JPH04198805A - 回転変位角検出装置 - Google Patents

回転変位角検出装置

Info

Publication number
JPH04198805A
JPH04198805A JP33163390A JP33163390A JPH04198805A JP H04198805 A JPH04198805 A JP H04198805A JP 33163390 A JP33163390 A JP 33163390A JP 33163390 A JP33163390 A JP 33163390A JP H04198805 A JPH04198805 A JP H04198805A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating shaft
rotational displacement
coils
displacement angle
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33163390A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Shimomura
英二 霜村
Kazuo Yamada
一夫 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP33163390A priority Critical patent/JPH04198805A/ja
Publication of JPH04198805A publication Critical patent/JPH04198805A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は回転機の回転軸等の回転変位角を非接触状態で
検出する回転変位角検出装置に関する。
(従来の技術) 例えば、産業用ロボット等に用いられる駆動軸たる回転
軸の回転変位角検出装置としては、従来、回転軸に対し
て大きな負荷とならず故障も少ない非接触形のものが主
流となっており、例えば、ロータリエンコーダ等の光学
的方式或いはレゾルバ等の電磁気的方式により検出する
ものがある。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上述のような従来構成では、光学的方式
、電磁気的方式のいずれも、検出器から出力されるパル
ス信号を計数、演算することにより回転軸の回転変位角
を求める構成となっている。そのため必然的にパルス信
号計数回路、演算回路が必要となり装置が複雑化して、
高価なものとなってしまう問題があった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目
的は、複雑な回路を用いることなく回転変位角を精度良
く検出でき、簡単で安価な構成の回転変位角検出装置を
提供することにある。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明の回転変位角検出装置は、回転軸の外周面に固定
された磁石と、前記回転軸の外周面に前記磁石の磁束を
通す環状の磁路を構成するように設けられ1箇所にギャ
ップが形成されたヨークと、前記回転軸の周囲に前記ヨ
ークを取り巻くようにそれと同心状に配置され磁歪を有
する線状磁性体と、この線状磁性体に沿って複数箇所に
配置され隣り合う、ものどうしが夫々位相が反転した磁
気弾性波を前記線状磁性体に発生させる複数個の励磁手
段と、これら各励磁手段の間に配置され前記線状磁性体
を伝播する磁気弾性波を検出する検出手段とを具備し、
その検出手段は前記回転軸の回転に伴う前記ヨークのギ
ャップの漏れ磁束による前記磁気弾性波のレベル変化を
検出することによって、前記回転軸の回転変位角を検出
するように構成したものである。
(作用) 本発明の回転変位角検出装置によれば、複数個の励磁手
段に励磁電流を与えると、この励磁手段に沿って配置さ
れた磁歪を有する線状磁性体には磁気弾性波が生起され
る。このとき、隣り合う励磁手段の間に生ずる磁気弾性
波は互いに位相が反転していて干渉し合うので、例えば
両者の振幅が同じであれば、合成された磁気磁性波は、
励磁手段のちょうど中央部で振幅がゼロとなり、且つ励
磁手段を設けた位置でピークとなるような分布状態とな
る。そして、回転軸の外周面に固定された磁石より発生
した磁束は、回転軸の外周面のヨークを通り、そのヨー
クのギャップから漏れ田だ漏れ磁束が線状磁性体に鎖交
するようになる。この漏れ磁束が鎖交する位置では、磁
気弾性波が減衰されるので、検出手段により検出される
磁気弾性波の大きさ(即ち検出手段に誘起される電圧レ
ベル)は、回転軸の回転に伴なう漏れ磁束(ギャップ)
の回転変位角に応じて変化する。従って、二の変化を検
出することにより、回転軸の回転変位角が検出される。
(実施例) 以下本発明の一実施例につき図面を参照して説明する。
全体の構成を示す第1図において、回転軸1の外周面に
は磁石2が接着等により固定されており、更に、この磁
石2から発生した磁束を前記回転軸1の外周面を環状に
通敵且っ外部に漏らさないようにするために、第2図に
示すように回転軸1より十分透磁率が高い円筒状のヨー
ク3が磁石2を挾むように回転軸1に嵌着されている。
そして、このヨニク3には磁石2と反対側の部位に幅狭
なギャップ4が形成され、このギャップ4から磁束が漏
れ出るようになっている。一方、ヨーク3の外周囲には
、非磁性材料(例えばプラスチック)製の薄肉の円筒5
が遊嵌されており、この円筒5の外周面のヨーク3上に
あたる部分に、例えばFe系アモルファスワイヤー等の
磁歪を有する線状磁性体6が前記ヨーク3に対して同心
状且つ螺旋状に1回転半程度巻回されている。そして、
この線状磁性体6に沿って励磁手段たる3つの励磁コイ
ル7a、7b、7cが等間隔で配置され、その端末には
励磁源たる交流電源8が接続されている。
これら3つの励磁コイル7a、7b、7cは、前記線状
磁性体6に対して磁界を加えることにより機械的な歪(
磁歪)を生じさせ、この磁歪は線状磁性体6を媒体とし
て波のように減衰しながら伝播する磁気弾性波を生起す
る。この場合、励磁コイル7a、7b、7cは、磁気弾
性波の位相を隣り合うものどうしが反転するように逆接
続状態で直列に接続されている。また、各励磁コイル7
a。
7b、7c間の中央には検出手段たる検出コイル9.1
0が配置されている。尚、この検出コイル9.10の位
置は、本構成から磁石2を取り除いたものにおいて、各
励磁コイル7a、7b、7cより生起された磁気弾性波
が互いに打ち消し合ってその振幅がゼロになる位置に設
定されている。
更に、検出コイル9.10の検出のタイミングは、交流
電源8の周波数に同期するように設定され、例えば、第
1回目の測定時の交流電源8の位相をθ。[radlと
すると、n回目の測定時の位相は、(2nπ+θ。) 
 [radlである。
次に、本実施例の作用について説明する。回転軸1が回
転すると、ギャップ4から生じる漏れ磁束は線状磁性体
6に沿って回転する。第3図は、この様子を模式的に示
したものであり、第1図を中心軸まわりに帯状に展開し
たものである。一方、回転軸1の回転変位角の検出時に
は、励磁コイル7a、7b、7cに交流電源8から励磁
電流I。
が供給されて磁束が生じ、この磁束が線状磁性体6に鎖
交する。この磁束によって、線状磁性体6の内部には、
前記励磁電流I0に応じた機械的な歪(磁歪)が生じ、
この磁歪が線状磁性体6を伝播し、磁気弾性波が生ずる
。この磁気弾性波は励磁コイル7a、7b、7cの直上
にてピークの振幅を示し、それから遠ざかるに従って、
徐々に減衰していく。しかし、本実施例のように、隣り
合った3つの励磁コイル7a、7b、7cを逆接続状態
で直列に配置し、互いに位相の反転した磁気弾性波を隣
り合わせて発生させれば、各励磁コイル7a、7b、7
cにより発生した磁気弾性波を合成し、各励磁コイル7
a、7b、7cの中間点で強制的にゼロにすると共に、
漏れ磁束(ギャップ4)の回転変位量に対する振幅の変
化を大きくすることができる。また、この磁気弾性波は
、ギャップ4から発生する漏れ磁束の位置に応して変化
するので、この磁気弾性波によって検出コイル9.10
に誘起される電圧も第4図に示すように変化することに
なる。この第4図は、検出コイル9.10の出力電圧の
検出を、交流電源8の周波数に同期させて一定のタイミ
ングで行ったときに得られる電圧特性図であり、縦軸は
、検出電圧の振幅を示し、横軸は、中央の励磁コイル7
bの位置を180°とした回転角度を示す。この第4図
によれば0〜180°の範囲にギャップ4がある時は、
検出コイル10に電圧が発生し、逆に180°〜360
°の範囲にギャップ4があるときは、検出コイル9に電
圧が発生する。尚、線状磁性体6が重なって巻回されて
いる範囲Aでは、検出コイル9,10に発生する電圧の
大きさは等しくとも、その極性が反対になっている。こ
のように、検出電圧値は0〜180°、180°〜36
0゜の各々の区間で変化する2本の曲線から成り、第4
図にて明らかなように回転変位角と検出電圧は常に一対
一の対応を示す。従って、この検出電圧を測定すること
により容易に回転軸1の回転変位角を検出することがで
きる。
このように、本実施例によれば、巻回された線状磁性体
6に沿って励磁コイル7a、7b、7cを設け、この励
磁コイル7a、7b、7cを互いに位相が反転する磁気
弾性波を発生させるように配置し、更に、前記励磁コイ
ル7a、7b、7o間に検出コイル9,10を設けると
共に、回転軸1上に、磁石2及びギャップ4を有するヨ
ーク3を設け、ギャップ4から発生する漏れ磁束が線状
磁性体6に鎖交するようにしたので、第4図に示すよう
に、検出コイル9.10の検出電圧と回転変位角との関
係が一義的に定まり、この検出コイル9.10の検出電
圧から直ちに回転変位角を求めることかできる。このた
め、従来のようなパルス信号計数回路や演算回路を用い
ずとも、回転変位角を精度良く検出することが可能とな
り、回路構成を簡単化できて、コスト安になし得る。
しかも、回転軸1に嵌着したヨーク3に形成した幅狭な
ギャップ4から生じる漏れ磁束を線状磁性体6に作用さ
せるようにしたので、例えば磁石2の磁束をヨーク4を
介さずに直に線状磁性体6に作用させる場合に比して、
線状磁性体6の微小範囲に集中的に強い磁束を作用させ
ることができて、回転角度の微小変位も検出可能となり
、検出精度を向上できる。
尚、上記実施例においては、線状磁性体6としてFe系
のアモルファスワイヤーを用いたが、これに限らず、磁
歪を有する磁性体であれば他の材料であっても良い。
また、上記実施例においては、励磁手段として励磁コイ
ル7a、7b、7cを用いたが、これに限らず、磁気ヘ
ッド等を用いても良い。更に、検出手段としても、検出
コイル9,1oに限らず、ホール素子、磁気ヘッド等を
用いる構成としても良い。
その他、上記実施例においては、励磁手段を3個用いる
構成としたが、勿論、2個又は4個以上用いる構成とし
ても良く、それに応じて検出手段も1個又は3個以上設
ける構成としても良い。
[発明の効果] 以上の説明にて明らかなように、本発明の回転変位角検
出装置によれば、複数個の励磁手段を線状磁性体に沿っ
て設けると共に、その隣り合うものどうしを各々位相が
反転した磁気弾性波を発生するようにし、且つ前記各励
磁手段間に検出手段を設けたので、回転軸の回転角度の
変化に対して検出電圧の振幅を大きくとることができる
と共に、ギャップから漏れ出た強い磁束を線状磁性体の
微1小な部分に集中的に作用させることができて、回転
変位置を精度良く検出でき、しかも、回路構成を簡単化
できて、コスト安になし得るという優れた効果を奏する
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例示したもので、2第1図は回転
変位角検出装置の全体構成の概略的を示す斜視図、第2
図は回転軸を軸方向から見た図、第3図は第1図を回転
方向に展開した模式図、第4図は検出コイルの検f[圧
の変化特性図である。 図面中、1は回転軸、2は磁石、3はヨーク、4はギャ
ップ、6は線状磁性体、7a、7b、及び7cは励磁コ
イル(励磁手段)、9及び10は検出コイル(検出手段
)である。 代理人  弁理士 佐  藤   強 艶 1 図 第 2 図 す 第3図 jP、4  図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.回転軸の外周面に固定された磁石と、前記回転軸の
    外周面に前記磁石の磁束を通す環状の磁路を構成するよ
    うに設けられ1箇所にギャップが形成されたヨークと、
    前記回転軸の周囲に前記ヨークを取り巻くようにそれと
    同心状に配置され磁歪を有する線状磁性体と、この線状
    磁性体に沿って複数箇所に配置され隣り合うものどうし
    が夫々位相が反転した磁気弾性波を前記線状磁性体に発
    生させる複数個の励磁手段と、これら各励磁手段の間に
    配置され前記線状磁性体を伝播する磁気弾性波を検出す
    る検出手段とを具備し、前記検出手段は前記回転軸の回
    転に伴う前記ヨークのギャップの漏れ磁束による前記磁
    気弾性波のレベル変化を検出することによって、前記回
    転軸の回転変位角を検出するように構成したことを特徴
    とする回転変位角検出装置。
JP33163390A 1990-11-29 1990-11-29 回転変位角検出装置 Pending JPH04198805A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33163390A JPH04198805A (ja) 1990-11-29 1990-11-29 回転変位角検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33163390A JPH04198805A (ja) 1990-11-29 1990-11-29 回転変位角検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04198805A true JPH04198805A (ja) 1992-07-20

Family

ID=18245841

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33163390A Pending JPH04198805A (ja) 1990-11-29 1990-11-29 回転変位角検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04198805A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5708216A (en) Circularly magnetized non-contact torque sensor and method for measuring torque using same
US6698299B2 (en) Magnetoelastic torque sensor
US6118271A (en) Position encoder using saturable reactor interacting with magnetic fields varying with time and with position
JPS62249026A (ja) トルク測定装置
US4416161A (en) Method and apparatus for measuring torque
JPS6159232A (ja) トルク測定装置
JPS62204118A (ja) 磁気的に位置あるいは速度を検出する装置
US9587963B2 (en) Brushless linear rotary transformer
JPH06194239A (ja) トルク検出装置およびトルク検出要素
JPH02201117A (ja) 部材の運動を検知する装置
JPS62184323A (ja) 磁歪方式トルクセンサ
JP4336070B2 (ja) 回転型位置検出装置
JPH04198805A (ja) 回転変位角検出装置
JPS59147213A (ja) 磁気回転センサ
JP2003042805A (ja) 磁気誘導型回転位置検出装置
JPH04264210A (ja) 回転変位角検出装置
JP5135277B2 (ja) 回転型位置検出装置
JP2556383B2 (ja) 磁気レゾルバ
JPH04184213A (ja) 回転変位角検出装置
JP2764521B2 (ja) 回転角度検出装置
JPH04138309A (ja) 回転変位角検出装置
KR20230019663A (ko) 센서모듈 및 이를 이용하는 센서시스템
JP2566617B2 (ja) 軸の回転数の検出装置
JP2958846B2 (ja) 角度検出器
JPH04138308A (ja) 回転変位角検出装置