JPH04198724A - 焦電型リニアアレイ赤外検出素子 - Google Patents
焦電型リニアアレイ赤外検出素子Info
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- JPH04198724A JPH04198724A JP2332386A JP33238690A JPH04198724A JP H04198724 A JPH04198724 A JP H04198724A JP 2332386 A JP2332386 A JP 2332386A JP 33238690 A JP33238690 A JP 33238690A JP H04198724 A JPH04198724 A JP H04198724A
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Landscapes
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は赤外線計測の際、大気成分の計測、温度分布計
測、防犯や防災の監視などへの利用が可能である焦電型
リニアアレイ赤外検出素子に関する。
測、防犯や防災の監視などへの利用が可能である焦電型
リニアアレイ赤外検出素子に関する。
従来の技術
焦電型リニアアレイ赤外検出素子を製造するには、チタ
ン酸鉛などの焦電材料を薄板に加工処理したあと、一方
の面に熱吸収用の電極と反対の面に熱反射用の電極を蒸
着加工する。更にリード線取り出しのための電極（アル
ミニウムまたは金）を熱吸収用の電極側に蒸着加工した
あと、熱拡散による感度低下を小さくするために受光面
部分に対応する場所を中空にした素子支持台上に、反対
電極側を共通電極とするため導電性接着剤を用いて固定
し、必要とする素子数に分離加工する。（特開昭５６−
７７３９号公報） 第３図にその構成を示す。第３図において、１は焦電素
子、２は信号取り出し用電極、３はアース電極側、４は
受光電極、５は素子間分離用の溝、６は素子支持台であ
る。なお、焦電素子１は安全分離されて、−列に並べら
れている。従来の構造では必要とする素子数だけ分離加
工していたため、支持台を伝わって放散する伝導熱や輻
射による熱拡散が両端の２素子とそれ以外の素子で非対
称となり、第４図に示す出力特性のように、両端の２素
子だけが出力が約１０％他の素子より高くなり、出力の
均等性に欠けるという課題があった。
ン酸鉛などの焦電材料を薄板に加工処理したあと、一方
の面に熱吸収用の電極と反対の面に熱反射用の電極を蒸
着加工する。更にリード線取り出しのための電極（アル
ミニウムまたは金）を熱吸収用の電極側に蒸着加工した
あと、熱拡散による感度低下を小さくするために受光面
部分に対応する場所を中空にした素子支持台上に、反対
電極側を共通電極とするため導電性接着剤を用いて固定
し、必要とする素子数に分離加工する。（特開昭５６−
７７３９号公報） 第３図にその構成を示す。第３図において、１は焦電素
子、２は信号取り出し用電極、３はアース電極側、４は
受光電極、５は素子間分離用の溝、６は素子支持台であ
る。なお、焦電素子１は安全分離されて、−列に並べら
れている。従来の構造では必要とする素子数だけ分離加
工していたため、支持台を伝わって放散する伝導熱や輻
射による熱拡散が両端の２素子とそれ以外の素子で非対
称となり、第４図に示す出力特性のように、両端の２素
子だけが出力が約１０％他の素子より高くなり、出力の
均等性に欠けるという課題があった。
発明が解決しようとする課題
このように、リニアアレイ型の赤外素子は、それぞれの
素子の感度が高いことが重要であると同時に、全ての素
子が均等な出力となることが必要である。しかしながら
、従来の製法では必要とする素子数だけ分離加工してい
たため、両端の素子とそれ以外の素子で熱拡散によるク
ロストークに差が生じ、両端の素子数だけが出力が約１
０％高くなった。このことを解消するために、両端の素
子面積を小さくして出力調整を行ったり、あるいは素子
の後段に取り付ける増幅回路の増幅率を両端の素子数だ
け変えてやるなどの処理を講じていた。
素子の感度が高いことが重要であると同時に、全ての素
子が均等な出力となることが必要である。しかしながら
、従来の製法では必要とする素子数だけ分離加工してい
たため、両端の素子とそれ以外の素子で熱拡散によるク
ロストークに差が生じ、両端の素子数だけが出力が約１
０％高くなった。このことを解消するために、両端の素
子面積を小さくして出力調整を行ったり、あるいは素子
の後段に取り付ける増幅回路の増幅率を両端の素子数だ
け変えてやるなどの処理を講じていた。
本発明は、以上のような課題を解決するもので、多数配
列された焦電型素子や出力特性を均等にすることを目的
とするものである。
列された焦電型素子や出力特性を均等にすることを目的
とするものである。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために、本発明は必要とするリニア
アレイ赤外検出素子の数より２素子以上多く形成し、増
幅回路系へのリードの取り出しは両端に１素子以上残し
て、必要な素子分だけ行なうものである。
アレイ赤外検出素子の数より２素子以上多く形成し、増
幅回路系へのリードの取り出しは両端に１素子以上残し
て、必要な素子分だけ行なうものである。
作用
本発明は、上記構成により実際に動作させるリニアアレ
イ赤外検出素子の数より２素子分以上多く設置すること
により、動作に必要な素子は全てに関して左右との素子
と同等の影響下にあることになり、出力の均等化を行な
うことができる。
イ赤外検出素子の数より２素子分以上多く設置すること
により、動作に必要な素子は全てに関して左右との素子
と同等の影響下にあることになり、出力の均等化を行な
うことができる。
実施例
第１図は本発明の一実施例における焦電型リニアアレイ
赤外検出素子の構造である。第１図ｆａｔは同素子の平
面図、第１図（ｂｌは第１図ｆａ）のＡ−Ａ’線断面図
、第１図（Ｃ１は第１図ｆａｔのＢ−Ｂ’線断面図であ
る。第１図において、中央部をくり抜いたセラミクス支
持台６の上に、３０μｍ厚に薄板加工したチタン酸鉛の
焦電素子１を共通電極側３に導電性接着剤、リード取り
出し側絶縁性接着剤を用いて接着固定する。尚、焦電素
子１にはニクロムの薄膜が受光電極４及び反射電極７と
して、蒸着によって形成する。更に受光電極４にはリー
ド信号取り出し用電極２としてアルミニウムを蒸着で形
成する。動作させる素子を１０ケとすると１２ケの素子
数に分離加工を行なう。両端部の素子８・９を除いた各
素子のリード取り出し電極から増幅器へ接続する。第２
図がその結果得られた特性である。両端を除いた必要と
する第１素子から第１０素子までのバラツキが１％以下
に抑えられた。
赤外検出素子の構造である。第１図ｆａｔは同素子の平
面図、第１図（ｂｌは第１図ｆａ）のＡ−Ａ’線断面図
、第１図（Ｃ１は第１図ｆａｔのＢ−Ｂ’線断面図であ
る。第１図において、中央部をくり抜いたセラミクス支
持台６の上に、３０μｍ厚に薄板加工したチタン酸鉛の
焦電素子１を共通電極側３に導電性接着剤、リード取り
出し側絶縁性接着剤を用いて接着固定する。尚、焦電素
子１にはニクロムの薄膜が受光電極４及び反射電極７と
して、蒸着によって形成する。更に受光電極４にはリー
ド信号取り出し用電極２としてアルミニウムを蒸着で形
成する。動作させる素子を１０ケとすると１２ケの素子
数に分離加工を行なう。両端部の素子８・９を除いた各
素子のリード取り出し電極から増幅器へ接続する。第２
図がその結果得られた特性である。両端を除いた必要と
する第１素子から第１０素子までのバラツキが１％以下
に抑えられた。
なお、以上の説明では動作させない素子を動作させる素
子の両端に１素子ずつ設置したが、１素子以上であれば
幾つでもかまわない。
子の両端に１素子ずつ設置したが、１素子以上であれば
幾つでもかまわない。
発明の効果
以上のように、本発明は必要とする素子数よりあらかじ
め２素子分以上余分に加工し、その余分な素子は動作さ
せないダミー素子として用いることにより、必要とする
素子全てがそれぞれの両側の素子からの熱的クロストー
クが均等になり、素子製造後に受光面積を調整するため
の加工や増幅回路の増幅率を変更するなどの作業をする
ことなく簡単に出力均等な焦電型リニアアレイ赤外検出
素子を製造することが可能となる。
め２素子分以上余分に加工し、その余分な素子は動作さ
せないダミー素子として用いることにより、必要とする
素子全てがそれぞれの両側の素子からの熱的クロストー
クが均等になり、素子製造後に受光面積を調整するため
の加工や増幅回路の増幅率を変更するなどの作業をする
ことなく簡単に出力均等な焦電型リニアアレイ赤外検出
素子を製造することが可能となる。
第１図ｆａｌ、 （ｂｌ、及び（Ｃ１は本発明にょる焦
電型リニアアレイ赤外検出素子の一実施例における平面
図、Ａ−Ａ’線断面図、及びＢ−Ｂ’線断面図、第２図
は同素子の出力特性図、第３図は従来の焦電型リニアア
レイ赤外検出素子の平面図、第４図は同各素子の出力特
性図である。 １・・・焦電素子、２・・・信号取り出し用電極、３・
・・アース電極、４・・・受光電極、５・・・素子間分
離用の溝、６・・・素子支持台、７・・・反射電極、８
，９・・・ダミー素子。 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか２名第１図 第２図 素子Ｎｏ。
電型リニアアレイ赤外検出素子の一実施例における平面
図、Ａ−Ａ’線断面図、及びＢ−Ｂ’線断面図、第２図
は同素子の出力特性図、第３図は従来の焦電型リニアア
レイ赤外検出素子の平面図、第４図は同各素子の出力特
性図である。 １・・・焦電素子、２・・・信号取り出し用電極、３・
・・アース電極、４・・・受光電極、５・・・素子間分
離用の溝、６・・・素子支持台、７・・・反射電極、８
，９・・・ダミー素子。 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか２名第１図 第２図 素子Ｎｏ。
Claims (1)
- （１）複数の信号取り出し用の電極と１つの共通アース
電極を有する素子を有し、実際に動作させる素子列の両
端に動作させない素子を少なくとも１個以上設置した焦
電型リニアアレイ赤外検出素子。（２）素子は１枚の薄
板焦電材料を支持台にマウントしたのち、動作させる素
子数に動作させない素子数を加えた数だけ切断加工する
ことを特徴とする請求項１記載の焦電型リニアアレイ赤
外検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2332386A JPH04198724A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 焦電型リニアアレイ赤外検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2332386A JPH04198724A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 焦電型リニアアレイ赤外検出素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04198724A true JPH04198724A (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=18254390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2332386A Pending JPH04198724A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 焦電型リニアアレイ赤外検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04198724A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012056943A1 (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-03 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 焦電センサアレイ及び焦電型赤外線検出装置 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2332386A patent/JPH04198724A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012056943A1 (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-03 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 焦電センサアレイ及び焦電型赤外線検出装置 |
| CN103229028A (zh) * | 2010-10-25 | 2013-07-31 | Nec东金株式会社 | 热释电传感器阵列以及热释电型红外线检测装置 |
| US8766187B2 (en) | 2010-10-25 | 2014-07-01 | Nec Tokin Corporation | Pyroelectric sensor array and pyroelectric infrared detection device |
| TWI507667B (zh) * | 2010-10-25 | 2015-11-11 | Nec Tokin Corp | 熱電感測器陣列及熱電型紅外線檢測裝置 |
| JP5901533B2 (ja) * | 2010-10-25 | 2016-04-13 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 焦電センサアレイ及び焦電型赤外線検出装置 |
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