JPH0420491Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 この考案は、例えば半導体や電子機器、或いは
ダイキヤスト部品等のワーク洗浄に使用した洗浄
液（フロン液）の過に利用される洗浄液過装
置に関する。

(ロ) 従来の技術 従来、上述の洗浄液過装置としては、例え
ば、洗浄槽内でのワーク洗浄に使用された洗浄液
を、この洗浄槽底部に回収路を介して接続された
液回収用ポンプで吸出し、この回収路の途中に介
設したフイルタを通過させて洗浄液中の切粉やバ
リ等の不純物を過し、この過した洗浄液のみ
を洗浄槽にリターンさせる洗浄液過装置があ
る。

(ハ) 考案が解決しようとする問題点 しかし、上述のように構成された洗浄液過装
置は、洗浄時に発生する切粉やバリ等の不純物が
回収路に介設したフイルタの表面に付着し、この
不純物の粒子量が多いため短時間及び短時間でフ
イルタに目詰り現象が起き、フイルタの過能力
及び洗浄液の流動量が低下するので、早期にフイ
ルタを交換又は付着した不純物を除去して過能
力の回復を図らねばならず、この間、ワークの洗
浄作業が休止され、洗浄装置の処理能力が損なわ
れるという問題を有している。

また、洗浄液よりも比重の重い金属製の不純物
は槽底部に沈澱するので、沈澱した不純物を吸出
すためには、高い吸引力を有する大型の液回収用
ポンプが必要であり、過設備がコストアツプと
なる問題点も有している。

この考案は、洗浄槽底部に沈澱した不純物を液
噴射ノズルより噴出される噴流で回収槽に移送す
る特異な構成とすることで、流量を一定に保つこ
とができるので不純物によるフイルタの目詰りを
防止でき、洗浄槽内部及び洗浄液をクリーンな状
態に常時保つことができる洗浄液過装置の提供
を目的とする。

(ニ) 問題点を解決するための手段 この考案の洗浄液過装置は、ワークを洗浄処
理する所定量の洗浄液を貯留した洗浄槽の底部
と、不純物を沈澱させて回収する回収槽の底部と
を回収路を介して連通し、上記洗浄槽の底部に、
不純物を噴出する洗浄液の噴流により回収槽に移
送する液噴射ノズルを配設すると共に、前記回収
槽に貯留された洗浄液を、該回収槽の洗浄液に浸
漬したフイルタを通過させ吸出して上記液噴射ノ
ズルに供給する液循環手段を設けた構成である。

(ホ) 作用 この考案は、洗浄槽の底部に沈澱した切粉やバ
リ等の不純物を、液噴射ノズルより噴出する洗浄
液の噴流により回収路を介して回収槽へ移送し、
この回収路を通過する時に不純物は流動速度を速
められ、狭い回収路から回収槽の開放された空間
内に放出されると、噴流が分散して移送力が低下
するため、不純物は失速して槽底部に沈澱し回収
される。一方、液循環手段を駆動して回収槽のフ
イルタを通過したクリーンな洗浄液を液噴射ノズ
ルに供給して循環させる。

(ヘ) 考案の効果 この考案によれば、洗浄時に発生する切粉やバ
リ等の不純物を失速させて槽底部に沈澱させ、
過されたクリーンな洗浄液を循環させるので、回
収する不純物によりフイルタの周面全体に目詰り
現象が起きるのを確実に防止することができ、し
かも、液噴射ノズルより常時一定量で噴出される
洗浄液の噴流により、洗浄槽底部に沈澱する不純
物を回収槽へ確実に移送して回収するので、洗浄
槽底部及び槽内部の洗浄液をワークの洗浄処理に
適したクリーンな状態に常時保つことができる。

(ト) 考案の実施例 この考案の一実施例を以下図面に基づいて詳述
する。

図面は液中洗浄装置に備えられた洗浄液過装
置を示し、第１図及び第２図に於いて、この洗浄
液過装置１は、気密状態を保持された洗浄室２
の内部に上面を開口した洗浄槽３を配設し、この
洗浄槽３に洗浄液として貯留されたフロン液Ｒ中
に、ワーク４をワーク供給装置５のセツト台６に
セツトして浸漬し、液中でワーク４を洗浄処理す
る液中洗浄装置７に備えられている。

上述の洗浄液過装置１は、第１図にも示すよ
うに、上述の洗浄槽３の側部位置であつて、この
洗浄槽３の底部よりも若干下位に、洗浄時に発生
する切粉やバリ等の不純物Ｓを回収するための回
収槽８を配設しており、この回収槽８と洗浄槽３
の底部とは、沈澱した不純物Ｓが回収槽８側に流
下するように傾斜させた回収路９で連通して接続
し、且つ、洗浄槽３の底部も沈澱した不純物Ｓが
回収路９を介して回収槽８側に流下するように傾
斜させている。

この回収路９の内部及び洗浄槽３の底部には、
回収槽８側に噴射方向を斜め下方に向けて各液噴
射ノズル１０……を複数列配設している。

上述の回収槽８は、筒状に形成されたフイルタ
１１（網目）を回収槽８に貯留したフロン液Ｒに
浸漬すると共に、フイルタ１１の底部側面に開口
した回収口１１ａを回収路９と連通して収納し、
この回収槽８に貯留されるフロン液Ｒ上部の周壁
には冷却ジヤケツト１２を水平に配設し、槽上面
の開口部には蓋体１３を嵌合して密閉している。

一方、第３図にも示すように、上述の回収槽８
に貯留されたフロン液Ｒを吸出し可能とする位置
であつて、この回収槽８の側部にバルブ１４を介
して接続された循環路１５は循環用ポンプ１６の
吸入側に接続し、この循環用ポンプ１６の吐出側
には循環するフロン液Ｒを所定温度に保持するた
めにバルブ１７を介して熱交換器１８を接続する
と共に、この熱交換器１８に接続された循環路１
９を複数本に分岐して前述の各液噴射ノズル１０
……に接続している。

なお、上述の回収槽８の底面中央部には蓋体２
０を着脱可能に嵌合し、また、フイルタ１１の底
部に沈澱した不純物Ｓの除去、又はフイルタ１１
を交換するために、このフイルタ１１の上面中央
部には保持棒２１を鉛直に連設して挿脱可能に設
けている。

前述のワーク供給装置５は、第２図に示すよう
に、洗浄槽３の内壁面に沿つて垂直に架設した２
本の各ガイド溝２２，２２にスライダ２３を摺動
可能に係合している。

このスライダ２３は、洗浄室２の天井部と洗浄
槽３の液面下壁面とに軸支された各スプロケツト
２４，２４間にチエーン２５を架設し、このチエ
ーン２５の一端をスライダ２３に固定すると共
に、上部のスプロケツト２４と同軸上に固定され
たスプロケツト２６と、側部に固定された駆動モ
ータ２７（減速機付き）のスプロケツト２８間に
チエーン２９を架設して、この駆動モータ２７の
駆動力によりチエーン２５を正逆回動すること
で、スライダ２３に固定したセツト台６を洗浄槽
３のフロン液Ｒ中に浸漬するワーク洗浄位置と、
洗浄槽３上部のワークセツト位置とに昇降停止す
る。

上述のスライダ２３上部には、蓋体３０を各ガ
イド溝２２，２２上に摺動可能に係合し、この蓋
体３０は洗浄槽３上部に立設したエアシリンダ３
１により、洗浄槽３上面の開口部を嵌合する下限
密閉位置と、スライダ２３の昇降を許容する上限
開放位置とに昇降停止する。

前述のセツト台６は、スライダ２３の正面側下
部に軸支されたテーブル３２上に固定し、このテ
ーブル３２の上端部に枢着された振動用エアシリ
ンダ３３により水平保持している。

上述のセツト台６には、ワーク４（図中仮想線
で示す）を上面定位置にセツトされると共に、こ
のワーク４の各面に開口された孔部やネジ孔等の
各洗浄部分に向けて、セツト台６上面に各液噴射
ノズル３４……を夫々配設している。

この各液噴射ノズル３４……は、セツト台６を
洗浄槽３のワーク洗浄位置まで降下することで、
槽底部に立設した各液供給ポート３５……に、セ
ツト台６下面に各液噴射ノズル３４……と連通し
て開口した各接続ポート（図示省略）を嵌合接続
する。

上述の各液供給ポート３５……は、前述の回収
槽８の側部にバルブ３６を介して接続された循環
路３７を液噴射用ポンプ３８の吸入側に接続し、
この液噴射用ポンプ３８の吐出側にはバルブ３９
を介してフイルタ４０を接続すると共に、このフ
イルタ４０にバルブ４１を介して接続された循環
路４２を、噴射切換ユニツト４３の各バルブ４
４，４５，４４……を介して各液供給ポート３５
……に夫々接続している。

前述の洗浄槽３の背部には、槽底部にヒータ４
６を配設した蒸溜槽４７を配設しており、この蒸
溜槽４７はヒータ４６で貯留したフロン液Ｒを加
熱して発生するフロン蒸気を、洗浄槽３に貯留さ
れたフロン液Ｒと、このフロン液Ｒ上部の周壁に
配設した冷却ジヤケツト４８とで形成される蒸気
槽４９を供給する。

前述の蒸溜槽４７の上部には、フロン蒸気を例
えば12〜０℃に冷却する冷却コイル５０を前述の
冷却ジヤケツト４８の側部位置に配置している。

上述の各冷却ジヤケツト１２，４８及び冷却コ
イル５０は後述する冷凍機５１の蒸発器５２によ
り構成されるが、コイル表面温度を約12〜０℃に
保持する装置であれば、冷凍機５１に代えてチラ
ー（冷水発生装置）を用いてもよい。

この冷凍機５１は、冷媒にフロンＲ−11，Ｒ−
12，Ｒ−22等を用い、この冷凍機５１は圧縮機５
３の吐出側に凝縮器５４と、受液器５５と、液電
磁弁５６と、膨張機構としての膨張弁５７とを介
して前述の蒸発器５２を接続し、この蒸発器５２
の後位をアキユームレータ５８を介して圧縮機５
３の吸引側に接続した冷凍サイクルである。

前述の冷却コイル５０で冷却されたフロン液Ｒ
は、コイル下部の滴下槽５９に滴下され、この滴
下槽５９底部にはバルブ６０を介して循環路６１
を接続し、この循環路６１は水分離槽６２に接続
している。

この水分離槽６２に供給されるフロン液Ｒは、
槽上部に浮上した比重の軽い水分のみを、槽側部
にバルブ６３を介して接続された排液路６４より
排出し、槽底部に溜まつたフロン液Ｒはオーバー
フローして一旦予備槽６５に貯留した後、フロン
液Ｒの一部は槽側部に接続された循環路６６を介
して洗浄槽３に戻し、この洗浄槽３のフロン液Ｒ
はオーバーフローして蒸溜槽４７に供給する。

また、フロン液Ｒに一部は予備槽６５底部にバ
ルブ６７を介して接続された循環路６８を循環用
ポンプ６９に吸入側に接続し、この循環用ポンプ
６９の吐出側にはバルブ７０を介して循環路７１
を接続すると共に、この循環路７１はバルブ７２
を介して蒸気槽４９の蒸気洗浄位置に配設した各
仕上洗浄用ノズル７３……に夫々接続している。

図示実施例は上記の如く構成するものとして以
下作用動作を説明する。

先ず、ワーク供給装置５を駆動してセツト台６
にセツトしたワーク４を洗浄槽３のフロン液Ｒ中
に浸漬し、セツト台６の槽底部の各液供給ポート
３５……とを嵌合して接続する。

次に、液噴射用ポンプ３８を駆動して、各液噴
射ノズル３４……より噴出するフロン液Ｒをワー
ク４に吹付け、ワーク４に固着した切粉や剥離容
易なバリ等を分離除去すると共に、噴射切換ユニ
ツト４３の切換動作により、ワーク４の各面と対
応する位置の各液噴射ノズル３４……よりフロン
液Ｒを噴出して各面毎に洗浄処理を行い、この洗
浄時に発生する金属製の切粉やバリ等を洗浄槽３
底部に沈澱させる。

この後、ワーク供給装置５を駆動してセツト台
６を上昇させつつ、蒸気槽４９のフロン蒸気中を
通過させてワーク４の蒸気洗浄を行い、各仕上洗
浄用ノズル７３，７３より噴出されるフロン液Ｒ
によりワーク４に残着した切粉等を洗い落とす。

一方、洗浄液過装置１の循環用ポンプ１６を
駆動して、洗浄槽３の底部及び回収路９に配設し
た各液噴射ノズル１０……よりフロン液Ｒを噴出
させると、このフロン液Ｒの比重を利用して、金
属製の切粉やバリ等を比較的容易に浮上させるこ
とができ、洗浄槽３底部に沈澱した不純物Ｓに対
して強力な噴流を付与しなくても、傾斜した洗浄
槽３の底部と回収路９とを流下させて回収槽８の
フイルタ１１内部へ容易に移送することができ
る。

この回収槽８に移送される切粉やバリ等の不純
物Ｓは、狭い回収路９を通過する時に流動速度を
速められ、回収路９から回収槽８の開放された空
間内に放出されるため、噴流が分散して移送力が
低下し、不純物Ｓは失速してフイルタ１１の底部
に沈澱し回収され、循環用ポンプ１６の吸引作用
によりフイルタ１１の上部周面側を通過したクリ
ーンなフロン液Ｒを吸出して、各循環路１５，１
９を介して各液噴射ノズル１０……に供給する。

このように洗浄時に発生する切粉やバリ等の不
純物Ｓを失速させて、回収槽８に収納したフイル
タ１１の底部に沈澱させて回収するので、回収す
る不純物Ｓによりフイルタ１１の周面全体に目詰
り現象が起きるのを確実に防止することができ、
回収槽８よりフイルタ１１の上部周面を通過した
クリーンなフロン液Ｒを吸出することができる。

しかも、各液噴射ノズル１０……より常時一定
量で噴出されるフロン液Ｒの噴流により、洗浄槽
３底部に沈澱する不純物Ｓを回収槽８へ確実に移
送して回収するので、洗浄槽３底部及び槽内部に
供給されるフロン液Ｒをワーク４の洗浄処理に適
したクリーンな状態に常時保つことができる。

なお、この考案を構成する液循環手段は、上述
の実施例の各バルブ１４，１７と、各循環路１
５，１９と、循環用ポンプ１６と、熱交換器１８
とに対応するも、 この考案は、上述の実施例の構成のみに限定さ
れるものではない。

例えば、上述の実施例の洗浄槽３と回収槽８の
底部とを水平に連通するもよい。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示し、第１図は洗
浄液過装置の縦断面図、第２図は液中洗浄装置
の縦断側面図、第３図は洗浄液過装置及び液中
洗浄装置の系統図である。 Ｒ……フロン液、Ｓ……不純物、１……洗浄液
過装置、３……洗浄槽、４……ワーク、８……
回収槽、９……回収路、１０……液噴射ノズル、
１１……フイルタ、１５，１９……循環路、１６
……循環用ポンプ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ワークを洗浄処理する所定量の洗浄液を貯留し
   た洗浄槽の底部と、不純物を沈澱させて回収する
   回収槽の底部とを回収路を介して連通し、 上記洗浄槽の底部に、不純物を噴出する洗浄液
   の噴流により回収槽に移送する液噴射ノズルを配
   設すると共に、 前記回収槽に貯留された洗浄液を、該回収槽の
   洗浄液に浸漬したフイルタを通過させ吸出して上
   記液噴射ノズルに供給する液循環手段を設けた 洗浄液過装置。