JPH04147053A - レーザー超音波探傷方法及び装置 - Google Patents
レーザー超音波探傷方法及び装置Info
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- JPH04147053A JPH04147053A JP2270896A JP27089690A JPH04147053A JP H04147053 A JPH04147053 A JP H04147053A JP 2270896 A JP2270896 A JP 2270896A JP 27089690 A JP27089690 A JP 27089690A JP H04147053 A JPH04147053 A JP H04147053A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
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- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は新型転換炉、高速増殖炉、軽水炉、プラント機
器及び一般の機器の検゛査に係り、特に運転中の検査及
び監視試料の運転中の連続監視にも適用することのでき
るレーザー超音波探傷方法及びその装置に関する。
器及び一般の機器の検゛査に係り、特に運転中の検査及
び監視試料の運転中の連続監視にも適用することのでき
るレーザー超音波探傷方法及びその装置に関する。
従来、レーザーを利用した超音波探傷検査では、超音波
発生用レーザー装置及び超音波検出用レーザー装置から
のそれぞれのレーザー光を金属材料等の表面に直接照射
して疵等の欠陥の検査を行っている。
発生用レーザー装置及び超音波検出用レーザー装置から
のそれぞれのレーザー光を金属材料等の表面に直接照射
して疵等の欠陥の検査を行っている。
第４図は従来のレーザー超音波探傷方法を示す図であり
、図中、１は超音波発生用レーザー装置、２は超音波検
出用レーザー装置、３は超音波発生用レーザー光、４は
超音波検出用レーザー光、５は検査体、６は疵、７は超
音波である。
、図中、１は超音波発生用レーザー装置、２は超音波検
出用レーザー装置、３は超音波発生用レーザー光、４は
超音波検出用レーザー光、５は検査体、６は疵、７は超
音波である。
図において、超音波発生用レーザー装置■から数十ｍＪ
乃至数百ｍＪの高エネルギーのパルス状の超音波発生用
レーザー光３を検査体５の表面に照射し、表面を繰り返
し加熱させ、これによる熱ひずみによって超音波７を発
生させる。また、超音波検出用レーザー装置２からは数
ｍＪの低エネルギーの連続した超音波検出用レーザー光
４を検査体５表面に照射し、超音波発生用レーザー光３
によって発生した超音波７が疵６等から反射して検査体
５の表面に達したときに生ずる検査体５表面の微振動を
超音波検出用レーザー光４によって検出する。
乃至数百ｍＪの高エネルギーのパルス状の超音波発生用
レーザー光３を検査体５の表面に照射し、表面を繰り返
し加熱させ、これによる熱ひずみによって超音波７を発
生させる。また、超音波検出用レーザー装置２からは数
ｍＪの低エネルギーの連続した超音波検出用レーザー光
４を検査体５表面に照射し、超音波発生用レーザー光３
によって発生した超音波７が疵６等から反射して検査体
５の表面に達したときに生ずる検査体５表面の微振動を
超音波検出用レーザー光４によって検出する。
このように従来のレーザー超音波探傷検査では超音波発
生用レーザー光及び超音波検出用レーザー光を検査体表
面に直接照射する方法であるため、実用化のために重要
な次の諸問題か生じ、実用化の障害となっていた。
生用レーザー光及び超音波検出用レーザー光を検査体表
面に直接照射する方法であるため、実用化のために重要
な次の諸問題か生じ、実用化の障害となっていた。
超音波検出用レーザー装置で超音波を検出する際、殆と
の検査体かそうであるように検査体表面に凹凸かあった
り、光の反射率か悪かったりすると、検査体からの反射
レーザー光が散乱又は減衰して、測定に必要な光量か超
音波検出用レーザー装置まで戻ってこないため、超音波
の検出か不可能となる。
の検査体かそうであるように検査体表面に凹凸かあった
り、光の反射率か悪かったりすると、検査体からの反射
レーザー光が散乱又は減衰して、測定に必要な光量か超
音波検出用レーザー装置まで戻ってこないため、超音波
の検出か不可能となる。
超音波発生用レーザー光で検査体中に強い超音波を発生
させる必要かあるときには、超音波発生用レーザー光の
エネルギーも高くしなければならない。このとき検査体
の表面か焼損する恐れかある。
させる必要かあるときには、超音波発生用レーザー光の
エネルギーも高くしなければならない。このとき検査体
の表面か焼損する恐れかある。
超音波発生用レーザー光を検査体表面に対し、とのよう
な角度で照射しても、検査体中に発生する超音波はその
大部分か表面に対して垂直の方向に進行する。このため
垂直探傷か行えるが、超音波探傷にとって重要な斜角探
傷か行えない。
な角度で照射しても、検査体中に発生する超音波はその
大部分か表面に対して垂直の方向に進行する。このため
垂直探傷か行えるが、超音波探傷にとって重要な斜角探
傷か行えない。
さらに、検査体の表面にレーザー光を透過しない、例え
ば溶融金属ナトリウム等の不透明液体か存在したり、レ
ーザー光による超音波か発生しにくい材料で作られた検
査体に対しては検査が行なえない。
ば溶融金属ナトリウム等の不透明液体か存在したり、レ
ーザー光による超音波か発生しにくい材料で作られた検
査体に対しては検査が行なえない。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、表面に凹
凸かあったり光の反射率が悪い検査体に対し、また、レ
ーザー光を透過しない不透明液体か表面に存在する検査
体、さらに、レーザー光による超音波の発生しにくい材
料で作られた検査体に対して、検査体表面の焼損を防止
することが可能な、さらに、斜角超音波探傷検査を行う
ことのできるレーザー超音波探傷方法及びその装置を提
供することを目的とする。
凸かあったり光の反射率が悪い検査体に対し、また、レ
ーザー光を透過しない不透明液体か表面に存在する検査
体、さらに、レーザー光による超音波の発生しにくい材
料で作られた検査体に対して、検査体表面の焼損を防止
することが可能な、さらに、斜角超音波探傷検査を行う
ことのできるレーザー超音波探傷方法及びその装置を提
供することを目的とする。
本発明は、超音波発生用レーザー光を反射振動板に照射
して反射振動板に超音波を発生させ、発生した超音波を
検査体に伝え、検査体の疵等の欠陥場所から反射してき
た超音波を前記反射振動板で受け、このとき生ずる前記
反射振動板の振動を超音波検出用レーザー光で検出する
レーザー超音波探傷方法、および超音波発生用レーザー
光を発射する超音波発生用レーザー装置と、レーザー光
の照射により超音波を発生させるとともに、超音波を受
けて振動する反射振動板と、反射振動板にレーザ光を照
射し、反射振動板の振動により変調された反射レーザ光
を検出する超音波検出用レーザー装置とを備え、前記反
射振動板の振動により生ずる超音波を検査体に照射する
とともに、検査体からの反射超音波を前記振動板で受け
るようにした超音波探傷装置を特徴とする。
して反射振動板に超音波を発生させ、発生した超音波を
検査体に伝え、検査体の疵等の欠陥場所から反射してき
た超音波を前記反射振動板で受け、このとき生ずる前記
反射振動板の振動を超音波検出用レーザー光で検出する
レーザー超音波探傷方法、および超音波発生用レーザー
光を発射する超音波発生用レーザー装置と、レーザー光
の照射により超音波を発生させるとともに、超音波を受
けて振動する反射振動板と、反射振動板にレーザ光を照
射し、反射振動板の振動により変調された反射レーザ光
を検出する超音波検出用レーザー装置とを備え、前記反
射振動板の振動により生ずる超音波を検査体に照射する
とともに、検査体からの反射超音波を前記振動板で受け
るようにした超音波探傷装置を特徴とする。
本発明は超音波発生用レーザー装置からのパルス状のレ
ーザー光を反射振動板に照射し、反射振動板に超音波を
発生させ、発生した超音波を検査体に伝え、疵等の欠陥
から反射してきた超音波を反射振動板で受け、このとき
生ずる振動を超音波検出用レーザー装置の連続したレー
ザー光で検出することにより超音波探傷を行うことがで
きる。
ーザー光を反射振動板に照射し、反射振動板に超音波を
発生させ、発生した超音波を検査体に伝え、疵等の欠陥
から反射してきた超音波を反射振動板で受け、このとき
生ずる振動を超音波検出用レーザー装置の連続したレー
ザー光で検出することにより超音波探傷を行うことがで
きる。
（実施例〕
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の詳細な説明するための図で、第４図と
同一番号は同一内容を示し、８は反射振動板である。
同一番号は同一内容を示し、８は反射振動板である。
図において、反射振動板８は超音波検出用レーザー光４
か照射される部分はレーザー光の反射を良くするため研
磨仕上げを施し、超音波発生用レーザー光３か照射され
る部分は表面をつや消し状態にして仕上げ、レーザー光
により熱ひずみを起こし超音波を発生する材料で作られ
ている。
か照射される部分はレーザー光の反射を良くするため研
磨仕上げを施し、超音波発生用レーザー光３か照射され
る部分は表面をつや消し状態にして仕上げ、レーザー光
により熱ひずみを起こし超音波を発生する材料で作られ
ている。
超音波発生用レーザー装置ｌから高エネルギーのパルス
状の超音波発生用レーザー光３を反射振動板８の表面に
照射し、表面を繰り返し加熱すると反射振動板８は熱ひ
ずみにより超音波７を発生する。発生した超音波７は反
射振動板８の表面に垂直の方向に進んて検査体５の中に
伝わり、検査体５に疵６の欠陥か存在すると反射して反
射振動板８に戻り、これをわずかに振動させる。この振
動を超音波検出用レーザー装置２からの超音波検出用レ
ーザー光４て検出することにより疵６の欠陥の存在を検
出することかできる。
状の超音波発生用レーザー光３を反射振動板８の表面に
照射し、表面を繰り返し加熱すると反射振動板８は熱ひ
ずみにより超音波７を発生する。発生した超音波７は反
射振動板８の表面に垂直の方向に進んて検査体５の中に
伝わり、検査体５に疵６の欠陥か存在すると反射して反
射振動板８に戻り、これをわずかに振動させる。この振
動を超音波検出用レーザー装置２からの超音波検出用レ
ーザー光４て検出することにより疵６の欠陥の存在を検
出することかできる。
第２図は本発明のレーザー超音波探傷装置を新型転換炉
の圧力管の検査に適用した場合の概念を示した図で、第
３図は第２図の２点鎖線で示した本発明に係る部分の詳
細図である。図中、第１図と同一番号は同一内容を示し
ている。なお、１１はレーザー超音波探傷器、１２は圧
力管、１３及び１４はミラー、１５は密閉筒、１６はス
クリューねしである。
の圧力管の検査に適用した場合の概念を示した図で、第
３図は第２図の２点鎖線で示した本発明に係る部分の詳
細図である。図中、第１図と同一番号は同一内容を示し
ている。なお、１１はレーザー超音波探傷器、１２は圧
力管、１３及び１４はミラー、１５は密閉筒、１６はス
クリューねしである。
図において、圧力管１２は新型転換炉の運転中の検査を
行う状態を想定していて、内部には高温、高圧の水が下
部から上部へ流れている。
行う状態を想定していて、内部には高温、高圧の水が下
部から上部へ流れている。
超音波発生用レーザー装置ｌ及び超音波検出用レーザー
装置２は水から隔離するために空気等のガスで充された
密閉筒１５の内部に収められ、反射振動板８が超音波の
送受信部材を構成している。
装置２は水から隔離するために空気等のガスで充された
密閉筒１５の内部に収められ、反射振動板８が超音波の
送受信部材を構成している。
この密閉［１５は圧力管１２の内部にあって、スクリュ
ーねじ１６で上下することか可能で、所定の位置に設定
する。
ーねじ１６で上下することか可能で、所定の位置に設定
する。
いま、収音波発生用レーザー装置ｌから発射される超音
波発生用レーザー光３はミラー１３て反射して、反射振
動板８を照射する。反射振動板８て反射する超音波発生
用レーザー光３はそのまま散乱し減衰するか、吸収され
る超音波発生用レーザー光３は反射振動板８を繰り返し
加熱し、これによる熱ひずみによって超音波７を発生す
る。反射振動板８て発生した超音波７は反射振動板８に
垂直の方向に水中を伝播して圧力管１２の材料中に伝わ
り、圧力管１２に疵等の欠陥が存在するとそこで反射し
、反射振動板８に戻り、これをわずかに振動させる。
波発生用レーザー光３はミラー１３て反射して、反射振
動板８を照射する。反射振動板８て反射する超音波発生
用レーザー光３はそのまま散乱し減衰するか、吸収され
る超音波発生用レーザー光３は反射振動板８を繰り返し
加熱し、これによる熱ひずみによって超音波７を発生す
る。反射振動板８て発生した超音波７は反射振動板８に
垂直の方向に水中を伝播して圧力管１２の材料中に伝わ
り、圧力管１２に疵等の欠陥が存在するとそこで反射し
、反射振動板８に戻り、これをわずかに振動させる。
一方、超音波検出用レーザー装置２がら発射した超音波
検出用レーザー光４はミラー１４で反射し反射振動板８
を照射する。反射振動板８て反射する超音波検出用レー
ザー光４は反射振動板８て変調されてミラー１４を経由
して超音波検出用ルーザー装置２へ戻り、レーザー超音
波探傷器１１で分析処理することにより超音波を検出し
、探傷検査を行うことかできる。
検出用レーザー光４はミラー１４で反射し反射振動板８
を照射する。反射振動板８て反射する超音波検出用レー
ザー光４は反射振動板８て変調されてミラー１４を経由
して超音波検出用ルーザー装置２へ戻り、レーザー超音
波探傷器１１で分析処理することにより超音波を検出し
、探傷検査を行うことかできる。
超音波発生用レーザー光３はエネルギー数十ｍＪ乃至数
百ｍＪのパルス状のもので、一般的にはＹＡＧ （イツ
トリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザーか使用
される。また、超音波検出用レーザー光４はエネルギー
数ｍＪの連続波で一般的にはＨｅ−Ｎｅ（ヘリウム・ネ
オン）レーザーか使用される。
百ｍＪのパルス状のもので、一般的にはＹＡＧ （イツ
トリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザーか使用
される。また、超音波検出用レーザー光４はエネルギー
数ｍＪの連続波で一般的にはＨｅ−Ｎｅ（ヘリウム・ネ
オン）レーザーか使用される。
反射振動板８は前述したように超音波検出用レーザー光
４か照射される表面部分はレーザー光の反射を良くする
ために表面粗さは１μｍ程度以内の鏡面に研磨仕上げを
施し、超音波発生用レーザー光３か照射される部分は熱
エネルギーか吸収され易く反射しにくいようにつや消し
状態に仕上げである。反射振動板８の材質はレーザー光
を反射し、かつ、レーザー光を照射すると熱ひずみによ
り超音波を発生する材料で、入手の容易、価格、加工性
及び温度、圧力、放射線等の耐環境性等の点から、ステ
ンレス鋼、鉄、銅合金及びクロム等の金属材料を使用す
る。
４か照射される表面部分はレーザー光の反射を良くする
ために表面粗さは１μｍ程度以内の鏡面に研磨仕上げを
施し、超音波発生用レーザー光３か照射される部分は熱
エネルギーか吸収され易く反射しにくいようにつや消し
状態に仕上げである。反射振動板８の材質はレーザー光
を反射し、かつ、レーザー光を照射すると熱ひずみによ
り超音波を発生する材料で、入手の容易、価格、加工性
及び温度、圧力、放射線等の耐環境性等の点から、ステ
ンレス鋼、鉄、銅合金及びクロム等の金属材料を使用す
る。
本実施例では反射振動板８を圧力管１２の表面に対して
斜めに設置して斜角超音波探傷を行っているか、圧力管
１２の表面に対して並行に設置すれば垂直超音波探傷か
行える。
斜めに設置して斜角超音波探傷を行っているか、圧力管
１２の表面に対して並行に設置すれば垂直超音波探傷か
行える。
また、超音波発生用レーザー装置１及び超音波検出用レ
ーザー装置２から反射振動板８まての間の超音波発生用
レーザー光３及び超音波検出用レーザー光４の伝送に光
ファイバーの伝送媒体を用いることができる。
ーザー装置２から反射振動板８まての間の超音波発生用
レーザー光３及び超音波検出用レーザー光４の伝送に光
ファイバーの伝送媒体を用いることができる。
本発明を適用する際には反射振動板と検査体との間に超
音波を伝播し易い水、油、溶融金属ナトリウム等の物質
か存在していることが望ましい。
音波を伝播し易い水、油、溶融金属ナトリウム等の物質
か存在していることが望ましい。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば次のような幾多の効果か得
られる。
られる。
検査体中の疵等の欠陥から反射する超音波を反射振動板
に伝え、そこで生じる機械振動を超音波検出用レーザー
光て検出するので、従来不可能であった検査体表面に凹
凸があったり、超音波検出用レーザー光の反射が悪かっ
たりする検査体に対してもレーザー超音波探傷が可能と
なる。また、超音波検出用レーザー光の反射強度は十分
でも、検査場所によって表面反射率か異なる検査体の場
合は、超音波検出レベルか異なり安定した検査が行えな
かったか、本発明は反射振動板の同一場所に超音波検出
用レーザー光を照射する方法であるのて安定したデータ
が得られる。
に伝え、そこで生じる機械振動を超音波検出用レーザー
光て検出するので、従来不可能であった検査体表面に凹
凸があったり、超音波検出用レーザー光の反射が悪かっ
たりする検査体に対してもレーザー超音波探傷が可能と
なる。また、超音波検出用レーザー光の反射強度は十分
でも、検査場所によって表面反射率か異なる検査体の場
合は、超音波検出レベルか異なり安定した検査が行えな
かったか、本発明は反射振動板の同一場所に超音波検出
用レーザー光を照射する方法であるのて安定したデータ
が得られる。
強力な超音波発生用レーザー光を使用しても、反射振動
板か焼損するだけて、検査体を焼損する恐れは解消され
る。この際、反射振動板か多少焼損するのは検査に支障
はなく、焼損か大きいときは交換すればよい。また、従
来の方法では一定エネルギーの超音波発生用レーザー光
を検査体に照射しても検査体の表面状態か変化しエネル
ギー吸収率か変化すると発生する超音波の強度も変わる
ため、安定した検査か行えなかったが、検査体の表面状
態に係らず一定の強度の超音波か得られるようになり、
安定した検査か行える。さらに、反射振動板の超音波発
生用レーザー光が照射される面の仕上げを反射か少なく
エネルギー吸収か良い超音波交換率か高くなる状態にし
ておけば最小限のレーザーエネルギーで必要な強度の超
音波が発生できる。
板か焼損するだけて、検査体を焼損する恐れは解消され
る。この際、反射振動板か多少焼損するのは検査に支障
はなく、焼損か大きいときは交換すればよい。また、従
来の方法では一定エネルギーの超音波発生用レーザー光
を検査体に照射しても検査体の表面状態か変化しエネル
ギー吸収率か変化すると発生する超音波の強度も変わる
ため、安定した検査か行えなかったが、検査体の表面状
態に係らず一定の強度の超音波か得られるようになり、
安定した検査か行える。さらに、反射振動板の超音波発
生用レーザー光が照射される面の仕上げを反射か少なく
エネルギー吸収か良い超音波交換率か高くなる状態にし
ておけば最小限のレーザーエネルギーで必要な強度の超
音波が発生できる。
反射振動板を検査体表面に対し、斜めに設置するだけで
、従来の方法で不可能であった超音波交換率か可能とな
る。
、従来の方法で不可能であった超音波交換率か可能とな
る。
実施例の圧力管Ｉ２の内部に水ではなく不透明な液体金
属ナトリウムが流れていることを想定すると従来の方法
では液体金属ナトリウムに超音波発生用レーザー光がさ
えぎられて検査ができなかったか、反射振動板を設ける
ことにより、超音波発生用レーザー光を透過しない液体
が表面に存在する検査体に対しても、レーザー超音波探
傷が可能となる。
属ナトリウムが流れていることを想定すると従来の方法
では液体金属ナトリウムに超音波発生用レーザー光がさ
えぎられて検査ができなかったか、反射振動板を設ける
ことにより、超音波発生用レーザー光を透過しない液体
が表面に存在する検査体に対しても、レーザー超音波探
傷が可能となる。
超音波発生用レーザー光により超音波が発生し易い材料
を反射振動板に選定することが可能となので、超音波発
生用レーザー光で超音波を発生させにくい材料で作られ
た検査体のレーザー超音波探傷か可能となる。
を反射振動板に選定することが可能となので、超音波発
生用レーザー光で超音波を発生させにくい材料で作られ
た検査体のレーザー超音波探傷か可能となる。
以上のような効果により、極めて限られた検査体にしか
実用化できなかった、レーザー超音波探傷技術か広範囲
に実用化でき、汎用性が高まる。
実用化できなかった、レーザー超音波探傷技術か広範囲
に実用化でき、汎用性が高まる。
特に従来の方法では適用が不可能であった原子炉の機器
、配管、監視用試料等の運転中連続監視や運転中検査か
可能となり、原子力発電の安全性向上に大きく寄与でき
る。
、配管、監視用試料等の運転中連続監視や運転中検査か
可能となり、原子力発電の安全性向上に大きく寄与でき
る。
第１図は本発明の詳細な説明するための図、第２図は本
発明のレーザー超音波探傷装置を新型転換炉の圧力管の
検査に適用した場合の概念を示した図、第３図は第２図
の２点鎖線で示した本発明に係る部分の詳細図、第４図
は従来の超音波探傷方法を説明するための図である。 ｌ・・・超音波発生用レーザー装置、２・・・超音波検
出用レーザー装置、３・・・超音波発生用レーザー光、
４・・・超音波検出用レーザー光、５・・・検査体、６
・・・疵、７・・・超音波、８・・・反射振動板、１１
・・・レーザー超音波探傷器、１２・・・圧力管、１３
．１４・・・ミラー １５・・・密閉筒、１６・・・ス
クリューねし。 出 願 人 動力炉・核燃料開発事業団代理人
弁理士 蛭 川 昌 信（外７名）第 図 第２図 第３図
発明のレーザー超音波探傷装置を新型転換炉の圧力管の
検査に適用した場合の概念を示した図、第３図は第２図
の２点鎖線で示した本発明に係る部分の詳細図、第４図
は従来の超音波探傷方法を説明するための図である。 ｌ・・・超音波発生用レーザー装置、２・・・超音波検
出用レーザー装置、３・・・超音波発生用レーザー光、
４・・・超音波検出用レーザー光、５・・・検査体、６
・・・疵、７・・・超音波、８・・・反射振動板、１１
・・・レーザー超音波探傷器、１２・・・圧力管、１３
．１４・・・ミラー １５・・・密閉筒、１６・・・ス
クリューねし。 出 願 人 動力炉・核燃料開発事業団代理人
弁理士 蛭 川 昌 信（外７名）第 図 第２図 第３図
Claims (7)
- （１）超音波発生用レーザー光を反射振動板に照射して
反射振動板に超音波を発生させ、発生した超音波を検査
体に伝え、検査体の疵等の欠陥場所から反射してきた超
音波を前記反射振動板で受け、このとき生ずる前記反射
振動板の振動を超音波検出用レーザー光で検出すること
を特徴とするレーザー超音波探傷方法。 - （２）超音波発生用レーザー光を発射する超音波発生用
レーザー装置と、レーザー光の照射により超音波を発生
させるとともに、超音波を受けて振動する反射振動板と
、反射振動板にレーザ光を照射し、反射振動板の振動に
より変調された反射レーザ光を検出する超音波検出用レ
ーザー光とを備え、前記反射振動板の振動により生ずる
超音波を検査体に照射するとともに、検査体からの反射
超音波を前記振動板で受けるようにしたことを特徴とす
るレーザー超音波探傷装置。 - （３）前記超音波発生用レーザー光及び前記超音波検出
用レーザー光を反射ミラーを介して前記反射振動板に伝
送するようにしたことを特徴とする請求項２記載のレー
ザー超音波探傷装置。 - （４）前記超音波発生用レーザー光及び前記超音波検出
用レーザー光を光ファイバーを通して前記反射振動板に
伝送するようにしたことを特徴とする請求項２記載のレ
ーザー超音波探傷装置。 - （５）前記反射振動板が金属、又はセラミック材からな
ることを特徴とする請求項２記載のレーザー超音波探傷
装置。 - （６）前記反射振動板は、超音波発生用レーザー光が照
射される部分はつや消し仕上げするとともに、超音波検
出用レーザー光が照射される部分は鏡面仕上げしたこと
を特徴とする請求項２記載のレーザー超音波探傷装置。 - （７）前記検査体は圧力管であり、前記反射振動板は圧
力管内を上下動可能な密閉筒の超音波送受信部材を構成
しており、該超音波送受信部材にレーザ光を照射するこ
とを特徴とする請求項２記載のレーザー超音波探傷装置
。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2270896A JP2502184B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | レ―ザ―超音波探傷方法及び装置 |
| PCT/JP1991/001607 WO1993010445A1 (en) | 1990-10-09 | 1991-11-22 | Laser ultrasonic flaw detection method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2270896A JP2502184B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | レ―ザ―超音波探傷方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04147053A true JPH04147053A (ja) | 1992-05-20 |
| JP2502184B2 JP2502184B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=17492486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2270896A Expired - Fee Related JP2502184B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | レ―ザ―超音波探傷方法及び装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2502184B2 (ja) |
| WO (1) | WO1993010445A1 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008203185A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Toshiba Corp | 表面劣化検出装置およびその方法 |
| JP2009276152A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超音波検査装置および原子力プラントの非破壊検査方法 |
| JP2009288101A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超音波検査装置および原子力プラントの非破壊検査方法 |
| JP2010066252A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-03-25 | Kobe Steel Ltd | 超音波顕微鏡 |
| JP2010091281A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Toyota Central R&D Labs Inc | 超音波計測装置 |
| JP2010518396A (ja) * | 2007-02-05 | 2010-05-27 | ブラウン ユニバーシティ | 改良型高解像度超音波顕微鏡 |
| KR20140115966A (ko) * | 2013-03-22 | 2014-10-01 | 가부시끼가이샤 도시바 | 초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법 |
| CN109765295A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-05-17 | 同济大学 | 一种混凝土表面微裂缝的激光超声快速检测方法及装置 |
| US11318536B2 (en) | 2014-09-16 | 2022-05-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Additive manufacturing apparatus and additive manufacturing method |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4665000B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2011-04-06 | 株式会社東芝 | レーザー超音波検査装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358155A (ja) * | 1986-08-28 | 1988-03-12 | Mitsubishi Electric Corp | 非接触型超音波発生装置 |
-
1990
- 1990-10-09 JP JP2270896A patent/JP2502184B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-11-22 WO PCT/JP1991/001607 patent/WO1993010445A1/ja active IP Right Grant
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010518396A (ja) * | 2007-02-05 | 2010-05-27 | ブラウン ユニバーシティ | 改良型高解像度超音波顕微鏡 |
| JP2008203185A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Toshiba Corp | 表面劣化検出装置およびその方法 |
| JP2009276152A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超音波検査装置および原子力プラントの非破壊検査方法 |
| JP2009288101A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超音波検査装置および原子力プラントの非破壊検査方法 |
| JP2010066252A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-03-25 | Kobe Steel Ltd | 超音波顕微鏡 |
| JP2010091281A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Toyota Central R&D Labs Inc | 超音波計測装置 |
| KR20140115966A (ko) * | 2013-03-22 | 2014-10-01 | 가부시끼가이샤 도시바 | 초음파 검사 장치 및 초음파 검사 방법 |
| US9714924B2 (en) | 2013-03-22 | 2017-07-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic inspection device and method of ultrasonic inspection |
| US11318536B2 (en) | 2014-09-16 | 2022-05-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Additive manufacturing apparatus and additive manufacturing method |
| CN109765295A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-05-17 | 同济大学 | 一种混凝土表面微裂缝的激光超声快速检测方法及装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1993010445A1 (en) | 1993-05-27 |
| JP2502184B2 (ja) | 1996-05-29 |
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