JPH04178583A - Ic inspection device and inspection method for its voltage variation - Google Patents
Ic inspection device and inspection method for its voltage variationInfo
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- JPH04178583A JPH04178583A JP2306150A JP30615090A JPH04178583A JP H04178583 A JPH04178583 A JP H04178583A JP 2306150 A JP2306150 A JP 2306150A JP 30615090 A JP30615090 A JP 30615090A JP H04178583 A JPH04178583 A JP H04178583A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＩＣ検査装置及びその電圧変動検査方法にかか
り、特に多数の直流電源の出力電圧を容易に変動させ、
このときの装置の状態を自己診断するのに好適なＩＣ試
験装置及び電圧変動検査方法に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an IC testing device and a voltage fluctuation testing method thereof, and particularly to an IC testing device that easily changes the output voltage of a large number of DC power supplies.
The present invention relates to an IC testing device and a voltage fluctuation testing method suitable for self-diagnosing the state of the device at this time.
従来からＩＣ検査装置においては、ＩＣ検査装置に多数
搭載されている直流電源の出力電圧が変動した場合でも
、ＩＣ検査が正確に行われることを確認するために、完
成したＩＣ検査装置の電圧変動検査（試験）が行われて
いる。Conventionally, IC testing equipment has been designed to detect voltage fluctuations in completed IC testing equipment in order to confirm that IC testing can be performed accurately even when the output voltage of the DC power supply that is installed in many IC testing equipment fluctuates. An inspection (test) is being conducted.
上記電圧変動検査は、直流電源に設けられている出力電
圧可変ボリュームを人手によって調整し、例えば出力電
圧を一５％、−２５％、２５％、５％と変化させ、各出
力電圧の状態においてＩＣ検査装置に内蔵されている自
己診断機能により、正常動作可能か否かを検査していた
。The above voltage fluctuation test is performed by manually adjusting the output voltage variable volume installed in the DC power supply, changing the output voltage to -5%, -25%, 25%, and 5%, and The self-diagnosis function built into the IC testing equipment was used to check whether the IC was operating normally.
上記した従来技術においては、ＩＣ試験装置に設けられ
ている多数の直流電源について、−々出力電圧可変ボリ
ュームを人手によって調整して出力電圧を設定する必要
があり、大変面倒であり、多大の時間を要するという問
題点があった。In the above-mentioned conventional technology, it is necessary to set the output voltage by manually adjusting the output voltage variable volume for the large number of DC power supplies installed in the IC test equipment, which is very troublesome and takes a lot of time. There was a problem in that it required
また、上記ＩＣ検査装置の電圧変動検査は、ＩＣ検査装
置を顧客に納品した後においても行う必要性が生じるこ
とがある。しかし、上記したように、電圧変動検査は多
大の時間を要しＩＣの生産ラインに影響を与えるため、
実質的に納品後の電圧変動検査は行うことができないと
いう問題点があった。Furthermore, it may be necessary to perform the voltage fluctuation test of the IC testing device even after the IC testing device is delivered to the customer. However, as mentioned above, voltage fluctuation inspection takes a lot of time and affects the IC production line.
There was a problem in that it was virtually impossible to conduct a voltage fluctuation test after delivery.
本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みなされたもの
で、ＩＣ検査装置における電圧変動検査を短時間で容易
に行うことを可能とするＩＣ検査装置とその電圧変動検
査方法を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the problems of the prior art described above, and an object of the present invention is to provide an IC testing device and a voltage fluctuation testing method thereof, which make it possible to easily test voltage fluctuations in an IC testing device in a short time. The purpose is
本発明のＩＣ検査装置は、複数の直流電源の各々に対し
て、その出力電圧を指示する信号を出力する出力電圧指
示手段と、出力電圧指示手段から出力される上記信号を
受けて、出力電圧を可変する複数の直流電源と、上記複
数の直流電源によって駆動されるＩＣ検査装置内の半導
体回路を自己診断する自己診断手段とを備えたことを特
徴としている。The IC inspection device of the present invention includes an output voltage indicating means for outputting a signal indicating the output voltage of each of the plurality of DC power supplies, and receiving the above signal outputted from the output voltage indicating means to determine the output voltage. The present invention is characterized by comprising a plurality of DC power supplies that vary the DC power supply, and a self-diagnosis means for self-diagnosing a semiconductor circuit in an IC testing device driven by the plurality of DC power supplies.
また、本発明のＩＣ検査装置の電圧変動検査方法は、複
数の直流電源に対して、その出力電圧を指示する電圧指
示信号を出力する第１のステップと、上記複数の直流電
源が上記電圧指示信号を受けて出力電圧を可変する第２
のステップと、ＩＣ検査装置内の半導体回路を自己診断
する第３のステップと、上記第１から第３のステップを
繰り返す第４のステップとから構成されることを特徴と
している。Further, the voltage fluctuation testing method for an IC testing device of the present invention includes a first step of outputting a voltage instruction signal instructing the output voltage to a plurality of DC power supplies; The second one receives the signal and varies the output voltage.
A third step of self-diagnosing the semiconductor circuit in the IC testing device, and a fourth step of repeating the first to third steps.
本発明によれば、複数の直流電源の出力電圧か自動的に
設定され、その状態でＩＣ検査装置内の半導体回路の自
己診断が行われるため、電圧変動検査を短時間で容易に
行うことが可能になり、顧客にＩＣ検査装置等を納品し
た後においても、電圧変動検査を行うことが可能になる
〔実施例〕 ・
以下、添付の図面に示す実施例により、更に詳細に本発
明について説明する。According to the present invention, the output voltages of a plurality of DC power supplies are automatically set, and self-diagnosis of the semiconductor circuit in the IC testing device is performed in that state, so that voltage fluctuation testing can be easily performed in a short time. This makes it possible to perform voltage fluctuation testing even after delivering an IC testing device, etc. to a customer [Example] - The present invention will be explained in more detail below with reference to an example shown in the attached drawings. do.
添付の図面は、本発明の一実施例を示すブロック図であ
る。添付の図面において、１はＩＣ検査装置に搭載され
ているＣＰＵ、２はインターフェイス、３は複数の直流
電源、４はテスタ内回路、５は自己診断手段を示してい
る。ここで、テスタ内回路４とは、ＩＣ検査装置内の種
々の半導体回路を意味する。The accompanying drawings are block diagrams illustrating one embodiment of the invention. In the accompanying drawings, 1 is a CPU installed in the IC testing device, 2 is an interface, 3 is a plurality of DC power supplies, 4 is a circuit within the tester, and 5 is a self-diagnosis means. Here, the tester circuit 4 means various semiconductor circuits within the IC testing device.
添付の図面において、ＣＰＵ１はインターフェイス２を
介して複数の直流電源３の各々に対して出力電圧指示信
号を出力する。また、ＣＰＵＩは、自己診断手段５に対
して、テスタ内回路４の自己診断実行を指示する信号等
を出力する。In the accompanying drawings, a CPU 1 outputs an output voltage instruction signal to each of a plurality of DC power supplies 3 via an interface 2. Further, the CPUI outputs a signal etc. to the self-diagnosis means 5 to instruct the self-diagnosis of the circuit 4 in the tester.
さらに、複数の直流電源３の各々は、ＣＰＵＩからイン
ターフェイス２を介して入力される電圧指示信号を受け
て、その出力電圧を電圧指示信号に応じて可変出力する
機能を有している。例えば、直流電源３は、その出力電
圧を一１０％、−７５％。Further, each of the plurality of DC power supplies 3 has a function of receiving a voltage instruction signal inputted from the CPU via the interface 2 and outputting the output voltage in a variable manner according to the voltage instruction signal. For example, the DC power supply 3 has an output voltage of -10% and -75%.
−５％、−２，５％、２．５％、５％、７．５％、１０
％というように、可変出力可能に構成されている。-5%, -2,5%, 2.5%, 5%, 7.5%, 10
It is configured to allow variable output, such as %.
また、自己診断手段５は、ＣＰＵＩから自己診断実行の
指示を受けて、テスタ内回路４を自己診断する機能を有
している。このとき、自己診断は、複数の直流電源３の
出力電圧が種々変動した状態で行われる。例えば、複数
の直流電源３の内の一つの直流電源の出力電圧を一１θ
％、−７．５％、−５％、−２．５％、２．５％、５％
、７．５％、 １０％というように可変し、このとき
のＩＣ検査装置の状態を自己診断するようにしても良い
し、また複数の直流電源の出力電圧を可変して、このと
きのＩＣ検査装置の状態を自己診断するようにしても良
い。自己診断時の複数の直流電源の出力電圧としては、
種々の組み合わせが可能である。ただし、複数の直流電
源３の内の一つの直流電源の出力電圧を可変する場合に
は、自己診断でエラーが生じた場合、Ｉｃ検査装置内の
どこの半導体回路が悪いのかを判定することかできる効
果を有する。Furthermore, the self-diagnosis means 5 has a function of self-diagnosing the circuit 4 within the tester upon receiving an instruction to execute a self-diagnosis from the CPUI. At this time, the self-diagnosis is performed while the output voltages of the plurality of DC power supplies 3 vary. For example, if the output voltage of one of the plurality of DC power supplies 3 is -1θ
%, -7.5%, -5%, -2.5%, 2.5%, 5%
, 7.5%, 10%, etc., to self-diagnose the condition of the IC testing device at this time, or by varying the output voltage of multiple DC power supplies, The state of the inspection device may be self-diagnosed. The output voltage of multiple DC power supplies during self-diagnosis is as follows:
Various combinations are possible. However, when varying the output voltage of one of the DC power supplies 3, if an error occurs during self-diagnosis, it is difficult to determine which semiconductor circuit in the IC testing device is at fault. It has the effect of
なお、以上に説明した実施例においては、ＣＰＵ１を用
いて複数の直流電源３の出力電圧を可変したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、例えば簡単な切り替
えスイッチを用いて複数の直流電源の出力電圧を変更す
るようにしても良い。In the embodiment described above, the CPU 1 is used to vary the output voltages of the plurality of DC power supplies 3, but the present invention is not limited to this. The output voltage of the DC power supply may be changed.
なお、上記実施例においては、ＩＣ検査装置を例にして
説明したが、この発明はこれに限定されるものではなく
、例えば複数の直流電源を備え、かつ半導体回路の制御
部を備えているような各種の装置にも適用可能である。Although the above embodiments have been described using an IC testing device as an example, the present invention is not limited to this. For example, the invention is not limited to this. It is also applicable to various types of devices.
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ＩＣ
検査装置における電圧変動検査を短時間で容易に行うこ
とが可能になり、顧客にＩＣ検査装置を納品した後にお
いても、電圧変動検査を行うことが可能になる効果を有
する。As is clear from the above description, according to the present invention, the IC
It becomes possible to easily perform a voltage fluctuation test in a testing device in a short time, and there is an effect that it becomes possible to perform a voltage fluctuation test even after the IC testing device is delivered to a customer.
添付の図面は本発明の一実施例を示すブロック図である
。
１・・・ＣＰＵ、２・・・インターフェイス、３・・・
直流電源、４・・・テスタ内回路、５・・・自己診断手
段。
特許出願人 日立電子エンソ′ニア斡り′株式会社代理
人 弁理士 秋 本 正 実The accompanying drawings are block diagrams illustrating one embodiment of the invention. 1...CPU, 2...Interface, 3...
DC power supply, 4... circuit inside the tester, 5... self-diagnosis means. Patent Applicant: Hitachi Electronic Engineering Co., Ltd. Agent: Masami Akimoto, Patent Attorney
Claims (1)
示する信号を出力する出力電圧指示手段と、 出力電圧指示手段から出力される上記信号を受けて、出
力電圧を可変する複数の直流電源と、上記複数の直流電
源によって駆動されるＩＣ検査装置内の半導体回路を自
己診断する自己診断手段と 備えたことを特徴とするＩＣ検査装置。 ２、複数の直流電源に対して、その出力電圧を指示する
電圧指示信号を出力する第１のステップと、 上記複数の直流電源が上記電圧指示信号を受けて出力電
圧を可変する第２のステップと、ＩＣ検査装置内の半導
体回路を自己診断する第３のステップと、 上記第１から第３のステップを繰り返す第４のステップ
と から構成されることを特徴とするＩＣ検査装置の電圧変
動検査方法。[Claims] 1. Output voltage indicating means for outputting a signal indicating the output voltage of each of the plurality of DC power supplies; and upon receiving the signal outputted from the output voltage indicating means, output voltage 1. An IC testing device comprising: a plurality of DC power supplies that vary the voltage; and self-diagnosis means for self-diagnosing a semiconductor circuit within the IC testing device driven by the plurality of DC power supplies. 2. A first step of outputting a voltage instruction signal instructing the output voltage to a plurality of DC power supplies, and a second step of varying the output voltage by the plurality of DC power supplies receiving the voltage instruction signal. a third step of self-diagnosing the semiconductor circuit in the IC testing device; and a fourth step of repeating the first to third steps. Method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2306150A JPH04178583A (en) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | Ic inspection device and inspection method for its voltage variation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2306150A JPH04178583A (en) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | Ic inspection device and inspection method for its voltage variation |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04178583A true JPH04178583A (en) | 1992-06-25 |
Family
ID=17953657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2306150A Pending JPH04178583A (en) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | Ic inspection device and inspection method for its voltage variation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04178583A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010511869A (en) * | 2006-11-30 | 2010-04-15 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | Self-testing, monitoring and diagnostics on grouped circuit modules |
-
1990
- 1990-11-14 JP JP2306150A patent/JPH04178583A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010511869A (en) * | 2006-11-30 | 2010-04-15 | エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド | Self-testing, monitoring and diagnostics on grouped circuit modules |
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