JPH041503A - レーザ測長計 - Google Patents
レーザ測長計Info
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- JPH041503A JPH041503A JP10273990A JP10273990A JPH041503A JP H041503 A JPH041503 A JP H041503A JP 10273990 A JP10273990 A JP 10273990A JP 10273990 A JP10273990 A JP 10273990A JP H041503 A JPH041503 A JP H041503A
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- light
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 241000270281 Coluber constrictor Species 0.000 description 1
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Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ測長計に関し、詳しくは、レーザから
の光を分岐手段で参照光路と測長光路に一旦分岐してか
ら合わせた後、光学的に位相が順次９０″ずれた２相ま
たは３相の干渉光を分岐し、それら干渉光を検出しＩ；
電気信号に基づいて測長光路長の変化および変化の方向
を測定するレーザ測長計に関する。
の光を分岐手段で参照光路と測長光路に一旦分岐してか
ら合わせた後、光学的に位相が順次９０″ずれた２相ま
たは３相の干渉光を分岐し、それら干渉光を検出しＩ；
電気信号に基づいて測長光路長の変化および変化の方向
を測定するレーザ測長計に関する。
上述のようなレーザ測長計として第６図に示したような
干渉縞計数型レーザ測長計は知られている。
干渉縞計数型レーザ測長計は知られている。
このレーサｉ！ｌｌｉ長計においては、安定化レーザｌ
かＣ−２，“：Ｉ直線偏光かビームスブリ、・夕２でλ
／８板３ｊ、よび固定コーナキューブ４を存する参照光
路と移動コーナキューブ５を有する測長光路とに分岐さ
れ、参照光路に分岐した参照光がλ／８板３を２回通る
ことによって円偏光にされ、この参照光の円偏光と測長
光路に分岐した測長光の直線偏光とが再びビームスプリ
ッタ２１二よって合わされて２分割され、その２分割の
一方がさらに偏光ビームスプリッタ６Ｉこより、測長光
がその偏光面に対し±４５″方向の分光となるように２
分割され、以上によって得られた３種の分割光がそれぞ
れフィルタ７および偏光板８を通ることＩごより移動コ
ーナキューブ５の矢印方向の移動で干渉する位相が順次
９０６づつずれた３種の干渉光とされ、それら３種の干
渉光がそれぞれ検出＃９に入射して９０″づつ位相差の
ある３種の電気信号に変換され、それら３種の電気信号
がそれぞれ増幅器１０で増幅された後に順次位相の９０
″ずれた隣同志を組とする２組Ｉこされて、それら２組
の電気信号がそれぞれ減算器１１に入力されることｌ：
よって得られる９００位相のずれたＳ目］θおよびｃＯ
５θ（但し、θ−２Ｔ（Ｌｍ−Ｌｒ）、／、Ｊ 、ＬＩ
Ｉ！・−ｍ最先路長、Ｌ ｒ−参照光路長、λ・・・波
＆）で変化する電気信号の少なくとも一方から測長光路
長の変化を求め、両方から変化の方向を求めている。
かＣ−２，“：Ｉ直線偏光かビームスブリ、・夕２でλ
／８板３ｊ、よび固定コーナキューブ４を存する参照光
路と移動コーナキューブ５を有する測長光路とに分岐さ
れ、参照光路に分岐した参照光がλ／８板３を２回通る
ことによって円偏光にされ、この参照光の円偏光と測長
光路に分岐した測長光の直線偏光とが再びビームスプリ
ッタ２１二よって合わされて２分割され、その２分割の
一方がさらに偏光ビームスプリッタ６Ｉこより、測長光
がその偏光面に対し±４５″方向の分光となるように２
分割され、以上によって得られた３種の分割光がそれぞ
れフィルタ７および偏光板８を通ることＩごより移動コ
ーナキューブ５の矢印方向の移動で干渉する位相が順次
９０６づつずれた３種の干渉光とされ、それら３種の干
渉光がそれぞれ検出＃９に入射して９０″づつ位相差の
ある３種の電気信号に変換され、それら３種の電気信号
がそれぞれ増幅器１０で増幅された後に順次位相の９０
″ずれた隣同志を組とする２組Ｉこされて、それら２組
の電気信号がそれぞれ減算器１１に入力されることｌ：
よって得られる９００位相のずれたＳ目］θおよびｃＯ
５θ（但し、θ−２Ｔ（Ｌｍ−Ｌｒ）、／、Ｊ 、ＬＩ
Ｉ！・−ｍ最先路長、Ｌ ｒ−参照光路長、λ・・・波
＆）で変化する電気信号の少なくとも一方から測長光路
長の変化を求め、両方から変化の方向を求めている。
すなわち、このし−ザ測長計は、しレーザ光の偏光原理
を利用して順次位相が９０″ずねた３種の干渉縞信号を
得、その順次隣り合う信号の差から測長光路長の変化と
変化の方向の測定に用いる前述のｓｉｎθ、 ｅｏｓθ
で変化する信号を得ているから、レーザ光の強度変動等
の外乱の影響が相殺されて信号レベルの中心が常に一定
になり、干渉縞のミスカウントが少なくなって、精度の
高い測定がなされると言う特長がある。
を利用して順次位相が９０″ずねた３種の干渉縞信号を
得、その順次隣り合う信号の差から測長光路長の変化と
変化の方向の測定に用いる前述のｓｉｎθ、 ｅｏｓθ
で変化する信号を得ているから、レーザ光の強度変動等
の外乱の影響が相殺されて信号レベルの中心が常に一定
になり、干渉縞のミスカウントが少なくなって、精度の
高い測定がなされると言う特長がある。
しかし、従来のこのレーザ測長計は、偏光ビームスプリ
ッタ６をビームスプリッタ２に対して正確Ｉこ配設する
必要があるだけでなく、３種の分割光路のそれぞれにつ
いてフィルタ７および偏光板８を正確に配設しなければ
ならないと言う煩わしさがある。
ッタ６をビームスプリッタ２に対して正確Ｉこ配設する
必要があるだけでなく、３種の分割光路のそれぞれにつ
いてフィルタ７および偏光板８を正確に配設しなければ
ならないと言う煩わしさがある。
本発明は、光学的に２相または３相の干渉光を分岐する
複数の光学素子の正確な配設が容易にできる干渉縞計数
型レーザ測長計の提供を第１の目的とし、さらに、レー
ザ光の強度変動等の外乱の影響を相殺した前述のｓｉｎ
θ、 ｃｏｓθで変化する信号を得るための順次位相が
９０″ずれた３種の干渉縞信号を２相の干渉光の検出信
号から得るようにしたレーザ測長計の提供を第２の目的
とし、また光学的に分岐して得られる２相の干渉光の位
相差を正確に９０″にする調節が容易にできるレーザ測
長計の提供を第３の目的とする。
複数の光学素子の正確な配設が容易にできる干渉縞計数
型レーザ測長計の提供を第１の目的とし、さらに、レー
ザ光の強度変動等の外乱の影響を相殺した前述のｓｉｎ
θ、 ｃｏｓθで変化する信号を得るための順次位相が
９０″ずれた３種の干渉縞信号を２相の干渉光の検出信
号から得るようにしたレーザ測長計の提供を第２の目的
とし、また光学的に分岐して得られる２相の干渉光の位
相差を正確に９０″にする調節が容易にできるレーザ測
長計の提供を第３の目的とする。
本発明は、レーザからの光を分岐手段で参照光路と測長
光路に一旦分岐してから合わせた後、光学的に位相が順
次９０°ずれｔ；２相または３相の干渉光を分岐し、そ
れら干渉光を検出した電気信号に基づいて測長光路長の
変化および変化の方向を測定するレーザ測長計において
、前記光学的に干渉光を分岐する複数の光学素子に４５
６旋光板を含み、該複数の光学素子が隣同志互いに接触
して、全部もしくは一部が一体的に結合していることを
特徴とするレーザ測長計にあり、この構成によって前記
第１の目的を達成し、さらに、光学的に複数の光学素子
で９０６位相のずれた２相の干渉光を分岐して、それら
干渉光を検出した２種の電気信号のいずれか一方からそ
の干渉光に対し位相が１８θ″ずれた３種目の電気信号
を得るようにすることによって前記第２の目的を達成し
、まｌ；、光学的に複数の光学素子で９０６位相のずれ
た２相の干渉光を分岐するのに、一方の干渉光について
用いられているλ／４以上のりタデーシ遊ンを持つ波長
板またはその下流側に隣接する偏光ビームスプリッタを
光軸周りに調節回動可能とすることによって前記第３の
目的を達成する。
光路に一旦分岐してから合わせた後、光学的に位相が順
次９０°ずれｔ；２相または３相の干渉光を分岐し、そ
れら干渉光を検出した電気信号に基づいて測長光路長の
変化および変化の方向を測定するレーザ測長計において
、前記光学的に干渉光を分岐する複数の光学素子に４５
６旋光板を含み、該複数の光学素子が隣同志互いに接触
して、全部もしくは一部が一体的に結合していることを
特徴とするレーザ測長計にあり、この構成によって前記
第１の目的を達成し、さらに、光学的に複数の光学素子
で９０６位相のずれた２相の干渉光を分岐して、それら
干渉光を検出した２種の電気信号のいずれか一方からそ
の干渉光に対し位相が１８θ″ずれた３種目の電気信号
を得るようにすることによって前記第２の目的を達成し
、まｌ；、光学的に複数の光学素子で９０６位相のずれ
た２相の干渉光を分岐するのに、一方の干渉光について
用いられているλ／４以上のりタデーシ遊ンを持つ波長
板またはその下流側に隣接する偏光ビームスプリッタを
光軸周りに調節回動可能とすることによって前記第３の
目的を達成する。
すなわち、本発明のレーザ測長計は、光学的に位相が順
次９０°ずれた２相まＩ；は３相の干渉光を分岐する複
数の光学素子に４５″旋光板を含むから、参照光と測長
光の合わされた光を２分割する４５゜プリズム等として
構成されるビームスプリ・ツタを、レーザ光の参照光路
と測長光路への分割および参照光と測長光を合わせるの
に用いた同じ＜４５６プリズム等として構成される偏光
ビームスプリッタと、側面を平行に配置することができ
るし、そして、４５°旋光板やビームスプリッタ等光学
的に位相が順次９０°ずれＩ；２相または３相の干渉光
を分岐する複数の光学素子が、隣同志互いに接触して全
部もしくは一部が一体的に結合しているから、それら複
数の光学素子の配設が容易にできて、干渉光の分岐を正
確に行うことができる。さらに、光学的に干渉光を分岐
する複数の光学素子を２相の干渉光を分岐するものとす
ることで、複数の光学素子等の数が少なくて済んで、そ
れら光学素子の結合配設が一層容易となるし、２相の干
渉光を検出した電気信号のいずれか一方から干渉縞位相
の１８０６ずれた電気信号を得ることで、２相の干渉光
の位相差を正確に９０°にすれば３種の干渉縞信号の位
相差は正確に９０°づつずれたものとなる。
次９０°ずれた２相まＩ；は３相の干渉光を分岐する複
数の光学素子に４５″旋光板を含むから、参照光と測長
光の合わされた光を２分割する４５゜プリズム等として
構成されるビームスプリ・ツタを、レーザ光の参照光路
と測長光路への分割および参照光と測長光を合わせるの
に用いた同じ＜４５６プリズム等として構成される偏光
ビームスプリッタと、側面を平行に配置することができ
るし、そして、４５°旋光板やビームスプリッタ等光学
的に位相が順次９０°ずれＩ；２相または３相の干渉光
を分岐する複数の光学素子が、隣同志互いに接触して全
部もしくは一部が一体的に結合しているから、それら複
数の光学素子の配設が容易にできて、干渉光の分岐を正
確に行うことができる。さらに、光学的に干渉光を分岐
する複数の光学素子を２相の干渉光を分岐するものとす
ることで、複数の光学素子等の数が少なくて済んで、そ
れら光学素子の結合配設が一層容易となるし、２相の干
渉光を検出した電気信号のいずれか一方から干渉縞位相
の１８０６ずれた電気信号を得ることで、２相の干渉光
の位相差を正確に９０°にすれば３種の干渉縞信号の位
相差は正確に９０°づつずれたものとなる。
また、光学的に２相の干渉光を分岐する複数の光学素子
のうちの、一方の干渉光について用いられているλ／４
以上のリタデーションを持つ波長板またはその下流側に
隣接する偏光ビームスグリツタを、光軸用りに調節回動
可能とすることによって、得られる２相の干渉光の位相
を容易に正確に９０″とすることができ、複数の光学素
子の結合配設が一層容易となる。
のうちの、一方の干渉光について用いられているλ／４
以上のリタデーションを持つ波長板またはその下流側に
隣接する偏光ビームスグリツタを、光軸用りに調節回動
可能とすることによって、得られる２相の干渉光の位相
を容易に正確に９０″とすることができ、複数の光学素
子の結合配設が一層容易となる。
以下、本発明を第１図乃至第５図により説明する。
第１図および第２図はそれぞれ本発明のレーザ測長計の
例を示す構成概要図、第３図は干渉光束と検出器の関係
を示す図、第４図は位相差ｒ／２ラジアンの場合の２種
の干渉縞信号のりサージュ図形、第５図は位相差かに、
／２ラジアンから△θラジアンずれた場合のりサージュ
図形である。
例を示す構成概要図、第３図は干渉光束と検出器の関係
を示す図、第４図は位相差ｒ／２ラジアンの場合の２種
の干渉縞信号のりサージュ図形、第５図は位相差かに、
／２ラジアンから△θラジアンずれた場合のりサージュ
図形である。
第１図および第２図において、第６図と同一符号は同一
機能のものを示している。そして、！２はλ／４板、１
２Ａはλ／４板あるいはそれ以上の例えばλ／２板と言
った波長板、１３は４５″旋光板、１４は４５°反射平
面、１５は結像レンズ、１６は反射増幅器である。
機能のものを示している。そして、！２はλ／４板、１
２Ａはλ／４板あるいはそれ以上の例えばλ／２板と言
った波長板、１３は４５″旋光板、１４は４５°反射平
面、１５は結像レンズ、１６は反射増幅器である。
すなわち、第１．２図のレーザ測長針は、安定化レーザ
ｌの直線偏光ビームをλ／４板１板上２偏光にし、その
円偏光を偏光ビームスプリッタ６で互いに直交する直線
偏光の参照光路の参照光と測長光路の測長光とに分割し
た後に合わせるようにしたことで、その後干渉光を得る
のに参照光と測長光が偏光ビームスプリッタ６で同様に
偏光される結果、両光の強度を等しくし易く、シたがっ
て干渉縞の明瞭な干渉光を容易に得られるようにした点
、および偏光ビームスプリッタ６で合わせられた光を４
５＠ミラ一平面または全反射平面と言った４５°反射平
面１４で反射して光路を変えるようにしたことで、光学
的に干渉光を分岐する光学素子の配設位置設定の自由度
を大きくした点が第６図のレーザ測長計とまず相違して
いる。
ｌの直線偏光ビームをλ／４板１板上２偏光にし、その
円偏光を偏光ビームスプリッタ６で互いに直交する直線
偏光の参照光路の参照光と測長光路の測長光とに分割し
た後に合わせるようにしたことで、その後干渉光を得る
のに参照光と測長光が偏光ビームスプリッタ６で同様に
偏光される結果、両光の強度を等しくし易く、シたがっ
て干渉縞の明瞭な干渉光を容易に得られるようにした点
、および偏光ビームスプリッタ６で合わせられた光を４
５＠ミラ一平面または全反射平面と言った４５°反射平
面１４で反射して光路を変えるようにしたことで、光学
的に干渉光を分岐する光学素子の配設位置設定の自由度
を大きくした点が第６図のレーザ測長計とまず相違して
いる。
さらに、第１図のレーザ測長計は、干渉縞位相が順次９
０″ずれた３相の干渉光を得る光学素子の４５°旋光板
１３、ビームスプリンタ２、ビームスプリッタ２によっ
て２分割された一方の分割光についてのλ／４板１板上
２光ビームスプリッタ６、ビームスプリッタ２によって
２分割された他方の分割光についての偏光ビームスプリ
ッタ６、およびその偏光ビームスプリッタ６を通過した
光についての４５°反射千面１４を有する平板状や側面
三角、四角、平行四辺形のプリズム構成の光学素子を光
路順に隣り合うもの同志接触させた状態で一体化してい
る。そして４５°旋光板１３がビームスプリッタ２を参
照光と測長光の合わせられた光を得るための偏光ビーム
スプリッタ６と側面を平行に配置し得るものにしている
。したがって、光学的に３相の干渉光を得る複数の光学
素子の配設が、第６図のレーザ測長計に比較して、極め
て容易に正確になされて、干渉縞位相が順次９０’ずれ
た３相の干渉光を容易に得ることができる。
０″ずれた３相の干渉光を得る光学素子の４５°旋光板
１３、ビームスプリンタ２、ビームスプリッタ２によっ
て２分割された一方の分割光についてのλ／４板１板上
２光ビームスプリッタ６、ビームスプリッタ２によって
２分割された他方の分割光についての偏光ビームスプリ
ッタ６、およびその偏光ビームスプリッタ６を通過した
光についての４５°反射千面１４を有する平板状や側面
三角、四角、平行四辺形のプリズム構成の光学素子を光
路順に隣り合うもの同志接触させた状態で一体化してい
る。そして４５°旋光板１３がビームスプリッタ２を参
照光と測長光の合わせられた光を得るための偏光ビーム
スプリッタ６と側面を平行に配置し得るものにしている
。したがって、光学的に３相の干渉光を得る複数の光学
素子の配設が、第６図のレーザ測長計に比較して、極め
て容易に正確になされて、干渉縞位相が順次９０’ずれ
た３相の干渉光を容易に得ることができる。
まｔ；、第２図のレーザ測長計は、干渉縞位相が９０°
ずれた２相の干渉光を得る光学素子の４５６旋先板１３
、ビームスプリッタ２、ビームスプリッタ２によって２
分割された一方の分割光についてのλ／４板等の波長板
１２Ａと偏光ビームスプリッタ６、ｅ−ムスブリッタ２
１こよって２分割された他方の分割光Ｃ″ついての偏光
ビームスプリッタ６を有する平板状や三角、四角、平行
四辺形の４５°プリズム構成の光学素子を光路順に隣り
合うもの同志接触させた状態で一体化している。したが
って、第１図のレーザ測長計に比較して４５″反射千面
１４を有する光学素子がないだけ一体化光学素子の形成
が容易であるし、干渉光の結像レンズ１５や検出器９の
配設も２相の干渉光に対しでｔ−けでよいので−層容易
である。
ずれた２相の干渉光を得る光学素子の４５６旋先板１３
、ビームスプリッタ２、ビームスプリッタ２によって２
分割された一方の分割光についてのλ／４板等の波長板
１２Ａと偏光ビームスプリッタ６、ｅ−ムスブリッタ２
１こよって２分割された他方の分割光Ｃ″ついての偏光
ビームスプリッタ６を有する平板状や三角、四角、平行
四辺形の４５°プリズム構成の光学素子を光路順に隣り
合うもの同志接触させた状態で一体化している。したが
って、第１図のレーザ測長計に比較して４５″反射千面
１４を有する光学素子がないだけ一体化光学素子の形成
が容易であるし、干渉光の結像レンズ１５や検出器９の
配設も２相の干渉光に対しでｔ−けでよいので−層容易
である。
第１，２囚のレーザ測長計は、明瞭な干渉縞信号を得る
ためｉこ、干渉光を結像レンズ１５で検出器９に結像さ
せている。それには、第３図に示したように、干渉光束
１７中に現れる干渉縞部分１７Ａが検出器９で捕えられ
るように干渉光に対して結像レンズ１５および検出器９
の位置を設定することが重要である。この点、第１図の
レーザ測長計は３相の干渉光それぞれに対して結像レン
ズｊ５と検出器９を配設しなくてはならなし１が、第２
図のレーザ測長計は２相の干渉光に対してだけでよいか
ら、１相分容易である。
ためｉこ、干渉光を結像レンズ１５で検出器９に結像さ
せている。それには、第３図に示したように、干渉光束
１７中に現れる干渉縞部分１７Ａが検出器９で捕えられ
るように干渉光に対して結像レンズ１５および検出器９
の位置を設定することが重要である。この点、第１図の
レーザ測長計は３相の干渉光それぞれに対して結像レン
ズｊ５と検出器９を配設しなくてはならなし１が、第２
図のレーザ測長計は２相の干渉光に対してだけでよいか
ら、１相分容易である。
まｔ−第２図のレーザ測長計は、２相の干渉光が正確に
位相差９０゛であれば、そのうちの１相の干渉光の検出
信号から反転増幅器１６１ごよって１８００位相差の干
渉Ｊｉｌｌ信号を作っているから、正確に位相が９０°
ずれた３相の干渉縞信号を得ることができる。
位相差９０゛であれば、そのうちの１相の干渉光の検出
信号から反転増幅器１６１ごよって１８００位相差の干
渉Ｊｉｌｌ信号を作っているから、正確に位相が９０°
ずれた３相の干渉縞信号を得ることができる。
以上述べたように、第１．２図のレーザ測長計では順次
位相が９０°ずれた干渉光を比較的容易に得ることがで
き、したがって、ｓｔｎθ、 ＣＯＳθで変化する干渉
縞信号すなわち、リサージュ図形が箸４図に示したよう
な円となる干渉縞信号を得易い。
位相が９０°ずれた干渉光を比較的容易に得ることがで
き、したがって、ｓｔｎθ、 ＣＯＳθで変化する干渉
縞信号すなわち、リサージュ図形が箸４図に示したよう
な円となる干渉縞信号を得易い。
そして、このようなｓｉｎθ、 ＣＯＳθの干渉縞信号
からは、測長光路の干渉縞間の変化も容易に正確に測定
することができる。しかし、それも参照光と測長光の合
わさった光から分割して干渉光を得る光学素子の一体化
が正確になされていることが条件となる。一体化が正確
になされていないと、得られる干渉光の位相差か９０°
からずれて、そのために最終的に得られる２相の干渉縞
信号もｓｉｎθ。
からは、測長光路の干渉縞間の変化も容易に正確に測定
することができる。しかし、それも参照光と測長光の合
わさった光から分割して干渉光を得る光学素子の一体化
が正確になされていることが条件となる。一体化が正確
になされていないと、得られる干渉光の位相差か９０°
からずれて、そのために最終的に得られる２相の干渉縞
信号もｓｉｎθ。
ｃｏｓ（θ＋△θ）で変化するものとなり、そのリサー
ジュ図形は第５図に示したような楕円となる。
ジュ図形は第５図に示したような楕円となる。
このようなｓｉｎθ、Ｃ０５（θ十△θ）の干渉縞信号
からは、周期的な誤差が生ずるため、ＰＩ！Ｊ長光路の
干渉縞間の変化を正確に測定することは困難である。
からは、周期的な誤差が生ずるため、ＰＩ！Ｊ長光路の
干渉縞間の変化を正確に測定することは困難である。
そこで、第２図のレーザ測長針における光学的に２相の
干渉光を分岐する光学素子の２７４以上好ましくはλ／
２以上のリタデーシシンを持つ波長板１２Ａまたはその
下流の偏光ビームスプリッタ６を光軸間りに調節回動可
能とすることにより、波長板１２Ａまたは偏光ビームス
プリッタ６を光軸用りに調節回動して、２相の干渉光の
位相差を正確に９０″ とすることができる。したがっ
て、この例では一層容易にｓｉｎθ、 ｃｏｓθで変化
する干渉縞信号を得ることができる。
干渉光を分岐する光学素子の２７４以上好ましくはλ／
２以上のリタデーシシンを持つ波長板１２Ａまたはその
下流の偏光ビームスプリッタ６を光軸間りに調節回動可
能とすることにより、波長板１２Ａまたは偏光ビームス
プリッタ６を光軸用りに調節回動して、２相の干渉光の
位相差を正確に９０″ とすることができる。したがっ
て、この例では一層容易にｓｉｎθ、 ｃｏｓθで変化
する干渉縞信号を得ることができる。
本発明は、以上述べた例に限らず、参照光と測長光の合
わさった光を得るまでの光路の光学素子が従来のレーザ
測長計に８ｔすると同様のものであってもよいし、また
２相の干渉光を分岐するものでは、干渉光を光ファイバ
ー等で測長演算器の検出器に導くようにすれば電気的な
ノイズの入ることが少ないから、反転増幅器によって３
相目の干渉縞信号を作らないものであってもよい。
わさった光を得るまでの光路の光学素子が従来のレーザ
測長計に８ｔすると同様のものであってもよいし、また
２相の干渉光を分岐するものでは、干渉光を光ファイバ
ー等で測長演算器の検出器に導くようにすれば電気的な
ノイズの入ることが少ないから、反転増幅器によって３
相目の干渉縞信号を作らないものであってもよい。
本発明のレーザ測長計においては、光学的に位相が順次
９０″ずれた２相または３相の干渉光を分岐する複数の
光学素子が４５’旋光板を含んで隣同志互いに接触し、
全部もしくは一部が一体的に結合されているから、複数
の光学素子の配設が容易ｌこ正確になされ、正確ｌこ位
相が９０″ずれた干渉光を容易に得ることができる。
９０″ずれた２相または３相の干渉光を分岐する複数の
光学素子が４５’旋光板を含んで隣同志互いに接触し、
全部もしくは一部が一体的に結合されているから、複数
の光学素子の配設が容易ｌこ正確になされ、正確ｌこ位
相が９０″ずれた干渉光を容易に得ることができる。
第１１！ｌおよび第２図はそれぞれ本発明のレーザ測長
計の例を示す構成概要図、第３１１！Ｊは干渉光束と検
出器の関係を示す図、第４図は位相差π／２ラジアンの
場合の２種の干渉縞信号のりサージ二図形、第５図は位
相差がｒ／２ラジアンから△θラレファンずれた場合の
＋Ｊサージュ図形、嬉６図は従来の干渉縞計数型測長計
の例を示す構成概要図である。 ｌ・・・安定化レーザ ２・・・ヒームスプリッタ３
・・・λ／８板 ４・・・固定コーナキューブ５
・・・移動コーナキューブ ６・・偏光ビームスブリ・ｌり
計の例を示す構成概要図、第３１１！Ｊは干渉光束と検
出器の関係を示す図、第４図は位相差π／２ラジアンの
場合の２種の干渉縞信号のりサージ二図形、第５図は位
相差がｒ／２ラジアンから△θラレファンずれた場合の
＋Ｊサージュ図形、嬉６図は従来の干渉縞計数型測長計
の例を示す構成概要図である。 ｌ・・・安定化レーザ ２・・・ヒームスプリッタ３
・・・λ／８板 ４・・・固定コーナキューブ５
・・・移動コーナキューブ ６・・偏光ビームスブリ・ｌり
Claims (3)
- （１）レーザからの光を分岐手段で参照光路と測長光路
に一旦分岐してから合わせた後、光学的に位相が順次９
０゜ずれた２相または３相の干渉光を分岐し、それら干
渉光を検出した電気信号に基づいて測長光路長の変化お
よび変化の方向を測定するレーザ測長計において、前記
光学的に干渉光を分岐する複数の光学素子に４５゜旋光
板を含み、該複数の光学素子が隣同志互いに接触して、
全部もしくは一部が一体的に結合していることを特徴と
するレーザ測長計。 - （２）前記複数の光学素子が９０゜位相のずれた２相の
干渉光を分岐し、それら干渉光を検出した電気信号のい
ずれか一方からそれに対応した干渉光に対し位相が１８
０゜ずれた干渉光の電気信号に相当する３相目の電気信
号を得、前記測定にそれら３相の電気信号を利用する特
許請求の範囲第１項記載のレーザ測長計。 - （３）前記複数の光学素子が９０゜位相のずれた２相の
干渉光を分岐し、そのうちの一方の干渉光について用い
られているλ／４以上のリタデーションを持つ波長板ま
たはその下流側に隣接する偏光ビームスプリッタが光軸
周りに調節回動可能に設けられている特許請求の範囲第
１項記載のレーザ測長計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102739A JP2992829B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | レーザ測長計 |
| DE69017159T DE69017159T2 (de) | 1989-12-11 | 1990-12-11 | Laser-interferometrischer Messapparat. |
| EP90313424A EP0433008B1 (en) | 1989-12-11 | 1990-12-11 | Laser interferometric measuring apparatus |
| US08/073,292 US5305088A (en) | 1989-12-11 | 1993-06-07 | Laser interferometric measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102739A JP2992829B2 (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | レーザ測長計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041503A true JPH041503A (ja) | 1992-01-07 |
| JP2992829B2 JP2992829B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=14335611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2102739A Expired - Lifetime JP2992829B2 (ja) | 1989-12-11 | 1990-04-18 | レーザ測長計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2992829B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5834691A (en) * | 1995-01-19 | 1998-11-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Lead frame, its use in the fabrication of resin-encapsulated semiconductor device |
| EP2251635A2 (en) | 2009-05-15 | 2010-11-17 | Panasonic Corporation | Probe for three-dimensional shape measuring apparatus and three-dimensional shape measuring apparatus. |
| CN113810103A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-12-17 | 中国矿业大学(北京) | 波长测量系统以及波长测量方法 |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP2102739A patent/JP2992829B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5834691A (en) * | 1995-01-19 | 1998-11-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Lead frame, its use in the fabrication of resin-encapsulated semiconductor device |
| EP2251635A2 (en) | 2009-05-15 | 2010-11-17 | Panasonic Corporation | Probe for three-dimensional shape measuring apparatus and three-dimensional shape measuring apparatus. |
| CN113810103A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-12-17 | 中国矿业大学(北京) | 波长测量系统以及波长测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2992829B2 (ja) | 1999-12-20 |
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