JPH041738Y2 - - Google Patents
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- JPH041738Y2 JPH041738Y2 JP1987111807U JP11180787U JPH041738Y2 JP H041738 Y2 JPH041738 Y2 JP H041738Y2 JP 1987111807 U JP1987111807 U JP 1987111807U JP 11180787 U JP11180787 U JP 11180787U JP H041738 Y2 JPH041738 Y2 JP H041738Y2
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- printed wiring
- wiring board
- metal plate
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 39
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 27
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 21
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 10
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229920001342 Bakelite® Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004637 bakelite Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N copper tungsten Chemical compound [Cu].[W] SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
Description
【考案の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この考案は例えば複数の半導体チツプを１枚の
基板に実装する場合に用いて好適な構造のICパ
ツケージに関する。
基板に実装する場合に用いて好適な構造のICパ
ツケージに関する。
「従来の技術」
１枚の絶縁基板に複数の半導体チツプを実装し
た構造のICパツケージを一般にハイブリツトIC
パツケージ等と呼んでいる。ハイブリツトICパ
ツケージでは半導体チツプが複数実装されるた
め、その放熱を考慮しなければならない。このた
め従来は半導体チツプを支持する絶縁基板を熱伝
導のよいセラミツクを使うか、又は半導体チツプ
を直接放熱板に取付けると共に配線面をプラスチ
ツク基板に形成した構造のものが実用されてい
る。
た構造のICパツケージを一般にハイブリツトIC
パツケージ等と呼んでいる。ハイブリツトICパ
ツケージでは半導体チツプが複数実装されるた
め、その放熱を考慮しなければならない。このた
め従来は半導体チツプを支持する絶縁基板を熱伝
導のよいセラミツクを使うか、又は半導体チツプ
を直接放熱板に取付けると共に配線面をプラスチ
ツク基板に形成した構造のものが実用されてい
る。
第２図にセラミツク基板を用いた従来のハイブ
リツトICパツケージの一例を示す。図中１はセ
ラミツクから成る配線基板、２はこの配線基板１
に実装した半導体チツプを示す。
リツトICパツケージの一例を示す。図中１はセ
ラミツクから成る配線基板、２はこの配線基板１
に実装した半導体チツプを示す。
半導体チツプ２を実装した配線基板１の実装面
には印刷配線が被着形成され、この印刷配線と半
導体チツプ２の端子との間をボンデングワイヤ３
で接続する。
には印刷配線が被着形成され、この印刷配線と半
導体チツプ２の端子との間をボンデングワイヤ３
で接続する。
配線基板１の裏面には放熱用の金属板４が被着
され、配線基板１を介して金属板４に熱を伝え、
金属板４を通じて外気に放熱を行なわせている。
また配線基板１の周縁には端子５が取付けられ
る。この端子は配線基板１に形成した印刷配線の
各端部に電気的に接続されている。
され、配線基板１を介して金属板４に熱を伝え、
金属板４を通じて外気に放熱を行なわせている。
また配線基板１の周縁には端子５が取付けられ
る。この端子は配線基板１に形成した印刷配線の
各端部に電気的に接続されている。
半導体チツプ２の実装面をキヤツプ６で被い、
半導体チツプ２及びボンデング線３を保護する。
半導体チツプ２及びボンデング線３を保護する。
第３図は半導体チツプ２を放熱用金属板４に直
接支持させた構造のハイブリツトICパツケージ
の例を示す。つまりこの例ではプラスチツク製の
配線基板１の裏側に放熱用金属板４を被着すると
共に配線基板１に孔を形成し、この孔を通じて半
導体チツプ２を金属板４に直接被着し、半導体チ
ツプ２の収納部に封止材７を充填し、封止材７を
覆うようにキヤツプ６を被せた構造とした場合を
示す。
接支持させた構造のハイブリツトICパツケージ
の例を示す。つまりこの例ではプラスチツク製の
配線基板１の裏側に放熱用金属板４を被着すると
共に配線基板１に孔を形成し、この孔を通じて半
導体チツプ２を金属板４に直接被着し、半導体チ
ツプ２の収納部に封止材７を充填し、封止材７を
覆うようにキヤツプ６を被せた構造とした場合を
示す。
「考案が解決しようとする問題点」
従来のハイブリツトICパツケージでは配線基
板１がセラミツク又はプラスチツクのため印刷配
線を多層化することができない欠点を持つてい
る。
板１がセラミツク又はプラスチツクのため印刷配
線を多層化することができない欠点を持つてい
る。
つまりセラミツク基板はセラミツクを焼成する
前の状態で所望の形状に型等で打抜き、その後に
焼き固めて形成する。このため複数のセラミツク
板を積層し、しかも各積層面に印刷配線を形成す
ることは難かしい。またセラミツク基板は製造に
手間が掛るため高価になる欠点もある。
前の状態で所望の形状に型等で打抜き、その後に
焼き固めて形成する。このため複数のセラミツク
板を積層し、しかも各積層面に印刷配線を形成す
ることは難かしい。またセラミツク基板は製造に
手間が掛るため高価になる欠点もある。
プラスチツク基板の場合も樹脂成形機械によつ
てプラスチツク基板を成形するため印刷配線面を
多層化することはできない。
てプラスチツク基板を成形するため印刷配線面を
多層化することはできない。
このように従来のハイブリツトICパツケージ
は配線基板の材質の制限から印刷配線面を多層化
することができないため印刷配線を形成できる面
積が限られ、半導体チツプの実装個数も少数に限
られてしまう欠点がある。
は配線基板の材質の制限から印刷配線面を多層化
することができないため印刷配線を形成できる面
積が限られ、半導体チツプの実装個数も少数に限
られてしまう欠点がある。
また半導体チツプの実装個数を多くするにはセ
ラミツク基板又はプラスチツク基板の面積を大き
く形成し、印刷配線を形成できる面積を大きくす
ればよい。然し乍らこのようにするとパッケージ
の形状が大きくなつてしまう欠点もある。
ラミツク基板又はプラスチツク基板の面積を大き
く形成し、印刷配線を形成できる面積を大きくす
ればよい。然し乍らこのようにするとパッケージ
の形状が大きくなつてしまう欠点もある。
この考案の目的は小型のICパツケージであり
ながら半導体チツプの実装個数を多く採ることが
できるICパツケージを提供するにある。
ながら半導体チツプの実装個数を多く採ることが
できるICパツケージを提供するにある。
「問題点を解決するための手段」
この考案では半導体チツプを収納することがで
きる孔及び多層化された印刷配線面とを具備した
印刷配線基板と、印刷配線基板の面に近接して配
置した放熱用金属板と、この放熱用金属板に熱の
良導体によつて突出形成され、突出面が印刷配線
基板に形成した孔に挿入されたチツプ支持台と、
このチツプ支持台に支持した半導体チツプと、半
導体チツプの収納部に充填した封止材と、この封
止材を囲むチツプ保護用キヤツプとによつてIC
パツケージを構成したものである。
きる孔及び多層化された印刷配線面とを具備した
印刷配線基板と、印刷配線基板の面に近接して配
置した放熱用金属板と、この放熱用金属板に熱の
良導体によつて突出形成され、突出面が印刷配線
基板に形成した孔に挿入されたチツプ支持台と、
このチツプ支持台に支持した半導体チツプと、半
導体チツプの収納部に充填した封止材と、この封
止材を囲むチツプ保護用キヤツプとによつてIC
パツケージを構成したものである。
この考案の構成によれば半導体チツプは熱の良
導体によつて形成したチツプ支持台に支持され、
このチツプ支持台を通じて放熱用金属板に熱が伝
達される。
導体によつて形成したチツプ支持台に支持され、
このチツプ支持台を通じて放熱用金属板に熱が伝
達される。
この結果半導体チツプから出される熱は放熱用
金属板に効率よく伝達され、高い放熱効果が得ら
れる。
金属板に効率よく伝達され、高い放熱効果が得ら
れる。
更にこの考案によれば多層の印刷配線面を持つ
印刷配線基板を使用しているから小さい面積の印
刷配線基板でも配線面の面積は従来の場合と比較
して配線面の積層倍得られる。
印刷配線基板を使用しているから小さい面積の印
刷配線基板でも配線面の面積は従来の場合と比較
して配線面の積層倍得られる。
よつて小さい面積の印刷配線基板でも半導体チ
ツプの実装個数を多く採ることができ、実装密度
の高いハイブリツトICパツケージを提供するこ
とができる。
ツプの実装個数を多く採ることができ、実装密度
の高いハイブリツトICパツケージを提供するこ
とができる。
「実施例」
第１図にこの考案の一実施例を示す。図中１は
印刷配線基板を示す。この考案ではこの印刷配線
基板１として例えばポリイミド樹脂等の絶縁シー
トに印刷配線を施し、この絶縁シートを多層に積
層するか、又は絶縁板に印刷配線を施し、この絶
縁板を多層に積層した多層印刷配線基板を用い
る。多層印刷配線基板は周知のように各積層面相
互の印刷配線導体はスルーホールによつて接続さ
れ、多層の配線面を使つて規模の大きい回路を構
成することができる。
印刷配線基板を示す。この考案ではこの印刷配線
基板１として例えばポリイミド樹脂等の絶縁シー
トに印刷配線を施し、この絶縁シートを多層に積
層するか、又は絶縁板に印刷配線を施し、この絶
縁板を多層に積層した多層印刷配線基板を用い
る。多層印刷配線基板は周知のように各積層面相
互の印刷配線導体はスルーホールによつて接続さ
れ、多層の配線面を使つて規模の大きい回路を構
成することができる。
印刷配線基板１に孔１Ａを形成する。この孔１
Ａにチツプ支持台１１を挿入し、このチツプ支持
台１１の頂面に半導体チツプ２を取付け半導体チ
ツプ２を印刷配線基板１の孔１Ａ内に支持する。
Ａにチツプ支持台１１を挿入し、このチツプ支持
台１１の頂面に半導体チツプ２を取付け半導体チ
ツプ２を印刷配線基板１の孔１Ａ内に支持する。
チツプ支持台１１は半導体チツプ２の熱膨張率
と同等の熱膨張率を有する例えば銅−タングステ
ンから成る熱の良導体で形成され、チツプ支持面
と反対側の面が放熱用金属板に取付けられる。こ
の例ではチツプ支持面の反対側の面にネジ１１Ａ
を成形し、このネジ１１Ａを放熱用金属板４に形
成した孔に通し、ナツト１１Ｂで締付けてチツプ
支持台１１を放熱用金属板４に取付けた場合を示
す。チツプ支持台１１の取付方法としてはネジ１
１Ａに依らずに接着剤等で直接金属板４に接着し
てもよい。
と同等の熱膨張率を有する例えば銅−タングステ
ンから成る熱の良導体で形成され、チツプ支持面
と反対側の面が放熱用金属板に取付けられる。こ
の例ではチツプ支持面の反対側の面にネジ１１Ａ
を成形し、このネジ１１Ａを放熱用金属板４に形
成した孔に通し、ナツト１１Ｂで締付けてチツプ
支持台１１を放熱用金属板４に取付けた場合を示
す。チツプ支持台１１の取付方法としてはネジ１
１Ａに依らずに接着剤等で直接金属板４に接着し
てもよい。
尚チツプ支持台１１の表面に必要に応じて例え
ばシリコン−カーバイトのように半導体チツプ２
の熱膨張率に近い絶縁層１２を被着形成し、半導
体チツプ２とチツプ支持台１１の間を絶縁するよ
うに構成した場合を示す。
ばシリコン−カーバイトのように半導体チツプ２
の熱膨張率に近い絶縁層１２を被着形成し、半導
体チツプ２とチツプ支持台１１の間を絶縁するよ
うに構成した場合を示す。
印刷配線基板１には例えばコンデンサ、抵抗器
のような部品１３が実装される。部品１３が放熱
用金属板４と対向する面にも実装された場合は印
刷配線基板１と放熱用金属板４の間に絶縁性封止
材１４を充填し、印刷配線基板１と放熱用金属板
４との間に部品１３を収納するに足りる間隔を確
保するようにしている。放熱用金属板４と対向す
る側の面に部品１３を実装しない場合は、封止材
１４は必ずしも必要としない。
のような部品１３が実装される。部品１３が放熱
用金属板４と対向する面にも実装された場合は印
刷配線基板１と放熱用金属板４の間に絶縁性封止
材１４を充填し、印刷配線基板１と放熱用金属板
４との間に部品１３を収納するに足りる間隔を確
保するようにしている。放熱用金属板４と対向す
る側の面に部品１３を実装しない場合は、封止材
１４は必ずしも必要としない。
半導体チツプ２の端子と印刷配線基板１との間
にはボンデングワイヤ３を接続し、半導体チツプ
２と印刷配線基板１との間を電気的に接続する。
にはボンデングワイヤ３を接続し、半導体チツプ
２と印刷配線基板１との間を電気的に接続する。
印刷配線基板１に形成した孔１Ａの内部及びそ
の孔１Ａの周縁には封止材７を充填し、半導体チ
ツプ２及びボンデングワイヤ３を保護する。更に
封止材７を被うようにキヤツプ６を被せる。
の孔１Ａの周縁には封止材７を充填し、半導体チ
ツプ２及びボンデングワイヤ３を保護する。更に
封止材７を被うようにキヤツプ６を被せる。
印刷配線基板１の周縁には端子５を植設し、印
刷配線基板１に形成した回路を外部に接続するこ
とに利用される。
刷配線基板１に形成した回路を外部に接続するこ
とに利用される。
「考案の効果」
上述したようにこの考案によれば半導体チツプ
２は熱伝導度のよい材料で作られたチツプ支持台
１１に支持されており、チツプ支持台１１は放熱
用金属板４に取付けられている。
２は熱伝導度のよい材料で作られたチツプ支持台
１１に支持されており、チツプ支持台１１は放熱
用金属板４に取付けられている。
よつて半導体チツプ２から発生する熱はチツプ
支持台１１を通じて放熱用金属板４に伝わり、放
熱用金属板４から外部に放出される。従つてこの
考案によれば半導体チツプ２の数が多くても半導
体チツプ２から発生する熱は効率よく放熱用金属
板４から外部に放出され、熱が蓄積されて半導体
チツプ２の動作を不能に至らしめることはない。
支持台１１を通じて放熱用金属板４に伝わり、放
熱用金属板４から外部に放出される。従つてこの
考案によれば半導体チツプ２の数が多くても半導
体チツプ２から発生する熱は効率よく放熱用金属
板４から外部に放出され、熱が蓄積されて半導体
チツプ２の動作を不能に至らしめることはない。
一方、この考案では印刷配線基板１をポリイミ
ド樹脂から成る絶縁シート、或いはベークライト
のような絶縁板を多層化した構造の印刷配線基板
を用いるから規模が大きい回路を得ることができ
る。よつて実装する半導体チツプ２の数を多く採
ることができ、規模が大きい装置を一つのパツケ
ージ内に収納することができる。
ド樹脂から成る絶縁シート、或いはベークライト
のような絶縁板を多層化した構造の印刷配線基板
を用いるから規模が大きい回路を得ることができ
る。よつて実装する半導体チツプ２の数を多く採
ることができ、規模が大きい装置を一つのパツケ
ージ内に収納することができる。
またポリイミド樹脂から成るシートを積層した
印刷配線基板及びその他の多層化が可能な印刷配
線基板は一般に広く用いられている配線基板であ
るため安価に作ることができる。特に孔１Ａを形
成することが容易なためこの考案の構造を安価に
作ることができる利点もある。
印刷配線基板及びその他の多層化が可能な印刷配
線基板は一般に広く用いられている配線基板であ
るため安価に作ることができる。特に孔１Ａを形
成することが容易なためこの考案の構造を安価に
作ることができる利点もある。
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図及び第３図は従来の技術を説明するための断
面図である。 １……印刷配線基板、１Ａ……孔、２……半導
体チツプ、３……ボンデングワイヤ、４……放熱
用金属板、５……端子、６……キヤツプ、７……
封止材、１１……チツプ支持台、１２……絶縁
層、１３……部品、１４……封止材。
２図及び第３図は従来の技術を説明するための断
面図である。 １……印刷配線基板、１Ａ……孔、２……半導
体チツプ、３……ボンデングワイヤ、４……放熱
用金属板、５……端子、６……キヤツプ、７……
封止材、１１……チツプ支持台、１２……絶縁
層、１３……部品、１４……封止材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) Ａ 半導体チツプを収納することができる孔
及び多層化された印刷配線面とを具備した印刷
配線基板と、 Ｂ この印刷配線基板の面に近接して配置した放
熱用金属板と、 Ｃ この放熱用金属板に熱の良導体によつて突出
形成され、突出面が上記印刷配線基板に形成し
た孔に挿入されたチツプ支持台と、 Ｄ このチツプ支持台に支持された半導体チツプ
と、 Ｅ この半導体チツプの収納部に充填した封止材
と、 Ｆ この封止材を囲むチツプ保護用キヤツプと、
を具備して成るICパツケージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987111807U JPH041738Y2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987111807U JPH041738Y2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6416641U JPS6416641U (ja) | 1989-01-27 |
| JPH041738Y2 true JPH041738Y2 (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=31350183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987111807U Expired JPH041738Y2 (ja) | 1987-07-20 | 1987-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH041738Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2519422Y2 (ja) * | 1993-06-22 | 1996-12-04 | 将一 林 | 自動車用ホイールのセンターロツク装置 |
| JP5425381B2 (ja) * | 2006-08-14 | 2014-02-26 | 建中 陳 | 発光モジュールおよびその製造プロセス |
-
1987
- 1987-07-20 JP JP1987111807U patent/JPH041738Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6416641U (ja) | 1989-01-27 |
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