JPH04177900A - 電子部品の観察装置 - Google Patents
電子部品の観察装置Info
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- JPH04177900A JPH04177900A JP2307427A JP30742790A JPH04177900A JP H04177900 A JPH04177900 A JP H04177900A JP 2307427 A JP2307427 A JP 2307427A JP 30742790 A JP30742790 A JP 30742790A JP H04177900 A JPH04177900 A JP H04177900A
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- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子部品の観察装置に係り、光の波長変化や温
度変化にともなう受光素子の感度変化を補正して、基板
に搭載された電子部品や、移載ヘッドのノズルに吸着さ
れた電子部品を精度よく観察するための装置に関する。
度変化にともなう受光素子の感度変化を補正して、基板
に搭載された電子部品や、移載ヘッドのノズルに吸着さ
れた電子部品を精度よく観察するための装置に関する。
（従来の技術）
基板に形成された回路パターンや、これに搭載された電
子部品の位置ずれ、あるいは移載ヘッドのノズルに吸着
された電子部品の位置ずれや品種、欠は等を観察する観
察装置は、カメラと照明装置から構成されており、基板
や電子部品に向って発光素子の光を照射し、その反射光
をカメラにより受光して、上記位置ずれ等を検出するよ
うになっている。
子部品の位置ずれ、あるいは移載ヘッドのノズルに吸着
された電子部品の位置ずれや品種、欠は等を観察する観
察装置は、カメラと照明装置から構成されており、基板
や電子部品に向って発光素子の光を照射し、その反射光
をカメラにより受光して、上記位置ずれ等を検出するよ
うになっている。
発光素子としては、例えばＬＥＤなどが多用される。と
ころがこのような発光素子は温度特性があり、自己発熱
や環境温度の上昇にともない光出力は低下する。このた
め従来、発光素子の光を受光する受光素子を設けて、発
光素子の光出力の低下を検出し、この受光素子の出力を
発光素子の駆動制御手段にフィードバックすることによ
り、発光素子の光出力が低下しないように制御すること
が知られている。
ころがこのような発光素子は温度特性があり、自己発熱
や環境温度の上昇にともない光出力は低下する。このた
め従来、発光素子の光を受光する受光素子を設けて、発
光素子の光出力の低下を検出し、この受光素子の出力を
発光素子の駆動制御手段にフィードバックすることによ
り、発光素子の光出力が低下しないように制御すること
が知られている。
（発明が解決しようとする課題）
ところが上記従来手段によっても、発光素子の光出力の
変動は十分には解消されず、経時的に照度が変動するこ
とから、電子部品の観察精度があがらない問題があった
。
変動は十分には解消されず、経時的に照度が変動するこ
とから、電子部品の観察精度があがらない問題があった
。
本発明者は、実験を重ねる間に、発光素子の光出力の変
動の原因は、上述したような温度特性だけでなく、発光
素子や受光素子の波長特性にも起因することをつきとめ
た。すなわち温度が上昇すると、発光素子はその光出力
が変動するだけでなく、ピーク波長が次第に長くなる特
性を有しており、一方、受光素子は、波長が長くなるに
したがい、感度が上昇する特性を有している。このよう
な発光素子や受光素子の波長特性の為に、従来手段によ
っては、発光素子の光出力の変動を完全に解消できない
ことをつきとめた。
動の原因は、上述したような温度特性だけでなく、発光
素子や受光素子の波長特性にも起因することをつきとめ
た。すなわち温度が上昇すると、発光素子はその光出力
が変動するだけでなく、ピーク波長が次第に長くなる特
性を有しており、一方、受光素子は、波長が長くなるに
したがい、感度が上昇する特性を有している。このよう
な発光素子や受光素子の波長特性の為に、従来手段によ
っては、発光素子の光出力の変動を完全に解消できない
ことをつきとめた。
そこで本発明は、上記のような発光素子や受光素子の温
度特性や波長特性を補正し、常に適正な照度で電子部品
を観察できる手段を提供することを目的とする。
度特性や波長特性を補正し、常に適正な照度で電子部品
を観察できる手段を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は、温度変化にともないピーク波長が移動し、且
つ光出力が変動する発光素子と、この発光素子の駆動制
御手段と、波長により感度が変化する受光素子と、上記
発光素子の光出力を制御するためにこの受光素子の出力
を上記駆動制御手段にフィードバックするフィードバツ
ク手段と、上記発光素子と受光素子の間に設けられたフ
ィルターと、上記発光素子から基板に照射された光の反
射光が入射するカメラとを備え、上記フィルターが、波
長変化や温度変化にともなう上記受光素子の感度変化を
補正するフィルター特性を有するようにしたものである
。
つ光出力が変動する発光素子と、この発光素子の駆動制
御手段と、波長により感度が変化する受光素子と、上記
発光素子の光出力を制御するためにこの受光素子の出力
を上記駆動制御手段にフィードバックするフィードバツ
ク手段と、上記発光素子と受光素子の間に設けられたフ
ィルターと、上記発光素子から基板に照射された光の反
射光が入射するカメラとを備え、上記フィルターが、波
長変化や温度変化にともなう上記受光素子の感度変化を
補正するフィルター特性を有するようにしたものである
。
（作用）
上記構成によれば、波長変化や温度変化にともなう受光
素子の感度変化はフィルターにより 、補正され、常
に適正な照度で電子部品を観察することができる。
素子の感度変化はフィルターにより 、補正され、常
に適正な照度で電子部品を観察することができる。
（実施例）
次に、図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。
第１図は、電子部品の観察装置の側面図である。１はカ
メラであり、その下部には鏡筒２が設けられている。鏡
筒２には、ＬＥＤのような発光素子３と、ハーフミラ−
４と、ホトダイオードのような受光素子５と、フィルタ
ー６が設けられている。７は基板、８はこの基板７に実
装された電子部品である。発光素子３から照射された光
は、ハーフミラ−４より下方に反射され、更に基板７に
反射されて、カメラ１に入射する。また発光素子３から
照射された光の一部は、ハーフミラ−４を透過し、フィ
ルター６を通って受光素子５に入射する。
メラであり、その下部には鏡筒２が設けられている。鏡
筒２には、ＬＥＤのような発光素子３と、ハーフミラ−
４と、ホトダイオードのような受光素子５と、フィルタ
ー６が設けられている。７は基板、８はこの基板７に実
装された電子部品である。発光素子３から照射された光
は、ハーフミラ−４より下方に反射され、更に基板７に
反射されて、カメラ１に入射する。また発光素子３から
照射された光の一部は、ハーフミラ−４を透過し、フィ
ルター６を通って受光素子５に入射する。
第２図は照明系のブロック図である。１０は定電流回路
のような発光素子３の駆動制御手段である。１４はフィ
ードバック手段であって、Ａｍｐ １１、Ａｍｐ １２
、比較器１３から成っている。したがって、受光素子５
の出力をフィート−ハック手段１４を介して駆動制御手
段１０にフィードバツクしながら、発光素子３の光出力
を制御する。
のような発光素子３の駆動制御手段である。１４はフィ
ードバック手段であって、Ａｍｐ １１、Ａｍｐ １２
、比較器１３から成っている。したがって、受光素子５
の出力をフィート−ハック手段１４を介して駆動制御手
段１０にフィードバツクしながら、発光素子３の光出力
を制御する。
第３図（ａ）は、発光素子３の温度特性Ａ１〜Ａ４を示
している。発光素子３の光出力は、自己発熱や環境温度
変化による温度上昇とともにＡｌ−Ａ４へ次第に低下し
、またピーク波長は、次第に長い方に移動する。本実施
例では、２０℃におけるピーク波長は６６０ｎｍであり
、また４０℃におけるピーク波長は６７０ｎｍである。
している。発光素子３の光出力は、自己発熱や環境温度
変化による温度上昇とともにＡｌ−Ａ４へ次第に低下し
、またピーク波長は、次第に長い方に移動する。本実施
例では、２０℃におけるピーク波長は６６０ｎｍであり
、また４０℃におけるピーク波長は６７０ｎｍである。
また第３図（ｂ）は受光素子５の波長特性Ｂを示してい
る。６６０ｎｍにおける感度は１．６７０ｎｍの感度は
１．１である。第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、Ａｍ
ｐ １１、Ａｍｐ１２、受光素子の温度特性Ｃ１，Ｃ２
、Ｃ３を示している。
る。６６０ｎｍにおける感度は１．６７０ｎｍの感度は
１．１である。第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、Ａｍ
ｐ １１、Ａｍｐ１２、受光素子の温度特性Ｃ１，Ｃ２
、Ｃ３を示している。
また第３図（ｃ）は、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を
合成した受光素子５とフィードバック手段１４の総合温
度特性Ｃを示している。２０℃の感度はｌＸｌＸ２＝２
．４０℃の感度は１゜１Ｘ１．ＩＸ２．２＝２．６６２
である。このように、発光素子３、受光素子５、フィー
ドバック手段１４は、それぞれ温度特性や波長特性を有
しており、温度上昇とともに受光素子５の感度は変動し
、ひいては駆動制御手段１０による発光素子３の制御に
狂いを生じることから、以下のようにして、この感度変
化を補正する。
合成した受光素子５とフィードバック手段１４の総合温
度特性Ｃを示している。２０℃の感度はｌＸｌＸ２＝２
．４０℃の感度は１゜１Ｘ１．ＩＸ２．２＝２．６６２
である。このように、発光素子３、受光素子５、フィー
ドバック手段１４は、それぞれ温度特性や波長特性を有
しており、温度上昇とともに受光素子５の感度は変動し
、ひいては駆動制御手段１０による発光素子３の制御に
狂いを生じることから、以下のようにして、この感度変
化を補正する。
第３図（ｄ）は、上記特性Ｂと上記特性Ｃを乗じた総合
感度変化りを示している。２０℃における感度は、ｌＸ
２＝２であり、また４０℃における感度は１．ＩＸ２．
６６２＝２．９２８２である。
感度変化りを示している。２０℃における感度は、ｌＸ
２＝２であり、また４０℃における感度は１．ＩＸ２．
６６２＝２．９２８２である。
そこで本手段では、総合感度変化りと逆特性を有するフ
ィルター６を、発光素子３と受光素子５の間に設けてい
る。第３図（ｅ）はこのフィルター６のフィルター特性
Ｅを示すものであって、その透過率比は、上記感度変化
を適正に補正できるように、６６０ｒ＋ｍにおいて２．
９２８２ｎｍ、６７０ｎｍにおいて２になっている。
ィルター６を、発光素子３と受光素子５の間に設けてい
る。第３図（ｅ）はこのフィルター６のフィルター特性
Ｅを示すものであって、その透過率比は、上記感度変化
を適正に補正できるように、６６０ｒ＋ｍにおいて２．
９２８２ｎｍ、６７０ｎｍにおいて２になっている。
第３図（ｆ）、（ｇ）は、このようなフィルター６を設
けたことによる補正された総合補正感度Ｆ、Ｇを示して
いる。Ｆ＝ＤＸＥ、Ｇ＝Ｄ×Ｅである。フィルター６を
介在させたことにより、波長や温度が変化しても、全体
の感度は変化しない。このことは、発光素子の温度によ
る波長ピーク変化を利用することで各素子の持つ温度依
存性を波長依存性へと変換でき、波長に対する感度補正
をフィルターにて行うことにより、−気に波長、温度依
存性をなくすことができることを意味している。したが
って駆動制御手段１０は指令通り正しく発光素子３の光
出力を制御し、所定の照度で基板７や電子部品８を観察
できる。
けたことによる補正された総合補正感度Ｆ、Ｇを示して
いる。Ｆ＝ＤＸＥ、Ｇ＝Ｄ×Ｅである。フィルター６を
介在させたことにより、波長や温度が変化しても、全体
の感度は変化しない。このことは、発光素子の温度によ
る波長ピーク変化を利用することで各素子の持つ温度依
存性を波長依存性へと変換でき、波長に対する感度補正
をフィルターにて行うことにより、−気に波長、温度依
存性をなくすことができることを意味している。したが
って駆動制御手段１０は指令通り正しく発光素子３の光
出力を制御し、所定の照度で基板７や電子部品８を観察
できる。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、温度変化にともないピー
ク波長が移動し、且つ光出力が変動する発光素子と、こ
の発光素子の駆動制御手段と、波長により感度が変化す
る受光素子と、上記発光素子の光出力を制御するために
この受光素子の出力を上記駆動制御手段にフィードバツ
クするフィードバック手段と、上記発光素子と受光素子
の間に設けられたフィルターと、上記発光素子から基板
に照射された光の反射光が入射するカメラとを備え、上
記フィルターが、波長変化や温度変化にともなう上記受
光素子の感度変化を補正するフィルター特性を有するの
で、温度変化やこれにともなう波長変化があっても、所
定の照度を保ちながら、基板を観察できる。
ク波長が移動し、且つ光出力が変動する発光素子と、こ
の発光素子の駆動制御手段と、波長により感度が変化す
る受光素子と、上記発光素子の光出力を制御するために
この受光素子の出力を上記駆動制御手段にフィードバツ
クするフィードバック手段と、上記発光素子と受光素子
の間に設けられたフィルターと、上記発光素子から基板
に照射された光の反射光が入射するカメラとを備え、上
記フィルターが、波長変化や温度変化にともなう上記受
光素子の感度変化を補正するフィルター特性を有するの
で、温度変化やこれにともなう波長変化があっても、所
定の照度を保ちながら、基板を観察できる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は観察
装置の正面図、第２図は照明系のブロック図、第３図及
び第４図は特性図である。 １・・・カメラ ３・・・発光素子 ５・・・受光素子 ６・・・フィルター ７・・・基板 】０・・・駆動制御手段 １４・・・フィードバック手段
装置の正面図、第２図は照明系のブロック図、第３図及
び第４図は特性図である。 １・・・カメラ ３・・・発光素子 ５・・・受光素子 ６・・・フィルター ７・・・基板 】０・・・駆動制御手段 １４・・・フィードバック手段
Claims (1)
- 温度変化にともないピーク波長が移動し、且つ光出力
が変動する発光素子と、この発光素子の駆動制御手段と
、波長により感度が変化する受光素子と、上記発光素子
の光出力を制御するためにこの受光素子の出力を上記駆
動制御手段にフィードバツクするフィードバック手段と
、上記発光素子と受光素子の間に設けられたフィルター
と、上記発光素子から基板に照射された光の反射光が入
射するカメラとを備え、上記フィルターが、波長変化や
温度変化にともなう上記受光素子の感度変化を補正する
フィルター特性を有することを特徴とする電子部品の観
察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2307427A JP2797697B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 電子部品の観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2307427A JP2797697B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 電子部品の観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04177900A true JPH04177900A (ja) | 1992-06-25 |
| JP2797697B2 JP2797697B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=17968932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2307427A Expired - Lifetime JP2797697B2 (ja) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 電子部品の観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2797697B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10209699A (ja) * | 1997-01-20 | 1998-08-07 | Yamaha Motor Co Ltd | 実装機の部品認識装置 |
| JP2006140519A (ja) * | 2005-12-28 | 2006-06-01 | Yamaha Motor Co Ltd | 実装機の部品認識装置 |
-
1990
- 1990-11-13 JP JP2307427A patent/JP2797697B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10209699A (ja) * | 1997-01-20 | 1998-08-07 | Yamaha Motor Co Ltd | 実装機の部品認識装置 |
| JP2006140519A (ja) * | 2005-12-28 | 2006-06-01 | Yamaha Motor Co Ltd | 実装機の部品認識装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2797697B2 (ja) | 1998-09-17 |
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