JPH04162738A - プロービング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェーハの一面に縦横に並べて形成された集
積回路領域（以下単にペレットと呼ぶ）の電気特性を測
定する１０−ビング装置に関し、特に、装置内に集塵機
構部を設けられたプロービング装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のプロービング装置は、図面には示さない
が、ウェーハを搭載するステージと、ウェーハをステー
ジに移載したり、取出したりするローダ−及びアンロー
ダ一部と、ステージとウェーハのペレット毎にステップ
移動させる駆動機構と、ウェーハの各ベレットと接触し
、電気特性を測定するプローブ及びプローブと接続する
測定装置本体とを有していた。

また、このプロービング装置は、ウェーハを搭載するス
テージの周囲は、前述したように、駆動機構あるいはイ
ンクマーカ機構及びローダ−アンローダ一部と機械的な
可動部が配置されており、運転中に塵埃が発生し易く、
常に真空掃除機のようなもの、常時掃除したりあるいは
可動部から埃を発生しないように、カバーを設けて、埃
がウェーハに付着しないようにしていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のウェーハプロービング装置では、特に、
塵埃発生源である可動機構部付近に集塵機構部を設けら
れていないので、発生した塵埃や、クリーンルーム中に
存在する塵埃を除去することが出来ない。

このため、ウェーハのベレット領域に塵埃が付着しなり
、ベレットが不良となるか、あるいは、Ｐ／Ｗチエツク
時には良品であってもその後ウェーハがケースに収納さ
れる迄のブローバ内で、塵埃が付着した場合は、その後
工程の電気的特性検、査で、不良となり、ベレットの歩
留が低下するという不具合がある。特に、高集積回路を
もつベレットのＰ／Ｗチェック工程でも、ウェーハ表面
に、塵埃の付着する場合には、塵埃が高集積回路のＡＩ
配線を圧ばくし、ＡＪ配線が断線する可能性が高く、歩
留だけでなく、高集積回路の信頼性に問題がある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消するプロービング装
置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の一生面に縦横に並べて複数の集積回路領域が形
成されるウェーハを搭載するステージと、前記集積回路
領域の入出力端子と接触するプローブと、このプローブ
と接続される測定装置本体とを備えるプロービング装置
において、前記ステージ付近に配置される対向する板状
の電極部と、この電極部に直流電圧を印加する電源部と
を有することを特徴としている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明のプロービング装置の一実施例を説明す
るためのステージ周囲を示す模式断面図である。このプ
ロービング装置は、銅図に示すように、ステージ６の周
囲にステージ６に跨がって互いに対向する板状の陰極部
４及び陽極部３とを複数個設け、これら陰極部４及び陽
極部３に電圧を印加する電源部５を設置したことである
。それ以外は従来と同じである。

このプロービング装置の動作は、まず、ウェーハ２が複
数枚収納された一キャリア８をあらかじめキャリア収納
部７に装填する。次に、図面には示さないウェーハ搬送
機構により、ウェーハ２はＩ毎づつステージ６に移載す
る。次に、アライメント機構によって、ウェーハ２のベ
レットの一辺と、ステージの一方向の移動する方向と一
致するようにステージ６を調整する。次に、１ベレツト
毎に移動させ、測定装置本体と電気的に接続されたプロ
ーブ１とベレット上の電極パッドとを接触させ、ベレッ
トの電気的特性を測定する。

このとき、直流電源である電源部５のプラスに接続され
た陽極３と陰極部４に電圧を印加する。

この印加する電圧は３０Ｖ〜４０Ｖに設定する。

さらに、何らかの調整のために、作業者が故意に手を触
れても感電しない程度の電圧に設定する。

このことにより、電気的にプラスに帯電した塵埃は、陰
極部４に、電気的にマイナスに帯電した塵埃は、陽極部
３に吸いよせられ、ステージ６の周囲の集埃が除去され
ることになる。

第２図は本発明のプロービング装置における他の実施例
を説明するための集塵機構部を示す模式断面図である。

そのプロービング装置は、ステージ６の周辺に、第２図
に示す集塵機構部を複数個配置したことである。すなわ
ち、この集塵機構部は、くし型形状の陽極部３及び陰極
部４を互いに入り込ませ、これらに電源部５で電圧を印
加させたことで゛ある。この集塵機構部は、前述の実施
例で示した集塵機構部に比し、電極間を狭く出来るので
より集塵効率を向上させることが出来る。

また、この集塵機構部を、第１図に示すステージ６の近
くだけでなく、キャリア収納部７にも設置すれば、より
集塵効率は高くなる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、直流電源に接続した電極
を互いに対向させて配置させた集塵機構部をウェーハに
搭載させるステージ周辺に配置することによって、ステ
ージ付近に寄道する塵埃を帯電させ、それぞれの電極に
吸着させることが出来るので、ウェーハに埃を付着する
ことなく、安定した測定が出来、かつ歩留低下を招くこ
とのないプロービング装置が得られるという効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプロービング装置の一実施例を説明す
るためのステージ周囲を示す模式断面図、第２図は本発
明のプロービング装置の他の実施例を説明するための集
塵機構部を示す模式断面図である。 １・・・プローブ、２・・・ウェーハ、３，３ａ・・・
陰極部、４，４ａ・・・陽極部、５・・・電源部、６・
・・ステージ、７・・・キャリア収納部、８・・・キャ
リア。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　一主面に縦横に並べて複数の集積回路領域が形成され
   るウェーハを搭載するステージと、前記集積回路領域の
   入出力端子と接触するプローブと、このプローブと接続
   される測定装置本体とを備えるプロービング装置におい
   て、前記ステージ付近に配置される対向する板状の電極
   部と、この電極部に直流電圧を印加する電源部とを有す
   ることを特徴とするプロービング装置。