
ｄとが穿設されている。

【００２３】弁体２６ａは内部に円弧状に湾曲した孔２
６ｅを有し、通常、孔２６ｅが流入口１４ａと流路１３
ｃとを連通する位置にあり、後述する異常発生時は９０
度反時計方向に回動し、流入口１４ａとバイパス流路１
３ｄとを連通する。

【００２４】２７はバイパス管で、一端がマニホールド
１３のバイパス流路１３ｄに接続されている。

【００２５】２８はシャトル弁で、流出管１５とバイパ
ス管２７の他端との間に設けられ、流出口２９と連通す
る。

【００２６】このシャトル弁２８は流出管１５、バイパ
ス管２７、流出口２９より大径なボール状の弁体２８ａ
と、弁体２８ａが摺動する筒状の弁本体２８ｂとよりな
る。通常、流体はセンサチューブ１１，１２を通過して
流出管１５を流れるため、シャトル弁２８の弁体２８ａ
は、バイパス管２７を閉塞して流出管１５と流出口２９
とを連通する。

【００２７】しかるに、後述する異常発生時は、流体が
バイパス管２７を流れるため、弁体２８ａは流出管１５
を閉塞してバイパス管２７と流出口２９とを連通する。

【００２８】図２に示すように、流入側の直管部１１ａ
と１２ａとの間、および流出側の直管部１１ｂと１２ｂ
との間には、ピックアップ１８，１９が設けられている
。ピックアップ１８，１９は検出コイルが一方の直管部
１２ａ，１２ｂに固定され、検出コイルに介装するマグ
ネットが他方の直管部１１ａ，１１ｂに固定されている
。

【００２９】２０，２１は加振器（励振手段）で、直管
部１１ａと１１ｂとの先端間、直管部１２ａと１２ｂと
の先端間に設けられている。

【００３０】ここで、加振器２０，２１による加振の方
法について説明する。加振器２０，２１は電磁ソレノイ
ドと同じ構造なので、図３に示すコイル部２０ａ，２１
ａに通電されると、コイル部２０ａ，２１ａとマグネッ
ト部の間には吸引または反発力が発生する。センサチュ
ーブ１１の固有振動数でコイル部への電流を変化させれ
ば、センサチューブ１１の直管部１１ａと１１ｂは音叉
のように対向して振動し、支持板１７とセンサチューブ
１１との接続された部分が振動の節となる。

【００３１】また、センサチューブ１２の固有振動数で
コイル部の電流を変化させれば、センサチューブ１２の
直管部１２ａと１２ｂとは音叉のように対向して振動し
、支持板１７とセンサチューブ１２との接続された部分
が振動の節となる。尚、この時、センサチューブ１１と
センサチューブ１２は近接、離間が夫々逆となるように
交互に振動せしめられ、センサチューブ１１，１２間に
相対的な振幅が生じる。

【００３２】ピックアップ１８と１９は、直管部１１ａ
，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの振動を、磁界中に置かれた
検出コイルの速度変化として測定している。

【００３３】そこで、このピックアップ１８と１９の信
号から直管部１１ａ，１１ｂ，１２，１２ｂの相対振幅
が一定となるように、コイル部２０ａ，２１ａへの電流
を求めて供給すれば、センサチューブ１１，１２を最小
電流で振動させることができる。

【００３４】センサチューブ１１，１２内を流体が流れ
ると流体の流れと振動の作用によりコリオリ力が発生す
る。このコリオリ力の方向は流体の運動方向とセンサチ
ューブ１１，１２を励振する振動方向（角速度）のベク
トル積の方向で、コリオリ力の大きさはセンサチューブ
１１，１２を流れる流体の質量とその速度に比例する。

【００３５】流入側の直管部１１ａ，１２ａでは、その
先端にいくほど振幅が大きくなるので流体には振動方向
の加速度が与えられ、流出側の直管部１１ｂ，１２ｂで
は、マニホールド１３側に戻るほど振幅が減るので負の
加速度が与えられる。

【００３６】このことにより、流入側の直管部１１ａ，
１２ａでは振動を押さえるようにコリオリ力が働き、流
出側の直管部１１ｂ，１２ｂでは振動を加速するように
コリオリ力が働く。

【００３７】このコリオリ力の大きさはセンサチューブ
１１，１２に流れた流体の質量流量に比例するから、流
入側に取付けた振動センサであるピックアップ１８と流
出側に取付けた振動センサであるピックアップ１９の出
力信号は質量流量に比例してある時間差τ（位相差）を
生じる。そしてこの時間差を測定すれば質量流量を求め
ることができる。

【００３８】図３において、加振器２０，２１のコイル
部２０ａ，２１ａは直列に接続されドライブ回路８より
電流が供給される。ドライブ回路８はピックアップ１８
，１９によりセンサチューブ１１，１２の振動を検出し
て、その最大の振幅が一定値になるような電流をコイル
部２０ａ，２１ａに供給する。

【００３９】図３にセンサチューブ１１，１２の異常発
生を検出するセンサチューブ異常検出回路３９を示す。 図３中、第１の絶対値回路３１はコイル部２０ａとドラ
イブ回路３８との接続点の電圧を検出しており、その電
圧の最大値又は平均値を出力する。第２の絶対値回路３
２はコイル部２０ａとコイル部２１ａとの接続点の電圧
を検出して、その電圧の最大値又は平均値を出力する。

【００４０】また、温度検出回路３５は被測流体の温度
によって変化する加振器２０，２１のコイル部２０ａま
たは２１ａの温度を温度センサ３５ａで検出し、温度セ
ンサ３５ａの電流信号を変換回路３５ｂが電圧信号に変
える。この信号は上記温度に比例した信号となっている
。この信号は第１及び第２の比率設定回路３６，３７に
される。

【００４１】第１の絶対値回路３１の出力検出電圧は第
１及び第２の比率設定回路３６，３７に供給される。第
１の比率設定回路３６は第１の絶対値回路３１からの出
力信号と、温度検出回路３５からの出力信号から計算さ
れたある係数を掛け合わせて出力電圧を求める。この係
数は、後述するように温度が０℃の時５２％で、温度が
２００℃の時約５１％と温度が上昇するにつれて５０％
に近づく傾向の数字である。

【００４２】第２の比率設定回路３７は第１の比率設定
回路３６と同様に、第１の絶対値回路３１からの出力信
号と、温度検出回路３５からの出力信号から計算された
ある係数を掛け合わせて出力電圧を求める。この係数は
温度が０℃の時４８％で、温度が　２００℃の時約４９
％と温度が上昇するにつれて５０％に近づく傾向になる
。

【００４３】第１の比率設定回路３６の出力電圧はウイ
ンドコンパレータ３４の上限を設定する端子に入力され
、第２の比率設定回路３７の出力電圧はウインドコンパ
レータ３４の下限を設定する端子に入力される。また、
ウインドコンパレータ３４の入力端子には第２の絶対値
回路３２の出力検出電圧が入力される。

【００４４】ウインドコンパレータ３４は入力電圧レベ
ルが予め設定された上限レベルと下限レベルの間にある
ときはハイレベル信号を出力し、下限レベル以下、又は
上限レベル以上のときはローレベル信号を出力する。ウ
インドコンパレータ３４の出力は制御回路４０に供給さ
れ、制御回路４０に接続された警告装置２５はウインド
コンパレータ３４の出力に応じてセンサチューブ１１，
１２の異常を外部へ発する。

【００４５】又、制御回路４０には上記切換弁２６の駆
動コイル（図示せず）が接続されており、切換弁２６は
ウインドコンパレータ３４からの出力に応じて切換えら
れる。

【００４６】次に、上記センサチューブ異常検出回路３
９の動作について説明する。まず、正常な状態ではセン
サチューブ１１，１２の振幅はともにほぼ同じになって
おり、センサチューブ１１，１２、ピックアップ１８，
１９、ドライブ回路３８、加振器２０，２１から構成さ
れるループによりセンサチューブ１１，１２の接続部分
のバネ定数により決まる固有振動数で共振している。

【００４７】ここで、第１の絶対値回路３１、及び第２
の絶対値回路３２の入力を考える。コイル部２０ａ，２
１ａの夫々の両端には、コイル部２０ａ，２１ａとマグ
ネット部が相対的に運動しているため、レンツの法則に
より誘導起電力が発生している。この誘導起電力はコイ
ル部２０ａ，２１ａとマグネット部の相対速度に比例す
るので、加振器２０の振幅と加振器２１の振幅が同じで
あればほぼ等しい誘導起電力が発生する。

【００４８】従って、コイル部２０ａ，２１ａの両端の
電圧は、コイル部２０ａ，２１ａの抵抗値と流された電
流から決まる電圧降下分と、コイルとマグネットの相対
速度で発生した上記誘導起電力とを合計したものになる
。

【００４９】そして、コイル部２０ａ，２１ａの抵抗値
が等しく、相対速度が等しい正常状態においてはコイル
部２０ａ，２１ａの両端の電圧が等しくなるので、第１
の絶対値回路３１には第２の絶対値回路３２の入力のち
ょうど２倍の電圧が入力される。そのため、ウインドコ
ンパレータ４の入力は第１の絶対値回路３１の出力検出
電圧の５０％の電圧となる。

【００５０】ここで上述したようにウインドコンパレー
タ４の上限値は第１の絶対値回路３１の出力検出電圧の
５０％を越えた値であり、下限値は５０％を下回った値
である。このため、ウインドコンパレータ４の出力はハ
イレベルとなる。このようにセンサチューブ１１，１２
が正常な場合はウインドコンパレータ４からハイレベル
の出力が得られる。

【００５１】ここで、センサチューブ１１，１２が損傷
したり、あるいはどちらか一方のセンサチューブ１１ま
たは１２に気泡が滞留したり、内部に固形物が沈澱して
固有振動数が変わり、いづれか一方のセンサチューブ１
１または１２の振動が停止または振幅が減少してしまう
異常な状態を考える。

【００５２】この場合、ドライブ回路３８はセンサチュ
ーブ１１，１２の相対的な振幅を一定にするようにコイ
ル部２０ａ，２１ａへの電流を増大させるから、振動が
停止していない方のセンサチューブ１１または１２の振
幅が正常時の２倍となる。一方、コイル部２０ａ，２１
ａにはセンサチューブ１１，１２の振動によってマグネ
ット部２０ｂ，２１ｂとが近接、離間しているので、レ
ンツの法則によって誘導起電力が発生している。

【００５３】その大きさは相対的な運動に比例するので
、停止した方のセンサチューブの加振器２０または２１
のコイル部２０ａまたは２１ａには誘導起電力が発生し
なくなる。逆に振動しているセンサチューブの加振器２
０または２１のコイル部２０ａまたは２１ａには誘導起
電力が２倍発生する。

【００５４】この状態では、コイル部２０ａ，２１ａの
抵抗分による夫々の電圧降下は等しいままであるものの
、上記の如く誘導起電力に大きな差が現れるため、コイ
ル部２０ａ，２１ａの両端の電圧は均等が崩れる。

【００５５】従って、上述したように第１の絶対値回路
３１には第２の絶対値回路３２のちょうど２倍の電圧が
入力されなくなり、第２の絶対値回路２の出力検出電圧
は第１の絶対値回路３１の出力検出電圧により設定され
た上限、下限レベルの範囲内を越えてしまい、ウインド
コンパレータ３４の出力がローレベルとなる。

【００５６】ウインドコンパレータ３４の出力がローレ
ベルとなると、制御回路４０は異常検出信号を出力し警
告装置２５を作動させてセンサチューブ１１，１２の異
常を知らせる。

【００５７】同時に、制御回路４０は、切換弁２６に信
号を出力して弁体２６ａを前述したように切換駆動させ
る。従って、弁体２６ａは図４に示す如く、９０度反時
計方向に回動し、センサチューブ１１，１２に連通する
流路１３ｃと流入口１４ａとの間を遮断するとともに、
弁体２６ａの孔２６ｅが流入口１４ａとバイパス流路１
３ｄとを連通する。

【００５８】そのため、流入口１４ａから流入した流体
はバイパス流路１３ｄ、バイパス管２７、シャトル弁２
８を介して流出口２９に至る。尚、シャトル弁２８の弁
体２８ａはバイパス管２７からの流体に押圧されて流出
管１５の出口側を閉じる。

【００５９】従って、センサチューブ１１，１２におい
て、異常が発生したときは、切換弁２６の上記切換動作
によりセンサチューブ１１，１２への流体供給が自動的
に停止するため、前述したようにセンサチューブ１１，
１２が異常振動して破損してしまうことを防止すること
ができ、又、流体がバイパス管２７を介して下流側へ供
給されるため、流体供給が停止することがなく、下流側
に製造ライン等がある場合、製造ラインが止まってしま
うことを防止できる。

【００６０】図５に本発明の第２実施例を示す。同図中
、マニホールド１３の流路１３ｃには電磁弁よりなる開
閉弁４１が設けられている。開閉弁４１は弁体４１ａと
弁本体４１ｂとよりなり、弁本体４１ｂには流路４１ｃ
が穿設され、弁体４１ａには流入口１４と流路４１ｃを
連通する孔４１ｅが穿設されている。

【００６１】従って、センサチューブ１１，１２で異常
が発生したときは、制御回路４０からの信号により開閉
弁４１は弁体４１ａが閉弁側に駆動され流路１３ｃを遮
断する。これにより、センサチューブ１１，１２への流
体の供給が停止し、液漏れを防止できるとともにセンサ
チューブ１１，１２が破損してしまうことを防止できる
。

【００６２】尚、上記実施例ではコイル部２０ａ，２１
ａで発生した誘導起電力の差に基づいてセンサチューブ
１１，１２の破損等の異常を検出したがこれに限らない
のは勿論である。

【００６３】例えば、センサチューブ１１，１２が破損
して流体が漏れた場合の異常検出を行う手段としては、
ピックアップ１８，１９により検出されたセンサチュー
ブ１１，１２の振幅を監視し、この振幅が所定値以下に
減少したこと（異常）を検出するとともに、センサチュ
ーブ１１，１２を覆うカバーに複数の歪ゲージを取付け
、複数の歪ゲージが流体流出に伴うカバーの変形を検出
したときセンサチューブ１１，１２の異常発生を検出す
る構成を採用しても良い。

【００６４】あるいは、上記歪ゲージの代わりに、セン
サチューブ１１，１２を覆う気密カバー内の圧力，温度
を検出するための圧力センサ、温度センサを使用しても
良い。この場合、センサチューブ１１，１２の振幅に異
常があり、圧力センサ、温度センサのうちいずれか１つ
が異常を検出したときセンサチューブ１１，１２が破損
のおそれありとして異常検出信号が出力されるようにし
てセンサチューブの破損発生のおそれを検出できる。 又、センサチューブ１１，１２の振幅検出、圧力センサ
、温度センサがすべて異常検出したときはセンサチュー
ブ破損の可能性が非常に高いので、その破損を検出する
。

【００６５】又、上記以外のセンサチューブ異常検出手
段としては、例えば本出願人が先に出願した特願平２−
２１８３０８号のように、カバー内をセンサチューブを
収納する収納室と、センサチューブから隔離された別室
とを設け、両室内の圧力差を監視し、収納室の圧力が別
室の基準圧力より所定以上高くなったときセンサチュー
ブの漏れを検出するようにしても良い。

【００６６】又、上記切換弁２６及び開閉弁４１は手動
操作で切換える構成の弁構造を用いても良い。その場合
、作業者は警報装置２５からの警報により切換操作する
。

【００６７】

【発明の効果】上述の如く、本発明になる質量流量計は
、センサチューブが破損する等して液漏れが発生すると
いった異常発生時、マニホールドに設けられた切換弁を
切換えることにより、センサチューブへの流体供給を停
止でき、これによりセンサチューブが異常振動して破損
することを防止できる。又、センサチューブからのもれ
を防止することができ、安全性が高められるとともに、
センサチューブで異常発生しているにも拘わらず下流側
に流体を供給し、例えば下流側の製造ラインが止まらな
いようにすることができる。

【００６８】又、マニホールドに流路を開閉する開閉弁
を設けることにより、センサチューブ異常発生したとき
、確実にセンサチューブへの流体供給を停止して、セン
サチューブの破損による漏れを防止できる等の特長を有
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる質量流量計の第１実施例の原理を
説明するための原理図である。

【図２】質量流量計の外観を示す斜視図である。

【図３】センサチューブ異常検出回路を説明するための
ブロック図である。

【図４】異常発生時の動作を説明するための図である。

【図５】本発明の第２実施例の原理図である。

【符号の説明】

１０　　質量流量計 １１，１２　　センサチューブ １３　　マニホールド １４　　流入管 １５　　流出管 １８，１９　　ピックアップ ２０，２１　　加振器 ２５　　警告装置 ２６　　切換弁 ２７　　バイパス管 ３３　　閾値設定回路 ３４　　ウインドコンパレータ ３５　　温度検出回路 ３９　　センサチューブ異常検出回路 ４０　　制御回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　流入口から流入した被測流体が流れる
   流路を有するマニホールドと、該マニホールドの流路に
   接続されたセンサチューブと、を有し、該センサチュー
   ブを振動させ流量に比例したコリオリ力による該センサ
   チューブの変位を測定する質量流量計において、前記マ
   ニホールドの流路より分岐するバイパス管路と、該バイ
   パス管路と前記マニホールドの流路との分岐点に設けら
   れ被測流体の流れ方向を前記センサチューブ又は前記バ
   イパス管路のいずれかへ切換える切換弁と、を備えたこ
   とを特徴とする質量流量計。
2. 【請求項２】　　流入口から流入した被測流体が流れる
   流路を有するマニホールドと、該マニホールドの流路に
   接続されたセンサチューブと、を有し、該センサチュー
   ブを振動させ流量に比例したコリオリ力による該センサ
   チューブの変位を測定する質量流量計において、前記マ
   ニホールドの流路に開閉弁を設け、前記センサチューブ
   で異常が発生したとき、前記開閉弁を閉弁して前記マニ
   ホールドの流路を遮断しうるようにしたことを特徴とす
   る質量流量計。