JPH0418712A - Magnetic shield material and dust core - Google Patents

Magnetic shield material and dust core

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JPH0418712A
JPH0418712A JP12230090A JP12230090A JPH0418712A JP H0418712 A JPH0418712 A JP H0418712A JP 12230090 A JP12230090 A JP 12230090A JP 12230090 A JP12230090 A JP 12230090A JP H0418712 A JPH0418712 A JP H0418712A
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alloy
magnetic
soft magnetic
formula
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JP12230090A
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Japanese (ja)
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Masao Shigeta
重田 政雄
Asako Kajita
梶田 朝子
Kazunori Hirai
平井 一法
Tsutomu Cho
勤 長
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Abstract

PURPOSE:To improve corrosion-proof property, and to obtain a magnetic shield material, having a very small magnetostriction constant, and a dust core by a method wherein the powder of soft magnetic alloy, having a microscopic crystal phase and specific composition, and a binding agent are contained therein. CONSTITUTION:Amorphous alloy powder is manufactured by high speed quenching the molten alloy which is indicated by the following formula. (Fe1-aNi100-x-y-z-p-qCuxSiyB2CrpM<1qo> provided that M<1> is V and/or Mn in the above-mentioned formula in the constitution of 0<=a<=0.5, 0.1<=x<=5, 6<=y<=20, 6<=z<=20, 15<=y+z<=30, 0.5<=p<=10, 0.5<=q<=10. The obtained flat type amorphous powder is heat-treated, and a microscopic crystal phase is formed. This amorphous alloy particles are flattened using a medium agitation mill.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、軟磁性合金、特に高耐食性で低磁歪のFe基
基磁磁性合金粉末と結合剤とを含有する磁気シールド材
およびその粉末を用いた圧粉コアに関する。
[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention provides a magnetic shielding material containing a soft magnetic alloy, particularly a highly corrosion-resistant and low magnetostrictive Fe-based magnetomagnetic alloy powder, and a binder, and the powder thereof. Regarding the powder core used.

〈従来の技術〉 軟磁性材料に求められる要求特性は、年々厳しくなって
いる。
<Prior Art> The required characteristics for soft magnetic materials are becoming stricter year by year.

しかし、基本的には、高飽和磁化、高透磁率および低鉄
損であることが求められる。 これらの要求特性を満足
するために、軟磁性材料は以下に示す特性を満足する必
要がある。
However, basically, high saturation magnetization, high magnetic permeability, and low iron loss are required. In order to satisfy these required properties, the soft magnetic material must satisfy the following properties.

(1)磁歪定数2.8が小さいこと(λs−±5XIO
−6以内にあること)。
(1) The magnetostriction constant 2.8 is small (λs-±5XIO
-6 or less).

(2)結晶磁気異方性が小さいこと。(2) Small magnetocrystalline anisotropy.

この2つの要求特性を満足しない限りにおいては、十分
な基本特性が得られないか、また番」用途によっては全
く使用できない軟磁性月料となってしまう。
Unless these two required characteristics are satisfied, the soft magnetic material may not have sufficient basic characteristics, or may not be usable at all depending on the application.

ところで、軟磁性材料の粉末を結合剤中に分散し、これ
を塗布設層した磁気シールド材が知られている。
Incidentally, a magnetic shielding material is known in which powder of a soft magnetic material is dispersed in a binder, and the powder is coated on the binder.

また、その粉末を用いた圧粉コアも知られている。Further, powder cores using the powder are also known.

しかし、磁気シールド材や圧粉コアでは、製造過程、あ
るいは使用時に、応力が印加されるので、磁歪定数λs
がゼロあるいは負、例えば0〜−5X10−6であるこ
とが好ましい。
However, in magnetic shielding materials and dust cores, stress is applied during the manufacturing process or during use, so the magnetostriction constant λs
is preferably zero or negative, for example 0 to -5X10-6.

他方、軟磁性材料としては、Fe基合金軟磁性材料が多
用されているが、このFe基合金軟磁性材料としては、
純鉄、珪素鋼、センダスト合金、アモルファス合金等が
知られており、高飽和磁束密度であることが特徴である
On the other hand, Fe-based alloy soft magnetic materials are often used as soft magnetic materials;
Pure iron, silicon steel, sendust alloy, amorphous alloy, etc. are known, and are characterized by high saturation magnetic flux density.

これら軟磁性材料において、Fe基アモルファス合金が
その高飽和磁束密度、低損失の特徴により、広く使用さ
れるようになってきた。
Among these soft magnetic materials, Fe-based amorphous alloys have come to be widely used due to their characteristics of high saturation magnetic flux density and low loss.

し7かしながら、Fe基アモルファス合金は高磁歪定数
を有するため、その用途が限定されている。
However, since Fe-based amorphous alloys have a high magnetostriction constant, their applications are limited.

特に磁気シールドでは、磁気特性が大きく劣化してしま
うという根本的な問題が発生するために使用できない。
In particular, magnetic shielding cannot be used because it has the fundamental problem of greatly deteriorating its magnetic properties.

方、アモルファス合金の中でもCo基アモルファス合金
のように、磁歪定数がほぼ零に近い合金がある。 しか
しながら、この合金は飽和磁束密度が低く、かつ高価で
あるという欠点がある。 このため、その用途は、磁気
ヘッド等の素祠のコストが問題にならない分野に限定さ
れていた。
On the other hand, among amorphous alloys, there are alloys whose magnetostriction constant is almost zero, such as Co-based amorphous alloys. However, this alloy has the drawbacks of low saturation magnetic flux density and high cost. For this reason, its use has been limited to fields such as magnetic heads where the cost of the grinder is not an issue.

アモルファス合金のこのような問題を解決するために、
欧州特許公開0271657号公報では、微結晶相から
なる軟磁性合金を提案している。 この軟磁性合金は、
まずアモルファス合金を作製し、これに熱処理を施すこ
とにより微結晶相を形成するものである。
In order to solve these problems with amorphous alloys,
European Patent Publication No. 0271657 proposes a soft magnetic alloy consisting of a microcrystalline phase. This soft magnetic alloy is
First, an amorphous alloy is produced and then heat treated to form a microcrystalline phase.

この合金は、従来のFe基アモルファス合金の欠点をか
なり改善する発明である。 特に、飽和磁歪定数が大き
く減少することは、好ましいことである。
This alloy is an invention that considerably improves the drawbacks of conventional Fe-based amorphous alloys. In particular, it is preferable that the saturation magnetostriction constant is greatly reduced.

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この合金にしてもまだ特性が不十分であ
る。 特に、磁歪定数が零か負の合金が作製できないこ
とに問題があり、従って、磁気シールド材や圧粉コアの
用途には、現実的には使用できないという欠点がある。
<Problems to be Solved by the Invention> However, even with this alloy, the properties are still insufficient. In particular, there is a problem in that alloys with a magnetostriction constant of zero or negative cannot be produced, and therefore cannot be practically used for magnetic shielding materials or dust cores.

前記公報には、ホウ素Bの含有量が約5%の近傍で磁歪
定数がほぼ零になる実施例が記載されている(例えば、
Fe74CIIINt)3si+Je合金)。
The above publication describes an example in which the magnetostriction constant becomes almost zero when the boron B content is around 5% (for example,
Fe74CIIINt)3si+Je alloy).

しかしながら、ホウ素Bの含有量が5%程度の合金がア
モルファス化し難いことは、一般的に広く知られている
ことである。
However, it is generally widely known that alloys with a boron B content of about 5% are difficult to become amorphous.

また、このような合金は、金属材料を磁気シールド材や
圧粉コアに使用する上で基本的に重要な耐食性が、著し
く低いという欠点がある。
Further, such alloys have the disadvantage that their corrosion resistance, which is fundamentally important when using metal materials for magnetic shielding materials and dust cores, is extremely low.

本発明は、微結晶相を有する軟磁性合金であって、耐食
性が著しく向上し、しかも、磁歪定数が極めて小さい軟
磁性合金、特に磁歪定数がほぼ零に近いか、零から負の
範囲に存在する軟磁性合金の粉末を用いた磁気シールド
材と、圧粉コアとを提供することを目的とする。
The present invention relates to a soft magnetic alloy having a microcrystalline phase, which has significantly improved corrosion resistance, and has an extremely small magnetostriction constant, particularly a soft magnetic alloy whose magnetostriction constant is close to zero or exists in a negative range from zero. The present invention aims to provide a magnetic shielding material using soft magnetic alloy powder and a dust core.

〈課題を解決するための手段〉 このような目的は、下記(1)〜(8)の本発明により
達成される。
<Means for Solving the Problems> Such objects are achieved by the following inventions (1) to (8).

(1)微結晶相を有し、下記式(I)で表わされる組成
を有する軟磁性合金の粉末と、結合剤とを含有すること
を特徴とする磁気シールド材。
(1) A magnetic shielding material characterized by containing powder of a soft magnetic alloy having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (I), and a binder.

[式(I)] (Fe+−aNlg) + oo−++−y−z−p−
qcUxslyBycrp−qCuxSiyBzCrp
M1q(但し、上記式(I)においてM’ば■および/
またはMnであり、O≦a≦05. 0.1≦x≦5. 6≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦、y+z≦30. 05≦p≦10. 0.5≦q≦10 である。) (2)磁歪定数λsが±5X10−6以内である上記(
1)に記載の磁気シールド材。
[Formula (I)] (Fe+-aNlg) + oo-++-y-z-p-
qcUxslyBycrp-qCuxSiyBzCrp
M1q (However, in the above formula (I), M' is ■ and /
or Mn, and O≦a≦05. 0.1≦x≦5. 6≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦, y+z≦30. 05≦p≦10. 0.5≦q≦10. ) (2) The above (
The magnetic shielding material described in 1).

(3)微結晶相を有し、下記式(II )で表わされる
組成を有することを特徴とする軟磁性合金の粉末と、結
合剤とを倉荷することを特徴とする磁気シールド材。
(3) A magnetic shielding material comprising a powder of a soft magnetic alloy having a microcrystalline phase and a composition represented by the following formula (II) and a binder.

[式(H)] (Fel−aNlml +oo−x−y−*−p−qc
uxsLyBzcr’pM’QM”r(但し、上記式(
II )においてMlはVおよび/またはMnであり、
M2は、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、MoおよびW
から選ばれた一種以上の元素であり、 0≦a≦0.5. 0.1≦x≦5、 O≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦y+z≦30. 0.5≦p≦10. 0.5≦q≦10. 0≦r≦10 である。) (4)磁歪定数λsが±5X10−6以内である上記(
3)に記載の磁気シールド材。
[Formula (H)] (Fel-aNlml +oo-x-y-*-p-qc
uxsLyBzcr'pM'QM”r (However, the above formula (
II), Ml is V and/or Mn,
M2 is Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Mo and W
One or more elements selected from 0≦a≦0.5. 0.1≦x≦5, O≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦y+z≦30. 0.5≦p≦10. 0.5≦q≦10. 0≦r≦10. ) (4) The above (
3) The magnetic shielding material described in 3).

(5)微結晶相を有し、下記式(I)で表わされる組成
を有する軟磁性合金の粉末から形成されたことを特徴と
する圧粉コア。
(5) A powder core formed from a soft magnetic alloy powder having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (I).

[式(■)] (Fel−aNIR)+ao−x−y−z−p−qcu
ys1yB1crpM  O(但し、上記式(I)にお
いてMlはVおよび/またはMnであり、 O≦a≦0.5. 0.1≦x≦5. 6≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦y+z≦30. 0.5≦p≦10. 0.5≦q≦10 である。) (6)磁歪定数λsが±5×10−6以内である上記(
5)に記載の圧粉コア。
[Formula (■)] (Fel-aNIR)+ao-x-y-z-p-qcu
ys1yB1crpMO (However, in the above formula (I), Ml is V and/or Mn, O≦a≦0.5. 0.1≦x≦5. 6≦y≦20. 6≦z≦20. 15 ≦y+z≦30, 0.5≦p≦10, 0.5≦q≦10.) (6) The above (
5) The powder core described in 5).

(7)微結晶相を有し、下記式(IT)で表わされる組
成を有することを特徴とする軟磁性合金の粉末から形成
されたことを特徴とする圧粉コア。
(7) A powder core formed from a soft magnetic alloy powder having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (IT).

[式(II)] (Fel−aNla)+oo−x−y−z−p−qcl
Ixs1yB2crp−qCuxSiyBzCrpM1
qM2r(但し、上記式(II)においてM’は■およ
び/またはMnであり、M2は、Ti、Zr、Hf、N
b、Ta、MoおよびWから選ばれた一種以上の元素で
あり、 O≦a≦0.5. 0.1≦x≦5. 0≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦y+z≦30. 0.5≦p≦10. 0.5≦q≦10. 0≦r≦10 である。) (8)磁歪定数λsが±5X10−6以内である−に記
(7)に記載の圧粉コア。
[Formula (II)] (Fel-aNla)+oo-x-y-z-p-qcl
Ixs1yB2crp-qCuxSiyBzCrpM1
qM2r (However, in the above formula (II), M' is ■ and/or Mn, and M2 is Ti, Zr, Hf, N
b, one or more elements selected from Ta, Mo, and W, and O≦a≦0.5. 0.1≦x≦5. 0≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦y+z≦30. 0.5≦p≦10. 0.5≦q≦10. 0≦r≦10. ) (8) The powder core according to (7), wherein the magnetostriction constant λs is within ±5×10 −6 .

〈作用〉 本発明に用いる軟磁性合金は、 FeCuCr (V、Mn)SiB 系の組成を基本としている。<Effect> The soft magnetic alloy used in the present invention is FeCuCr (V, Mn)SiB It is based on the composition of the system.

本発明の軟磁性合金は、上記合金を一旦アモルファス合
金化し、これに熱処理を施すことにより微結晶相を形成
して得られるものである。
The soft magnetic alloy of the present invention is obtained by once forming the above-mentioned alloy into an amorphous alloy and then subjecting it to heat treatment to form a microcrystalline phase.

本発明では微結晶相を存する軟磁性合金に、Crと■お
よび/またはMnとを含有さぜたため、磁歪を小さく、
特に磁歪を零から負とすることができるものであり、さ
らに耐食性を著しく改善できるものである。
In the present invention, the soft magnetic alloy containing a microcrystalline phase is mixed with Cr, ■ and/or Mn, so that the magnetostriction is reduced.
In particular, the magnetostriction can be changed from zero to negative, and the corrosion resistance can be significantly improved.

このような軟磁性合金は、このように磁歪が小さいため
、軟磁性合金粉末と結合剤とを含有する磁気シールド材
に最適である。 すなわち、磁気シールド材を製造する
際の粉末と結合剤との混練時や結合剤の硬化収縮時、あ
るいは磁気シールド材として使用する際に応力を受りた
場合でも、磁気特性の低下がほとんどなく、磁気シール
ド特性が劣化しない。
Since such a soft magnetic alloy has such a small magnetostriction, it is most suitable for a magnetic shielding material containing soft magnetic alloy powder and a binder. In other words, even when stress is applied when the powder and binder are kneaded together in the production of magnetic shielding materials, when the binder hardens and shrinks, or when used as magnetic shielding materials, there is almost no deterioration in magnetic properties. , the magnetic shielding characteristics do not deteriorate.

また、同様に、コア製造時の圧力により磁気特性の低下
がほとんどないので、圧粉コアとしても好適である。
Similarly, since there is almost no deterioration in magnetic properties due to the pressure during core manufacturing, it is suitable as a dust core.

〈具体的構成〉 以下、本発明の具体的構成を詳細に説明する。<Specific configuration> Hereinafter, the specific configuration of the present invention will be explained in detail.

本発明の軟6H性合金は、微結晶相を有し、下記式(I
)で表わされる組成を有する。
The soft 6H alloy of the present invention has a microcrystalline phase and has the following formula (I
).

[式(I)] (Fe+−aNla) 100−x−y−t、−p−q
cuxs1yBz’l;rp−qCuxSiyBzCr
pM1qただし、上言己式(I)においてMlは■およ
び/またはMnであり、O≦a≦05. 0.1≦x≦5. 6≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦y+z≦30. 0.5≦p≦10. 0 、5 ≦q ≦ 10 である。
[Formula (I)] (Fe+-aNla) 100-x-y-t, -p-q
cuxs1yBz'l;rp-qCuxSiyBz'Cr
pM1q However, in the above formula (I), Ml is ■ and/or Mn, and O≦a≦05. 0.1≦x≦5. 6≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦y+z≦30. 0.5≦p≦10. 0, 5≦q≦10.

Niが含有される場合、延性および展性が向上する。 
このため、後述する媒体撹拌ミルにて粉末化する際に、
磁気シールド材用として好ましい扁平状化を行なうこと
ができる。 また、Niを含有することにより耐食性も
向上する。
When Ni is contained, ductility and malleability are improved.
For this reason, when powdering with a media stirring mill described later,
It is possible to achieve a flattening that is suitable for use as a magnetic shielding material. Moreover, corrosion resistance is also improved by containing Ni.

aが上記範囲を超えると、飽和磁束密度の低下が生じる
。 なお、好ましくはO≦a≦0.1である。
When a exceeds the above range, the saturation magnetic flux density decreases. Note that preferably O≦a≦0.1.

Cuは、後述する熱処理により微結晶相を形成する際に
、必須の元素である。 Cuの含有量を表わすXが上記
範囲未満であると微結晶相の形成が困難となり、−上記
範囲を超えると合金溶湯の急冷に際して薄帯化が困難と
なる。 また、Xが上記範囲を外れると、磁気特性、特
に透磁率が低下し、例えば、コモンモードヂョーク用巻
磁心に適用した場合、良好な実効透磁率が得られない。
Cu is an essential element when forming a microcrystalline phase by heat treatment described below. If X representing the Cu content is less than the above range, it will be difficult to form a microcrystalline phase, and if it exceeds the above range, it will be difficult to form the molten alloy into a thin ribbon during rapid cooling. Furthermore, if X is outside the above range, the magnetic properties, particularly the magnetic permeability, will decrease, and, for example, when applied to a wound core for a common mode jog, good effective magnetic permeability will not be obtained.

 なお、好ましくけ0.3≦x≦2である。Note that preferably 0.3≦x≦2.

Siお上びBは合金をアモルファス化するために含有さ
れる。 本発明では、上記式で表わされる組成の合金溶
湯を、単ロール法等で高速急冷することにより、あるい
は水アトマイズ法による高速急冷によりアモルファス合
金を製造し、このアモルファス合金に熱処理を施すこと
により微結晶相を形成するため、SiおよびBば、上記
範囲にて含有される必要がある。
Si and B are contained to make the alloy amorphous. In the present invention, an amorphous alloy is produced by rapidly cooling a molten alloy having the composition represented by the above formula using a single roll method or the like, or by rapidly cooling using a water atomization method, and then heat-treated to produce a finely divided alloy. In order to form a crystalline phase, Si and B need to be contained within the above ranges.

Siの含有量を表わすy、Bの含有量を表わすZおよび
y+zが上記範囲を外れると、合金のアモルファス化が
困難となる。 また、Bが上記範囲を超えると磁歪が増
加してしまう。
When y representing the Si content, Z representing the B content, and y+z are outside the above ranges, it becomes difficult to make the alloy amorphous. Moreover, if B exceeds the above range, magnetostriction will increase.

なお、好ましくは、8≦y≦20.6≦z≦16、特に
7≦z≦16.20≦y+z≦28である。
Preferably, 8≦y≦20.6≦z≦16, particularly 7≦z≦16.20≦y+z≦28.

SiおよびBの他、ガラス化元素としてC1Ge、P、
Ga、Sb、In、BeおよびAsから選ばれる元素の
1種以上が含有されていてもよい。 これらのガラス化
元素は、SlおよびBと共にアモルファス化を助長する
作用を示し、また、キュリー温度および磁歪の調整作用
も有する。 これらガラス化元素は、SiとBの含有量
の合計、すなわちy+zの30%以下を置換するように
含有されることが好ましい。
In addition to Si and B, C1Ge, P,
One or more elements selected from Ga, Sb, In, Be, and As may be contained. These vitrifying elements, together with Sl and B, have the effect of promoting amorphization, and also have the effect of adjusting the Curie temperature and magnetostriction. These vitrifying elements are preferably contained so as to replace 30% or less of the total content of Si and B, that is, y+z.

これらのうち特にPは、耐食性を向上させ、かつアモル
ファス化を助長させる元素として好ましい。
Among these, P is particularly preferred as an element that improves corrosion resistance and promotes amorphization.

CrおよびMlは、磁歪を減少させるためおよび耐食性
を向上させるために含有される。
Cr and Ml are contained in order to reduce magnetostriction and improve corrosion resistance.

また、Mlは、後述する結晶化のための熱処理の際に、
処理温度の好適範囲を広げる作用も有する。 Crおよ
びMlの含有量をそれぞれ表わすpおよびqが上記範囲
未満となると、微結晶相の形成が困難となる他、十分な
低磁歪および耐食性が得られない。 また、pおよびq
が上記範囲を超えるとアモルファス化が困難となる他、
飽和磁束密度が低下する。 pおよびqについて詳細に
説明すると、 05≦pかっ0.5≦qであれば磁歪定数λsを±5X
10−6以内とすることができ、0.5≦pかつ1.0
≦qであれば磁歪定数λsを+4X10−’以下とする
ことができ、10≦pかっ1.0≦qであれば磁歪定数
えSを+3X10−’以下とすることができる。
In addition, Ml is used during the heat treatment for crystallization described below.
It also has the effect of widening the suitable range of processing temperatures. If p and q, which represent the contents of Cr and Ml, respectively, are less than the above ranges, it will be difficult to form a microcrystalline phase, and sufficient low magnetostriction and corrosion resistance will not be obtained. Also, p and q
If it exceeds the above range, it becomes difficult to make it amorphous, and
Saturation magnetic flux density decreases. To explain p and q in detail, if 05≦p and 0.5≦q, then the magnetostriction constant λs can be adjusted by ±5X.
Can be within 10-6, 0.5≦p and 1.0
If ≦q, the magnetostriction constant λs can be set to +4X10-' or less, and if 10≦p or 1.0≦q, the magnetostriction constant S can be set to +3X10-' or less.

さらに、0.5≦pかつ0.5≦qの条件下において、 3≦pまたは2≦q、好ましくは3.5≦pまたは2.
5≦qとすることにより、磁歪定数^Sを+〇、5X1
0−6以下とすることができる。 また、この場合、薄
板としたどき、100 kHzにおいて5000以上の
実効透磁率が得られ、10000以上、20000にも
及ぶ実効透磁率が得られることもある。 さらに、この
場合、10kG以上の飽和磁束密度が得らJr、る。
Further, under the conditions of 0.5≦p and 0.5≦q, 3≦p or 2≦q, preferably 3.5≦p or 2.
By setting 5≦q, the magnetostriction constant ^S becomes +〇, 5X1
It can be 0-6 or less. Further, in this case, when a thin plate is used, an effective magnetic permeability of 5,000 or more can be obtained at 100 kHz, and an effective magnetic permeability of 10,000 or more, even as high as 20,000, can be obtained in some cases. Furthermore, in this case, a saturation magnetic flux density of 10 kG or more can be obtained.

なお、p→−q≦15であることが好ましい。Note that it is preferable that p→−q≦15.

以−トに挙げた元素の他、本発明の軟磁性合金ニハ、A
ff、白金族元素、S c 、 Y 、 frllJJ
i元素、Au、Zn、SnおよびReから選択される1
種以上の元素が含有されていてもよい。
In addition to the elements listed below, the soft magnetic alloys of the present invention
ff, platinum group element, S c , Y , frllJJ
i element, 1 selected from Au, Zn, Sn and Re
More than one type of element may be contained.

これらの元素が含有される場合、その含有量の合計は、
」記式で表わされる組成に対して10%以下であること
が好ましい。
If these elements are contained, the total content is
It is preferable that the amount is 10% or less based on the composition represented by the following formula.

本発明は、微結晶相な有する軟磁性合金であって、下記
式(II )で表わされる組成を有する軟磁性合金も含
む。
The present invention also includes a soft magnetic alloy having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (II).

[式(II)] (Fe l −aNla) + oo−y−y−1−p
−qcllxsl、y13zcr pM’ 6M2r但
し、上記式(II )においてMlは■および/または
Mnであり、Mにl:、 T i 、 Z r、+(f
 、 N +)、T a 、 M oおよびWから選ば
れた種以上の元素であり、 0≦a≦0.5. 01≦x≦5. 0≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦、y+Z≦30、 0、5 ≦p≦ 10. 0、 5 ≦q ≦ 10゜ O≦ 「 ≦ 10 である。
[Formula (II)] (Fe l -aNla) + oo-y-y-1-p
-qcllxsl, y13zcr pM' 6M2r However, in the above formula (II), Ml is ■ and/or Mn, and M has l:, T i , Z r, +(f
, N+), Ta, Mo, and W, and 0≦a≦0.5. 01≦x≦5. 0≦y≦20. 6≦z≦20. 15≦, y+Z≦30, 0, 5≦p≦10. 0, 5≦q≦10゜O≦ “≦10.

上記式(II )で表わされる組成を有する軟磁性合金
は、Fe−Cu−3i−B −M2合金にCrおよびM
lを添加することにより、磁歪を低トさぜ、しかも耐食
性を向上させたものである。
The soft magnetic alloy having the composition represented by the above formula (II) is a Fe-Cu-3i-B-M2 alloy containing Cr and M.
By adding l, magnetostriction is lowered and corrosion resistance is improved.

上記式(II )で表わされる組成を有する軟磁性合金
において、a、X、y、Z、、Y+Z、 pおよびqの
範囲の限定理由および各元素を置換してもよい元素、さ
らにその他含有されてもよい元素は、上記式(I)で表
わされる軟磁性合金と同様である。
In the soft magnetic alloy having the composition represented by the above formula (II), the reasons for limiting the ranges of a, The elements that may be used are the same as those for the soft magnetic alloy represented by the above formula (I).

なお、上記式(II )において、p+q+r≦15で
あることが好ましい。
In addition, in the above formula (II), it is preferable that p+q+r≦15.

本発明の軟磁性合金は、微結晶相の占める割合が50%
以上であることが好ましく、軟磁性合金全体が微結晶相
で構成されている場合、特に高い磁気特性が得られる。
The soft magnetic alloy of the present invention has a microcrystalline phase of 50%.
The above is preferable, and when the entire soft magnetic alloy is composed of a microcrystalline phase, particularly high magnetic properties can be obtained.

 なお、軟磁性合金の微結晶相以外の部分は、実質的に
アモルファスで構成される。
Note that the portion of the soft magnetic alloy other than the microcrystalline phase is substantially amorphous.

本発明において良好な磁気特性を得るためには、微結晶
の平均粒径な好ましくは1000Å以下、より好ましく
は500Å以下、さらに好ましくは200Å以下、特に
好ましくは50〜200人とすることがよい。 この場
合の平均粒径は、各結晶粒の最大径の平均とする。 平
均粒径は透過型電子顕微鏡により測定することができる
In order to obtain good magnetic properties in the present invention, the average grain size of the microcrystals is preferably 1000 Å or less, more preferably 500 Å or less, even more preferably 200 Å or less, and particularly preferably 50 to 200 particles. The average grain size in this case is the average of the maximum diameters of each crystal grain. The average particle size can be measured using a transmission electron microscope.

なお、本発明の軟磁性合金には、磁気特性に悪影響を与
えない限り、N、0、S等の不可避的不純物が含有され
ていてもよい。
Note that the soft magnetic alloy of the present invention may contain inevitable impurities such as N, 0, and S, as long as they do not adversely affect the magnetic properties.

次に、軟磁性合金の製造方法を説明する。Next, a method for manufacturing the soft magnetic alloy will be explained.

上記の軟磁性合金は、片ロール法、双ロール法等の通常
の液体急冷法によって製造されたアモルファス合金薄帯
を粉砕したもの、あるいは水アトマイズ法により製造さ
れたアモルファス合金粉末に、熱処理を施して微結晶相
を形成することにより得られる。
The above-mentioned soft magnetic alloy is produced by heat-treating amorphous alloy ribbon produced by a normal liquid quenching method such as a single-roll method or a twin-roll method, or an amorphous alloy powder produced by a water atomization method. It is obtained by forming a microcrystalline phase.

液体急冷法により製造されるアモルファス合金薄帯の厚
さは、5〜50μm、特に15〜25μmであることが
好ましい。
The thickness of the amorphous alloy ribbon produced by the liquid quenching method is preferably 5 to 50 μm, particularly 15 to 25 μm.

厚さが」1記範囲を外れるアモルファス合金薄帯は、製
造が困難である。
It is difficult to manufacture an amorphous alloy ribbon whose thickness falls outside the range described in 1.

液体急冷法や水アトマイズ法により作製された合金薄帯
あるいは合金粉末に施される熱処理は、真空中、あるい
は窒素、水素、Ar等の不活性ガス雰囲気中で行なうこ
とが好ましいが、空気中で行なってもよい。
The heat treatment applied to the alloy ribbon or alloy powder produced by the liquid quenching method or the water atomization method is preferably carried out in vacuum or in an inert gas atmosphere such as nitrogen, hydrogen, or Ar. You may do so.

熱処理の温度および時間は、熱処理される合金の組成、
形状、寸法などによっても変わるが、450〜700℃
にて5分間〜24時間であることが好ましい。
The heat treatment temperature and time depend on the composition of the alloy being heat treated,
450 to 700℃, although it varies depending on the shape and dimensions etc.
It is preferable that the time is 5 minutes to 24 hours.

本発明によれば、このような温度範囲のほぼ全域に互っ
て良好な磁気特性、特に高い透磁率が得らiする。
According to the present invention, good magnetic properties, particularly high magnetic permeability, can be obtained over almost the entire temperature range.

熱処理温度が上記範囲未満であると、微結晶相を形成す
ることが困難となり、上記範囲な超えると結晶粒が粗大
となり、いずれも高い磁気特性を有する軟磁性粉末が得
られない。
If the heat treatment temperature is less than the above range, it will be difficult to form a microcrystalline phase, and if it exceeds the above range, the crystal grains will become coarse, making it impossible to obtain a soft magnetic powder with high magnetic properties.

熱処理時間が上記範囲未満であると均一な加熱を行なう
ことが困難となり、また、上記範囲を超えると結晶粒が
粗大化し、いずれも高い磁気特性の軟磁性合金が得られ
ない。
If the heat treatment time is less than the above range, it will be difficult to perform uniform heating, and if it exceeds the above range, the crystal grains will become coarse, making it impossible to obtain a soft magnetic alloy with high magnetic properties.

なお、より好ましい熱処理温度および熱処理時間は、4
50〜650°C1特に500〜600″Cにて5分間
〜6時間である。
In addition, the more preferable heat treatment temperature and heat treatment time are 4.
50-650°C, especially 500-600''C for 5 minutes to 6 hours.

なお、この熱処理は、磁場中にて行なわれてもよい。Note that this heat treatment may be performed in a magnetic field.

次に、本発明の6鼓気シールド祠および圧粉コアについ
て詳細に説明する。
Next, the six-pull shield shrine and powder core of the present invention will be explained in detail.

本発明の軟磁性合金が適用された磁気シールド材は、本
発明の軟磁性合金を粉末化した軟磁性粉末と結合剤とを
含有する。
A magnetic shielding material to which the soft magnetic alloy of the present invention is applied contains soft magnetic powder obtained by pulverizing the soft magnetic alloy of the present invention and a binder.

この軟磁性粉末は、扁平状粒子から構成されることが好
ましい。
This soft magnetic powder is preferably composed of flat particles.

扁平状粒子の平均厚さは1μm以下、特に001〜1戸
であることが好ましい。 平均厚さが0.01yA未満
となると、結合剤への分散性が低下する。 また、透磁
率等の磁気特性が低下し、シールド特性が不十分となる
The average thickness of the flat particles is preferably 1 μm or less, particularly 001 to 1 μm. When the average thickness is less than 0.01 yA, the dispersibility in the binder decreases. In addition, magnetic properties such as magnetic permeability deteriorate, and shielding properties become insufficient.

方、1戸を超えると、磁気シールド材を薄く塗布する場
合に扁平状粒子が均一に分散された塗膜を形成すること
ができず、また、塗膜の厚さ方向の扁平状粒子の存在数
が少なくなるため、シールド特性が不十分となる。 な
お、平均厚さが0.01〜0.6−となると、より好ま
しい結果を得る。
On the other hand, if the number of houses exceeds one, it will not be possible to form a coating film in which flat particles are evenly dispersed when applying a thin layer of magnetic shielding material, and the presence of flat particles in the thickness direction of the coating film will not be possible. As the number decreases, the shielding characteristics become insufficient. In addition, when the average thickness is 0.01 to 0.6-, more preferable results are obtained.

平均厚さは、分析型走査型電子顕微鏡で測定すればよい
The average thickness may be measured using an analytical scanning electron microscope.

扁平状粒子の平均アスペクト比は10〜3000、特に
10〜500であることが好ましい。 本発明において
平均アスペクト比とは、扁平状粒子の平均粒径をその平
均厚さで除した値である。
The average aspect ratio of the flat particles is preferably from 10 to 3,000, particularly from 10 to 500. In the present invention, the average aspect ratio is a value obtained by dividing the average particle diameter of flat particles by their average thickness.

平均アスペクト比が10未満であると反磁界の影響が大
きくなり、透磁率などの磁気特性が低下し、シールド特
性が不十分となる。
When the average aspect ratio is less than 10, the influence of the demagnetizing field becomes large, magnetic properties such as magnetic permeability decrease, and shielding properties become insufficient.

方、上記した範囲内の平均厚さを有する扁平状粒子にお
いて平均アスペクト比が3000を超える場合、平均粒
径が大きくなりすぎるので、結合剤ど混線する際に破断
が生じ易くなり磁気特性が劣化する。
On the other hand, if the average aspect ratio of flat grains having an average thickness within the above range exceeds 3000, the average grain size will become too large, making it easy to break when cross-wired with the binder, resulting in deterioration of magnetic properties. do.

なお、この場合の平均粒径とは重量平均粒径D aoを
意味し、軟磁性粉末を構成する扁平状粒子の重量な粒径
の小さい方から積算し、この値が軟磁性粉末全体の重量
の50%に達したときの扁平状粒子の粒径である。 ま
た、この場合の粒径け、光散乱法を用いた粒度分析計で
測定した粒径である。 より具体的には、光散乱法を用
いた粒度分析とは、試料を例えば循環しながらレーザー
光やハロゲンランプ等を光源としてフランポーコア回折
あるいはミイ散乱の散乱角を測定し、粒度分布を測定す
るものである。
In addition, the average particle size in this case means the weight average particle size Dao, which is integrated from the smaller weight particle size of the flat particles constituting the soft magnetic powder, and this value is the weight of the entire soft magnetic powder. This is the particle size of the flat particles when the particle size reaches 50%. In addition, the particle size in this case is the particle size measured with a particle size analyzer using a light scattering method. More specifically, particle size analysis using a light scattering method is a method of measuring the particle size distribution by measuring the scattering angle of Frampeau core diffraction or Miy scattering using a laser beam, halogen lamp, etc. as a light source while circulating the sample. It is.

この詳細は、例えば「粉体と工業J VOL、]9No
、 7 (19g?)に記載されている。 上記のD 
s。
For details, see, for example, "Powder and Industry J VOL," 9 No.
, 7 (19g?). D above
s.

は、このような粒度分析計により得られた粒度分布によ
り決定することができる。
can be determined from the particle size distribution obtained by such a particle size analyzer.

扁平状粒子は、このようにして決定されるD soが、
5〜30+a+であることが好ましい。
For flat particles, D so determined in this way is
It is preferable that it is 5-30+a+.

このような扁平状粒子の主面形状において、その長軸の
長さ(最大径)をa、短軸の長さ(最小径)をbとした
とき、軸比の平均a / bは、磁気シールドに方向性
が要求される場合には1.2以上のできるだけ大きい値
が望ましい。
In the main surface shape of such a flat particle, when the length of the major axis (maximum diameter) is a and the length (minimum diameter) of the minor axis is b, the average axial ratio a / b is the magnetic When directionality is required for the shield, a value as large as possible of 1.2 or more is desirable.

磁界源が方向性を有する場合には、その方向へ配向磁場
を作用させながら磁性塗料を硬化させればその方向の透
磁率の向上ができ、磁気シールド効果を大きくすること
ができる。 この場合、a / bが1.2〜5となる
と、より好ましい結果を得る。 そして、後述する媒体
撹拌ミルによれば、このような軸比を容易に実現するこ
とができる。
When the magnetic field source has directionality, by curing the magnetic paint while applying an orienting magnetic field in that direction, the magnetic permeability in that direction can be improved and the magnetic shielding effect can be increased. In this case, when a/b is 1.2 to 5, more preferable results are obtained. According to the media stirring mill described below, such an axial ratio can be easily achieved.

粒子の長軸および短軸は、分析型透過型電子顕微鏡によ
り測定すればよい。
The long axis and short axis of the particles may be measured using an analytical transmission electron microscope.

このような扁平状粒子からなる軟磁性粉末は、磁気シー
ルド特性向上のために以下のような磁気特性を有するこ
とが好ましい。
The soft magnetic powder made of such flat particles preferably has the following magnetic properties in order to improve magnetic shielding properties.

直流磁界での最大透磁率JL mは、20〜80、より
好ましくは25〜60であり、保磁力Hcは1〜200
e、より好ましくは1〜140eである。
The maximum magnetic permeability JL m in a DC magnetic field is 20 to 80, more preferably 25 to 60, and the coercive force Hc is 1 to 200.
e, more preferably 1 to 140e.

なお、このような扁平状粒子からなる軟磁性粉末の磁気
特性、特に保磁力は、同組成の薄帯状合金の1. OO
〜1000倍程席上なるのが通常である。
The magnetic properties, especially the coercive force, of the soft magnetic powder made of such flat particles are 1. OO
It is normal for the seat to be up to 1000 times higher.

ト記したような軟磁性粉末は、下記の製造方法により製
造されることが好ましい。
The soft magnetic powder as described above is preferably manufactured by the following manufacturing method.

この製造方法は、」1記式で表オつされる組成の合金溶
湯を高速急冷してアモルファス合金粉末を製造する第1
工程と、扁平状アモルファス合金粒子から構成されるア
モルファス合金粉末を得る第2工程と、得られた扁平状
アモルファス合金粉末に熱処理を施して微結晶相を形成
する第3工程とを含む。
This production method consists of a first method in which an amorphous alloy powder is produced by rapidly cooling a molten alloy having a composition represented by the following formula:
a second step of obtaining an amorphous alloy powder composed of flat amorphous alloy particles, and a third step of subjecting the obtained flat amorphous alloy powder to a heat treatment to form a microcrystalline phase.

第1工程では、高速急冷に水アトマイズ法を用いること
が好ましい。 この明細書では、水アトマイズ法により
得られたアモルファス合金粉末を、水アトマイズ粉末と
称する。
In the first step, it is preferable to use a water atomization method for high-speed quenching. In this specification, the amorphous alloy powder obtained by the water atomization method is referred to as water atomized powder.

第2図は、水アトマイズ法を説明する模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating the water atomization method.

原料合金は誘導加熱などにより溶湯とされ、溶解炉1底
部のノズルから噴霧タンク2内に流下される。 流下さ
れた合金溶湯に噴霧ノズル3から高圧水を噴射し、冷却
して凝固・粉末化する。 なお、粉末の酸化を防ぐため
、噴霧タンク2内は、不活性ガス雰囲気とすることが好
ましい。 次いで、噴霧タンク2および排水タンク5内
から粉末を回収し、乾燥して水アトマイズ粉末を得る。
The raw material alloy is made into a molten metal by induction heating or the like, and is flowed down into the spray tank 2 from a nozzle at the bottom of the melting furnace 1. High-pressure water is injected from the spray nozzle 3 onto the flowing down molten alloy to cool it and solidify it into powder. Note that, in order to prevent oxidation of the powder, it is preferable that the interior of the spray tank 2 be an inert gas atmosphere. Next, the powder is collected from the spray tank 2 and the drainage tank 5 and dried to obtain water atomized powder.

このような水アトマイズ法を用いると、合金溶湯は薄帯
形状などを経ることなく直接粒子化される。
When such a water atomization method is used, the molten alloy is directly granulated without forming it into a ribbon shape.

このような水アトマイズ法において、溶湯の流下量、噴
霧ノズルからの高圧水の加圧圧力、噴射量、噴射速度、
噴射方向、噴霧ノズルの形状等を適当に制御・調整する
ことにより、後述する嵩密度および寸法の水アトマイズ
粉末を得ることかできる。 水アトマイズ法のこれら各
種条件の好適例を、下記に示す。
In such a water atomization method, the amount of flowing molten metal, the pressurizing pressure of high-pressure water from the spray nozzle, the amount of injection, the injection speed,
By appropriately controlling and adjusting the spray direction, the shape of the spray nozzle, etc., water atomized powder having the bulk density and dimensions described below can be obtained. Preferred examples of these various conditions for the water atomization method are shown below.

/8湯の流下量は10〜1000 g/s程度であるこ
とが好ましい。
The flow rate of /8 hot water is preferably about 10 to 1000 g/s.

噴霧ノズルからの高圧水の加圧圧力は10〜1000気
圧程度、噴射量は50〜1.00j/sec程度である
ことが好ましい。
It is preferable that the pressurized pressure of the high-pressure water from the spray nozzle is about 10 to 1000 atm, and the injection amount is about 50 to 1.00 j/sec.

なお、好ましい冷却速度は102〜10’”C/s程度
である。
Note that the preferable cooling rate is about 10<2 >to 10''' C/s.

また、原料合金の組成は、目的どする軟磁性粉末の組成
とすればよく、具体的には、上記式で表わされる組成か
ら選択される。
Further, the composition of the raw material alloy may be the composition of the desired soft magnetic powder, and specifically, it is selected from the compositions represented by the above formula.

上記したような軟磁性粉末を得るためには、水アトマイ
ズ粉末を構成するアモルファス合金粒子の重量平均粒径
D5゜を、5〜30痔、特に7〜20戸とすることが好
ましい。 この範囲未満となると扁平状化しにくくなり
、この範囲を超えるとアモルファス化度が低下する。
In order to obtain the soft magnetic powder as described above, it is preferable that the weight average particle diameter D5 of the amorphous alloy particles constituting the water atomized powder is 5 to 30 degrees, particularly 7 to 20 degrees. If it is less than this range, flattening becomes difficult, and if it exceeds this range, the degree of amorphization decreases.

また、水アトマイズ粉末は、嵩密度が2g/cm3以上
、特に2.1〜5g/cm3、さらには2.5〜4 、
5 g/cm3であることが好ましい。
In addition, the water atomized powder has a bulk density of 2 g/cm3 or more, particularly 2.1 to 5 g/cm3, more preferably 2.5 to 4 g/cm3,
It is preferable that it is 5 g/cm3.

なお、嵩密度と合金粒子形状の規則性とは相関する。 
具体的には、嵩密度が小さい場合、粒子形状の不規則性
が高く、嵩密度が大きい場合、粒子形状の不規則性は低
い。 そして、嵩密度が上記範囲を超える水アトマイズ
粉末はアモルファス化度が低いため、媒体撹拌ミルによ
り扁平状化を行なっても、後述するアモルファス化度を
達成することが困難である。 また、嵩密度が上記範囲
未満である水アトマイズ扮末は合金粒子の形状不規則性
が高いため、媒体撹拌ミルによって扁平状化する際に合
金粒子の不規則な破断が生じ、前述した寸法、形状およ
び粒度分布を有する扁平状粒子とすることが困難である
Note that the bulk density and the regularity of the alloy particle shape are correlated.
Specifically, when the bulk density is low, the irregularity of the particle shape is high, and when the bulk density is high, the irregularity of the particle shape is low. Since water atomized powder having a bulk density exceeding the above range has a low degree of amorphization, it is difficult to achieve the degree of amorphization described below even if it is flattened using a media stirring mill. In addition, since the water atomized powder whose bulk density is less than the above range has high irregularity in the shape of the alloy particles, irregular fractures of the alloy particles occur when flattened by a media stirring mill, resulting in the above-mentioned dimensions and It is difficult to form flat particles with a specific shape and particle size distribution.

嵩密度が」1記範囲内である水アトマイズ粉末では合金
粒子がほぼ球状であるため、第2工程において媒体撹拌
ミルにより扁平状化を行なった場合、媒体撹拌ミルの圧
延・剪断作用が有効にはたらき、上記したような形状お
よび寸法の扁平状粒子を容易に得ることができる。
In water atomized powder whose bulk density is within the range listed in 1, the alloy particles are almost spherical, so when flattening is performed by a medium stirring mill in the second step, the rolling and shearing action of the medium stirring mill is effective. Therefore, flat particles having the shape and dimensions as described above can be easily obtained.

なお、前記したような軟磁性粉末を得るためには、この
ような水アトマイズ法に限らず、通常の片ロール法等の
高速冷却法により薄帯を製造し、この薄帯な粗粉砕した
後に媒体撹拌ミルによる扁平状化を行ない、扁平状アモ
ルファス合金粒子を得てもよい。
In addition, in order to obtain the above-mentioned soft magnetic powder, a thin ribbon is produced not only by such water atomization method but also by a high-speed cooling method such as an ordinary single roll method, and after coarsely pulverizing the thin ribbon. Flat amorphous alloy particles may be obtained by flattening using a media stirring mill.

第2工程におけるアモルファス合金粒子の扁平状化は、
媒体撹拌ミルにより行なうことが好ましい。
The flattening of the amorphous alloy particles in the second step is
Preferably, it is carried out in a media-stirred mill.

媒体撹拌ミルはビン型ミル、ビーズミルあるいはアジテ
ータ−ボールミルとも称される撹拌機であり、例えば特
開昭61−259739号公報などに記載がある。
The medium stirring mill is an agitator also called a bottle-type mill, bead mill, or agitator ball mill, and is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 61-259739.

第3図は、媒体撹拌ミルの構造を示す部分縦断面図であ
る。
FIG. 3 is a partial vertical sectional view showing the structure of the media stirring mill.

媒体撹拌ミル11は、円筒容器12の内周側面およびこ
の円筒容器12内に設りられた回転体13の外周側面に
多数のロッド14が植立さ11でおり、円筒容器12内
周側面と回転体13の外周側面どの間には媒体としてビ
ーズと、被撹拌物が充填される。
The medium stirring mill 11 has a large number of rods 14 installed on the inner circumferential side of a cylindrical container 12 and on the outer circumferential side of a rotating body 13 installed in the cylindrical container 12. Beads and a substance to be stirred are filled as a medium between the outer circumferential surfaces of the rotating body 13.

そして、円筒容器12と回転体13とが相対的に高速回
転されることにより、ロッド14がビーズを撹拌し、被
撹拌物は主としてビーズにより圧延・剪断される。
By rotating the cylindrical container 12 and the rotating body 13 at a relatively high speed, the rod 14 stirs the beads, and the object to be stirred is mainly rolled and sheared by the beads.

水アトマイズ粉末を構成するアモルファス合金粒子は、
このような媒体撹拌ミルが有する圧延・剪断作用により
扁平状化され、前述したような磁気シールド材として好
適な扁平形状が得られる。
The amorphous alloy particles that make up the water atomized powder are
It is flattened by the rolling and shearing action of such a media stirring mill, and a flattened shape suitable for the magnetic shielding material as described above is obtained.

媒体撹拌ミルを用いて圧延・剪断する際の好ましい条件
としては、例えば、ビーズ径1〜5mT!l、ビーズ充
填率20〜80%、回転体13外周側面に設けられたロ
ッド14先端での周速1〜20m/s程度である。
Preferred conditions for rolling and shearing using a media stirring mill include, for example, a bead diameter of 1 to 5 mT! 1, a bead filling rate of 20 to 80%, and a circumferential speed of about 1 to 20 m/s at the tip of the rod 14 provided on the outer peripheral side of the rotating body 13.

なお、媒体撹拌ミル以外の手段、例えば、スタンプミル
、振動ミル、アトライター等では、前述したような形状
の扁平状合金粉末を得ることはできない。
Note that it is not possible to obtain flat alloy powder in the shape described above by means other than a media stirring mill, such as a stamp mill, a vibration mill, an attritor, etc.

媒体撹拌ミルにより所定形状および寸法とされた扁平状
合金粒子は、第3工程において熱処理が施さ汎る。 こ
の熱処理により、扁平状合金粒子には前述した微結晶相
が形成される。
The flat alloy particles, which have been made into a predetermined shape and size by the medium stirring mill, are subjected to heat treatment in the third step. By this heat treatment, the above-mentioned microcrystalline phase is formed in the flat alloy particles.

この熱処理は、前述した熱処理と同様にして行なう。This heat treatment is performed in the same manner as the heat treatment described above.

このようにして得られる軟磁性粉末と結合剤とを含有す
る磁気シールド材は、結合剤中に軟磁性粉末を構成する
扁平状粒子が分散されているものである。
The magnetic shielding material containing soft magnetic powder and a binder obtained in this way has flat particles constituting the soft magnetic powder dispersed in the binder.

このような磁気シールド材は、素材100%に換算した
場合の直流磁界での最大透磁率μ。
Such magnetic shielding materials have a maximum magnetic permeability μ in a DC magnetic field when converted to 100% of the material.

を50以上、好ましくは]、 O0以上、特に150〜
400、さらには1.80〜350とすることができ、
保磁力Hcを2〜200e、特に2〜150eとするこ
とができる。
50 or more, preferably ], O0 or more, especially 150 or more
400, or even 1.80 to 350,
The coercive force Hc can be between 2 and 200e, particularly between 2 and 150e.

このような磁気特性が容易に得られるのは、粉砕等の加
工工数が少なく、導入される加工歪が減少するからであ
る。 このため、大きな71 、かえられ、十分な磁気
シールド効果かえられる。 また、Hcは200e以下
となり、この点でも十分な磁気シールド効果かえられる
Such magnetic properties can be easily obtained because the number of processing steps such as pulverization is small and the introduced processing strain is reduced. For this reason, a large 71 is obtained, and a sufficient magnetic shielding effect is obtained. Further, Hc is 200e or less, and in this respect as well, a sufficient magnetic shielding effect can be obtained.

なお、軟磁性粉末の磁気シールド材中で充填率は、60
〜95wt%であることが好ましい。
In addition, the filling rate in the magnetic shielding material of soft magnetic powder is 60
It is preferably 95 wt%.

充填率が60wt%未満であると磁気シールド効宋が急
激に減少し、95wt%を超えると軟磁性粉末が結合剤
によって強固に結びイ1」<ことができず、磁気シール
ド材の強度が低下する。
When the filling rate is less than 60 wt%, the magnetic shielding effect decreases rapidly, and when it exceeds 95 wt%, the soft magnetic powder cannot be firmly bound by the binder, and the strength of the magnetic shielding material decreases. do.

充填率が70〜90wt%であると、特に良好な磁気シ
ールド効果が得られ、シールド材の強度も十分である。
When the filling rate is 70 to 90 wt%, a particularly good magnetic shielding effect can be obtained, and the strength of the shielding material is also sufficient.

用いる結合剤に特に制限はなく、公知の熱可塑性樹脂、
熱硬化性樹脂、放射線硬化性樹脂等から適当に選択する
ことができる。
There are no particular restrictions on the binder used, and known thermoplastic resins,
It can be appropriately selected from thermosetting resins, radiation curable resins, and the like.

なお、磁気シールド材は、軟磁性粉末および結合剤の他
、硬化剤、分散剤、安定剤、カップリング剤等を含有し
てもよい。
In addition, the magnetic shielding material may contain a hardening agent, a dispersant, a stabilizer, a coupling agent, etc. in addition to the soft magnetic powder and the binder.

このような磁気シールド利は、通常、所望の形状に成形
され、あるいは必要な溶媒を用いて塗布用組成物とされ
た後に塗布され、次いで、必要に応じて加熱硬化されて
用いられる。
Such magnetic shielding materials are usually molded into a desired shape or made into a coating composition using a necessary solvent, and then applied, and then, if necessary, heated and cured before use.

なお、硬化は、一般に、加熱オーブン中で50〜80°
Cにて6〜100時間程度加熱すればよい。
In addition, curing is generally performed at 50 to 80° in a heated oven.
What is necessary is just to heat at C for about 6 to 100 hours.

磁気シールド材を、膜状あるいは薄帯状に成形して磁気
シールド用に用いる場合、磁気シールド材の厚さは5〜
200μmであることが好ましい。
When the magnetic shielding material is formed into a film shape or a thin strip shape and used for magnetic shielding, the thickness of the magnetic shielding material is 5 to 5.
Preferably, it is 200 μm.

このような厚さ範囲とするのは、本発明が適用さ第1た
磁気シールド材は前記したような磁気特性を有するため
、5μmの厚さでも高い磁気シールド効果を示し、また
、シールド材が磁気飽和しない程度の強度を有する磁界
のシールドをする場合、200μmを超える厚さに形成
しても磁気シールド効果は顕著には向上せず、200I
Im以下とすればコスト的にも有利だからである。
This thickness range is chosen because the first magnetic shielding material to which the present invention is applied has the above-mentioned magnetic properties, and therefore exhibits a high magnetic shielding effect even with a thickness of 5 μm. When shielding from a magnetic field strong enough to prevent magnetic saturation, the magnetic shielding effect does not improve significantly even if the thickness exceeds 200 μm;
This is because it is advantageous in terms of cost if it is less than Im.

なお、磁気シールド材を所要の形状に成形あるいは塗布
する際に、配向磁界をかけたりあるいは機械的に配向す
ることにより、方向性の高い磁気シールド材とすること
ができ、特に、磁気シールド材を板状あるいは膜状とし
たときには、膜面と平行な方向の磁界に対して高い磁気
シールド効果を示し、上記のような厚さ範囲にて十分な
効果を示すものである。
In addition, when forming or coating the magnetic shielding material into a desired shape, it is possible to make the magnetic shielding material highly directional by applying an orienting magnetic field or mechanically orienting it. When formed in the form of a plate or film, it exhibits a high magnetic shielding effect against a magnetic field in a direction parallel to the film surface, and exhibits a sufficient effect within the above thickness range.

なお、磁気シールド材に適用するに際し、軟磁性粉末に
は、Cu、Ni等の導電性被膜を形成してもよい。
Note that when applied to a magnetic shield material, a conductive film of Cu, Ni, etc. may be formed on the soft magnetic powder.

このような磁気シールド材は、スピーカ、CRT等の磁
気シールドの他、極めて広い範囲に適用することができ
る。
Such a magnetic shielding material can be applied to an extremely wide range of applications in addition to magnetic shielding of speakers, CRTs, and the like.

[圧粉コア] 本発明が適用された圧粉コアは、上記式で表わさ第1る
軟磁性合金の粉末を含有する。
[Powder core] The powder core to which the present invention is applied contains powder of the first soft magnetic alloy represented by the above formula.

圧粉コアの形状および寸法は、上記した巻磁心と同様で
ある。
The shape and dimensions of the dust core are similar to those of the wound core described above.

このような圧粉コアの製造方法に特に制限はないが、下
記の方法により製造することが好ましい。
Although there are no particular limitations on the method for producing such a powder core, it is preferable to produce it by the method described below.

まず、上記式で表わされる組成を有する合金溶湯を液体
急冷法により高速急冷し、アモルファス合金薄帯を得る
First, a molten alloy having a composition represented by the above formula is rapidly quenched by a liquid quenching method to obtain an amorphous alloy ribbon.

次いで、このアモルファス合金薄帯に脆化のための熱処
理を施す。 この熱処理は、300〜450℃程度にて
10分〜10時間程度行なうことが好ましい。
Next, this amorphous alloy ribbon is subjected to heat treatment for embrittlement. This heat treatment is preferably carried out at about 300 to 450°C for about 10 minutes to 10 hours.

脆化熱処理後、振動ボールミルなどにより50〜300
0戸程度の平均粒径に粉砕する。
After embrittlement heat treatment, 50 to 300
Grind to an average particle size of about 0.

得られたアモルファス合金粒子に絶縁処理を施す。 絶
縁処理方法に特に制限はないが、粒子表面に水ガラス等
の無機材料の被覆を形成することにより絶縁を行なうこ
とが好ましい。
The obtained amorphous alloy particles are subjected to insulation treatment. Although there are no particular limitations on the insulation treatment method, it is preferable to perform insulation by forming a coating of an inorganic material such as water glass on the particle surface.

なお、脆化のための熱処理を酸化性雰囲気中で行なうこ
とにより、前記した巻磁心と同様に絶縁膜を形成するこ
ともできる。 この場合、さらに上記のような絶縁処理
を施してもよい。
Note that an insulating film can also be formed in the same manner as the above-described wound core by performing heat treatment for embrittlement in an oxidizing atmosphere. In this case, an insulation treatment as described above may be further performed.

絶縁処理されたアモルファス合金粒子を、プレス成形す
る。 プレス成形する際には、必要に応じて各種無機潤
滑剤および/または有機潤滑剤を添加してもよい。
The insulated amorphous alloy particles are press-molded. When press-molding, various inorganic lubricants and/or organic lubricants may be added as necessary.

プレス時の温度は400〜550″C程度、印加圧力は
5〜20 t /cm2程度、圧力保持時間は01秒〜
1時間程度である。
The temperature during pressing is about 400~550''C, the applied pressure is about 5~20t/cm2, and the pressure holding time is about 1 second~
It takes about 1 hour.

プレス成型した後、上記した条件により熱処理を施して
アモルファス合金粒子に微結晶相を形成し、本発明の軟
磁性合金の粉末を含有する圧粉コアを得る。 なお、磁
心中の粉末の占積率は、50〜100%程度であり、好
ましくは、75〜95%である。
After press molding, heat treatment is performed under the conditions described above to form a microcrystalline phase in the amorphous alloy particles, thereby obtaining a powder core containing the soft magnetic alloy powder of the present invention. The space factor of the powder in the magnetic core is approximately 50 to 100%, preferably 75 to 95%.

このようにして得られる本発明の巻磁心および圧粉二】
アば、スイッチング電源用出力平滑チョークコイルなど
に好適である。
[2] Wound magnetic core and powder powder of the present invention obtained in this way]
It is suitable for output smoothing choke coils for switching power supplies.

〈実施例〉 以下、具体的実施例および実験例を挙げて、本発明をさ
らに詳細に説明する。
<Examples> Hereinafter, the present invention will be explained in more detail by giving specific examples and experimental examples.

[実験例1] 下記表1に示す組成を有する原料合金溶湯を片ロール法
により高速急冷し、アモルファス合金薄帯を作製した。
[Experimental Example 1] A raw material alloy molten metal having the composition shown in Table 1 below was rapidly cooled by a single roll method to produce an amorphous alloy ribbon.

これらのアモルファス合金薄帯に、N2ガス中で500
〜550℃にて1時間熱処理を施して微結晶相を形成し
、軟磁性薄帯サンプルを得た。 これらの軟磁性薄帯サ
ンプルの厚さは22μm、幅は3mmであった。 なお
、これらのサンプルを透過型電子顕微鏡により観察した
結果、平均粒径1.000Å以下の結晶粒からなる微結
晶相を有していた。
These amorphous alloy ribbons were heated at 500° C. in N2 gas.
A heat treatment was performed at ~550°C for 1 hour to form a microcrystalline phase, and a soft magnetic ribbon sample was obtained. The thickness of these soft magnetic ribbon samples was 22 μm and the width was 3 mm. In addition, as a result of observing these samples with a transmission electron microscope, they had a microcrystalline phase consisting of crystal grains with an average grain size of 1.000 Å or less.

こ、+1らのサンプルに対し、磁歪定数Isの測定、耐
食性の評価および応力印加による保磁力Hcの変化率の
測定を行なった。
For samples such as +1, the magnetostriction constant Is was measured, the corrosion resistance was evaluated, and the rate of change in coercive force Hc due to stress application was measured.

耐食性は、各サンプルを5%食塩水に24時間浸漬した
後の表面状態を、下記の基準で評価した。
Corrosion resistance was evaluated by the following criteria on the surface condition of each sample after immersing it in 5% saline for 24 hours.

○・変化なし △:部分的に発錆 X:発錆面積大 ×× 全面に発錆 保磁力Hcの変化率は、以下のようにして測定した。○・No change △: Partially rusted X: Large rusting area XX Rust on the entire surface The rate of change in coercive force Hc was measured as follows.

上記各薄帯サンプルを外径14mm、内径10mm、高
さ3mylのトロイダル状に巻回し、終端を固定して巻
磁心とした。 この巻磁心の保磁力Hcoを測定した。
Each of the ribbon samples described above was wound into a toroidal shape having an outer diameter of 14 mm, an inner diameter of 10 mm, and a height of 3 myl, and the terminal end was fixed to form a wound core. The coercive force Hco of this wound core was measured.

次いで、これらの巻磁心に500gの重りを載せて応力
を印加し、このときの巻磁心の保磁力Hc+を測定した
。 表1に示す保磁力の変化率は、Hc+/Hcnであ
る。
Next, a weight of 500 g was placed on these wound magnetic cores to apply stress, and the coercive force Hc+ of the wound magnetic cores at this time was measured. The rate of change in coercive force shown in Table 1 is Hc+/Hcn.

表1に示される結果から、Crおよび■を含有する本発
明の軟磁性合金は、磁歪定数んSが小さく、かつ耐食性
が良好であることが明らかである。
From the results shown in Table 1, it is clear that the soft magnetic alloy of the present invention containing Cr and ■ has a small magnetostriction constant S and good corrosion resistance.

なお、下記組成の合金溶湯を、片ロール法により高速急
冷したところアモルファス化せず、また、薄帯状ともな
らなかった。 また、急冷後の下記組成の合金に、上記
と同様な熱処理を施して保磁力を測定したところ、保磁
力が5 0eを超えていた。
Note that when a molten alloy having the composition shown below was rapidly cooled by a single roll method, it did not become amorphous nor did it form into a ribbon. Further, when the coercive force of an alloy having the following composition after quenching was subjected to the same heat treatment as above and the coercive force was measured, it was found that the coercive force exceeded 50e.

Cuo、 5Cr4VsSi2oB4Febaj。Cuo, 5Cr4VsSi2oB4Febaj.

Cu+NbaS12oB4F13baj[実験例2] 下記表2に示す組成の合金溶湯を用い、実験例1と同様
にして軟磁性薄帯サンプルを得た。
Cu+NbaS12oB4F13baj [Experimental Example 2] A soft magnetic ribbon sample was obtained in the same manner as in Experimental Example 1 using a molten alloy having the composition shown in Table 2 below.

これらのサンプルを透過型電子顕微鏡により観察した結
果、平均粒径1000Å以下の結晶粒からなる微結晶相
を有していた。
As a result of observing these samples using a transmission electron microscope, they were found to have a microcrystalline phase consisting of crystal grains with an average grain size of 1000 Å or less.

これらのサンプルに対し、実施例1と同様な測定および
評価を行なった。
The same measurements and evaluations as in Example 1 were performed on these samples.

結果を表2に示す。The results are shown in Table 2.

表2に示される結果から、Crと■とを共に含有するこ
とにより初めて低磁歪および高耐食性が実現し、Nbの
み、あるいはNbおよびCrを含有するだけでは、この
ような特性は得られないことがオ)かる。
From the results shown in Table 2, it is clear that low magnetostriction and high corrosion resistance are achieved only by containing both Cr and ■, and such characteristics cannot be obtained by containing only Nb or Nb and Cr. Gao) Karu.

なお、下記組成の合金溶湯を、片ロール法により高速急
冷したところアモルファス化せず、また、薄帯状どもな
らなかった。 また、急冷後の下記組成の合金に、上記
と同様な熱処理を施して保磁力を測定したところ、保磁
力が5 0eを超えていた。
Note that when a molten alloy having the composition shown below was rapidly cooled by a single roll method, it did not become amorphous and did not form a thin ribbon. Further, when the coercive force of an alloy having the following composition after quenching was subjected to the same heat treatment as above and the coercive force was measured, it was found that the coercive force exceeded 50e.

CL1+Nb5Cr3Si2o、 JaFebaj[実
験例3] F記表3に示す組成の合金溶湯を用い、実験例1と同様
にして軟磁性薄帯サンプルを得た。
CL1+Nb5Cr3Si2o, JaFebaj [Experimental Example 3] A soft magnetic ribbon sample was obtained in the same manner as in Experimental Example 1 using a molten alloy having the composition shown in Table 3.

これらのサンプルを透過型電子顕微鏡により観察した結
果、平均粒径1000Å以下の結晶粒からなる微結晶相
を有していた。
As a result of observing these samples using a transmission electron microscope, they were found to have a microcrystalline phase consisting of crystal grains with an average grain size of 1000 Å or less.

これらのサンプルに対し、実験例1と同様な測定および
評価を行なった。
The same measurements and evaluations as in Experimental Example 1 were performed on these samples.

結果を表3に示す。The results are shown in Table 3.

なお、下記組成の合金溶湯を、片ロール法により高速急
冷して得られたアモルファス合金薄帯に実験例1と同様
な熱処理を施したところ、平均粒径1000Å以下の結
晶粒からなる微結晶相は観察されず、また、保磁力は5
 0eを超えていた。
In addition, when an amorphous alloy ribbon obtained by rapidly cooling a molten alloy having the following composition by a single roll method was subjected to the same heat treatment as in Experimental Example 1, a microcrystalline phase consisting of crystal grains with an average grain size of 1000 Å or less was obtained. was not observed, and the coercive force was 5
It exceeded 0e.

C11o、 yV<Si l 3. J9F+3baj
C11o, yV<Sil 3. J9F+3baj
.

C;uo、 tcrisi l *、 5BeFeba
j。
C; uo, tcrisi l *, 5BeFeba
j.

この結果から、微結晶を形成するためには、Crおよび
■を共に含有する必要があることがわかる。
This result shows that it is necessary to contain both Cr and ■ in order to form microcrystals.

[実験例4] CLIQ、 5CrpV、Si l 3. gBeFe
baj、合金薄帯の磁歪定数λs、実効透磁率μ、およ
び飽和磁束密度Bsを測定した。 なお、実効透磁率は
、測定周波数100kHz、測定磁界2  mOeで測
定した。
[Experimental Example 4] CLIQ, 5CrpV, Si I 3. gBeFe
baj, magnetostriction constant λs, effective magnetic permeability μ, and saturation magnetic flux density Bs of the alloy ribbon were measured. Note that the effective magnetic permeability was measured at a measurement frequency of 100 kHz and a measurement magnetic field of 2 mOe.

結果を第1図に示す。The results are shown in Figure 1.

第1図に示される結果から、本発明の軟磁性合金は磁歪
が小さく、しかも磁気特性が良好であることが明らかで
ある。
From the results shown in FIG. 1, it is clear that the soft magnetic alloy of the present invention has low magnetostriction and good magnetic properties.

なお、上記各実施例のCrおよび■を含有する合金組成
に、さらにNbを添加した組成を有する軟磁性合金を作
製し、上記実験例と同様な測定を行なったところ、上記
とほぼ同等の結果が得られた。
In addition, when a soft magnetic alloy having a composition in which Nb was further added to the alloy composition containing Cr and ■ of each of the above examples was made and the same measurements as in the above experimental examples were performed, almost the same results as above were obtained. was gotten.

[実施例1] 実験例1のサンプルNo、 3作製に用いたアモルファ
ス合金薄帯を350℃にて1時間熱処理することにより
脆化し、次いで振動ボールミルにより粒径105〜5o
o、mの範囲になるよう粉砕した。 得られた粉末に水
ガラスの被覆を形成し、さらに印加圧力1. Ot /
 kg/cm2で480℃にて1分間プレスした。 さ
らに実施例1と同様な熱処理を施し、外径14+nm、
内径1.0mm、高さ3+no+の圧粉コアを得た。
[Example 1] The amorphous alloy ribbon used in the production of Sample No. 3 of Experimental Example 1 was embrittled by heat treatment at 350°C for 1 hour, and then reduced to a grain size of 105 to 50 by a vibrating ball mill.
It was ground to a size in the range of o and m. A water glass coating was formed on the obtained powder, and an applied pressure of 1. Ot /
It was pressed at 480° C. for 1 minute at kg/cm 2 . Furthermore, the same heat treatment as in Example 1 was performed, and the outer diameter was 14+ nm.
A powder core having an inner diameter of 1.0 mm and a height of 3+no+ was obtained.

この圧粉コア中のアモルファス合金粉末の占積率は、9
1vo1%であった。
The space factor of the amorphous alloy powder in this powder core is 9
It was 1vo1%.

この圧粉コアにギャップ長0.8mmのギャップを形成
し、ケーシングに入れて巻線を施した。 これをスイッ
チング電源用平滑チョークコイルとして用いたところ、
ギャップ形成部の唸りは認められなかった。
A gap with a gap length of 0.8 mm was formed in this powder core, and the powder core was placed in a casing and wound. When this was used as a smooth choke coil for a switching power supply,
No groaning was observed at the gap forming part.

なお、この圧粉コアの1 kl(zでの透磁率0才55
0であった。
In addition, 1 kl of this powder core (magnetic permeability at z 0 55
It was 0.

また、この圧粉コアに含有される合金粉末を透過型電子
顕微鏡により観察した結果、平均粒径1000Å以下の
結晶粒からなる微結晶相を有していた。
Further, as a result of observing the alloy powder contained in this powder core using a transmission electron microscope, it was found that it had a microcrystalline phase consisting of crystal grains with an average grain size of 1000 Å or less.

[実施例2] 第2図に示すような水アトマイズ装置を用いて水アトマ
イズ粉末を得た。 原料合金の組成は、実験例1のザン
ブルNo、 3のものを用いた。
[Example 2] Water atomized powder was obtained using a water atomization device as shown in FIG. As for the composition of the raw material alloy, those of Zamble No. 3 of Experimental Example 1 were used.

次いで、水アトマイズ粉末を第3図に示すような媒体撹
拌ミルで扁平状化した。 次いで、扁平状化された水ア
トマイズ粉末に実施例1と同様な熱処理を施した。 熱
処理後の水アトマイズ粉末を透過型電子顕微鏡により観
察した結果、平均粒径1000Å以下の結晶粒からなる
微結晶相を有していた。 水アトマイズ粉末のD so
は12μm、平均厚さは01叩であり、a / bは、
14であった。
The water atomized powder was then flattened using a media stirring mill as shown in FIG. Next, the flattened water atomized powder was subjected to the same heat treatment as in Example 1. As a result of observing the water atomized powder after the heat treatment using a transmission electron microscope, it was found that it had a microcrystalline phase consisting of crystal grains with an average grain size of 1000 Å or less. D so of water atomized powder
is 12 μm, the average thickness is 01 mm, and a/b is:
It was 14.

なお、平均厚さは分析型走査型電子顕微鏡により測定し
、D soは光散乱を利用した精度分析計により測定し
た。
Note that the average thickness was measured using an analytical scanning electron microscope, and Dso was measured using a precision analyzer using light scattering.

次に、得られた軟磁性粉末を下記の結合剤、硬化剤およ
び溶剤と混合し、磁気シールド材を作製した。
Next, the obtained soft magnetic powder was mixed with the following binder, curing agent, and solvent to produce a magnetic shielding material.

(結合剤) 塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体 [エスレックA(積木化学社製)] 1100重量 部リウレタン[ニラポラン2304 (日本ポリウレタ
ン社製)コ       100重量部(固型分換算) (硬化剤) ポリイソシアネート[コロネートHL(日本ポリウレタ
ン社製)1     10重量部(溶 剤) MEK           850重量部磁気シール
ド材中の軟磁性粉末の充填率は80wt%とじた。
(Binder) Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer [S-LEC A (manufactured by Block Chemical Co., Ltd.)] 1100 parts by weight Riurethane [Niraporan 2304 (manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.) 100 parts by weight (solid content equivalent) (Curing agent) Polyisocyanate [Coronate HL (manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.) 1 10 parts by weight (solvent) MEK 850 parts by weight The filling rate of the soft magnetic powder in the magnetic shielding material was 80 wt%.

得られた磁気シールド材を、厚さ75μmの長尺P I
F、 T基板に100戸厚に塗布し、ロール状に巻き取
った後、60℃にて60分間加熱して結合剤を硬化した
。 次いで磁気シールド材をシート状に切断してシール
ド板とした。
The obtained magnetic shield material was made into a long P I with a thickness of 75 μm.
The binder was applied to F and T substrates to a thickness of 100 mm, wound up into a roll, and then heated at 60° C. for 60 minutes to harden the binder. Next, the magnetic shielding material was cut into sheets to obtain shield plates.

このシールド板についてシールド比を測定しlこ。Measure the shield ratio of this shield plate.

シールド比は、シールド板を磁石上に設置し、シールド
板から0.5cmの位置での漏れ磁束φを測定し、これ
とシールド板がない場合の磁束φ。とを比較した比φ/
φ。で表わした。
The shield ratio is determined by placing a shield plate on a magnet, measuring the leakage magnetic flux φ at a position 0.5 cm from the shield plate, and calculating the magnetic flux φ when there is no shield plate. The ratio φ/
φ. It was expressed as

なお、測定の際には、シールド板を曲率半径70mmに
湾曲させて応力を加えた。
Note that during the measurement, the shield plate was bent to a radius of curvature of 70 mm and stress was applied.

このシールド板のシールド比は、0.02以下であった
The shield ratio of this shield plate was 0.02 or less.

また、結合剤の硬化前と硬化後に、それぞれ磁気シール
ド材の保磁力を測定したところ、これらの間に差はみら
れなかった。
Furthermore, when the coercive force of the magnetic shielding material was measured before and after the binder was cured, no difference was found between them.

以上の実施例から本発明の効果が明らかである。The effects of the present invention are clear from the above examples.

〈発明の効果〉 本発明では、Crと■および/またはMnとを含有する
新規組成により、低磁歪かつ高耐食性の軟磁性合金が実
現する。
<Effects of the Invention> In the present invention, a soft magnetic alloy with low magnetostriction and high corrosion resistance is realized by a new composition containing Cr, (1) and/or Mn.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の軟磁性合金組成におけるCrおよび
■の含有量と、磁歪定数λs、飽和磁束密度Bsおよび
実効透磁率μとの関係を示すグラフである。 第2図は、水アトマイズ法を説明するための模式図であ
る。 第3図は、媒体撹拌ミルの構造を示す部分縦断面図であ
る。 相号の説明 】・・・溶解炉 2・・・噴霧タンク 3・・・噴霧ノズル 4・・・水 5・・・抽水タンク 11・・・媒体撹拌ミル 12・・・円筒容器 13・・・回転体 】4・・・ロッド 特許出願人 ティーデイ−ケイ株式会社代  理  人
  弁理士   石  井  陽同     弁理士 
  増  1) 達  哉F 工 G− F 工 G−
FIG. 1 is a graph showing the relationship between the contents of Cr and ■ in the soft magnetic alloy composition of the present invention, the magnetostriction constant λs, the saturation magnetic flux density Bs, and the effective magnetic permeability μ. FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the water atomization method. FIG. 3 is a partial vertical sectional view showing the structure of the media stirring mill. Explanation of phase numbers]...Melting furnace 2...Spray tank 3...Spray nozzle 4...Water 5...Water extraction tank 11...Medium stirring mill 12...Cylindrical container 13... [Rotating body] 4...Rod Patent applicant: TDA-K Co., Ltd. Agent: Patent attorney: Yodo Ishii, Patent attorney:
Increase 1) Tatsuya F Eng G- F Eng G-

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)微結晶相を有し、下記式( I )で表わされる組
成を有する軟磁性合金の粉末と、結合剤とを含有するこ
とを特徴とする磁気シールド材。 [式( I )] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_−_z_−_p_−_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_q(但し、上記式( I )において
M^1はVおよび/またはMnであり、 0≦a≦0.5、 0.1≦x≦5、 6≦y≦20、 6≦z≦20、 15≦y+z≦30、 0.5≦p≦10、 0.5≦q≦10 である。) (2)磁歪定数λsが±5×10^−^6以内である請
求項1に記載の磁気シールド材。 (3)微結晶相を有し、下記式(II)で表わされる組成
を有することを特徴とする軟磁性合金の粉末と、結合剤
とを含有することを特徴とする磁気シールド材。 [式(II)] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_−_z_−_p_−_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_qM^2_r(但し、上記式(II)
においてM^1はVおよび/またはMnであり、M^2
は、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、MoおよびWから
選ばれた一種以上の元素であり、 0≦a≦0.5、 0.1≦x≦5、 0≦y≦20、 6≦z≦20、 15≦y+z≦30、 0.5≦p≦10、 0.5≦q≦10、 0≦r≦10 である。) (4)磁歪定数λsが±5×10^−^6以内である請
求項3に記載の磁気シールド材。 (5)微結晶相を有し、下記式( I )で表わされる組
成を有する軟磁性合金の粉末から形成されたことを特徴
とする圧粉コア。 [式( I )] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_−_z_−_p_−_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_q(但し、上記式( I )において
M^1はVおよび/またはMnであり、 0≦a≦0.5、 0.1≦x≦5、 6≦y≦20、 6≦z≦20、 15≦y+z≦30、 0.5≦p≦10、 0.5≦q≦10 である。) (6)磁歪定数λsが±5×10^−^6以内である請
求項5に記載の圧粉コア。 (7)微結晶相を有し、下記式(II)で表わされる組成
を有することを特徴とする軟磁性合金の粉末から形成さ
れたことを特徴とする圧粉コア。 [式(II)] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_−_z_−_p_−_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_qM^2_r(但し、上記式(II)
においてM^1はVおよび/またはMnであり、M^2
は、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、MoおよびWから
選ばれた一種以上の元素であり、 0≦a≦0.5、 0.1≦x≦5、 0≦y≦20、 6≦z≦20、 15≦y+z≦30、 0.5≦p≦10、 0.5≦q≦10、 0≦r≦10 である。) (8)磁歪定数λsが±5×10^−^6以内である請
求項7に記載の圧粉コア。
[Scope of Claims] (1) A magnetic shielding material characterized by containing powder of a soft magnetic alloy having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (I), and a binder. [Formula (I)] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_-_z_-_p_-_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_q (However, in the above formula (I), M^1 is V and/or Mn, 0≦a≦0.5, 0.1≦x≦5, 6≦y≦20, 6≦z≦ (20) (2) The magnetostriction constant λs is within ±5×10^-^6. magnetic shielding material. (3) A magnetic shielding material characterized by containing powder of a soft magnetic alloy having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (II), and a binder. [Formula (II)] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_-_z_-_p_-_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_qM^2_r (however, the above formula (II)
, M^1 is V and/or Mn, and M^2
is one or more elements selected from Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Mo and W, 0≦a≦0.5, 0.1≦x≦5, 0≦y≦20, 6≦ z≦20, 15≦y+z≦30, 0.5≦p≦10, 0.5≦q≦10, 0≦r≦10. ) (4) The magnetic shielding material according to claim 3, wherein the magnetostriction constant λs is within ±5×10^-^6. (5) A powder core characterized in that it is formed from a soft magnetic alloy powder having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (I). [Formula (I)] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_-_z_-_p_-_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_q (However, in the above formula (I), M^1 is V and/or Mn, 0≦a≦0.5, 0.1≦x≦5, 6≦y≦20, 6≦z≦ (6) The magnetostriction constant λs is within ±5×10^-^6. powder core. (7) A powder core formed from a soft magnetic alloy powder having a microcrystalline phase and having a composition represented by the following formula (II). [Formula (II)] (Fe_1_−_aNi_a)_1_0_0_−_x_
−_y_-_z_-_p_-_qCu_xSi_yB_
zCr_pM^1_qM^2_r (however, the above formula (II)
, M^1 is V and/or Mn, and M^2
is one or more elements selected from Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Mo and W, 0≦a≦0.5, 0.1≦x≦5, 0≦y≦20, 6≦ z≦20, 15≦y+z≦30, 0.5≦p≦10, 0.5≦q≦10, 0≦r≦10. ) (8) The powder core according to claim 7, wherein the magnetostriction constant λs is within ±5×10^-^6.
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