JPH0421028Y2

JPH0421028Y2 -

Info

Publication number: JPH0421028Y2
Application number: JP6289586U
Authority: JP
Priority date: 1986-04-25
Filing date: 1986-04-25
Publication date: 1992-05-13
Also published as: JPS62175275U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、目標とする真空度に急速に到達させ
ることができる、真空引き装置に関するものであ
る。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a vacuum evacuation device that can rapidly reach a target degree of vacuum.

（従来の技術）被真空機器（真空とすべき機器）を真空にする
ためには、これに真空ポンプを接続し、この真空
ポンプの作動でエアを徐々に吸引することにな
る。第２図はこれのもつとも簡単な回路を示すも
ので、真空ポンプ１を、中間にホース２とバルブ
３とを直列接続したパイプ４によりガン５に接続
したものである。ガン５は、図示しない被真空機
器（たとえば自動車サービスブレーキの配管）に
接続されることになる。(Prior Art) In order to evacuate equipment to be evacuated (equipment to be evacuated), a vacuum pump is connected to the equipment, and air is gradually sucked in by the operation of the vacuum pump. FIG. 2 shows a very simple circuit, in which a vacuum pump 1 is connected to a gun 5 through a pipe 4 with a hose 2 and a valve 3 connected in series. The gun 5 will be connected to a device to be vacuumed (not shown) (for example, piping for an automobile service brake).

この装置にあつては、真空ポンプ１を作動さ
せ、被真空機器内のエアを大気圧の状態から真空
引きするため、目標とする真空度に到達するため
に多くの時間を要する問題がある（第４図の曲線
参照）。到達真空度が同じ真空ポンプであれば、
真空ポンプを排気速度の大きなものにすることに
よつてこの問題はある程度解決することができる
が、このようにすると、真空ポンプ自体が非常に
大きなものとなつてしまい、設置スペースや取付
作業等に問題がでてくる。 This device operates the vacuum pump 1 to evacuate the air inside the equipment to be vacuumed from atmospheric pressure, so there is a problem that it takes a long time to reach the target degree of vacuum ( (see curve in Figure 4). If the vacuum pumps have the same ultimate vacuum,
This problem can be solved to some extent by using a vacuum pump with a high pumping speed, but this will result in the vacuum pump itself becoming extremely large, which will take up a lot of space and installation work. A problem arises.

そこで第３図に示すように、第２図に示したも
ののパイプ４の途中に、真空ポンプ１とは作動圧
力の異なる真空ポンプ（メカニカルブースタポン
プ）６と真空タンク７とを直列に接続したものが
案出されている。この装置では排気速度の大きい
ものを比較的小型に得られることになる。しかし
ながらこの装置でも、最初は真空タンク７の容量
で急速な排気ができるものの（第４図の曲線参
照）、真空タンク４の真空度が低下してくると、
真空ポンプ１，６は、真空タンク７と、ガン５に
接続された被真空機器（図示せず）とを同時に排
気しなければならず、このために排気速度が低下
して、目標の真空度に達するまでに時間がかかつ
てしまうことになる問題がある。 Therefore, as shown in Fig. 3, a vacuum pump (mechanical booster pump) 6 and a vacuum tank 7, which have a different operating pressure from the vacuum pump 1, are connected in series in the middle of the pipe 4 of the one shown in Fig. 2. has been devised. With this device, a device with a high pumping speed can be obtained in a relatively small size. However, even with this device, although the capacity of the vacuum tank 7 allows rapid evacuation at first (see the curve in Figure 4), as the degree of vacuum in the vacuum tank 4 decreases,
The vacuum pumps 1 and 6 must simultaneously evacuate the vacuum tank 7 and the vacuum equipment (not shown) connected to the gun 5, which reduces the pumping speed and reduces the target vacuum level. The problem is that it takes a long time to reach this point.

本考案はこの問題を解決することを目的として
成されたものであり、第３の真空ポンプと複数個
のバルブ、およびバルブの開閉制御をする制御装
置とを設けて、大気圧から目標とする真空度まで
は急速に排気し、さらに高真空度までも排気でき
る真空引き装置を提供することを目的とする。 The present invention was developed with the aim of solving this problem, and it is equipped with a third vacuum pump, a plurality of valves, and a control device that controls the opening and closing of the valves to obtain a target from atmospheric pressure. It is an object of the present invention to provide a vacuum evacuation device capable of rapidly evacuating up to a vacuum level and further evacuating to a high vacuum level.

（問題点を解決するための手段）本考案は上記問題点を解決するための手段とし
て、大気圧から真空引きが可能な第１の真空ポン
プと、該第１の真空ポンプより高い真空度から真
空引きが可能な第２の真空ポンプとを直列に接続
し、該第２の真空ポンプの吸入口側と被真空機器
に接続されたバルブとの間に、入口側と出口側に
それぞれバルブを接続した真空タンクと、吸入口
側と排出口側とにそれぞれバルブを接続した、前
記第１、第２の真空ポンプより真空引き能力の高
い第３の真空ポンプの回路を並列にして接続する
と共に、前記各バルブを、その開閉を制御する制
御装置に接続したものである。(Means for Solving the Problems) As a means for solving the above problems, the present invention provides a first vacuum pump that can draw a vacuum from atmospheric pressure, and a vacuum pump that can draw a vacuum from a higher degree of vacuum than the first vacuum pump. A second vacuum pump capable of evacuation is connected in series, and valves are provided on the inlet side and the outlet side between the inlet side of the second vacuum pump and the valve connected to the device to be vacuumed. The connected vacuum tank is connected in parallel with the circuit of a third vacuum pump having a higher vacuum pulling capacity than the first and second vacuum pumps, each having a valve connected to the suction port side and the discharge port side, and , each of the valves is connected to a control device that controls opening and closing thereof.

（作用）このような構成とすれば、制御装置によつて複
数個のバルブを適宜切換えることにより、被真空
機器内の排気を急速に、高真空度にできることに
なる。(Function) With such a configuration, by appropriately switching a plurality of valves using the control device, the vacuum target equipment can be rapidly evacuated to a high degree of vacuum.

（実施例）次に、本考案の一実施例を第１図につき、第２
図および第３図と同一の部材には同一の符号を付
して説明する。本考案の回路では、大気圧から真
空引きが可能な第１の真空ポンプ１に、この真空
ポンプ１より高い真空度から真空引きが可能な第
２の真空ポンプ８とが直列に接続されている。
９，１０はこれら真空ポンプ１，８を駆動するモ
ータである。第２の真空ポンプ８の吸入口側とホ
ース２との間には、バルブ１１，１２を入口側と
出口側にそれぞれ接続した真空タンク１３と、バ
ルブ１４，１５を吸入口側と排出口側にそれぞれ
接続した第３の真空ポンプ１６の回路が並列にし
て接続されている。(Example) Next, an example of the present invention will be described with reference to FIG.
The same members as those in the figures and FIG. 3 will be described with the same reference numerals. In the circuit of the present invention, a first vacuum pump 1 that can draw a vacuum from atmospheric pressure is connected in series with a second vacuum pump 8 that can draw a vacuum from a higher degree of vacuum than the vacuum pump 1. .
Reference numerals 9 and 10 are motors that drive these vacuum pumps 1 and 8. Between the suction side of the second vacuum pump 8 and the hose 2, there is a vacuum tank 13 with valves 11 and 12 connected to the inlet side and outlet side, respectively, and a vacuum tank 13 with valves 14 and 15 connected to the suction side and the outlet side. The circuits of the third vacuum pumps 16 connected to the three vacuum pumps are connected in parallel.

第３の真空ポンプ１６は、第１、第２の真空ポ
ンプ１，８より真空引き能力の高いもので、第１
の真空ポンプ１が大気圧から真空引きをするもの
であり、第２の真空ポンプ８がこれより真空度が
高い真空度10Torr付近から真空引きを行うメカ
ニカルブースタポンプであるのに対し、真空度
0.3Torr付近から真空引きが行える油エゼクタポ
ンプ（油を熱してポンプ作用をさせるもの）であ
る。バルブ３，１１，１２，１４，１５は、いず
れもオン、オフ２位置動作をする電磁弁であり、
第２の真空ポンプ８の吸入口側の位置に取付けら
れた真空度センサ（以下、センサという）１７か
らの信号を受けて作動する制御装置１８からの指
令で作動するものである。 The third vacuum pump 16 has a higher evacuation capacity than the first and second vacuum pumps 1 and 8.
The second vacuum pump 1 is a mechanical booster pump that draws a vacuum from atmospheric pressure, and the second vacuum pump 8 is a mechanical booster pump that draws a vacuum from a higher degree of vacuum around 10 Torr.
This is an oil ejector pump (heats oil to perform pumping action) that can draw a vacuum from around 0.3 Torr. The valves 3, 11, 12, 14, and 15 are all solenoid valves that operate in two positions, on and off.
It operates in response to a command from a control device 18 which operates in response to a signal from a vacuum sensor (hereinafter referred to as sensor) 17 attached to the suction port side of the second vacuum pump 8.

このように構成されたこの真空引き装置の作動
を、ガン５に、被真空機器として自動車サービス
ブレーキのマスタシリンダ１９を接続した場合に
ついて説明する。まず、５個のバルブのうち、バ
ルブ１５のみを開いておき、他は閉じておく。次
に第１の真空ポンプ１を作動させる。これによ
り、バルブ１２の出口側までと第３のポンプ１６
の排出口側までのエアが引かれる。真空度はセン
サ１７に作用するので、このセンサ１７の作動領
域まで真空度が上ると、センサ１７が制御装置１
８に信号を発し、制御装置１８は自動的に第２、
第３の真空ポンプ８，１６を作動させる。このと
きセンサ１７に表われる真空度はＡが10Torr、
Ｂが0.3Torrとする。このような順序で３台の真
空ポンプ１，８，１６が作動を開始したら、次に
真空タンク１３内の真空引きに移る。 The operation of this vacuum evacuation device constructed in this way will be described in the case where the master cylinder 19 of an automobile service brake is connected to the gun 5 as the device to be vacuumed. First, among the five valves, only valve 15 is opened and the others are closed. Next, the first vacuum pump 1 is activated. This allows the valve 12 to reach the outlet side and the third pump 16
Air is drawn to the outlet side. The degree of vacuum acts on the sensor 17, so when the degree of vacuum rises to the operating area of this sensor 17, the sensor 17 acts on the control device 1.
8, the controller 18 automatically switches the second,
The third vacuum pumps 8 and 16 are activated. At this time, the degree of vacuum that appears on the sensor 17 is A of 10 Torr.
Assume that B is 0.3 Torr. After the three vacuum pumps 1, 8, and 16 start operating in this order, the vacuum tank 13 is next evacuated.

これは、先ずバルブ１５を閉じ、真空タンク１
３内のエアが第３の真空ポンプ１６側に回り込ま
ないようにする。そののちバルブ１２，１１を開
いて、第１、第２の真空ポンプ１，８により、真
空タンク１３内の掃引を行う。このようにして真
空度が前述のＡ値からＢ値に達した時、バルブ１
５を再度開く。これでこの真空引き装置は、バル
ブ３の出口側のところまでが高真空状態になつて
いる。次にガン５をマスタシリンダ１９に結合す
る。 This is done by first closing the valve 15 and then closing the vacuum tank 1.
Air in the vacuum pump 3 is prevented from going around to the third vacuum pump 16 side. Thereafter, the valves 12 and 11 are opened, and the inside of the vacuum tank 13 is swept by the first and second vacuum pumps 1 and 8. In this way, when the degree of vacuum reaches the above-mentioned value A to value B, valve 1
Reopen 5. This vacuum device is now in a high vacuum state up to the outlet side of the valve 3. Gun 5 is then coupled to master cylinder 19.

ガン５をマスタシリンダ１９に結合したらバル
ブ１２を閉じると同時にバルブ３を開き、サービ
スブレーキ配管内のエアを真空タンク１３の容積
を利用してこの中に急速に掃引（粗引き）するエ
アの流れを作る。その後（２〜５秒経過後）バル
ブ１４を開き、エアの流れを第３の真空ポンプ１
６の回路の方に切換えると同時にバルブ１１を閉
じて真空タンク１３の回路を閉じる。 When the gun 5 is connected to the master cylinder 19, the valve 3 is opened at the same time as the valve 12 is closed, and the air flow in the service brake piping is rapidly swept into the vacuum tank 13 by using the volume of the vacuum tank 13. make. Then (after 2 to 5 seconds) open the valve 14 and direct the air flow to the third vacuum pump 1.
At the same time as switching to the circuit No. 6, the valve 11 is closed and the circuit of the vacuum tank 13 is closed.

その後は３台の真空ポンプ１，８，１６を作動
継続させることにより、サービスブレーキ配管内
のエアを急速に掃引することができる。真空タン
ク１３内に溜つたエアは、サービスブレーキ配管
内エアの掃引が終り次第、バルブ３，１５，１４
を閉じたのち、バルブ１２を開いて大気中に排出
する。５個のバルブ３，１１，１２，１４，１５
の作動タイミングは、第４図に示してある。作動
開始時期からバルブ１４が開く時までの時間T₁
と、このバルブ１４が開いた時からバルブ１１，
１２が閉じる時までの時間T₂と真空度との関
係（第４図Ａ位置での真空値）も第４図からわか
る。 Thereafter, by continuing to operate the three vacuum pumps 1, 8, and 16, the air in the service brake piping can be rapidly swept. The air accumulated in the vacuum tank 13 is removed from the valves 3, 15, 14 as soon as the air in the service brake piping is swept.
After closing, the valve 12 is opened to discharge the gas into the atmosphere. 5 valves 3, 11, 12, 14, 15
The operating timing of is shown in FIG. Time from the start of operation to the time when the valve 14 opens T ₁
Then, from the time this valve 14 opened, the valve 11,
The relationship between the time _T2 until 12 closes and the degree of vacuum (vacuum value at position A in FIG. 4) can also be seen from FIG.

第２、第３の真空ポンプ８，１６の作動領域は
大気圧からではないが、運転し始めるとこの領域
より真空度がおちることはないので、常に作動継
続の状態になる。これはサービスブレーキの配管
容量が300c.c.程度であるのに対し、真空引き装置
側の容量が大きいためである。真空タンク１３内
に溜つたエアは、サービスブレーキ配管内のエア
抜きが完了し、バルブ３，１４が閉じたのち、バ
ルブ１２，１１を開いて排気し、真空タンク１３
内のエアを排気して、次の準備にかかる。 The operating range of the second and third vacuum pumps 8 and 16 is not atmospheric pressure, but once they start operating, the degree of vacuum never drops below this range, so they are always in continuous operation. This is because the service brake piping capacity is approximately 300 c.c., whereas the vacuum device side has a large capacity. The air accumulated in the vacuum tank 13 is discharged by opening the valves 12 and 11 after the air in the service brake piping is completely removed and the valves 3 and 14 are closed.
Exhaust the air and prepare for the next step.

（考案の効果）本考案は以上説明した構成のものであり、また
説明したようにバルブを制御して使用するもので
あるから、排気速度を高めた装置としては全体を
小型のものとすることができる。そしてバルブ制
御により最初に掃引したエアを真空タンクの内部
に溜め、このときのエアの流れを止めることなく
３台の真空ポンプで被真空機器内のエアを排気す
るので、掃引が急速に行えることになる。(Effects of the invention) Since the invention has the configuration described above and is used by controlling the valve as explained, the entire device can be made small as a device that increases the pumping speed. I can do it. Then, the first swept air is stored inside the vacuum tank by valve control, and the air inside the vacuumed equipment is evacuated by three vacuum pumps without stopping the air flow, making it possible to sweep quickly. become.

[Brief explanation of the drawing]

第１図は本考案の一実施例の系統図、第２図お
よび第３図は従来例の系統図、第４図は本考案に
係る装置と従来装置の作動特性および本考案装置
のバルブ開閉タイミングを示した特性図である。１，８，１６……真空ポンプ、３，１１，１
２，１４，１５……バルブ、５……ガン、１３…
…真空タンク、１７……センサ、１８……制御装
置。 Fig. 1 is a system diagram of an embodiment of the present invention, Figs. 2 and 3 are system diagrams of a conventional example, and Fig. 4 shows the operating characteristics of the device according to the present invention and the conventional device, and the valve opening and closing of the device of the present invention. FIG. 3 is a characteristic diagram showing timing. 1, 8, 16...vacuum pump, 3, 11, 1
2, 14, 15...Valve, 5...Gun, 13...
...Vacuum tank, 17...Sensor, 18...Control device.

Claims

[Scope of utility model registration request]

A first vacuum pump capable of evacuation from atmospheric pressure and a second vacuum pump capable of evacuation from a higher degree of vacuum than the first vacuum pump are connected in series, and the second vacuum pump A vacuum tank having a valve connected to the inlet side and an outlet side, respectively, and a vacuum tank having a valve connected to the inlet side and the outlet side, respectively, between the inlet side and the valve connected to the vacuum target equipment, A vacuum evacuation device, characterized in that a circuit of a third vacuum pump having a higher evacuation capacity than the second vacuum pump is connected in parallel, and each of the valves is connected to a control device that controls opening and closing of the valves. .